【課題】 ノズル配置の高密度化と、圧電アクチュエータによる振動板の変位量の増大とを同時に実現することが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】 圧電層１１０の中心部（圧力室１０６の中心部と重なる領域）には中央電極１１６が形成されている。中央電極１１６は、環状の上部電極１１４内に接しないように形成されている。中央電極１１６は、圧電層１１０の開口部１１０Ｈを通じて、下部電極１０８と電気的に接続されており、下部電極１０８を介して接地されている。上部電極１１４に負の電荷が印加されると、圧電層１１０は、下部電極１０８から上部電極１１４に向かう方向に分極するとともに、中央電極１１６から上部電極１１４に向かう方向に分極する。このため、上部電極１１４と中央電極１１６との間に縦方向の歪み（縦方向の変位）が発生するので、振動板１０４の撓み変位量が増大する。 （もっと読む）

【課題】圧力発生素子とインク流路及び吐出口の位置関係を高精度かつ再現性良く制御できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】前記圧力発生素子が形成された基板上に第一の樹脂層、シリコン原子を含有するポジ型レジスト層を積層する工程と、該シリコン原子を含有するポジ型レジスト層に対して縮小投影露光装置を用いたｉ線露光及び現像処理を施しインク流路パターンの一部をパターニングする工程と、該シリコン原子を含有するポジ型レジスト層をマスクとして酸素プラズマを用いたドライエッチングにより該第一の樹脂層をパターニングしインク流路パターンを形成する工程と、該インク流路パターンの周囲に被覆樹脂層を形成する工程と、該被覆樹脂層に対して露光及び現像処理を施し該吐出口を形成する工程と、該インク流路パターンを溶解除去する工程と、を有するインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】上凸変位駆動方式の液体吐出装置における応力に起因したマイクロクラックが抑制され、耐久性に優れた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置３Ａは、圧電素子１Ａが上部電極４０側に凸変位駆動する素子であり、圧電体３０の上部電極４０側の面に、液体貯留室６１の内壁面位置Ｗ又はその近傍、若しくは液体貯留室６１の内壁面位置Ｗより外側の領域に溝部３１が形成されている。上部電極がリング状電極の場合には、圧電体の上部電極側の面に、リング状の上部電極の内端面位置又はその近傍に溝部が形成される。 （もっと読む）

【課題】エッチング中の基板表面のＶｐｐ（ＲＦバイアス電圧のピーク間電圧差）又はＶｄｃ（自己バイアス電圧）を正確に測定し、高精度加工を可能にするとともに、基板間の加工再現性を向上させる。
【解決手段】被エッチング材料の表面に保護膜により所定のマスクパターンが形成された基板(28)をチャンバ(12)内に配置し、チャンバ(12)内にプロセスガスを供給しながら、当該チャンバ内にプラズマを発生させ、マスクパターンの開口部分に対応する被エッチング材料をエッチングするエッチング工程と、エッチング工程におけるエッチング処理中に、基板(28)のマスクパターンが形成されている面の被エッチング材料の表面に接触させた導電性部材(36)を介して当該基板表面の電圧を測定する電圧測定工程と、電圧測定工程の測定結果に基づいてエッチング条件を制御する制御工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】撥液膜の耐擦性及び耐液性を向上させるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、第１シリコン層（12）と第２シリコン層(14)の間に第１熱酸化膜（16）を有するＳＯＩ基板(18)を用い、ＳＯＩ基板(18)の第２シリコン層(14)及び第１熱酸化膜(16)を貫いて第１シリコン層(12)に達するノズル開口部(30)を形成する開口部形成工程と、開口部形成工程の後に、第１シリコン層(12)を除去する第１シリコン層除去工程と、第１シリコン層除去工程によって露出した第１熱酸化膜（16）の表面上に撥液膜(58)を形成する撥液膜形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】良好な変位特性を得ることができる液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエーター装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、第１電極の上方に圧電体前駆体膜を形成する工程と、圧電体前駆体膜を熱処理により結晶化させ、圧電体膜を形成する第１の加熱工程と、第２電極を形成する工程と、第１電極と第２電極間との間に電圧を印加しながら１５０℃以上の温度で、圧電体膜で構成される圧電体層を加熱処理する第２の加熱工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電体の上部電極端面の近傍部分における電荷集中と応力集中が緩和され、耐久性に優れた圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明の圧電素子１は、圧電体３０と、圧電体３０に電界を印加する下部電極２０及び上部電極５０とを備えた素子であり、上部電極５０はパターン形成されており、上部電極５０の端部５０Ｅの領域は、圧電体３０への電界印加時に、圧電体３０の中心側から外周面側に向けて圧電体３０にかかる電界強度が徐々に低下する構造を有している。 （もっと読む）

【課題】駆動耐久性に優れ、かつ高電圧駆動が可能で高密度化に対応でき、またプロセス適応性に優れた静電アクチュエータおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６とを備え、個別電極５の対向面を階段状の多段構造に形成した静電アクチュエータ４であって、個別電極５の対向面の最上段と最下段とに、物性が異なる表面保護膜８ａ、８ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】酸化ジルコニウム層と第１電極との密着性を向上して、耐久性及び信頼性を向上した液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエーター装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上方に設けられた酸化ジルコニウムを主成分とする酸化ジルコニウム層５５と、該酸化ジルコニウム層５５上に設けられた第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を具備する圧電素子３００と、を具備し、前記酸化ジルコニウム層５５は、前記第１電極６０側の表面粗さＲａが２．０より大きく、且つＲｍａｘが１０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】インク吐出用のマイクロメカニカルなプランジャの耐久性を向上する。
【解決手段】パドル８は、ノズルチャンバ２内からノズルチャンバ２の１つの壁において規定されたインク噴出ノズル４を通って液体を噴出する。パドル８は、使用中はインク噴出ノズル４に対向しインク噴出ノズル４から間隔を置いて配置された略平らなプランジャ表面を提供するように構成された第１の部分と、第１の部分の周辺におけるプランジャ表面上に形成されて第１の部分の構造上の支持を行う第２の部分とを含み、それによって、使用中、プランジャが作動してインクを、インク噴出ノズル２を通って噴出している間、第２の部分がスペーサとしての役割を果たして、プランジャ表面がインク噴出ノズル４に触れるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】圧電体膜を用いた圧電素子に係わり、特に、駆動電圧を高くすることなく大きな撓み変形が得られる圧電素子を提供する。
【解決手段】
圧電素子を、櫛形形状の導電性弾性板２と、導電性弾性板２の各櫛歯部に設けた圧電素子セグメント１ａ〜ｅと、により構成し、圧電素子セグメントを。、櫛歯部の一方の面に順次形成した第１の圧電体膜３及び第１の電極５と、他方の面に順次形成した第１の圧電体膜４と分極方向が同じ第２の圧電体膜及４び第２の電極６と、により構成し、第１の電極５及び第２の電極６の接続点と、導電性弾性板２と、の間に電圧を印加することにより第１の圧電体膜３と第２の圧電体膜４が同方向に撓み変形して大きな撓み変動が起こるようにした。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを支持する支持基板に対する接合を良好におこなうことが可能で、かつ液体に対する耐性が高い壁面を有する供給口を備えたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】面の結晶方位が｛１００｝であり、表面にインクを吐出口から吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えるＳｉ基板と、前記吐出口と連通し、前記Ｓｉ基板上にインクを保持する流路と、前記Ｓｉ基板の前記表面とその裏面とを貫通して流路と連通し、該インク流路にインクを供給する供給口と、を有するインクジェットヘッドであって、前記供給口の壁面が、互いに対向する二つの｛１１１｝面を有するインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】基板の上層に形成された金の電極配線の電気的信頼性を確保することができる液体吐出ヘッド用基板の提供。
【解決手段】エネルギー発生素子と、素子に接する様に設けられた第１の電極層と、第１の電極層と素子とを覆う様に設けられた絶縁層と、絶縁層に形成された開口部を通じて第１の電極層に電気的に接続する第２の電極層０１４と、第１の電極層と第２の電極層との間に形成された空間０１５又は樹脂層０１６と、を有する液体吐出ヘッド用基板。 （もっと読む）

【課題】低電圧化を可能としたアクチュエータを提供する。
【解決手段】振動板Ａと、振動板Ａの一面に設けた振動板側電極８に密接して設けられて圧電変位して振動板Ａを変位変形させる圧電素子Ｂと、を備え、圧電素子Ｂは、圧電素子側電極１２及び振動板側電極間８に複数の圧電膜９、１１と、各圧電膜と交互に積層された隣り合う複数の層からなる中間電極１０と、を備え、各圧電膜は、中間電極１０を構成する各層と、振動板側電極８又は圧電素子側電極１２との間に電位を印加されることで変位するようにした。 （もっと読む）

【課題】高吐出口密度を有する記録素子基板の接着固定に必要な精度を容易に満足できるインクジェット記録ヘッド、記録素子基板、インクジェット記録ヘッドの製造方法、および記録素子基板の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板３を複数備えている。各記録素子基板３は、各流路が開口する複数のインク吐出口７が配された第１の面１３と、第１の面１３と交差して記録素子基板３の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第２の面１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】耐久性の低下を抑制して圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、下電極６０と該下電極６０上に形成された圧電体層７０と該圧電体層７０上に形成された上電極８０とを具備する圧電素子３００と、を具備し、前記上電極８０は、イリジウム含有層８１と、前記イリジウム含有層８１上に形成され、イリジウムよりもヤング率の低い材料からなる電極層８２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】耐吐出液保護膜の組成を管理してアルカリ耐性を向上させることができるシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】ノズル孔１１を有し、耐吐出液保護膜１３を表面に形成したシリコン製ノズル基板１であって、液滴吐出側のシリコン基材１００の表面１００ａと耐吐出液保護膜１３との間の一部に、赤外線反射膜１５を設けた。この場合、耐吐出液保護膜１３が、シリコン基材１００の液滴吐出側の面１００ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して設けられ、赤外線反射膜１５はアルミニウムを主成分とし、あるいは酸化チタンを主成分として、ノズルクリーニングの影響を受けない領域に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートと流路形成基板とを接合する際、位置決めピンとの接触面積を減少することによりチッピングを防止し、歩留まりの向上および製造コストの低減を図った液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔５を有するノズルプレート１と、ノズル孔５のそれぞれに連通する吐出室１３を加圧するアクチュエーターを備える流路形成基板２とを具備する液滴吐出ヘッドの製造方法において、ノズルプレート１及び流路形成基板２にそれぞれ複数箇所に多角形からなる位置決め孔６、７、１１、１２を形成する工程と、位置決め孔に治具５０に設けられた円柱状の位置決めピン８を挿入し、ノズルプレート１と流路形成基板２とを位置決めして接合する工程とを有し、位置決め孔のうち一方６、１１は、基準となる正多角形に形成され、他方７、１２は、位置決めピン８との位置ずれを吸収するように長孔状の多角形に形成する。 （もっと読む）

【課題】吐出エネルギーを高めることができ、配線の引き回しや回路接続の自由度も向上する液滴吐出ヘッドを提案すること。
【解決手段】吐出液をそれぞれのノズル孔１０１から吐出させる複数の加圧室２０１が、対向する振動板の間に形成されたキャビティ基板２００を備え、振動板の一方は複数の加圧室に対して共通の共通電極振動板２１１とされ、振動板の他方は複数の加圧室にそれぞれ対応した個別電極２２３を有した個別電極振動板２２１とされており、キャビテイ基板２００に、共通電極振動板２１１と電極対を形成し複数の加圧室にそれぞれ対応した個別電極３１２を有した個別電極基板３１０と、個別電極振動板２２１と電極対を形成し複数の加圧室に対して共通の共通電極基板３２０とを、積層した液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】高い位置合わせ能力を要求することなしに、高精度で信頼性の高い静電アクチュエーターおよび液滴吐出ヘッドを得ること。
【解決手段】可撓性の振動板１２が形成されたシリコン基板２と、振動板１２に隙間２２を介して対向する個別電極１７を有したガラス基板３とが接合された静電アクチュエーターであって、シリコン基板２は、ガラス基板３と対向する面のほぼ全域に絶縁膜１６ａが成膜されたものであり、ガラス基板３は、個別電極１７の表面に絶縁膜１６ｂが成膜されているが、シリコン基板２との接合部２０には絶縁膜１６ｂが形成されていない。 （もっと読む）