【課題】小型化及び低コスト化を実現しつつ、信頼性の向上を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液滴を吐出するノズル孔４１が形成されたノズル基板４０と、ノズル孔４１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２にギャップ１５をもって対向し、振動板２２を駆動する個別電極１２及び個別電極１２を設ける凹部１１が形成された電極基板１０とを備え、電極基板１０の凹部１１の一方の端部側に、電極基板１０を貫通させた封止溝穴１３を形成し、個別電極１２に接続するように金属材料を封止溝穴１３に成膜することで、この金属材料をギャップ１５の封止部とするとともに、個別電極１２に電圧を印加する際の入力配線としている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位特性を向上し高速駆動を実現できると共に圧電体層の破壊を抑制
して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエー
タを提供する。
【解決手段】圧電体層７０の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で構成されており
、各圧電素子３００を構成する下電極６０が圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成され
ていると共に圧電体層７０が下電極６０よりも広い幅で形成されて当該下電極の端面が前
記圧電体層によって覆われており、振動板５０の最表層が酸化チタン（ＴｉＯ_x）からな
る絶縁体膜５２で構成され、下電極６０の最表層がニッケル酸ランタン（ＬａＮｉ_yＯ_x）
からなる配向制御層６２で構成され、且つ配向制御層６２及び少なくとも配向制御層６２
上の圧電体層７０ａが、ペロブスカイト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が（１１３）
に優先配向している構成とする。 （もっと読む）

【課題】封止剤としてダイアモンドライクカーボンを適切に使用することにより、プロセス適応性に優れ、優れた気密性を有する静電アクチュエータおよび小型化が可能な液滴吐出ヘッド、それらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】固定電極（個別電極５）が形成された第１の基板（電極基板１）と、この第１の基板に接合され、固定電極に対して所定のギャップ９を介して対向配置される可動電極（振動板６）が形成された第２の基板（キャビティ基板２）と、固定電極と可動電極との間に静電気力を発生させて可動電極に変位を生じさせる駆動手段４０と、固定電極と可動電極との間に形成されるギャップの外部連通口部分９ａを封止剤として無機材料を用いて気密に封止する封止部１５とを備えた静電アクチュエータにおいて、封止部１５がダイアモンドライクカーボン膜で形成されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で駆動耐久性及び信頼性の向上を図ることが可能な静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、この個別電極５に所定のギャップを介して対向配置された振動板６とを備え、前記個別電極５と前記振動板６との間に静電気力を発生させて振動板６に変位を生じさせる静電アクチュエータにおいて、前記個別電極５を導電性アモルファス炭素系薄膜で構成したものである。 （もっと読む）

【課題】プロセス適応性に優れた、精度の高い階段状の段差を有する静電アクチュエータおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に対して所定のギャップを介して平行に対向配置された振動板６と、個別電極５と振動板６との間に静電気力を発生させて、振動板６に変位を生じさせる駆動手段４０とを備えた静電アクチュエータにおいて、個別電極５の振動板６に対する対向面上に、少なくとも１段の階段状の段差を有する絶縁膜７を備える。 （もっと読む）

【課題】被覆性がよく、ノズル孔の内壁等が吐出液によって浸食されず、耐久性、吐出特性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１近傍の液滴吐出側にノズル孔１１の吐出口と連通し液滴吐出側に開口する吐出凹部１２を備え、吐出凹部１２の内壁１１ｃからノズル孔１１の内壁１１ｃを経て液滴吐出側の面１ａと反対側の面１ｅまで連続する耐吐出液保護膜Ａが形成された。この耐吐出液保護膜Ａは熱酸化保護膜である。そして、耐吐出液保護膜Ａの液滴吐出側の面１ａを撥水性にし、ノズル孔１１の吐出口縁部１１ｄより内壁１１ｃ側を親水性にした。 （もっと読む）

【課題】特性の劣化を抑制した圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０の上方に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上方の少なくとも一部に形成された上部電極４０と、を有し、圧電体層３０は、下部電極２０と上部電極４０の間に形成された第１の部分３２と、第１の部分３２の外側に連続して形成された第２の部分３４と、を有し、第２の部分３４は、下部電極２０の少なくとも一部を覆い、第２の部分３４の膜厚は、第１の部分３２の膜厚よりも薄い。 （もっと読む）

【課題】電気熱エネルギー変換体の温度を検知する際の精度を向上する。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、半導体基板と、前記半導体基板の上に配された第１の絶縁層と、電気エネルギーを受けて、前記液体に作用させるための熱エネルギーを加熱領域に発生させる電気熱エネルギー変換体と、前記第１の絶縁層と前記電気熱エネルギー変換体との間に配された第２の絶縁層と、前記第１の絶縁層と前記第２の絶縁層との間に配され、前記電気熱エネルギー変換体の温度を検知する薄膜温度検知素子と、前記電気熱エネルギー変換体に電流を供給するためのスイッチ素子と、前記スイッチ素子に接続された配線層とを備え、前記配線層に含まれる配線の膜厚よりも、前記薄膜温度検知素子の膜厚は薄い。 （もっと読む）

【課題】難エッチング材を含む部材であっても、簡便に、かつ、良好な形状にパターニングすることができるドライエッチングによるパターニング方法及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】被エッチング部材のドライエッチングを施す面に感光性樹脂のマスク２４ａを形成した後、撥水処理２８を施す。撥水処理後、感光性樹脂のマスクをポストベークする。次いで、感光性樹脂のマスクを介してドライエッチングを施すことにより被エッチング部材をパターニングする。被エッチング部材としては、磁性体材料、強誘電体材料、及び貴金属の少なくとも一種を含む膜を有するものを好適に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】空洞を有する被エッチング部材上にテーパー形状の側面を有するマスクを容易に形成して良好にパターニングを行うことができるドライエッチングによるパターニング方法及びそれに用いるモールド並びにインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】空洞１３を有する被エッチング部材１０のドライエッチングを施す面に光硬化性樹脂２４を付与し、被エッチング部材上に形成すべきテーパー形状の側面を有するマスク２４ａに対応したパターンを有するモールド５０を光硬化性樹脂に押し付ける。光硬化性樹脂に光を照射して硬化させた後、モールドを引き離すことにより、被エッチング部材上にモールドのパターンが反映されたテーパー形状の側面を有するマスクを形成する。マスクを介してドライエッチングを施すことにより被エッチング部材をパターニングした後、マスクを除去する。 （もっと読む）

【課題】接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室内の圧力変化によりインク液をノズル開口部から吐出するインクジェット式記録ヘッド１００の製造方法であって、基板１の表面に圧力発生室となる溝部５１を形成する工程と、溝部５１の底面にノズル開口部となる溝部５２を形成する工程と、溝部５１、５２に犠牲膜５３を埋め込むように形成する工程と、犠牲膜５３及び基板１の表面上に振動膜２０を形成する工程と、振動膜２０上に圧電素子３０を形成する工程と、基板１の裏面を研削して溝部５２の底面を開口させる工程と、基板１の表面側から犠牲膜５３を露出する開口部を形成する工程と、この開口部を介して犠牲膜５３をエッチングし除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電膜等のパターニングに有効であり、パターン形状精度が良好で、パターニングが容易で低コストな新規な無機膜のパターニング技術を提供する。
【解決手段】無機膜３０は、単数又は複数の凸部３１からなる所定パターンを有する膜であり、表面酸化レベルが低い低酸化部２１と表面酸化レベルが高い高酸化部２２とを有する金属膜２０を下地として形成され、単数又は複数の凸部３１が低酸化部２１上にパターン形成されたものである。無機膜３０は、低酸化部２１と高酸化部２２とを有する金属膜２０上にベタ無機膜３０Ｘを成膜した後、ベタ無機膜３０Ｘの高酸化部２２上に位置する部分を除去して、製造することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力室を精度良く形成できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、第１の面１０ａと第２の面１０ｂとを有する基板１０を準備、第１の面１０ａの上方に振動板２０を形成、振動板２０の上方に圧電素子３０を形成、基板１０に圧力室１２を形成、圧力室１２と連通するノズル孔を有するノズル板を形成する、各工程を含み、圧力室１２を形成する工程は、第２の面１０ｂの上方にハードマスク層６０を形成、ハードマスク層６０をパターニング、ハードマスク層６０の側面に保護膜７０を形成、基板１０に異方性のウエットエッチングを行うことによって圧力室１２を形成する、各工程を有し、ハードマスク層６０のパターニングでは、基板１０とハードマスク層６０の界面が露出するように基板１０をオーバーエッチングし、保護膜７０の形成は、界面を覆うように形成する。 （もっと読む）

【課題】下電極をオーバーエッチングしたエッチング量を取得することができると共に、圧電素子の特性が均一化されたアクチュエータ装置の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】基板１０の一方面に下電極６０、圧電体層及び上電極８０を積層形成し、当該上電極８０及び圧電体層を同時にエッチングすることにより圧電素子３００を形成するアクチュエータ装置の製造方法であって、前記基板１０上に前記圧電素子３００の電極とは電気的に不連続で且つ前記下電極６０と同一層を有し、且つ前記上電極８０及び前記圧電体層が前記エッチングにより除去された前記下電極を有するテストパターン４００を形成する工程と、当該テストパターン４００の下電極電気抵抗値を測定することで前記圧電素子３００を形成した際の前記下電極６０のエッチング量を取得する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 流路形成基板とリザーバ形成基板とを強固に接合して、耐久性及び信頼性の向上した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と圧力発生室に連通する連通部１３とが形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられる圧電素子と、下地層及び金属層からなり圧電素子から引き出されるリード電極と、流路形成基板１０の圧電素子側の面に接着層３５を介して接合され連通部１３と連通してリザーバの一部を構成するリザーバ部３１を有するリザーバ形成基板３０とを具備し、流路形成基板１０の連通部３１の開口周縁部にはリード電極とは不連続の下地層９１及び金属層９２からなる不連続金属層１９０が設けられ、不連続金属層１９０は下地層９１の連通部１３側の端部が金属層９２の連通部１３側の端部よりも突出し、下地層９１の連通部側の端部上面が接着層３５と接合されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】可動イオンを含むガラス板とこれを挟む金属板とを容易に良好に陽極接合することができる陽極接合方法を提供する。
【解決手段】可動イオンを含むガラス板を金属板で挟む挟み工程と、前記ガラス板を前記金属板で挟んだ状態で加熱する加熱工程と、加熱した状態で、前記金属板の間に交流電圧を印加する印加工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 圧力発生室１２に保護膜５１が形成されている場合であっても、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接着強度を十分に確保する。
【解決手段】 エッチング面（粗面）とされた接着面５３に接着剤５２を直接介在させて壁部１１の接着面５３にノズルプレート２０を接合し、接着力を向上させて接着強度を十分に確保した状態で流路形成基板１０とノズルプレート２０を接着する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０の上方に形成され、短辺と長辺を有する圧電体層３０と、圧電体層３０の上方に形成された上部電極４０と、を含み、圧電体層３０の対向する短辺が、平面視において、下部電極２０より外側に位置し、下部電極２０の側面と圧電体層３０とが接する領域に空洞部５０を有する。 （もっと読む）

【課題】圧力緩衝用のダイアフラム部を設けたシリコン基材のダイアフラム部の欠陥検査を、効率よく、高精度かつ容易に行うことができる液滴吐出ヘッドのダイアフラム部の欠陥検出方法等を提供する。
【解決手段】表面に下地となる金属薄膜２５が形成されその上に樹脂薄膜２６が形成されてダイアフラム部２１０となる部分２１０ａを有するシリコン基材２００を欠陥検出用のエッチング液に浸漬する工程と、前記浸漬後に、金属薄膜２５のエッチング浸食の有無を検出して樹脂薄膜２６の欠陥部Ａの有無を検出する工程とを備えた。このとき、金属薄膜２５のエッチング浸食の有無を顕微鏡によって、透過光及び反射光を用いて行うことができる。上記の樹脂薄膜２６をパリレン薄膜とし、金属薄膜２５を白金薄膜またはクロム薄膜とする。欠陥検出用のエッチング液は、６０℃〜８０℃に加熱した塩酸と硝酸との混合液とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の特性低下を防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０上に下電極膜６０を成膜すると共に下電極膜を所定形状にパターニングする工程と、流路形成基板上に圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層上に導電性を有する材料からなる中間膜８５を形成する工程と、中間膜上に保護膜を形成し、この保護膜をマスクとして中間膜と共に圧電体層をエッチングすることにより所定形状にパターニングする工程と、保護膜を剥離する工程と、流路形成基板上に上電極膜８０を成膜すると共に上電極膜を所定形状にパターニングする工程とを具備する。 （もっと読む）