【課題】発熱素子上の保護層および耐キャビテーション膜の被覆性が良好で、耐久性に優れた液体吐出装置用の回路基板、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】電極材料層上に形成されたレジスト層を除去する工程において、少なくともフッ素を含むガスを用いたアッシングを行い、該アッシング後に、前記電極材料層表面に形成された、少なくとも前記レジスト層の灰化物もしくは前記電極材料層の化合物のいずれかを除去する。 （もっと読む）

【課題】ギャップの封止を複雑な工程を要することなく、安価な材料を用いて行なうようにして小型化及び低コスト化を実現するようにした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターは、固定電極３２及びリード部３３が形成された凹部３１を有する第１の基板（電極基板３０）と、固定電極３２にギャップ４０を隔てて対向し、固定電極３２との間で発生させた静電気力により動作する可動電極（振動板２２）及びリード部３３に対向し、凹部３１に挿入されることでギャップ４０を封止している封止薄膜部２５を有する第２の基板（キャビティ基板２０）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】耐久性が低下することなく、圧電素子の変位特性を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板上に形成された酸化膜５５と、該酸化膜５５上に形成された第１電極６０と、該第１電極６０上に形成された圧電体層７０と、該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に設けられた第２電極とを有する圧電素子と、を具備し、前記酸化膜５５と前記第１電極６０との間には、チタン又はチタンを主成分とする島状の応力緩和層５６を前記酸化膜５５の表面に亘って点在させる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの詰まりを抑制することができる液体噴射ヘッド及びこれを用いた信頼性の高い液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射する各ノズル２１に連通する複数の個別流路及び複数の個別流路が接続する共通流路１３が形成された流路形成基板１０と、個別流路に圧力を発生させる圧力発生素子とを備え、個別流路を区画する隔壁１１が共通流路に臨み、隔壁の共通流路側の端部１６が平面視において曲線形状となるように構成されている。液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】１枚の基板上を用いて複数種のサイズのチップを形成する。
【解決手段】インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、エネルギー発生素子を駆動する駆動回路と、エネルギー発生素子に電力を供給するための電極パッドと、を備える複数のブロック１０を基板１上に配列して形成するブロック形成工程を有する。ブロック１０における吐出口の配列方向の任意の位置で基板を切断することによって、吐出口の配列方向の長さが異なる複数種の記録ヘッド用基板を形成する切断工程を有する。 （もっと読む）

【課題】異物による不具合の発生と共に圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】
圧電体層７０が第１の電極６０と第２の電極８０とで挟まれた圧電体能動部３２０を有する圧電素子３００と、圧電素子３００を覆って設けられる被覆膜１００と、第２の電極８０に接続されるリード電極９０と、を具備し、被覆膜１００には、第圧電体能動部３２０に対向して設けられて第２の電極８０の表面を露出する露出孔１０１と、リード電極９０と第２の電極８０とを接続するためのコンタクトホール１０２と、が設けられていると共に、第２の電極８０には、露出孔１０１から連続する第１の凹部８１と、コンタクトホール１０２から連続する第２の凹部８２と、が設けられており、且つ第２の電極８０の第１の凹部８１に対応する部分の厚さｔ１が、第２の凹部８２に対応する部分の厚さｔ２よりも厚くなるようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ノズル形成部材の膨潤により基板とノズル形成部材の接地面に生じる剥離応力を緩和させることが可能な構造を有するインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】発明に係るインクジェット記録ヘッドは、ノズル形成部材の内面であってインク供給口直上にリブ状突起構造を有し、該リブ状突起構造は、前記ノズル形成部材の表面側から溝が形成されていることを特徴とする。このような構成とすることにより、インク等によるインク形成部材の膨潤によって生じる剥離応力を緩和し、基板とノズル形成部材の剥離を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】吐出液に対する保護性に優れ、且つ高いノズル孔精度を有するノズルプレートを歩留まり良く製造することが可能なノズルプレートの製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基板の一方の面側からドライエッチングを行い第１ノズル部となる凹部を形成，凹部の内壁を含むシリコン基板の一方の面全体に第１耐液保護膜と撥液層とを順次形成，一方の面に支持基板を貼り合わせ、その状態でシリコン基板を他方の面側から所望の厚さまで薄板化，他方の面側から第１ノズル部となる凹部の底面が開口するまでドライエッチングを施して第１ノズル部に連通する液滴供給側の第２ノズル部を形成，第１ノズル部となる凹部の底面に相当する部分に残る第１耐液保護膜及び撥液層と、第１ノズル部の内壁に残る撥液層とを除去，第２耐液保護膜をノズル孔の内壁を含む他方の面全体に形成，シリコン基板から支持基板を剥離する。 （もっと読む）

【課題】帯電した被印刷物の静電気がノズル基板に放電しても、ノズル基板のダメージを軽減させることが可能なノズル基板を提案する。
【解決手段】シリコン製のノズル基板１であって、ノズル基板１を貫通するノズル孔１０と、ノズル基板１の液滴吐出面１ａからノズル孔１０の内壁まで連続する液滴保護膜１１とを有したものにおいて、ノズル基板１の比抵抗が１００Ωｃｍ〜２０００Ωｃｍであり、ノズル基板１の液滴吐出面１ａに撥水膜１２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の製造中に、ノズル孔内に撥インク膜やプライマー液が入り込むのを抑制して、ノズル孔内壁の親水化をより向上させる。
【解決手段】シリコン基板１をドライエッチングしてノズル孔１０となる部分を形成する工程と、ノズル孔１０となる部分が形成されたシリコン基板１の表面に酸化膜１０２を形成する工程と、ノズル孔１０となる部分に溶解性樹脂２０１を充填する工程と、支持基板１０３をシリコン基板１のノズル孔１０部を加工した面に貼り合せる工程と、支持基板１０３を貼り合せた面と反対側の面からシリコン基板１を研削及び研磨して薄板化し、ノズル孔１０を貫通させる工程と、シリコン基板１の研削及び研磨した面に撥インク膜１２を成膜する工程と、支持基板１０３を剥離し、シリコン基板１の撥インク膜１２成膜面をプライマー処理する工程と、溶解性樹脂２０１をノズル孔１０から除去する工程と、を備えたノズル基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】製造中にシリコン基板が割れたり欠けたりすることを低減する。
【解決手段】シリコン基板１の片側面をエッチングして、ノズル孔１０、位置決め用のピンアライメント穴１３ａ及びトラック穴１３ｂ、外周部１４となる部分を形成する工程と、シリコン基板１に酸化膜１１ａを形成する工程と、ピンアライメント穴１３ａ、トラック穴１３ｂ及び外周部１４の部分の酸化膜１１ａを除去する工程と、エッチングによる加工面と反対側の面からシリコン基板１を研磨及び研削して、ノズル孔１０、ピンアライメント穴１３ａ、トラック穴１３ｂ及び外周部１４を開口する工程とを備える。その際の研磨は、シリコン研磨用スラリーと酸化膜研磨用スラリーを混合した混合スラリーを用いて、ＣＭＰ加工により行う。 （もっと読む）

【課題】ワイピング性能を損なうことなく、ノズル穴のインクを吐出する側の開口の周囲に、記録媒体との接触を回避するための突出部を、簡単に形成する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル穴４３が未加工のノズルプレート基材６１に対し、ノズル穴４３の液滴を吐出する側の開口４３ａが形成されるべきノズルプレ―ト基材６１の表面に突出部５１を形成する。ノズルプレート基材６１の前記液滴を吐出する側の面であって開口４３ａとなる部分付近に対し、ポリイミド樹脂で構成される液滴を付着させる。それから、その液滴を硬化させることにより突出部５１を開口４３ａとなる部分付近に対し形成し、前記液滴を吐出する側の面に撥液膜７３を形成する。その後、前記液滴を吐出する側の面にノズル穴４３を形成してノズル面とする。 （もっと読む）

【課題】変位特性を低下させることなくコストを低減することができるアクチュエーター装置を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備し、圧電素子が、第一電極６０と、第一電極上に形成された圧電体層７０と、圧電体層の第一電極とは反対側に形成された第二電極８０とを具備し、第一電極が、圧電体層側から、導電性酸化物層６２とクロムを主成分とするクロム層６１とがこの順で積層されてなる。 （もっと読む）

【課題】吐出口開口とエネルギー発生素子との距離の均一化が図られた液体吐出ヘッドを簡便に精度よく得られる製造方法を提供すること。
【解決手段】同一基板上に液体吐出ヘッドの複数を形成してから各液体吐出ヘッドを分離することによる液体吐出ヘッドの製造方法において、基板上に各液体吐出ヘッドの流路の側壁となる層と基板の周縁領域にダミー層とを設け、研磨処理により各側壁の高さを調整する際にダミー層が研磨されることで各側壁の高さの均一性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の変位低下が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに変位低下を抑制することができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する液体流路が設けられた流路形成基板上に、第一電極と、鉛、ジルコニウム、及びチタンを少なくとも含有する圧電体膜を複数層積層してなる圧電体層と、第二電極とからなる圧電素子を備え、前記圧電体層の表面をＸ線回折広角法により測定した（１００）面半価幅が０．２６２度以下であると共に、各圧電体膜の焼成後の膜厚が１４０ｎｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】メニスカスが安定して良好な吐出性能が得られ、また、ノズル径精度の高いノズル基板を製造することが可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】吐出方向の先端側から後端側に向けて開口断面が段階的に大きくなる２段のノズル孔１１を有するノズル基板１の製造方法であって、ノズル孔１１の各段毎に基板を分けた２層基板構造とし、各層基板１ａ，１ｂのそれぞれに独立して第１ノズル部１１ａ又は第２ノズル部１１ｂを形成すると共に、撥液膜１０５又は親液膜１２３を必要箇所に形成した後、両基板１ａ，１ｂを接合する。 （もっと読む）

【課題】振動板が周辺液室からの残留振動の伝播により自由振動を起こす薄膜タイプの圧電素子構成の液滴吐出ヘッドにおいて、異常吐出を防止するための制御方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔２０を有するノズル板２と、ノズル孔２０のそれぞれに連通するとともに、共通液室を介して連通された複数の吐出室１４を有する隔壁基板１と、吐出室１４の少なくとも一方の壁を構成する振動板Ａと、振動板Ａの一面に設けた電極８に密接し、かつ複数の吐出室に対応する複数のチャネルに分割され、圧電変位して振動板Ａを変位させる圧電素子Ｂと、を備えた液滴ヘッドの制御方法において、複数のノズル孔２０から液滴を吐出するとき、駆動チャネルを駆動させた際に発生した振動板Ａの自由振動により非駆動チャネルに対応する液室が拡張しないように保持する電位を非駆動チャネルに入力するように電圧源Ｖｓを制御装置Ｃｔｒによって制御する。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドの製造方法において、流路と基板との位置精度が良好で、かつ形状精度の高い吐出口を形成する。
【解決手段】 ｉ線と、第１の層９の感光波長に吸収を有する第２の層１０ａをマスクとして第１の層９をパターニングして流路のパターン９ａを形成する工程と、流路のパターン９ａおよび前記第２の層１０ａを被覆するように、流路壁部材となる被覆層３を設ける工程と、前記被覆層に対して第２の層１０ａが吸収可能な波長の光による露光を含むパターニングを行い吐出口４を形成する工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】より簡便な方法で、吐出性能の高いノズルとなる穴を形成することができるノズル基板等を得る。
【解決手段】液体を吐出するためのノズル３１を備えるノズル基板３０において、ノズル３１は、ノズル基板３０に形成され、液体を吐出させる方向に向かって孔の口径を小さくした多段状のノズル孔（第１ノズル５８、第２ノズル５９）と、ノズル３１をテーパー形状にするため、ノズル孔（第１ノズル５８、第２ノズル５９）の段差部分に、液体に対する耐性を有する材料により形成した斜面部６０Ａとを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 ノズル配置の高密度化と、圧電アクチュエータによる振動板の変位量の増大とを同時に実現することが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】 圧電層１１０の中心部（圧力室１０６の中心部と重なる領域）には中央電極１１６が形成されている。中央電極１１６は、環状の上部電極１１４内に接しないように形成されている。中央電極１１６は、圧電層１１０の開口部１１０Ｈを通じて、下部電極１０８と電気的に接続されており、下部電極１０８を介して接地されている。上部電極１１４に負の電荷が印加されると、圧電層１１０は、下部電極１０８から上部電極１１４に向かう方向に分極するとともに、中央電極１１６から上部電極１１４に向かう方向に分極する。このため、上部電極１１４と中央電極１１６との間に縦方向の歪み（縦方向の変位）が発生するので、振動板１０４の撓み変位量が増大する。 （もっと読む）