【課題】 ワイプ後にノズル面上に残存してしまうインクを抑制する。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルが複数配列されたノズル面をなす第一層と、第一層におけるノズル面とは反対側の面に積層された第二層とを備えている。第二層は、第一層から突出した張り出し部を有し、第一層における張り出し部に対向する端部には、張り出し部側が開口となる切欠が形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明はマイクロエジェクター及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるマイクロエジェクターは、チャンバ内の上部空間に配置される隔壁部と前記チャンバ内の下部空間に配置され前記隔壁部と共に流体の吐出方向と同一方向に流路を形成する突出部とを含む流路プレートと、前記流路プレートの上部の前記チャンバに対応するように形成され、前記チャンバからノズルへ流体吐出の駆動力を提供するアクチュエータと、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 配線基板の幅を縮小した際に、配線基板端面と記録素子基板側面との間隔が狭くなった場合においても安定的な封止材の注入が可能な液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】 記録素子基板と、エネルギー発生素子に電気的に接続された配線を備える配線基板と、記録素子基板と配線基板とを支持するための支持基板と、記録素子基板の側端部と配線基板上に設けられるシート部材の側端部とが隣接する様に、配線基板上に設けられたシート部材と、記録素子基板の側端部と配線基板の側端部およびシート部材の側端部との間を埋める様に設けられた封止材と、を具備する液体吐出ヘッドであって、配線基板の側端部と記録素子基板の側端部との間隔より、シート部材の側端部と記録素子基板の側端部との間隔が大きいことを特徴する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極と、前記第１電極の上に形成され、膜厚が３μｍ以下の圧電体層と、前記圧電体層の上に形成された第２電極と、を含む圧電素子であって、前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸バリウムを主成分とし、チタンおよびジルコニウムの和に対するバリウムのモル比Ｘが、１．１５≦Ｘ≦１．３である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、リーク電流の発生を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上方に、焼成によりビスマス、鉄、マンガン、カリウム、及びチタンを含む複合酸化物を形成する有機金属化合物と、ポリビニルピロリドンと、を含む塗布液７１を塗布する工程と、塗布液７１を焼成し、ペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７２を形成する工程と、圧電体層７２の上方に第２電極を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成する工程と、絶縁体膜５５上に反応性スパッタリング法により酸化チタンからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にチタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズル孔１１を備えるノズルプレート１０と、封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これら接合膜１５、２５は、それぞれ、エポキシ変性シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥および／または硬化させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】１．０×１０^―１Ａ／ｃｍ^２以上のリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、第１電極６０と第２電極８０とに挟持された圧電体層７０を備え、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも１種を含む拡散抑制層６２を形成する工程を含む第１電極６０を形成する第１電極形成工程と、第１電極６０上に、チタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する圧電体層形成工程と圧電体層７０上に、第２電極８０を形成する第２電極形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電特性や誘電性の向上を図り、これらの基板面内での均一性に優れた圧電体素子、その製造方法、及び圧電体デバイスを提供する。
【解決手段】圧電体素子は、表面に酸化膜が形成された基板１と、密着層２と、下部電極層３と、（Ｎａ_ｘＫ_ｙＬｉ_ｚ）ＮｂＯ_３で表される圧電薄膜４を有し、圧電薄膜４が、擬立方晶、立方晶、正方晶、斜方晶、六方晶、単斜晶、三斜晶、もしくは斜方面体の結晶構造、または少なくとも一つの結晶構造が共存した状態を有しており、ある特定の軸に優先的に配向しており、圧電薄膜４の基板面内の格子面間隔ａと基板面外の基板法線方向の格子面間隔ｃとの結晶格子歪量ｃ／ａ、及び圧電定数、比誘電率、誘電損失のうち少なくとも一つの物理量の相対標準偏差が、ｃ／ａでは０．２％未満、圧電定数では４．３％以下、比誘電率では３．２％以下、あるいは誘電損失では１０．１％以下である。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットヘッドアセンブリー及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドアセンブリーは、インク流路が形成されるインクジェットヘッドプレートと、上記インクジェットヘッドプレート内の圧力チャンバに対応するように形成され、上記圧力チャンバからノズルへとインクを吐出するための駆動力を提供する圧電アクチュエーターと、上記インクジェットヘッドプレート上に積層され、外部から流入されるインクを上記インクジェットヘッドプレートの流入口に移動させる流路が形成されるパッケージ部と、上記パッケージ部に貫通形成されるビアに充填され、上記圧電アクチュエーターと電気的に接続する電気接続部を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】素子基板や配線部材の大きさや形状によらず、接着剤の基準プレートへの塗布時間が短縮される。
【解決手段】基準プレート１と、インクを吐出する素子基板２と、素子基板２への電気信号経路を形成する配線部材３と、を備え、素子基板２及び配線部材３が接着剤７で基準プレート１に固着されているインクジェットプリントヘッドの製造方法である。基準プレート１に接着剤７を塗布するためのローラ１４を用意する工程と、素子基板２及び配線部材３を基準プレート１へ固着するための接着剤７をローラ１４に付着させる付着工程と、基準プレート１を、ローラ１４に接触させながらローラ１４の回転軸と交わる方向に沿って移動させて基準プレート１に接着剤７を塗布する塗布工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】引出電極間の短絡による圧電アクチュエーターの駆動不良の減少した圧電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子７３の形成工程後、エッチング工程において、後に形成される引出電極９０間の振動板５３の少なくとも一部を、エッチング残り上電極膜８３が除去され、振動板５３が除去されない条件でエッチングする。圧電素子形成工程の際に、エッチング残り上電極膜８３が引出電極９０間に生じても、エッチング残り上電極膜８３がエッチングによって分断され、エッチング残り上電極膜８３に形成される引出電極９０間の絶縁を保つことができる。したがって、引出電極９０間の短絡によって生じる圧電アクチュエーターの駆動不良が減少した圧電アクチュエーターの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドを容易に、かつ高精度に位置決めできる液体噴射ヘッドユニット
の位置決め機構、液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドユニットの
製造方法を提供する。
【解決手段】
シリコン単結晶基板からなる流路形成基板１２の側面に、外側に突出する凸部である第１
の位置決め部１１ｘ、１１ｙをフォトリソグラフィー法により設け、保持部材４１の底部
に、第１の位置決め部１１ｘ、１１ｙに当接される円柱状の第２の位置決め部４２ｘ、４
２ｙを設け、第２の位置決め部４２ｘ、４２ｙに第１の位置決め部１１ｘ、１１ｙが当接
された記録ヘッド１０同士の相対位置が所定の配置となるように第２の位置決め部４２ｘ
、４２ｙを保持部材４１に設ける。 （もっと読む）

【課題】ノズル内のメニスカス位置を精度よく制御することにより、インク液滴の吐出性能の向上を図るノズルプレートの製造方法を提供することである。
【解決手段】液体が吐出するノズルを有するノズルプレートにおいて、前記ノズルの内面は、前記液体が吐出する吐出口から順に、親液性を有する第１親液面、撥液性を有する撥液面、親液性を有する第２親液面が形成されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２１に連通する圧力発生室１１に液体を供給するマニホールド１３を複数有するマニホールド形成基板１０と、圧力発生室１１内の液体に圧力変化を生じさせる圧電素子３５と、マニホールド１３に対向する領域に設けられてマニホールド１３の液体の圧力変動を吸収する振動部１６を有する封止基板１５と、圧電素子３５を収容する圧電素子収容部４３を有するヘッドケース４０と、振動部１６上に設けられる空間部６０と、大気開放口に連通する大気開放路４４と、を具備し、一の空間部６０Ｂは大気開放路４４に連通し、他の空間部６０Ａは一の空間部６０Ｂを介して大気開放路４４に連通している。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の結晶性を向上し良好な変位特性が安定して得られる圧電素子を備えた液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の形成方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウエハー１１０の表面に第１の電極膜６０を形成する工程と、第１の電極膜上に第１の強誘電体膜７１ａを形成する工程と、この第１の強誘電体膜７１ａ上に形成したレジスト膜をマスクとして第１の強誘電体膜７１ａ及び第１の電極膜６０をエッチングする工程と、酸素プラズマアッシングによってレジスト膜を除去する第１の除去工程と、保護用レジスト膜を形成する工程と、最終的に有機剥離液で処理することによりレジスト膜及び保護用レジスト膜を除去する第２の除去工程と、残りの強誘電体膜を形成する工程と、強誘電体膜上に第２の電極膜を形成後、第２の電極膜及び強誘電体膜をパターニングして圧電素子を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と前記圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物である液体噴射ヘッド１とする。 （もっと読む）

【課題】接着剤溜まりの形成を抑制して歩留まりの向上を図ることができる液体噴射ヘッ
ドの製造方法を提供する。
【解決手段】第１のウエハー１１０上に圧力発生素子３００を形成する工程と、第２のウ
エハー１３０に第１のウエハー１１０を接着剤３５によって接合して接合体２５０を形成
する工程と、第１のウエハー１１０をウェットエッチングすることにより圧力発生室１２
等の流路を形成する工程と、接合体２５０をサイズの複数のチップに分割する工程と、を
備えると共に、接合体２５０を形成する工程の前に、第１又は第２のウエハー１１０，１
３０の少なくとも何れか一方の他方との接合面の外周部に接着剤３５の余剰分が流れ込む
凹部を形成する工程を備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】液体による液体流路の壁面の浸食を抑制し、液滴の噴射特性を長期に亘って良好に維持することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】振動板５０の流路形成基板１０側の最表層が、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５１で構成されていると共に、流路形成基板１０の表面には、耐液体性を有する材料からなる保護膜２０が液体流路の壁面を覆って設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】ヘッド基板に反りがある場合でも、各記録素子基板の吐出特性に差が生じることなく、高品位な記録が可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、ヘッド基板の主面の高さを少なくとも３つの測定点で測定する工程（Ｓ１０１）と、測定点のうち、主面上の２点を通る基準面を設定する工程（Ｓ１０３）とを有する。また、基準面内に含まれる２点以外の測定点の基準面からの距離をそれぞれ求める工程（Ｓ１０４）を有する。そして、記録素子基板をヘッド基板に設けられた複数の配置部にそれぞれ配置し、基準面から所定の距離離れた位置に該基準面に平行に記録媒体を配置したと想定し、着弾のずれ量を算出する工程（Ｓ１０６）を有する。さらに、着弾のずれ量に応じて各配置部の位置を補正して、各記録素子基板のヘッド基板上での配置位置を決定する工程（Ｓ１０７）とを少なくとも含む。 （もっと読む）