【課題】圧電体層の配向を容易に制御できる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上方に第１電極１０を形成する工程と、第１電極１０の上方に前駆体溶液を塗布する工程と、前駆体溶液を乾燥および脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層にマイクロ波を照射して前記前駆体層を結晶化し、圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上方に第２電極３０を形成する工程と、を含み、圧電体層２０は、鉛、ジルコニウム、チタンおよびニオブを含む酸化物である。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板１枚あたりの取り数を多くでき、もにコストダウンを図ることのできるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドは、ノズル１ａが形成されたノズル基板１と、ノズル基板１と接合されかつ側壁と振動板３とにより区切られた液室２ａとインク導入路２ｂとが形成された液室基板２と、振動板３と一体的に形成されて振動板３を振動させることにより液室に発生した圧力によりノズル１ａからインクを吐出させる電気機械変換素子と、振動板３を介して液室基板２に接合されかつインク供給溝４ａを有する液体供給基板４と、電気機械変換素子に配線部材を介して接合されかつ電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材とを備え、液体供給基板４にインク供給溝４ａを加工形成する際に生じたテーパ状開口の開口面積又は開口幅が小さい面が液室基板２のインク導入路１ｂに対向させて接合されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッドを高精度に位置決め可能とし、１つのヘッド交換でも高い位置精度を再現できる画像形成装置の提供。
【解決手段】各ヘッド２のフレーム部材１１７の外面には、ノズル配列方向の位置決めを行う２つの第１の位置決め面２１ａ、２１ｂが、ノズル配列方向と直交する方向の位置決めを行う第２の位置決め面２２が、滴吐出方向の位置決めを行う３つの第３の位置決め面２３ａ〜２３ｃが、それぞれヘッド２の完成後に切削加工されて設けられ、各ヘッド２の第１の位置決め面２１ａ、２１ｂと端部のノズル１０４ａまでの距離が同じであり、第２の位置決め面２２と端部のノズル１０４ａまでの距離が同じであり、第３の位置決め面２３ａ〜２３ｃとノズル面までの距離が同じである。 （もっと読む）

【課題】第１の基板と第２の基板の接合面の耐エッチング性を高めて、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】第１の基板３のノズル孔２に連通する加圧液室６と該加圧液室６へインクを供給するための共通液室４を有し、加圧液室６に充填されたインクに対してノズル孔２から吐出させるための液滴吐出エネルギーを発生させる圧電体素子７、振動板８が設けられた第２の基板９と、外部からインクが供給される液体供給貫通口１０に連通するとともに、共通液室４とも連通している共通液体供給流路１１を有する第３の基板１２と、が積層されるように接合された液滴吐出ヘッド１において、接合された第２の基板９と第３の基板１２の、少なくとも連通している共通液室４と共通液体供給流路１１の内壁側の接合面Ｃを含む範囲を覆うようにして保護層１９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】成膜した状態で引張応力膜となっている圧電体を用いた圧電アクチュエータの変位効率を向上させる。
【解決手段】空間部を有する基板の一方の面に設けられた弾性膜と、前記弾性膜の前記空間部上に設けられた圧電素子とを備え、前記圧電素子に電圧が印加されて撓み振動することにより、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、前記弾性膜は、前記圧電素子が形成される部分に引張応力を有し、前記圧電素子が形成される周辺部分に圧縮応力を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】感度及び解像性に優れるポジ型レジストをインクジェットヘッドの製造に適用し、インク流路及びインク吐出口の変形、レジストの残存を生じないインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インク流路パターンを形成する工程が、基板上に少なくともフェノール性水酸基を有する樹脂を含有するポジ型レジストを塗布してポジ型レジスト層を形成する工程と、ポジ型レジスト層をパターニングして不溶化処理前のインク流路パターンを形成する工程と、インク流路パターンの上に少なくともビニルエーテル基を２つ以上有する化合物を含有するコーティング剤を塗布する工程と、コーティング剤が塗布されたインク流路パターンを加熱処理して表面が不溶化処理されたインク流路パターンを形成する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ノズル密度が向上し、かつインクを良好に吐出させることができるインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上の少なくとも複数の流路１５同士を仕切る部分である流路の側壁となる部位に第１の流路形成部材６を形成する。流路１５の型となるパターン（不図示）であって、基板１と第１の流路形成部材６の流路１５の側壁となる部分との上にまたがって形成されており、流路１５の側壁となる部分における一部を被覆し、他の部分を被覆していないパターン（不図示）を形成する。第１の流路形成部材６とパターン（不図示）との上に、第１の流路形成部材６に対応する材料により構成される第２の流路形成部材７を形成する。第２の流路形成部材７に吐出口４を形成する。パターン（不図示）を除去することにより、流路１５を形成する。第１の流路形成部材と第２の流路形成部材とは、ともに感光性樹脂を含有する。 （もっと読む）

【課題】共通液室基板の剛性が高く、割れの発生が低減され、生産性が高く、かつ高い歩留まりで製作することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔３０が形成されたノズル基板３と、
ノズル孔３０に対応する複数の圧力室２１、及び振動板２０を壁面の一部とする流路の水平面上に形成された共通電極２３と、圧電素子２５と、個別電極２４とからなるアクチュエータ２６が積層された個別液室基板２と、
ドライバＩＣ４を設置保護する空間、アクチュエータ２６の動作領域を確保する振動個室８、及び圧力室２１に液滴を供給する共通液室１０が形成された共通液室基板１とを備え、共通液室基板１は、共通液室１０の上部にノズル配列方向と直交する方向に梁状部７を有するとともに、両側から異なるパターンでエッチングされたときのパターン重複部分を開口させてなる液滴供給貫通孔６を複数有する液滴吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置において液体をガス抜きするのに用いられる方法および物品を提供する。
【解決手段】ノズル開口部から液滴を吐出するために中で流体が加圧される流路であって、該流路の少なくとも一部分がシリコン材料により画成されている流路、および、流体貯留領域４７と真空領域４９との間に少なくとも１つの孔６０を有する仕切り５０を備えた脱気器４５であって、シリコン材料を含む脱気器、を含む液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】 信頼性が高く、識別が容易で、液体吐出ヘッドを簡単な構成で提供することを目的の一つとする。
【解決手段】 エネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、吐出口に連通する流路の内壁を備えた光透過性の流路壁部材と、基板の表面と流路壁部材との間に基板と流路壁部材とに接し、流路壁部材の光の屈折率と異なる光の屈折率を有する中間層と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記中間層は、前記吐出口から前記基板に向かう方向に見て、記号の輪郭の形状を有し、前記表面に対して鈍角である第１の角度を成す第１の外端面と、前記流路と対向し、前記表面に対して前記第１の角度より小さい第２の角度を成す第２の外端面と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、露光量によって発泡室の形状が変動せず、流路形成部材を十分な露光量で硬化させることができ、流路形成部材が耐久性能の高い液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、前記液体を吐出する吐出口と、前記吐出口に連通する発泡室と、を前記エネルギー発生素子の上側にそれぞれ有する流路形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記流路形成部材を構成する材料としてネガ型感光性樹脂を用い、前記発泡室の側壁を構成する第一の像を形成するための第一の露光処理と、前記吐出口の側壁を構成する第二の像を形成するための第二の露光処理とを、前記第一の像の側壁と前記第二の像の側壁とが斜めに交差するように行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】生産性の高いインクジェットヘッドと硬化性の高いインク組成物とを用いた場合であっても、高い吐出安定性を示し、高精細な画像が得られるインクジェット記録方法、及び、該インクジェット記録方法により記録された印刷物を提供すること。
【解決手段】インク吐出側の面が親インク処理されたノズルプレートを有するインクジェットヘッドを用いて、重合性化合物及び重合開始剤を含み、かつ表面張力が３４．０〜４０．０ｍＮ／ｍの範囲内であるインク組成物を吐出し、被記録媒体上に画像を形成する画像形成工程、及び、吐出されたインク組成物に活性放射線を照射してインク組成物を硬化する硬化工程、を含むことを特徴とするインクジェット記録方法、並びに、前記インクジェット記録方法により記録された印刷物。 （もっと読む）

【課題】封止部材とデバイス本体との接着力を向上させ、応力による封止部材のクラックや剥離、及び高湿環境での封止部材の剥離等の発生を抑制することができるデバイス、液滴吐出ヘッド、及びデバイスの封止方法を提供する。
【解決手段】プラスチックで形成された第１構成部材２４Ａと、無機材料で形成された第２構成部材２４Ｂとを備えたヘッド本体２４の凹部２８を封止部材３０で封止する。封止部材３０の封止方法は、凹部２８の表面に第１樹脂材料３２を塗布する工程と、第１樹脂材料３２が硬化した後、第１樹脂材料３２の表面側に第２樹脂材料３４を塗布して充填する工程と、を備え、第１樹脂材料３２とヘッド本体２４との接着せん断強度、及び第１樹脂材料３２と第２樹脂材料３４との接着せん断強度が、第２樹脂材料３４とヘッド本体２４との接着せん断強度より大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】パターン化した圧電素子を提供し、それを使用した液滴吐出ヘッド並びにインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】基板上に形成する圧電体素子の製造装置は、インクジェット法による機能性インクを基板上に任意のパターンで塗布する手段と、短波長レーザーによる機能性インクの脱脂手段と、長波長のレーザーによる機能性インクの加熱および結晶化手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】変位低下を抑えつつ、基板と下電極との密着性が向上し、安定した駆動の行なえる圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】チタン膜６１と、チタン膜６１上に形成され、膜厚の比が１．５以下の白金膜６２とが、チタンと白金と酸素とを含むＰＺＴ前駆体膜７１とともに焼成される。チタン膜６１の膜厚を４０ｎｍ以下とすることで、ＰＺＴ前駆体膜７１との界面への焼成によるチタンの拡散を抑えることができ、酸化チタンの形成を抑えることができる。また、白金膜６２の膜厚に応じてチタン膜６１の膜厚の下限が決まる。したがって、変位低下を抑えつつ、弾性膜５０および絶縁体膜５５と下電極６０との密着性を向上でき、安定した駆動が行なえる圧電アクチュエーター３１０および圧電アクチュエーター３１０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 封止材の応力によって記録素子基板に作用する外力を低減し、且つワイピングによる記録品位の低下を抑制する。
【解決手段】 液体吐出装置４００は、液体吐出ヘッドＨ１０００と、第２の凹部Ｈ１００２から第１の凹部Ｈ１００１の方向へ記録素子基板Ｈ１１０１の吐出口面Ｈ１００９に対して相対的に移動することで吐出口面Ｈ１１０９をワイピングするワイピング部材１０を有する。第１の凹部Ｈ１００１及び第２の凹部Ｈ１００２には封止材が配されており、第１の凹部Ｈ１００１には、第２の凹部Ｈ１００２と比べて、液体を吐出する方向に関して高い位置まで封止材が配されている。 （もっと読む）

【課題】クラックやアブレーションにより劣化が生じることを低減させる。
【解決手段】基板上の薄膜形成において、薄膜形成にかかるインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面の裏面に、塗布された領域よりも照射範囲を大きくしたレーザ光を照射し、そのインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面に、塗布された領域に対応した範囲にレーザ光を照射してインク滴を加熱して焼成させる。 （もっと読む）

【課題】 微細な構造体を高精度に、製造工程を簡略化して、歩留まり良く製造する方法を提供すること。
【解決手段】 ２８０ｎｍ以上の波長の光に対してポジ型の感光性を示すポジ型感光性樹脂からなる第一の樹脂層と、アントラセン化合物を含有する第二の樹脂層と、がこの順に積層された基板を用意する工程と、前記第二の樹脂層の一部を３００ｎｍ以上の波長の光で露光する工程と、前記第二の樹脂層の未露光部をマスクとして利用し、２８０ｎｍ以上の波長の光を前記第二の樹脂層の露光が行われた部分を透過させて前記第一の樹脂層に照射することで、前記第一の樹脂層を露光する工程と、前記第一の樹脂層の露光が行われた部分を除去して構造体を形成する工程と、をこの順に有する構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】安定した性能のインク吐出ヘッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】犠牲層形成工程の後に、犠牲層５４の上面が平坦になるように、流路壁５３の上端面から離間する位置まで犠牲層５４を削除し、基板５１を犠牲層溶解液に浸漬させて、流路壁５３の上端面が露出するまで、犠牲層５４を溶解させて、流路壁５３の上端面及び犠牲層５４上面を平坦面にする。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく、圧電体の配向性が高い圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、鉄酸マンガン酸ビスマスランタンを主成分とする圧電体を含む圧電素子の製造方法であって、第１電極を形成する第１電極形成工程と、第１電極の上方に、前駆体を塗布する塗布工程と、前駆体を、１５０℃以上２００℃以下の温度で熱処理する第１熱処理工程と、第１熱処理工程の後に、前駆体を、３５０℃以上４５０℃以下の温度で熱処理する第２熱処理工程と、第２熱処理工程の後に、前駆体を焼成することにより結晶化させて、圧電体を形成する焼成工程と、圧電体の上方に、第２電極を形成する第２電極形成工程と、を含む。 （もっと読む）