【課題】環境負荷が小さく、信頼性が向上した液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド６００は、酸化シリコン層１と、前記酸化シリコン層１の上に形成された中間層２と、前記中間層２の上に形成された第１電極１０と、前記中間層２の上に形成された圧電体層２０と、前記圧電体層２０の上に形成された第２電極３０と、ノズル孔６１２に連通する圧力発生室６２２と、を含み、前記圧電体層２０は、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記複合酸化物は、少なくともビスマスおよび鉄を含み、前記中間層２は、酸化マグネシウムおよび／または酸化アルミニウムを含む。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の繰り返し印加に対して特性劣化の小さな圧電アクチュエータ、該圧電アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、基板３０、振動層膜４０、圧電体膜６０、二つの電極膜５０、７０を有する圧電アクチュエータにおいて、前記圧電体膜に接触して、Ｔｉ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏから選ばれる少なくとも１つの金属元素、酸素元素および炭素元素から構成されるバリア層１０、１１を設ける。 （もっと読む）

【課題】リーク電流を抑制し、絶縁性を向上させることができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金を含む第１電極６０と、第１電極上６０に設けられカリウム、ナトリウム、ニオブ、ビスマス及び鉄を含む酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０上に形成された第２電極８０とを備えた圧電素子３００とを具備する液体噴射ヘッドＩとする。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生や成長が抑制された圧電体層を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０は、Ｂｉ，Ｆｅ，Ｂａ，Ｔｉ及びＣｏを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、Ｃｏと、Ｃｏ及びＦｅの総量とのモル比であるＣｏ／（Ｃｏ＋Ｆｅ）が、０．０２以上０．０７以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】ゴミの目詰まりを抑制可能な液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】表面に開口し液体を吐出する吐出口１４と、吐出口１４に連通する液体流路９と、を構成する流路形成部材１１と、表面と反対側の裏面に開口し、裏面側から表面側に向かって狭くなる第１の斜面を有する液体室１６と、第１の斜面に開口し、液体流路９と液体室１６とを繋ぐ液体経路５と、液体室１６の底部に設けられる第１の凹部１７と、を有する基板１と、を備える液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】物流時や、装置にインクを収納したインクカートリッジが装着されて長期間保持されたとしても、絶縁性保護層の厚みの減少が極めて少なく、インクの保存安定性に優れ、画像濃度が高い記録物が得られるインクジェット用インクを提供すること。
【解決手段】吐出口からインクを吐出するための熱エネルギーを発生する発熱部が設けられ、該発熱部が該インクと接する面に、珪素の酸化物及び珪素の窒化物からなる群から選ばれる少なくとも１種を含有してなる保護層を有するサーマル方式のインクジェット記録ヘッドから吐出されるためのインクであって、粒子表面に結合している官能基が、その構造内に２つのホスホン酸基を少なくとも有する自己分散顔料を含有し、そのｐＨが６未満であることを特徴とするインク。 （もっと読む）

【課題】下電極の剥がれを抑制し、かつ、高い圧電性をもつ圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュールは、複合基板１と配線基板２との間の空間のうち、平面的な広がりにおいて、絶縁性のスペーサ層ＬＢが、圧電素子層ＬＰが存在しない領域ＮＡと下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧとの双方を覆いつつも圧電素子層ＬＰから離れた範囲でダイヤフラム上に形成され、下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧを固定しつつ複合基板１と配線基板２との上下間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】インク保護膜が剥離しにくく、接着不良を起こしにくいシリコンノズル基板を得る。
【解決手段】シリコン基板４４を貫通させて形成したノズル孔２１を有し、吐出面１５側からノズル孔２１を介してインクの液滴を吐出するシリコンノズル基板１であって、吐出面１５は平面視でノズル孔２１を含み表面に撥水膜４３が形成されている撥水領域１１と撥水領域１１を囲む環状の領域である非撥水領域１２とに区画されており、撥水領域１１には撥水膜４３とシリコン基板４４との間にインク保護膜４１が形成されており、非撥水領域１２にはインク保護膜４１が薄く形成されているか又は全く形成されておらず、シリコン基板４４の端面１３にはインク保護膜４１が全く形成されていないことを特徴とするシリコンノズル基板１。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きい圧電体膜を製造できる圧電体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂｉ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｂａ及びＴｉを含有し、Ｂｉと、Ｆｅ及びＭｎの総量とのモル比であるＢｉ／（Ｆｅ＋Ｍｎ）が、１．０２以上１．０８以下である圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を加熱して結晶化する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出安定性を維持することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル孔を有するノズルプレートと、ノズル孔に流路を介して繋がる圧力室と、圧力室内の液体に圧力を加える駆動素子と、を備える圧力発生素子と、からなり、ノズルプレートの液体を吐出する吐出面側は凹凸構造３０を有し、凹凸構造３０の凸部３１先端側は撥水性を有し、凹部３２の側面および底面は親水性を有し、凹部のワイピング方向の長さが１００μｍ以下であることを特徴とするインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって高精度で液滴を吐出できる吐出ヘッド及び吐出装置、その吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル孔２２はシリコン基板やガラス基板等の無機基板に形成されるので、位置精度が高いだけではなく、耐久性も高い。吐出ヘッド２０の吐出口２３が位置する表面には、ダイヤモンド薄膜３２が形成されているので、吐出ヘッド２０の耐久性が高いだけでなく、撥液性も高い。吐出液が吐出ヘッド２０表面で広がらないので、吐出液の吐出精度が高い。 （もっと読む）

【課題】各ノズルから吐出される液滴の吐出方向のばらつきを抑制することにより、印刷
品質を向上させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル２１と、ノズル２１に連通する圧力発生室を含む個別
流路を備える液体流路と、圧力発生室に圧力変化を生じさせてノズル２１から液滴を吐出
させる圧電素子と、を具備し、ノズル２１は圧力発生室に対して複数設けられ、１つの個
別流路内において隣り合うノズル２１の開口の間の領域には、前記圧力発生室側に突出す
る凸部２２の最大突出部２３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】チャック用フィルムを形成する際に生じる空隙を低減して減圧下での該フィルムの剥がれを低減するとともに安定的な静電チャック行う際に十分な平坦性を該フィルムの表面に形成する保護層付き基板の製造方法及び基板加工方法を提供する。
【解決手段】複数の構造体がそれぞれ間隔をあけて表面に配された基板１１に保護層１６を形成する保護層付き基板の製造方法であって、保護層は樹脂層１４とチャック用フィルム１５とから構成され（１）各構造体間、各構造体表面、および、複数の構造体を有する基板面に、樹脂層を形成する工程と（２）樹脂層上にチャック用フィルムを形成し、保護層を形成する工程とを少なくとも含むことを特徴とする保護層付き基板の製造方法。および保護層付き基板を用いた基板加工方法。 （もっと読む）

【課題】吐出品質と信頼性が向上したシリコンノズルプレートを得る。
【解決手段】第１の酸化シリコン膜４１を挟んで貼り合されたシリコン支持基板４６とシリコン層４８とを含むＳＯＩ基板４０のシリコン層４８及び第１の酸化シリコン膜４１をエッチングしてシリコン支持基板４６に達するノズル孔２１を形成する第１工程と、ＳＯＩ基板４０を加熱して、ノズル孔２１の内壁面１４を含むシリコン層４８の表面に第２の酸化シリコン膜４２を形成し、かつ第１工程により露出したシリコン支持基板４６の表面に第３の酸化シリコン膜４３を形成する第２工程と、ＳＯＩ基板４０のシリコン層４８側の面に支持部材５５を貼り合せる第３工程と、ＳＯＩ基板４０をシリコン支持基板４６側から薄板化して、シリコン支持基板４６を除去する第４工程と、第３の酸化シリコン膜４３を除去してノズル孔２１を開口させる第５工程と、を有するシリコンノズルプレート１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】機械的な耐久性と撥水機能の耐久性を両立することができる液滴吐出ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル孔を有するノズルプレートと、ノズル孔に流路を介して繋がる圧力室と、前記圧力室の前記液体に圧力を加える圧力発生素子と、を備える流路構造体と、からなり、ノズルプレートの液体を吐出する吐出面側がフッ素含有ＤＬＣ膜２０からなることを特徴とする液滴吐出ヘッドおよび製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高価な熱気化機を有するプラズマ重合装置を必要としない、安価に製造することができる撥水膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基材上に、常温大気圧下でガスである原料を用いて、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに疎水性置換基を直接接合された薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程で得られた薄膜に励起光を照射し、前記疎水性置換基は残存させて前記薄膜にＯＨ基を有するようにする照射工程と、該照射工程で得られた薄膜上にシランカップリング剤を塗布する塗布工程と、を有するように形成する。または、基材上に、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに疎水性置換基を直接接合された薄膜を塗布して焼成することで形成する薄膜形成工程と、前記照射工程と、前記塗布工程と、を有するように形成する。 （もっと読む）

【課題】インク滴が吐出可能な振幅の第１の電圧パルスと、第１の電圧パルスの振幅より小さく、ノズル内のインクをノズル内で流動させる第２の電圧パルスによる非吐出パルスを含む画像形成装置において、吐出安定性を維持しつつ、消費電力の低減を図る。
【解決手段】次回の駆動周期で非吐出パルスを含む大滴用パルス又は小、中滴用パルスを選択し、今回の駆動周期で大滴用パルス又は小、中滴用パルスのいずれも選択しないとき、今回の駆動周期では、次の駆動周期Ｔで小、中滴用パルスを選択するときには非吐出パルスを選択し、次回の駆動周期で大滴用パルスを選択するときには非吐出パルスを選択しないデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板の傷等の欠陥による影響をなくし、液体供給口の開口寸法の精度を向上することができる液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の一方の面側に、液体供給口の形成位置を内側に囲むように、エッチングによって溝部を形成する工程と、前記シリコン基板の一方の面側であって、前記溝部内及び前記溝部の外側に、保護膜を形成する工程と、前記保護膜をマスクとして、前記シリコン基板に結晶異方性エッチング処理を施すことにより前記液体供給口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】変位量を向上して、剥離等の破壊の発生を抑制することができる液体噴射ヘッド
、液体噴射装置及び圧電アクチュエーターを提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、該
流路形成基板１０に設けられて下電極６０、該下電極６０上に形成された圧電体層７０及
び該圧電体層６０上に形成された上電極８０を有する圧電アクチュエーター３００と、を
具備し、前記上電極８０が複数の電極層８１、８２で構成され、当該上電極８０を構成す
る１つの前記電極層８１が圧縮応力を有すると共に、当該上電極８０を構成するその他の
電極層８２は、当該圧縮応力を有する前記電極層８１の圧縮応力よりも小さい圧縮応力を
有し、当該上電極８０全体の内部応力が圧縮応力を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングでの基板厚さのバラツキの影響を抑え、供給口おもて面の開口精度を向上させると共に、貫通穴を効率良く形成すること。
【解決手段】開口部を有するエッチングマスク層をシリコン基板の裏面に形成する工程と、該シリコン基板の厚みを測定する工程と、該シリコン基板の裏面から該エッチングマスク層の開口部にレーザ光を照射して該シリコン基板の内部に測定した該シリコン基板の厚みに応じて厚みを変化させた変質層を形成する工程と、該変質層が形成された該シリコン基板に異方性エッチングを施して該基板を貫通せずかつ該基板内部に底面を有する凹部を形成する工程と、該凹部内にドライエッチングを施して、該凹部の底面からこのシリコン基板のおもて面まで貫通する貫通孔を形成する工程とを含むシリコン基板の加工方法。および液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）