【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子（10）は、基板(12)上に、第１の電極(14)が形成され、その上に第１の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜（18）の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜（20）の上に第２の圧電体膜（22）が形成され、その上に第２の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜（18）と金属膜（20）を積層してなる中間層（26）の厚みと応力値の積が１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】強誘電体層中の金属原子がシリコン層に拡散することを抑制または防止して、小型化および特性の向上を図ることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。拡散防止膜７０は、圧電体層８中の金属原子の拡散を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】記録媒体が傾いたとしても記録媒体上に形成された画像に白い筋状の印字むらが生じるのを防止でき、高画質な画像を得られるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に配列された複数のノズル列を有する。各ノズル列は、記録媒体に向けてインクを吐出する複数のノズルを含む。ノズルは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に一定のピッチで並んでいるとともに、ノズル列毎に記録媒体の搬送方向に互いに間隔を存して配置されている。各ノズル列の一端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う上流側に設けられている。各ノズル列の他端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う下流側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造工程において受けたダメージを回復して変位量の均一性や信頼性の良好な圧電素子を提供する。
【解決手段】
本発明にかかる圧電素子の製造方法は、基体側の上方に第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層の上方に第２電極を形成する工程と、前記第２電極および前記圧電体層の少なくとも一部をパターニングして、前記第１電極、前記圧電体層、および前記第２電極を有するキャパシタ構造部を形成する工程と、前記キャパシタ構造部の少なくとも一部を被覆する保護膜を形成する工程と、第１のアニールを行う工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートの割れや変形といった機械的な異常を検知し得る、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの異常検知方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出させるためのノズル開口（１８）が形成されるノズルプレート（１６）と、少なくとも、ノズル開口と連通するノズル（２６）が形成され、ノズルプレートがノズルに位置を合わせて接合される流路プレート（２４）と、を備え、ノズルプレートは、ノズルプレートの機械的な異常を検知するための検知素子（２０，２２）が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ノズル密度を高くし、噴射率を大きくすることのできるインクジェットプリントヘッドの提供。
【解決手段】ノズルのアレイと、印刷流体の滴をノズルから放出する蒸気気泡を核形成するために印刷流体を加熱するように構成された対応する加熱体とを備えたインクジェットプリントヘッド。駆動回路は、加熱体にエネルギーを供給する電気駆動パルスを生成し、また、駆動パルスの電力を調整して蒸気気泡の核形成時間を変化させるように構成されている。気泡を生成するために使用されるパルスの電力を変化させることにより、プリントヘッドは、正規印刷の間、効果的に生成された微小な気泡を使用して動作することができ、或いはデキャップしたノズルを復旧する必要がある場合、大型でエネルギーの大きい気泡を使用して、短時間の間、動作することができる。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの小型化を図ることが難しい。
【解決手段】流路部材５は、個別液室６の入口側開口９が形成された第１面２１と、ノズル配列方向の両端部に設けられ、第１面２１よりも液体流入方向と反対方向に突出した第２面２２と、第１面２１と第２面２２とを繋ぐ第３面２３とを有し、第２面２２から第３面２３に跨る領域と共通液室部材２０との間が封止部材である接着剤２４により封止され、接着剤２４により、流路部材５と共通液室部材２０との間のノズル配列方向における共通液室１０の壁面２５が形成される。 （もっと読む）

【課題】膜内部の組成均一性が高く良好な強誘電体特性・圧電体特性を有する強誘電体膜を低コストで得ることが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及び製造装置。
【解決手段】供給工程と搬送工程と位置出し工程と成膜工程と焼成工程と冷却工程とを具備し、一連の動作を所定回数実行することにより圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、成膜工程にて２種類以上の前駆体液をシリコンウェハ５０に滴下して前駆体膜７２を形成する方法であり、複数の前駆体液は単一のノズルから滴下し、複数の前駆体液送液ライン中には複数の前駆体液を任意の比率に混合可能な混合器を備え、成膜回数に応じてシリコンウェハ５０に滴下する前駆体液の混合比を変化させつつ前駆体膜７２を成膜する。その後の焼成工程を含めた一連の動作を所定回数実行して所定厚さの圧電体層を構成する。 （もっと読む）

【課題】高集積化に適用可能にポーリング処理を行うことができる。
【解決手段】個別電極１４は、配線５４及びダイシングライン５１の領域に設けられているコンタクト５２−２を介して導電性材料の個別液室基板１２に電気的に接続されている。このため、この個別液室基板１２と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加することで、各個別電極１４と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加したことになる。そして、コンタクト５２−２はダイシングライン５１に設けられており、ダイシングライン５１に沿ってダイシングを行って配線５４とコンタクト５２−２を電気的な接続を切断することで、個別液室基板１２と各個別電極１４とは互いに電気的に絶縁となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でクロストークを抑制し、滴吐出性能を確保することができない。
【解決手段】複数の個別液室６の配列方向を短手方向、複数の個別液室６の配列方向と直交する方向を長手方向とするとき、短手方向の断面において、隣り合う個別液室６、６間の液室間隔壁３０の隔壁面３１と、個別液室６の振動板部材２に対向する対向面としての天面３２とは、第１の傾斜面３３、３３で繋がれて、第１の傾斜面３３は個別液室６の長手方向に沿って個別液室６のほぼ全域にわたって形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位効率の向上を図るとともに、製造コストの低減も図り得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、個別内部電極１６または共通内部電極１７のいずれか一方を形成して第１および第２のウエハーを形成する工程と、前記第１のウエハーと第２のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する工程と、積層された圧電材料を焼成により一体化した圧電材料層１５を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける工程と、切り分けられた圧電材料層１５の表面に個別内部電極１６に接続される個別外部電極２２と共通内部電極１７に接続される共通外部電極２３とを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、弾性膜５０上に、第１電極６０と、圧電体層と、圧電体層上に設けられた第２電極と、を具備する圧電素子３００を備え、圧電体層は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、圧電体層の膜厚を６２０ｎｍ以上１５２０ｎｍ以下の範囲とする。 （もっと読む）

【課題】隣接する集積回路のノズルの間のギャップによる垂直の縞を防止できるカートリッジユニットの提供。
【解決手段】インクジェットプリンタ用のカートリッジユニットは、ページ幅印字ヘッドアセンブリとを備え、ページ幅印字ヘッドアセンブリが、その長さに沿って延びる１つまたは複数の集積回路５０を備え、集積回路５０間に継手が形成され、各集積回路５０には、その上に複数のノズル５１が形成され、各ノズル５１が、使用中にインク供給チャネルからインクを受け取り、通過する印刷媒体にインクを送るように配置され、集積回路５０の１つの端に隣接する行の各ノズル５１が、ある度合のノズルオーバーラップを継手で提供し、継手に跨るノズルピッチを維持するため、ノズル５１の残りに関して垂直に変位される。 （もっと読む）

【課題】使用中に親水化層が剥れにくく、液体の充填及び抱き込み泡の取り除きが容易な液体吐出ヘッド、並びにこのヘッドの製造方法でありノズル毎に吐出特性にばらつきが小さく、薄く均一な親水化層を形成できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出する液体吐出口、および該液体吐出口に連通する液体流路を有するノズル層を有する液体吐出ヘッドであって、該ノズル層は２層で構成され、該２層のうちの液体流路側の層である第１層は、酸により成膜する樹脂を含む樹脂組成物の硬化物であって、かつ、もう一方の層である第２層と比較して水の静的接触角が小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド、及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】インクの温度をより正確かつ追従性良く検出する。
【解決手段】液体を吐出するためのノズルと、温度を検出するためのダイオードと、を有するノズルプレートを備えた液体吐出装置において、前記ノズルプレートは半導体で形成され、前記ダイオードは前記ノズルプレートに所定物質を添加することにより生成されたＰ型半導体およびＮ型半導体で形成される構成とした。また、上記ダイオードにおける電圧降下に応じて温度を検出する温度検出部と、温度検出部により検出された温度に基づいて上記液体の吐出を制御する吐出制御部とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】貫通孔の側壁を平坦に加工することのできる液体吐出装置の流路板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る液体吐出装置の流路板の製造方法は、面方位が｛１１０｝であるシリコン基板の一方の面と他方の面とを貫通する貫通孔と、前記一方の面側に形成され前記貫通孔と接続する流路と、を備えた液体吐出装置の流路板の製造方法であって、前記シリコン基板の前記一方の面上に第１マスクを形成し、前記第１マスク上に第２マスクを形成するマスク形成工程と、前記第２マスクを介して少なくとも一部にドライエッチングを含むエッチングを行い、前記貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記第２マスクを除去した後、前記第１マスクを介して前記貫通孔に対して結晶異方性エッチングを行い、前記貫通孔の側壁面を、前記シリコン基板の面方位｛１１１｝の面で構成するように前記貫通孔の側壁を加工する側壁加工工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エッチングのばらつきによらず安定して基板を切断することができるシリコンウェハーのブレイクパターン、シリコンウェハー、および、シリコン基板を提供する。
【解決手段】表面を（１１０）面３９としたシリコンウェハー３８に、（１１０）面３９に直交する第１の（１１１）面４２の面方向に切断予定線を設定し、該切断予定線上に貫通孔４０を複数列設し、貫通孔４０は、第１の（１１１）面４２と、第１の（１１１）面４２と交差する第２の（１１１）面４３と、第２の（１１１）面４３と第１の（１１１）面４２とに交差する第３の（１１１）面４４と、を有し、第２の（１１１）面４３と第３の（１１１）面４４の端縁との交差点を、隣り合う貫通孔４０に最も近接する点とし、第１の（１１１）面４２に直交する方向における交差点の位置を、隣り合う貫通孔４０の当該交差点に近接する側の相対する第１の（１１１）面４２の間に設定した。 （もっと読む）

【課題】 電気配線基板の配線保護信頼性が高い液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 電気配線基板の配線上部を、第一の接着剤層、第一の保護フィルム層、第二の接着剤層、第二の保護フィルム層からなる積層体で保護する。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生を抑制することのできるサポートプレート、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】接着部材を介してウエハの面に密着し、ウエハをサポートするサポートプレート１０であって、ウエハの面に密着させる範囲内に、凹部および貫通孔のうち少なくとも一方の略長方形状の複数のパターンを備え、パターンは、ウエハの中心に密着する当該サポートプレート１０の中心点とパターンの対角線の交点とを通る直線と、当該パターンの長手方向の直線とがなす角のうち小さい角の角度が４５度以上となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】ノズルを高精度な形状に形成可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造方法は、シリコン基板３０にノズルとなる凹部６ｃをエッチングによって形成する工程と、凹部６ｃの内壁にシリコン酸化膜３４を形成する工程と、シリコン基板３０の凹部６ｃが形成されている面３０ａの反対面３０ｂからシリコン基板３０を薄板化することによって、凹部６ｃを貫通孔に形成する工程と、を有する。凹部６ｃを貫通孔に形成する工程は、シリコン酸化物用スラリーＬを用いたＣＭＰ法によって、シリコン酸化膜３４を研磨することを含む。 （もっと読む）