【課題】シリコンウェハからの、液滴吐出ヘッドに用いるヘッドチップの取り数の増加、及び液滴吐出ヘッドの生産効率の向上を図る。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０は、保護基板１８における、第１方向（矢印Ｘ方向）の端面は、流路基板３４Ａ及び振動板３４Ｂにおける該第１方向の端面に連続している。そして、流路基板３４Ａにおける第１方向の端面に、加圧液室３５Ａに連通し且つ加圧液室３５Ａにインクを供給する供給口３５Ｃが設けられている。そして、液室基板３４と保護基板１８との積層体であるヘッドチップ１９に対して、該ヘッドチップ１９における第１方向の両端面から所定間隔を隔てた位置に枠部材２２を設け、該ヘッドチップ１９と、枠部材２２と、ノズル基板３０と、によって、形成された空間を、供給口３５Ｃを介して加圧液室３５Ａに連通した導入口２０として用いる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン基板の両面から短時間で液体供給口を形成することができ、かつ液体供給口の開口幅を精度よく形成することができる液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液体を吐出するためのエネルギ発生素子を表面側に有するシリコン基板を用意する工程と、前記シリコン基板の表面側に、第１のエッチング液導入孔を形成する工程と、前記シリコン基板の表面側に形成した第１のエッチング液導入孔から第１のエッチング液を供給し、前記シリコン基板の裏面側から第２のエッチング液を供給する工程と、前記第２のエッチング液の供給を停止する工程と、前記第２のエッチング液の供給を停止した後に、前記第１のエッチング液の供給によって前記シリコン基板の表面と裏面とを貫通する液体供給口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高速でのノズルへのインクの再充填が可能な記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録装置用の記録ヘッド１０は、第１の基板１と第２の基板２とを有する。第１の基板１は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子３と、第１の基板１を貫通するインク供給口６とを有する。第２の基板２は、インクの吐出口４を有する複数のノズルと溝とを有する。そして、第２の基板２の溝と第１の基板１とでノズルとインク供給口６とをつなぐインク流路５が形成されている。第１の基板１の上に第２の基板２が配置されており、第２の基板２には、記録ヘッド１０の表面側の一方の面と、第１の基板１の方向を向いた他方の面のそれぞれに凹部７、８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートに異物の付着や傷の発生を抑制することができるノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口が形成された基板１２０の一方面である第１面に第１支持基板を接合し、前記基板をノズルプレート２０単位に切り分ける分割工程と、前記分割工程によって分割した前記基板の前記第１面とは反対側の第２面の処理を行う第１処理工程と、前記第１処理工程を行った前記基板の前記第２面側に前記第１支持基板とは剥離条件が異なり且つ前記基板との間に反応性の自己剥離層を有する第２支持基板１５０を接合する接合工程と、前記第２支持基板が接合された前記基板から前記第１支持基板を剥離して、前記第１面の処理を行う第２処理工程と、前記第２処理工程を行った前記基板から前記自己剥離層を反応させて前記第２支持基板を剥離してノズルプレートとする剥離工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なる複数の孔が重なる孔を製造するとき、孔を分離する分離膜が破れ難い製造方法を提供する。
【解決手段】第１面３ａと第２面３ｂとが対向するノズルプレート３に第２位置決め孔１９を形成する。ノズルプレート３の第１面３ａより第２外側凹部１９ａを形成する第１凹部形成工程と、第２外側凹部１９ａに熱酸化膜を形成する分離膜形成工程と、第２面３ｂにエッチングガスを流動して第２外側凹部１９ａと対向する場所に第２面３ｂから熱酸化膜まで第２内側孔１９ｂを形成する第２凹部形成工程と、第２外側凹部１９ａと第２内側孔１９ｂとの間に位置する熱酸化膜３０を除去して第２外側凹部１９ａと第２内側孔１９ｂとを貫通する第２位置決め孔１９を形成する分離膜除去工程と、を有し、第２内側孔１９ｂは平面視において辺１９ｄと辺１９ｄとが交差する場所が円弧１９ｅとなっている多角形または円形である。 （もっと読む）

【課題】液体の噴射特性のばらつきや低下を抑制して、ノズルプレートの剥離及び液体の漏出を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体が噴射されるノズル開口２１を有するノズルプレート２０と、前記ノズル開口２１に連通する流路が形成された流路形成基板１０と、が接着剤２５を介して接合された液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズル開口２１が形成されたシリコン基板の少なくとも前記ノズル開口２１の内面にレジストを形成する工程と、前記レジストが形成された前記シリコン基板の前記流路形成基板１０に接合される接合面２０ｂをドライエッチングする工程と、ドライエッチングした前記シリコン基板の前記レジストを除去して前記ノズルプレート２０を形成する工程と、前記ノズルプレート２０の前記接合面２０ｂを前記流路形成基板１０に接着剤２５を介して接合する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】下部電極にバイアス電圧を印加しても加圧液室内の導電性の液体に電圧は印加されず液体の吐出性能を維持できる。
【解決手段】加圧液室１２内を昇圧する振動板３０は、シリコン基板の表面にシリコン酸化膜、ポリシリコン、シリコン酸化膜、ｐドープしたポリシリコン、シリコン酸化膜の順に成膜することで形成されている。振動板３０におけるｐドープしたポリシリコンは接地（ＧＮＤ）されている。液滴吐出ヘッドにおける下部電極５１と加圧液室１２との間に、ｐドープしたポリシリコンに相当し接地されている導電層３１を設けている。このため、下部電極５１にバイアス電圧を印加して駆動する方法を用いた場合下部電極５１と導電層３１との間に電界が生じ、下部電極と加圧液室との間には電界は生じない。 （もっと読む）

【課題】３枚以上の流路形成部材が積層され、各流路形成部材の間に流路が形成される、コンパクトで、かつ信頼性の高い流路構成体を提供する。
【解決手段】流路構成体は、少なくとも３つの流路形成部材４０１，４０２，４１０が積層され、かつ、流路形成部材４０１，４０２，４１０の間に流路４０５Ａ，４０７Ａ，４１１を備えている。各流路形成部材４０１，４０２，４１０の間を個別に超音波溶着法によって溶着し、各流路形成部材４０１，４０２，４１０の間の総溶着面積が、溶着する順番が早いほど大きい。 （もっと読む）

【課題】高吐出口密度を有する記録素子基板の接着固定に必要な精度を容易に満足できるインクジェット記録ヘッド、記録素子基板、インクジェット記録ヘッドの製造方法、および記録素子基板の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板３を複数備えている。各記録素子基板３は、各流路が開口する複数のインク吐出口７が配された第１の面１３と、第１の面１３と交差して記録素子基板３の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第２の面１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを製造可能な接着剤、かかる接着剤を用いて製造された液滴吐出ヘッド、かかる接着剤を用いて製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着剤を用いて形成された接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着剤は、アルケンとアルケニレンジカルボン酸との共重合体を主材料として含有するものである。 （もっと読む）

【課題】 製造歩留まりが高く印字速度が速いインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 エッチングストップ層の上に保護層を形成し、吐出口形成部材と柱の下に配置する密着層を、保護層から離して形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シリコン基板を速やかにエッチングし、犠牲層を良好に除去可能な液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の表面であって液体供給口が開口する部位に、前記シリコン基板に対して選択的にエッチングされるアルミニウムを含有する犠牲層を形成する工程と、前記シリコン基板の裏面に、前記犠牲層に対応した開口部を有するエッチングマスクを形成する工程と、前記エッチングマスクをマスクとして、８質量％以上１５質量％未満のＴＭＡＨ含む第一のエッチング液を用いて、前記シリコン基板をエッチングする第一のエッチング工程と、第一のエッチング工程後に、１５質量％以上２５質量％以下のＴＭＡＨを含む第二のエッチング液を用いて、前記犠牲層を除去する第二のエッチング工程と、を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金からなる第１電極６０、第１電極６０上に設けられ少なくともビスマスを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０、及び圧電体層７０上に設けられる第２電極８０を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０の第１電極６０側界面には、ビスマス及び白金を含む酸化物からなる酸化物部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、前記塗布膜を１７５℃以上１８５℃以下の温度で乾燥する第１乾燥工程と、前記第１乾燥工程の後、２３０℃以上２７０℃以下の温度で乾燥する第２乾燥工程と、前記第２乾燥工程の後、第２乾燥工程の温度以上の温度で加熱して脱脂する工程と、前記脱脂する工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させる工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動を効率的に行う液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の一方面側に圧力発生室１２に対応して設けられた第１電極６０、第１電極上に設けられた圧電体層７０及び圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００毎に対して個別に設けられた第１電極６０に電気的に接続されるリード電極９０と、第２電極８０が形成されておらず前記圧電体層７０が露出している領域の、前記第１電極６０が部分的に露出されている領域に、前記第１電極６０に少なくとも一部が接して設けられている導電層８１と、を具備し、リード電極９０は、前記導電層８１を介して前記第１電極６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 流路形成基板のクラックの発生を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の流路形成基板１２が一体的に形成されたウェハー１００の各流路形成基板１２の間に、流路形成基板１２毎に分割するためのブレイクパターン２００を形成する工程と、ウェハー１００と接合基板との間に接着剤を塗布する塗布工程と、塗布工程後にウェハー１００と接合基板とを加熱する加熱工程と、ウェハー１００をブレイクパターン２００に沿って、接合基板が接着された複数の流路形成基板１２に分割する分割工程と、を具備し、ブレイクパターン２００は、流路形成基板１２の長辺端部が他の部分よりも脆弱となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】工程の簡略化を図ることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法は、第１基板２０の一方面２１側に圧電素子４０を形成する第１工程と、第１基板２０の一方面２１側に、貫通孔５６が形成された第２基板５０を接合する第２工程と、第１テープ１０２により貫通孔５６を塞ぐ第３工程と、酸化シリコンからなる絶縁膜１１０を形成し第１テープ１０２を覆う第４工程と、第１基板２０の他方面２２側に、ウェットエッチングにより開口部２９を形成する第５工程と、第２テープ１０４により開口部２９を塞ぐ第６工程と、絶縁膜１１０を除去する第７工程と、第１テープ１０２及び第２テープ１０４を剥離する第８工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して破壊を抑制する。
【解決手段】圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、流路形成基板の一方面側に圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を有する圧電素子３００とを具備し、第１電極が、圧力発生室毎に設けられて並設方向の幅が圧力発生室の幅より小さい個別電極であると共に、第２電極が複数の圧電素子に亘って連続して設けられた共通電極であり、圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と第１及び第２電極の何れかが存在しない非活性部３３０との境界Ａが、第２電極の端部８１によって規定され、この境界Ａに対応する領域の第１電極には並設方向の幅が圧力発生室の幅より大きい部分６７があり、境界Ａに対応する領域の圧力発生室には深さが浅くなった段差部１１０がある。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー発生素子に対応する位置に設けられた保護層において、β相の領域とα相の領域とが混在すると、熱の伝わり方にばらつきが生じ所望の記録画像を形成できないという懸念がある。
【解決手段】 保護層の上に透過防止層を設け、酸素を遮断した状態でエネルギー発生素子の発生する熱を用いて保護層を熱処理を行うことで、エネルギー発生素子に対応する領域の保護層をβ相からα相に相転移させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０に接続され圧力発生室１２に相対向する領域外に形成される配線層９５が設けられ、第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有し、Ｔ型金属層１２０と配線層９５とが配線層接続部１２３を介して接続されている。 （もっと読む）