【課題】精度の高い流量計を提供する。
【解決手段】被測定流体が流入する流入口105と、被測定流体が流出する流出口205と、流入口105及び流出口205を連通する流路5が設けられ、流路5が第１の屈曲部11で屈曲する流量計において、流路5の第１の屈曲部11に、第１の屈曲部11前後の流路5の延伸方向に対して斜めに配置された第１の多孔板21、及び第1の屈曲部11より流出口205側の流路5の内壁に配置され、流路5を流れる被測定流体の流速又は流量を検出する流れセンサ8を備える。 （もっと読む）

流量センサであって、流体を受容するように構成された流体チャンバと、流体チャンバ内の流体が移動したときに変位するように構成されたダイヤフラムアセンブリと、ダイヤフラムアセンブリの変位を測定するとともに、流体チャンバ内の流体の移動量の少なくとも一部に基づいて信号を発するように構成された変換器アセンブリとを備える、流量センサ。 （もっと読む）

【課題】くん焼のように点火してから煙濃度が増加し始めるまでに時間がかかる火災であっても早期に火災警報を行うことができる室内異常監視システムを提供する。
【解決手段】制御装置１１は、ガスメータ６が検出したガス器具８に供給されるガス流量からガス器具８が使用されているか否かを判別する。制御装置１１は、ガス器具８が使用されていないと判別している間にＣＯセンサ９により検出されたＣＯ濃度が所定時間以上継続して増加すると火災警報を行う。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を設置することなく、ガス不使用時における誤積算を防止するガスメーター計量技術を提供する。
【解決手段】（１）ガスメーター上流側配管内の圧力変動（ΔＰ）の、所定のタイムスパンにおける自己周期性を判定し、（２）周期性ありと判定したときに、圧力変動（ΔＰ）とガスメーターの流量変動（ΔＱ）との相関性を判定し、（３）相関性ありと判定したときに、下流側配管容積（Ｖ）及び前記所定のタイムスパンにおける圧力変動の最大値（ΔＰmax）に基づいて求メーターガス体積変化量の最大値（ΔＶmax）と、その間の流量変動最大値（ΔＱmax）と、を比較し、（４）ガス体積変化量最大値（ΔＶmax）と流量変動最大値（ΔＱmax）とが実質的に等しいときは、不使用時にガスメーターを介してのガスの流れありと判定し、
（５）ガスの流れありと判定したときは、前記流量変動最大値（ΔＱmax）以下の流量については積算対象から除外する。 （もっと読む）

【課題】燃料電池システムにおいて、簡易に燃料電池システムの全運転モードで送出流体の流量を精度よく推定することを目的とする。
【解決手段】流体送出装置から吐出される流体の吐出圧力を検出する吐出圧力検出手段と、流体送出装置の駆動量を検出する駆動量検出手段と、
流体送出装置から吐出される流体の吐出圧力と、流体送出装置の駆動量と、該吐出圧力および該駆動量に応じて前記流体送出装置から吐出される流体の吐出流量との関係を表す流量推定マップＭを記憶部に記憶し、検出された駆動量および検出された吐出圧力に応じて流量推定マップＭから求められた流体の吐出流量に基いて流体送出装置から吐出される流体の推定送出流量ｅｓｔｆｌｕｘ１を求める推定送出量導出手段と、を備える。 （もっと読む）

複合式気体流量測定方法及び装置であって、温度センサ及び圧力センサを備えた機械式気体流量測定装置にバイパス管を並列接続し、バイパス管にＭＥＭＳ流量センサを設ける。温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びＭＥＭＳ流量センサの各々をデータ処理システムに接続し、データ処理システムをデータ表示システムに接続する。温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びＭＥＭＳ流量センサによって検出されたデータをデータ処理システムにより処理した後に、データ表示システムにより気体流量データを表示する。 （もっと読む）

【課題】組立て作業性の向上を図り、コストダウンを図ることができる流量計の組立て方法を提供する。
【解決手段】蓋体５６に対して計測流路ハウジング６１および前記流体流入路ボックス７１を取付けねじ６７，８０，８１で固定する第１の工程と、前記計測流路ハウジング６１および前記流体流入路ボックス７１を包容するように、ケース本体５１を前記計測流路ハウジング６１および前記流体流入路ボックス７１に嵌合する第２の工程と、前記ケース本体５１とともに、前記計測流路ハウジング６１および前記流体流入路ボックス７１を反転する第３の工程と、前記蓋体５６を前記ケース本体５１に取付けねじ６０で固定する第４の工程とからなる流量計の組立て方法にある。 （もっと読む）

【課題】流量値と流量センサの出力電圧値、および吸気温度との対応関係を利用して、流量毎に異なる温度特性を考慮した高精度な温度補正が可能な空気流量測定装置を提供する。
【解決手段】流量センサ２０が、測定値として電圧値ＶＤを出力する。また、温度センサ３０が、吸気温度（対応する電圧値Ｖｔ）を出力する。このとき、調整ＲＯＭ１８には、入力電圧値（Ｖ）および吸気温度（℃）に対応する流量を示す第１マップ、流量（ｇ／ｓ）および吸気温度（℃）に対応する補正係数を示す第２マップが記憶されている。ＤＳＰ１７は、第１マップを参照し、電圧値ＶＤで吸気温度Ｔａのときの流量Ｇｉを求める。また、第２マップを参照し、流量Ｇｉで吸気温度Ｔａのときの補正係数Ｋｉを求める。そして、この補正係数Ｋｉを用いて電圧値ＶＤを補正して補正電圧値ＶＤｒを出力する。 （もっと読む）

流体流量を測定するように構成されている流量計の流量計パラメータの異常を検出するための方法が提供されている。この方法は、流量計の少なくとも１部の両端の差圧を測定することを含んでいる。また、この方法は、差圧測定値を差圧予測値と比較することをさらに含んでいる。この差圧予測値は測定された流量に基づくものである。また、この方法は、差圧測定値と差圧予測値との間の差がしきい値範囲を超えている場合に、流量計のパラメータに異常を検出したものとすることをさらに含んでいる。 （もっと読む）

【課題】発熱素子、感熱素子および温度検出素子の温度変化特性のバラツキに起因する流量検出特性のバラツキを抑えて、その温度補正を簡易に行うことを可能とした熱式流量計を提供する。
【解決手段】発熱素子Ｒｈ、一対の感熱素子Ｒｕ,Ｒｄおよび温度検出素子Ｒｒを同一チップ上に形成したセンサチップを備え、発熱素子Ｒｈおよび温度検出素子Ｒｒと固定抵抗Ｒ１,Ｒ２とを用いて構成されるブリッジ回路であって、駆動電圧が帰還制御されて発熱温度を一定に保つヒータ回路が有する正の温度変化特性を、一対の感熱素子Ｒｕ,Ｒｄと固定抵抗Ｒｘ,Ｒｙとを用いて構成されるブリッジ回路であって、定電圧源にて駆動されるヒータ回路が有する負の温度変化特性にて相殺する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で精密な定量送液を実現できるマイクロチップを得る。
【解決手段】ベース材に形成した微細流路を流れる液体の流量を検出する流量検出回路４０と、加熱抵抗３７によって微細流路を流れる液体の温度を変化させて送液量を一定にする定流量制御回路４５とを備えたマイクロチップ。液温参照抵抗３５、流量検出抵抗３６及び加熱抵抗３７は、微細流路を覆うフィルム上に設けられている。 （もっと読む）

【課題】演算量を増大させることなく流入する流体の密度に影響されずに、流量を推定する方法および装置を提供する。
【解決手段】ブロア２の回転速度を温度で補正した修正回転数と、ブロア２の吐出圧と、ブロア２の送出する流量を吐出圧と流体の温度で補正した修正流量との関係を表す関係データ１５と、ブロア２の回転速度を検出する回転数センサ３と、ブロア２の吐出圧を検出する吐出圧センサ４と、ブロア２に流入する流体の温度を計測する温度センサ５と、回転数センサ３で検出した回転速度を温度センサ５で計測した温度で補正した修正回転数を算出する修正回転数算出部１２と、ブロア２の修正回転数と吐出圧と修正流量との関係を表す関係データ１５から、吐出圧と修正回転数で決まる修正流量を算出する修正流量算出部１３と、修正流量算出部１３で算出した修正流量から吐出圧と温度の補正を除いた流量を計算する流量算出部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】空気流量センサの汚損劣化を抑えることで、バイパス流路を流れる空気流量の検出精度を確保する。
【解決手段】センサボディ３における空気流量センサ４の空気流量検出素子を構成する発熱抵抗体よりも空気流方向の上流側の、センサボディ３の内面および外面にダスト吸着体６を装着している。これによって、吸入空気中に含まれるダストとダスト吸着体６との衝突・接触による摩擦帯電作用によって、吸入空気中に含まれるダストおよびダスト吸着体６に静電気が発生して、マイナス電荷を帯び易いダスト吸着体６がマイナス電荷を帯電し、逆にプラス電荷を帯び易いダスト（Ｓｉ、カーボン類）がプラス電荷を帯電する。そして、吸入空気中に含まれるダストの中でプラス電荷を帯電したダスト（Ｓｉ、カーボン類）は、マイナス電荷を帯電したダスト吸着体６に吸着・捕集される。 （もっと読む）

【課題】燃料ガスの組成の違いや変化に拘わりなく、発熱量を管理値として燃料ガスの流量を制御することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】燃料ガスの通流路に設けられて燃料ガスの流量を調整する流量調整弁と、上記通流路を通流する燃料ガスの質量流量を検出する熱式質量流量センサと、前記熱式質量流量センサの出力から、前記燃料ガスの体積流量と該燃料ガスの単位体積当たりの発熱量とにより決定される前記燃料ガスの熱量流量を求める熱量流量算出手段と、制御目標値として設定した熱量流量と前記熱量流量算出手段にて求められた熱量流量とを比較して前記流量調整弁の作動を制御する流量制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

【課題】流量の計測値が本来的な異常を示す場合に限って、適切な警報処理を実施できるようにする。
【解決手段】流路を流通する流体の流量を計測する計測ユニットと、前記計測ユニットの計測値に関する下限値を設定する設定部３１１と、前記計測ユニットの計測値が前記下限値未満の場合に、警報処理を行なう流量監視部３１３と、前記流体が前記流路を流通し始めたタイミングから前記計測ユニットの計測値が前記下限値を超えるまでは、前記警報処理を無効に制御する警報制御部３１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】積算流量が目標流量に到達したことを確認する。
【解決手段】流路を流通するガスの流量を計測する計測ユニット３のフローセンサ１２と、フローセンサ１２によって計測された流量に基づいて積算流量を算出する流量算出部３１１と、操作部４ｂから入力される積算流量の目標値をＲＡＭ３４に設定する目標値設定部３１２と、操作部４ｂから減算処理の開始指示が入力されたときに、設定目標値から流量算出部３１１によって算出されている積算流量を減算していく減算処理を実行する減算部３１３と、減算部３１３によって実行されている減算処理の結果をリアルタイムに表示部４ａのディスプレイ４１に表示させるとともに、積算流量が目標値に到達した場合に目標流量達成情報を外部機器に送信する表示・送信制御部３１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ユーザが操作を誤ってメンテナンスモードに移行する可能性を従来よりも低減することのできる流量計を提供する。
【解決手段】流量計１は、状態キー５１、下キー５２、上キー５３、及び入力キー５４を有する操作部４ｂと、状態キー５１、下キー５２、上キー５３、及び入力キー５４のうち少なくとも２つのキーが、所定時間以上、例えば３秒以上同時に操作されたときに、メンテナンスモードへ移行するＣＰＵ３１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 より広い測定レンジで流量の測定が可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された第１の流路と、接液部分が全てガラスで構成され一端が第１の流路の一端に接続され第１の流路より断面積の大きい第２の流路と、これらの第１及び第２の流路にそれぞれ設けられた第１及び第２のセンサ手段と、これら第１及び第２のセンサ手段を制御して第１及び第２の流路を流れる液体の温度をそれぞれ制御すると共に測定する流量に応じて一方のセンサ手段を選択して選択されたセンサ手段で検出された上流側及び下流側の温度の温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を精度良く検出できる領域を拡大することができる流量センサを提供する。
【解決手段】センサ管１４と、抵抗体Ｒ１〜Ｒ４よりなる抵抗体群４２と、基準抵抗Ｒ５、Ｒ６よりなる基準抵抗群４４と、定電流源２４と、電位差を求める第１の差動回路４６と、電位差に基づいて流量を求める流量決定部６０Ａとを有する流量センサにおいて、流体を流さないダミーセンサ管６６と、温度に応じて抵抗値が変化するダミー抵抗体Ｒ１’〜Ｒ４’を長さ方向に沿って取り付けたダミー抵抗体群６８と、ダミー基準抵抗群７０と、一定の電流を流すダミー用定電流源７２と、抵抗体群とダミー抵抗体群とを選択的に直列に接続するスイッチ手段５０と、電位差を求める流量域拡大用差動回路７４と、電位差に基づいて前記流体通路に流れる流体の流量を求める第３の流量決定部６０Ｃとを備える。 （もっと読む）