【課題】流体の流量を制御する熱式質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】熱式質量流量コントローラは、流体を受けるように構成されている導管と、流体が導管内を通過する際に、流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサと、流体の周囲温度を測定するように構成されている温度センサと、流体の流速を表す出力を発生するように構成されている熱センサとを含む。熱式質量流量コントローラは、更に、熱センサからの出力、圧力センサによって測定した圧力、および温度センサによって測定した周囲温度を監視し、熱吸引によって起こる熱センサの出力のずれを補償するように、導管内における流体の流量を規制するように構成されている制御システムを含む。 （もっと読む）

【課題】脈動時の測定誤差を低減できる空気流量測定装置１を提供すること。
【解決手段】センサボディ３が挿入されるアウトレットパイプ２の内部には、センサボディ３の両側に一組の整流板８が設置され、この整流板８が、主流の流れ方向と平行に配置されている。この整流板８は、主流の流れ方向に沿ったセンサボディ３の全幅以上の領域に配置され、且つ、整流板８の上端及び下端が、それぞれアウトレットパイプ２の内周面に当接している。この整流板８の効果により、整流板８の内側に形成される内側通路９をセンサボディ３の側面に沿って流れる主流の流れが定常流と脈動流とで近似するため、定常流の場合と脈動流の場合とで、測定結果が大きく異なることはなく、定常流に対する脈動流の測定誤差を低減できる。 （もっと読む）

【技術課題】１０ボルト未満の変調用電圧で動作できる家庭用ガスメータとして適したガスメータを提供する。
【解決手段】ガスメータは、ガス流Ａを通過させる導管（１）と、導管（１）内のガス流をイオン化するために配置されたイオナイザ（２）とを備える。イオナイザの下流の変調電極構造（４）は、イオン化ガス流におけるイオン分布を変調する。変調電極構造（４）の下流の第１の検出電極構造（８）および第２の電極構造（９）は、イオン化ガス流において変調されたイオン分布を検出する。変調電極構造（４）および検出電極構造（８、９）は、少なくとも実質的成分がガス流の方向に平行な電界を発生させるように構成できる。変調電極構造（４）および検出電極構造（８、９）は、ガス流を通過させる複数の開口がそれぞれ画成された一対の電極（５、６、１０、１１）を備えることができる。一方の極性のイオンを捕捉するように変調電極構造（４）を配置することによって、反対極性のイオンの大部分を含むイオン化ガス流を発生させることができる。この場合、検出電極構造は、電荷発生源に接続された電極（１１）を少なくとも１つ備えることができる。イオン化ガス流がこの電極に対して移動すると電荷の再分布がこの電極において発生し、イオン分布を示す電流がこの電極（１１）と電荷発生源との間に発生する。 （もっと読む）

【課題】流量センサを用いることなく、流量の制御が可能な流量制御方法及び装置を得る。
【解決手段】密閉タンク内においては、その液面高さとタンク内圧力との間に相関が存在することから、吐出ノズルからの液体流量を一定にするための液面高さ-タンク内圧力の関係式を求め、密閉タンク内に液体を封入した状態において、この液面高さ-タンク内圧力の関係式に基づいて密閉タンク内の気体圧力を制御し、吐出ノズルから吐出流量を制御する流量制御方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】安定した計測結果を得ると共に、計測範囲を拡大することのできる流量計を得る。
【解決手段】流体の流量を計測するためのセンサ２４の設置面と、その設置面に対応する対向壁との間に形成される空間をセンサ流路１２１とし、そのセンサ流路１２１におけるセンサ２４が位置する流路部分以外の位置に、センサ２４の設置面と対向壁との間隔寸法ａより大きな寸法ｃを有する流路拡張部１２１ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】樋に液体を流して液体の流量を検出する流量測定装置において、樋を流れる液体の流量が少なくなれば、蛇行したり、斜行したりして、精確に測定できないことがあった。また、尿流量測定装置の構成部材の精度誤差や樋の形状などが個々により異なるために器差が生じ、精確な流量を得ることが難しくなっていた。
【解決手段】流量を測定する液体が流れ落ちる断面略Ｖ字状の溝を形成した傾斜樋６２と、前記傾斜樋６２及び液体の質量を荷重として検出する荷重検出機構６３と、前記傾斜樋６２と略同一質量の疑似質量６６を荷重として検出する疑似荷重検出機構７０と、該荷重検出機構６３及び疑似荷重検出機構７０の検出信号を所定時間ごとに取得して前記液体の流量を算出するデータ処理部８と備えて、流量測定装置１８を構成した。また、流量測定装置１８には器差を解消するために流量の校正を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】構造を簡単に改善して組立性及び生産性を向上させた消火システム用フロースイッチを提供すること。
【解決手段】ボディー11に固定されるシーリングプレート12及びガイドプラグ13によって機密を維持しながらシャフト14の回動を案内構造とすることにより、構造を簡単にし、ボディーに十分確保された空間部を利用してシーリングプレート及びガイドプラグを組み立てる組立性向上をはかり、電子式時間遅延装置22を利用してリミットスイッチ19の駆動時間をカウントさせ、フロースイッチが誤動作する現象をあらかじめ防止させるとともにセット時間調節作業の利便性を上げる。 （もっと読む）

【課題】 流体の種別等に応じた各種の変更設定操作を簡単に行うことのできる取り扱い性に優れた汎用性の高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 熱式流量センサを備え、流量制御弁の開度を比例制御して流体の流量を制御する流量制御装置であって、流体の種別に対応付けて熱式流量センサにて計測可能な最大流量を登録したテーブルと、流量制御弁を介して制御する流体の種別を設定する種別設定手段と、設定された流体の種別に応じて前記テーブルを参照して求められる最大流量に従って最大制御レンジを自動設定するレンジ設定手段と、設定された最大制御レンジに対する相対値に従って運用制御レンジをマニュアル設定するレンジ変更手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】低流量の計測から高い流量の計測まで正確に行い得る流量計を提供する。
【解決手段】
流体内に配置される熱式流量計およびカルマン渦流量計と、これら熱式流量計とカルマン渦流量計からの出力が入力されて測定値が演算される演算回路とを備え、
前記演算回路は、該流体の流量域を低、中、高に区分けされたうちの低流量域にあっては前記熱式流量計からの出力がそのまま測定値として出力させ、
該流体の流量域を低、中、高に区分けされたうちの高流量域にあっては前記カルマン渦流量計からの出力を質量流量に換算したものを測定値として出力させ、
該流体の流量域を低、中、高に区分けされたうちの中流量域にあっては前記低流量域の測定値と前記高流量域の測定値を連続させる質量流量の演算値を測定値として出力させるように、構成されていることを特徴とする流量計。 （もっと読む）

【目的】平常時、出水時の河道内の状態をリアルタイムで推定する方法と推定装置を提供する。
【構成】河道内の状態推定装置１５は、推定対象の河道内振動システム４の平常時、出水時の状態（例えば、河道内における水位、流速や流量変動）を表現するＡＲＭＡモデル（例えば、ＡＲＭＡ（４，２））を持ち、前記河道内振動システム４の平常時、出水時に所定の物理量をセンサ８で観測し、前記センサ８で観測した信号ｓから前記ＡＲＭＡモデルにより計算し、求めた前記ＡＲＭＡモデルのＡＲパラメータから前記河道内振動システム４の平常時、出水時の状態を推定する構成である。 （もっと読む）

【課題】 処理室内に供給される処理流体の供給時の温度に基づいて処理流体の流量を正確に測定できるようにすること。
【解決手段】 被処理体である半導体ウエハＷが処理流体（例えば、オゾンガスと水蒸気の混合流体）により処理される処理室２内に、処理流体供給源（オゾンガス発生器７，水蒸気発生器９）から処理流体供給管６を介して処理流体を供給する際に、処理流体供給管内を流れる処理流体の温度を温度センサ１０によって計測して、その検出信号をＣＰＵ２０に伝達し、ＣＰＵ２０によって処理流体供給管内を流れる処理流体の温度が所定の温度に達した際に、処理流体が所定の流量に達したと判断する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ポンプ等の液体移送装置が確実に液体を送ったかどうかを電気的に確認することができる吐出センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】 本発明は、中心に孔が貫通し内部に導体のボールを有する不導体の本体と、前記本体の上にねじ込まれ下端に導体のスプリングを設けた管状の上導電体と、前記本体の下にねじ込まれ上端を弁座とする管状の下導電体と、前記上下導電体に接触した上下端子とからなり、スプリングがボールを弁座に押し付けることにより、上端子、上導電体、スプリング、ボール、下導電体及び下端子に導通が取られ、下導電体、本体及び上導電体の内部を液体が流れて、ボールと弁座が離れることにより、導通が無くなることを特徴とする吐出センサの構成とした。 （もっと読む）

【課題】精密流量制御装置を用いて混合気体用質量流量計を校正し、高精度の補正係数を求め、またガス組成分析装置を精密に校正して燃料電池の発電効率を精密に測定する。
【解決手段】ガスＡ、Ｂ、Ｃの質量流量を秤で精密に計測し、その計測データにより各ガスの供給管に設けた流量計の計測データを実時間校正して精密流量制御装置１、２、３とする。混合器７で混合した各精密流量制御装置からの混合ガスを熱式等の質量流量計９で計測し、その計測データを各精密流量制御装置から供給した各ガスの流量を加算器１５で加算したデータで校正することにより混合気体の精密流量測定装置とする。またそれによりバルブ１４を制御して精密流量制御装置とする。更に、その校正データにより質量流量計の補正係数ＣＦを得て、精密な混合ガスの質量流量計として現場等で用いる。各ガスの精密流量制御装置１〜３を用いてガス組成分析装置の校正も可能となる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で小型化の可能な消火設備用流水検知装置を得ること。
【解決手段】 逆止弁筐体１１ａ内の二次側弁室内において、弁体１６の周縁より外側位置に水流により回動し得るパドル２０を軸支すると共に、該パドル２０をそのパドル面が上記弁体１６と重なり合うことなくその回動端２０’が該弁体の側縁に近接する位置となるように配設し、上記パドル２０の回動端２０’とは反対側にスイッチ操作部材２０ａ’を設けると共に、該スイッチ操作部材２０ａ’によって駆動し得る流水検知スイッチ２２を設け、上記パドル２０の回動に基づく上記スイッチ操作部材２０ａ’の動きにより上記流水検知スイッチ２２を駆動するように構成する。 （もっと読む）

【課題】高い計測精度で微少流量の計測が可能で、サイズを小型コンパクト化できるとともに、各種の薬液にも対応が可能で、信頼性が高く、且つ低コストで容易に製造が可能な流量計を提供する。
【解決手段】拡大部を有し鉛直方向に配置されるケーシング１１と、ケーシング１１の拡大部１２内に封入され、ケーシング１１の下方から内部に流入し上方に向かう流体により押し上げられる、少なくとも一部に被検出面１３ａを有するフロート１３と、ケーシング１１の拡大部の外部に配置され、フロート１３の被検出面１３ａに磁気を及ぼすことでフロート１３の軸方向変位を検出する、少なくとも１つの変位センサ１５を備えた。 （もっと読む）

【課題】センサの特性曲線のできる限り精確なドリフト補正を可能にする、センサの信号を補正する方法及び装置を提供する。
【解決手段】センサ（１）の信号の少なくとも一つの特徴的なパラメータが基準値と比較され、センサ（１）の信号がその比較の結果に応じて補正される、センサ（１）の信号の補正方法において、基準値として、センサ（１）の信号から導き出された、センサ（１）の信号の少なくとも一つの特徴的なパラメータに関する値が形成される。 （もっと読む）

【課題】フェイリング・ダウン状態になる、信号入力の働きを無効にするため適応される軸方向運動出力装置のフェイル・フィクスト状態を達成する装置を提供する。
【解決手段】電気入力信号の喪失と同時に軸方向運動出力装置の軸方向位置を固定する装置であって、この装置は軸方向運動出力装置１２と結ばれ、軸方向運動出力装置１２が固定装置２４に対して自由に移動できる中立位置と、電気入力信号の喪失と同時に移動するのを防ぐため固定装置２４が十分な力をもって軸方向運動出力装置１２と摩擦的に係合する固定位置との間を運動するように適応される固定装置２４を備える。 （もっと読む）

【課題】
通路ダクト内部への汚損堆積によって、熱式流量計の計測精度を劣化させる。
【解決手段】
通路ダクトの熱式流量計周辺のダクト内部断面積を、その上流側と比較し大きく設定することで、熱式流量計周辺における最狭部での汚損劣化を防ぎ、通路ダクト汚損による特性変化を防ぐことを可能とする。
【効果】
本発明によれば、主に排ガスの流量を測定する流量計において耐汚損性を向上することが可能となるため、それによる不具合を防止することができ、寿命の長い高精度な熱式流量計を供給することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】
自動車用の熱式ガス流量計において、被測定ガスの異常時において、前記熱式流量計が破損する可能性がある。
【解決手段】
熱式流量計に温度検出素子を設置し、被測定ガス温度を測定すると同時に、前記測定ガス温度の検出結果を、システム或いはデバイス制御にフィードバックし、前記熱式流量計の破損防止及び破損した場合の診断を行うことを可能とする。
【効果】
本発明によれば、主に排ガスの流量を測定する流量計において、前記熱式流量計の故障防止策を講じることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 小型で塵埃等が侵入しにくく、高い測定精度を有するとともに、圧力損失の小さい流量測定装置を提供することにある。
【解決手段】 副流路が、上流側が第１分岐点となる導入口２１に連通するとともに、下流側が第２分岐点２０ａとなる導入流路２２と、上流側が前記第２分岐点２０ａで前記導入流路２２から分岐し、主流路１２と平行となるように形成されるとともに、下流側が排出口２８に連通する第１副流路２３と、上流側が前記第２分岐点２０ａで前記導入流路２２から分岐し、前記主流路１２に交差するように形成された第２副流路２４と、上流側が前記第２副流路２４の下流側に連通し、流量検出素子を配置するとともに、下流側が前記排出口２８に連通する第３副流路（検出流路）２５と、からなる流量測定装置である。 （もっと読む）