【課題】簡易な操作で迅速かつ容易に調整することができる流量計の調整方法、この方法により調整される流量計を用いた流量計測装置及び調整データを管理する調整データ管理システムを提供する。
【解決手段】被測定流体が流れるメイン流路７及びメイン流路７から被測定流体を分流させる分流部９，１０を有するボディ部２と、ボディ部２に対して着脱自在に設けられ、分流部９から導入された被測定流体の検出結果に基づいてメイン流路７を流れる被測定流体の流量を計測する流体計測部３とを備え、流体計測部３をボディ部２に取り付けた後、ボディ部２の構成に固有な計測処理に関する調整データである分流比データを流体計測部３に登録して計測処理を調整する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の状態に応じた出力信号を出力するセンサ素子を設置し、そのセンサ素子の出力信号に基づいて測定対象の流速や濃度等の状態を検知するように構成された計測装置において、簡素化且つ低廉化が可能で、迅速且つ正確に測定対象の状態を検知することができる技術を提供する。
【解決手段】センサ素子６の使用時間を累積して累積使用時間を導出する累積使用時間導出手段２９と、センサ素子６の累積使用時間に基づいてセンサ素子の感度を補正する感度補正手段２５とを備えると共に、センサ素子６の温度を導出する温度導出手段２７を備えて、累積使用時間導出手段２９が、センサ素子６の使用時間をセンサ素子６の温度に応じて補正した温度補正使用時間を累積して累積使用時間を導出する。 （もっと読む）

【課題】センサや流路に経年変化があっても信頼性の高い流速測定が可能な流速測定システムを提供する。
【解決手段】流路に設置された流速センサ１０１及び水位センサ１０２と、流速センサの設置位置及び流路条件を複数変えて事前に決定した複数の流速対水位相関曲線を記憶する記憶手段１１１と、流速センサ１０１の設置位置及び流路条件に基づいて記憶手段１１１から流速対水位相関曲線を一つ選択する相関曲線選択手段１１２と、相関曲線選択手段１１２で選択された流速対水位相関曲線と水位センサ１０２から入力した水位測定値とに基づいて、流速センサ１０１から入力した流速測定値に対する補正量を算出し、この補正量で流速測定値を補正する補正手段１１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板に吐出される処理液の流量を正確に計測することができ、これにより、基板に適切な処理を施すことのできる基板処理装置、および処理液流量計測方法を提供すること。
【解決手段】処理液供給路への第１薬液の流通が開始されたときの流量計の出力する計測値がサンプリングされ（ステップＴ９）、この計測値に基づいて、第１薬液の計測値の時間変化を表す計測パターンが形成される（ステップＴ１２）。その計測パターンの波形をＤＩＷパターンの波形にパターンマッチングさせる（ステップＴ１３）。パターンマッチングされた後の計測パターンと、ＤＩＷパターンとに基づいて、複数の計測値にそれぞれ対応する第１薬液の補正係数が演算される（ステップＴ１４）。パターンマッチング後の互いに波形のずれがない計測パターンおよびＤＩＷパターンに基づいて補正係数の演算が行われる。 （もっと読む）

【課題】 製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。
【解決手段】 質量流量制御装置の初期状態において、校正ガスを用いて流量設定信号に対する実流量を計測した校正ガス特性データを求め、この校正ガス特性データを制御手段に記憶し、一方、複数種類の実ガス毎に流量設定信号に対する実流量を計測した実ガス特性データを求め、この実ガス特性データを記憶媒体に保存し、その後、前記質量流量制御装置を稼働する前に、実使用ガスの実ガス特性データを前記記憶媒体からコンピュータを介して読み出し、また、前記制御手段に記憶した校正ガス特性データを読み出し、前記実ガス特性データを元に前記校正ガス特性データを制御流量補正データに変換し、制御流量補正データを制御手段に書き込み、この制御流量補正データを基に実ガス流量を補正する流量制御補正方法である。 （もっと読む）

【課題】正確に流量を計測できる超音波流量計。
【解決手段】被計測流体が流れる流路の上流側と下流側に一定の距離離れて設置された一対の超音波振動子１２ａ，１２ｂの間で送受される超音波信号の伝播時間に基づいて流路に流れる被計測流体の流量を計測する計量部１１と、マスターメータ３で計測した被計測流体の流量の真値と計量器１で計測した被計測流体の流量の計測値との差分を離散的な代表点毎に求めて補正値として記憶する記憶部１３と、記憶部に記憶された離散的な代表点毎の補正値を補間することにより連続的な補正値を求め、計測値の誤差を示した器差曲線を近似する補間手段２３と、補間手段で近似された器差曲線を用いて計量部で計測された被計測流体の流量の計測値を補正することにより被計測流体の流量の真値を求める補正手段２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は車両燃料消費量解析システムと車両燃料消費量解析方法に係り、燃料消費量を高精度に解析することのできる解析システムと解析方法を提供する。
【解決手段】 請求項１に係る発明は、車両の燃料タンクに装着したフューエルセンダユニットと、車両に搭載され、フューエルセンダユニットからのセンダ信号を入力するデータ収集装置と、形状，容量の異なる燃料タンク毎にフューエルセンダユニットを用いて電圧とタンク内燃料残量の関係をキャリブレーションしたキャリブレーション線図が記憶され、データ収集装置で収集されたデータを後処理する端末とを備えた車両燃料消費量解析システムであって、データ収集装置は、フューエルセンダユニットからのセンダ信号を記憶媒体に記録し、端末は、データの後処理として、記録媒体に記録されたセンダ信号を読み取って任意時間毎に平均化し、この平均化したデータとキャリブレーション線図からタンク内燃料残量を求めて燃料消費量を解析することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を制御する熱式質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】熱式質量流量コントローラは、流体を受けるように構成されている導管と、流体が導管内を通過する際に、流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサと、流体の周囲温度を測定するように構成されている温度センサと、流体の流速を表す出力を発生するように構成されている熱センサとを含む。熱式質量流量コントローラは、更に、熱センサからの出力、圧力センサによって測定した圧力、および温度センサによって測定した周囲温度を監視し、熱吸引によって起こる熱センサの出力のずれを補償するように、導管内における流体の流量を規制するように構成されている制御システムを含む。 （もっと読む）

【課題】面倒な校正、調整作業を行うことなく、各種の供給気体の質量流量制御を高精度で行うことのできる気体供給装置を提案すること。
【解決手段】気体供給装置１では、重量計測部１３によって材料の重量変化量ΔＷ、すなわち実際の材料消費量を測定し、これに基づき算出した実際の質量流量Ｑｍが目標質量流量Ｑｍｒｅｑに収束するように、流量制御部６に設定されている設定質量流量Ｑｍｓｅｔを補正している。材料の実際の消費重量に基づき、流量制御部６を適宜、校正することができる。校正、調整作業を定期的に行うことなく、また、取り扱う供給気体の種類、使用する流量制御部６の制御精度に左右されることなく、再現性良く、質量流量制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 体積流量を適切に算出する。
【解決手段】 エンジンの上流圧（コレクタ圧）をコレクタモデルにより検出し、コレクタ圧、大気圧およびエンジン回転数Ｎｅに基づいて体積流量の算出に用いられるポンプ体積効率ηを算出する（ポンプ体積効率算出手段４４）。そして、ポンプ体積効率ηとエンジン回転数Ｎｅとに基づいて体積流量ｄＶを算出する（ｄＶ＝η×Ｖeng×Ｎｅ／１２０、体積流量算出手段４５）。コレクタ圧が大気圧より低いほどポンプ体積効率ηを小さくし、体積流量ｄＶを少なくする。 （もっと読む）

【課題】 誤差が安定となり、ユーザの利便性が向上する超音波流量計を提供する。
【解決手段】 超音波を用いて配管の流量を測定する超音波流量計において、前記配管の面粗さに係るデータベースを備えることを特徴とする超音波流量計。 （もっと読む）

本発明の実施形態は流通装置（３０）の高速較正のためのシステム（２００）と方法を提供する。流通装置には製造者または第三者より較正流れ曲線（例えば、ｎ次多項式で表される）が与えられる。較正曲線は、プロセス流体や１つまたは複数の補正因子を使用して流通装置が実際にインストールされているシステムに対して調整できる。補正因子は簡単な実験的テストまたはプロセス流体の流体特性に基づく流れ曲線に対して決定され得る。補正された流れ曲線はその次に、将来の流れ制御に使えるよう流通装置に保存される。
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ミクロな液体の流れセンサを校正する装置および方法であって、流れセンサ中の液体の流れが停止され、流れセンサから第１の値が読み取られ、次いで液体が流れセンサを通して第１および第２の選択された速度で連続的にポンプ輸送され、流速の流れセンサからの読み取り値が各速度について取られる装置及び方法である。この読み取り値は、実際の流速を決定するために多項式で使用される。その実際の流速はセンサを校正するために使用される。流れセンサは、校正方法を実行し、センサの実際の流速を決定し、ポンプの流速を適切に調節するようにプログラムされたコンピュータに接続することができる。 （もっと読む）

コリオリ流量計の流量較正因子を検証する方法及び装置である。第１の実施の形態によれば、材料の温度が所定の基準温度に等しいときに材料密度を測定することによって材料密度の改善が得られる。第２の実施の形態によれば、事前プログラムされたデータベースが密度／温度関係を格納する。材料の密度及び温度を測定し、データベースからの実測密度／温度情報を適用し、所定の基準温度に関して補償された密度情報を得ることによって密度情報の改善が得られる。両実施の形態について得られる密度情報の改善は、温度変化の影響を受けず、流量較正因子を検証するのに使用される。同様にして、圧力の変化及び材料組成の変化に関する流量較正因子補償が得られる。
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