【課題】チャンバ内の上昇する圧力の影響を実質的に受けない上昇率流量検出器の提供。
【解決手段】流体送達被試験デバイス（ＤＵＴ）１１０からの流体の流れを収容するように構成されるチャンバ１３０と、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも１つの温度センサ１８０と、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも１つの圧力変換器１７０と、ＤＵＴからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズル１４０とを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。 （もっと読む）

【課題】 ガバナ付きガス器具とその他のガバナ無しガス器具とへ、共通する流路を介してガスが供給される環境において、何れのガス器具が使用されているかをより正確に判定することができるガス器具判定方法、及びガスメータ装置を提供する。
【解決手段】 ガス器具判定方法は、ガス管３内のガスの流量ｑを計測するステップＳ１、ガス圧ｐを計測するステップＳ２、計測したガス圧ｐに基づき補正流量Ｑを取得するステップＳ３、補正流量Ｑが予め設定された器具判定域Ｆに含まれるか否かを判定するステップＳ４、補正流量Ｑが器具判定域に含まれない場合に、補正前の流量ｑが器具判定域に含まれるか否かを判定するステップＳ５、を備える （もっと読む）

【課題】流量計測機器及び制御機器を有する流量計測システムにおいて、そのメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ＭＦＣ２及びこのＭＦＣ２を管理する制御機器３を有する流量計測システム１００であって、前記ＭＦＣ２が、流量センサ２１と、この流量センサ２１により得られる計測データを用いた流量算出に用いる流量算出関連データを格納する関連データ格納部Ｄ１とを備え、前記制御機器３が、前記関連データ格納部Ｄ１から前記流量算出関連データを取得し、前記流量センサ２１の計測データ及び前記流量算出関連データを用いて流量算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】圧力及び温度に可能な限り依存しない流量センサの提供。
【解決手段】気体又は液体の流量を測定する、ハウジングを備えた流量センサであって、前記ハウジング内には、１つの主流路２及び主流路２に平行な測定流路３を備えた流路が導入路１５と排出路１６の間を伸張し、主流路２には少なくとも１つの絞り部１７が備えられ且つ測定流路３には流量を測定する１つのセンサ素子が備えられ、測定流路３の入口側と出口側にはそれぞれ１つの絞り部１８が備えられ、主流路の絞り部１７は少なくとも１つの通過路１９を備え且つ測定流路の絞り部１８は少なくとも１つの通過路２０を備え、それぞれの通過路は同一形状であり流れ方向に平行に伸張していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】計測環境に影響されない流量の計測を可能にする。
【解決手段】流量計（２０）を通してワークに供給する気体を調圧弁（１２）でテスト圧に設定し、流量計によりワークから流出する計測環境での流量を計測し、ワークに供給する気体の温度と計測環境の気圧を測定し、測定した温度と気圧により流量換算部（３０Ｒ）において標準状態の流量への変換係数Ｒを計算し、流量等価部（３０Ｅ）において換算流量に対し換算係数の平方根で割り算して計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量を求め、表示する。 （もっと読む）

【課題】部品点数が削減された流量検出装置を提供する。
【解決手段】管内の流体の流量を検出する流量検出装置であって、圧電材料から成る、弁体に設けられたセンサチップと、センサチップに駆動信号を供給し、センサチップの検出信号を処理する処理手段と、を有し、センサチップは、流体に晒されるセンサ面に、駆動信号を受けて表面弾性波を発生し、表面弾性波を検出信号に変換する弾性波部と、弾性波部によって発生された表面弾性波を、弾性波部に反射する反射部と、駆動信号を受信するとともに、検出信号を送信する内部通信部と、を有し、処理手段は、駆動信号を生成する生成部と、駆動信号を送信するとともに、検出信号を受信する外部通信部と、駆動信号と検出信号とに基づいて、流体の圧力、温度、弁体の開度、及び、流体の流量を算出する算出部と、を有する。 （もっと読む）

噴射工程を測定するためのシステムの温度変化の調整は、補正係数によって理論的にのみ行われるが、エラーを負っている。したがって、測定チャンバ（２）に加熱または冷却要素（３２）を配置し、該加熱または冷却要素（３２）は、噴射された流量と加熱または冷却要素（３２）とによって供給されるエネルギ量が噴射毎に実質的に一定になるように、制御装置（２６）によって操作される。それと同時に、一定のエネルギ量がシステムから取り除かれ、これによって測定チャンバにおいて一定の温度が形成され、これによって理論的なエラーを負った計算を回避することができ、噴射決定時の測定精度を改善することができる。
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本開示は、質量流量コントローラのような、質量流量給送／測定デバイスを通過する質量流量を測定し検証する質量流量検証システムおよび方法に関する。質量流量検証システムは、予め設定されている容積、温度センサ、および圧力センサを備えている。質量流量測定デバイスの中にある隙間容積から生ずる誤差を補償するために、質量流量検証システムによって測定、検証、および判定された流量を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】標準流量等を安定して正確に計測可能な流量計及び流量計測方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波流量計１０は、第１と第２の超音波送受波器１４，１５を用いて、計測管１３内の気体の流速Ｖと温度Ｔ１とを計測し、静圧計１７を用いて計測管１３内の気体の静圧Ｐ１を計測している。そして、流速Ｖから気体の動圧Ｐ２と、静圧Ｐ１と動圧Ｐ２の和で全圧Ｐ３を演算している。そして、これら計測又は演算した実際の流速Ｖ、実際の温度Ｔ１及び実際の全圧Ｐ３と、ボイルシャルルの法則に基づく関係式とを使用して、実際の流速Ｖを、予め定めた標準温度Ｔ０及び標準全圧Ｐ０で計測管１３内の単位面積に流れる気体の標準単位流量Ｑｘと、その標準単位流量Ｑｘに計測管１３の内側断面積を乗じた標準流量Ｑとを演算して出力している。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】高精度、高信頼で低コストの熱式空気流量センサを提供する。
【解決手段】空気流量を計測するための流量センサ素子４と、空気流の少なくとも温度、圧力および湿度のいずれかを計測するための環境センサ素子５と、前記流量センサ素子４が配置された副通路７と、前記副通路７が構成され前記主空気流３中に配置されるハウジング１５とを備え、流量センサ素子４が配置された副通路７よりも主空気流３中心側に、副通路７と隔離され且つ主空気流３と連通した環境センサ素子５を収納する計測室１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】稼働中のボイラにおいても、大掛かりな工事などを必要とせずに蒸気発生量を算出する蒸気発生量算出方法を提供する。
【解決手段】燃料の燃焼を行うことで熱を発生して蒸気の供給を行っている蒸気ボイラ１において、ボイラ１の燃焼排ガスを流す煙道２内の全圧と静圧を測定し、全圧と静圧の差から煙道内の排ガス流速を測定するピトー管による排ガス流速計３と、燃焼排ガスの温度を測定する排ガス温度計４を設け、前記測定装置にて測定した値と、蒸気ボイラが持つ固有値により、蒸気ボイラの燃料使用量を演算により算出し、演算で求めた燃料使用量を用いて蒸気使用量を算出する。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

【課題】演算量を増大させることなく流入する流体の密度に影響されずに、流量を推定する方法および装置を提供する。
【解決手段】ブロア２の回転速度を温度で補正した修正回転数と、ブロア２の吐出圧と、ブロア２の送出する流量を吐出圧と流体の温度で補正した修正流量との関係を表す関係データ１５と、ブロア２の回転速度を検出する回転数センサ３と、ブロア２の吐出圧を検出する吐出圧センサ４と、ブロア２に流入する流体の温度を計測する温度センサ５と、回転数センサ３で検出した回転速度を温度センサ５で計測した温度で補正した修正回転数を算出する修正回転数算出部１２と、ブロア２の修正回転数と吐出圧と修正流量との関係を表す関係データ１５から、吐出圧と修正回転数で決まる修正流量を算出する修正流量算出部１３と、修正流量算出部１３で算出した修正流量から吐出圧と温度の補正を除いた流量を計算する流量算出部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】実際の排気ガス流量に基づく様々なガス状汚染物質の質量流量のリアルタイムの測定を規定するものであり、且つ試験を受けるべき車両に対して何の修正も要求しないように成した流量計モジュールを提供するものである。
【解決手段】車両搭載型の排気物試験システムの中に、車両の当該排気管に対して取外し可能に接続されるように成した排気ガスの流れを規定する流量計モジュールを包含する。当該計器モジュールは、当該排気ガスの流量の測定を許容する差圧プローブと、当該排気ガスのサンプルをガス分析器に対して連続的に送り込むためのガス・サンプリング管とを包含する。流量計モジュールはまた、その内部に装着されて粒状物質を送り込むように成した第２のガス・サンプリング管を備えた粒状物質検出器を更に包含することも可能である。 （もっと読む）

【課題】 制御対象となるガスの種類や性状によらず、そのガス流量を高精度に制御できる質量流量制御装置および実ガスの質量流量制御方法を提供する。
【解決手段】 実ガスが流入する流入管部２と、実ガスの温度を検出する温度センサ７と、実ガスの圧力を検出する圧力センサ８と、実ガスの質量流量を検出する流量センサ５と、実ガスの流量を制御する流量制御弁６と、各センサの出力に基づいて流量制御弁６の開度を調整する制御回路９と、を有する質量流量制御装置１であり、制御回路９は、圧力と温度に依存し、校正ガスの流量に対する実ガスの流量の比率である環境補正係数により補正された流量設定値と流量センサ５からの流量信号を比較するディジタル演算回路１０を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易算出モードと詳細算出モードとを有する流量算出装置をＦＤＴ／ＤＴＭ技術に対応可能とする。
【解決手段】流量算出装置１００に対して、上記パラメータを入力するパラメータ設定装置であって、上記簡易算出モードあるいは上記詳細算出モードのいずれかのモードを設定してモード設定信号出力するモード設定部２３及び上記モード設定信号に基づいて上記パラメータを選別して出力するパラメータ選別部２２を有するパラメータ設定部２１と、上記パラメータ設定部２１から入力される上記パラメータ及び上記モード設定信号に基づくモードフラグを記憶する記憶部４と、該記憶部４に記憶された上記パラメータ及び上記モードフラグを上記流量算出装置１００に入力する通信処理部５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ガスボンベに充填されたガスの残量を正確に把握することに可能であり、ボンベへのガス補充時期やボンベの交換時期を最適化することができる流量計を提供する。
【解決手段】容器に充填されたガスを所定の工程に導くガス配管路に流れるガスの質量流量を計測する質量流量計測部と、容器に充填されたガスの特性情報を入力する入力部と、この特性情報から標準状態における体積値にガスの体積情報を換算する標準状態体積変換部と、入力部に入力されたガスの特性情報から体積流量に質量流量を換算する流量換算部と、この流量換算部が換算したガスの体積流量とガスが所定の工程に供給された時間との積からガスの積算流量を求める積算流量演算部と、標準状態体積変換部が換算したガスの体積値と積算流量演算部が求めた積算流量との差分から容器に充填されたガスの残量を求める残量演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】水蒸気等が含有されているにもかかわらず、ガスのみの流量を正確に計測できる流量計測方法を提供。上述の正確な計測をするのに高価な流量計を用いる必要のない流量計測方法を提供。
【解決手段】管体を通してガスが供給され、該管体に取り付けられた第１流量計により該ガスの流量値が検出されるガス供給経路にあって、
該第１流量計の下流側の前記管体に、該第１流量計よりも測定精度が優れ該第１流量計とは異なる第２流量計を取り付ける行程と、
該第２流量計の出力から水蒸気を含まないガスの流量を演算する行程と、
該ガスの流量の演算結果から前記第１流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を前記第１流量計の検出値として用いる行程と、
前記管体から少なくとも前記第２流量計を取り外す行程と、を有し、
前記補正された流量値は水蒸気を含まないガスの流量値に相当する値となっていることを特徴とする流量計測方法。 （もっと読む）