【課題】多点温度測定及び広範囲の温度測定を低コストで行うことを実現した温度測定システムを提供する。
【解決手段】温度測定システム１０は一本の光ファイバ１１を備えており、光ファイバ１１のＦＢＧ２１，２２，２３，・・・，２ｎが被測定部３１，３２，３３，・・・，３ｎにそれぞれ設けられている。光ファイバ１１の一端に接続された光源１２は、各ＦＢＧの反射帯域より広帯域であり且つ連続的なスペクトルの光を、入射光として光ファイバ１１に入射する。測定手段１３は、各ＦＢＧを通過した透過スペクトルの帯域幅を含む帯域を測定可能となっており、入力される透過スペクトル中に示される各ＦＢＧの反射スペクトルの移動量に基づいて、対応する被測定部の温度が測定される。 （もっと読む）

【課題】複数の処理チャンバー内の温度測定対象物の温度を同時に測定することのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を複数の測定用の光に分けるための第１光分離手段と、複数の測定用の光を夫々測定光と参照光に分けるための複数の第２光分離手段と、測定光をｎ個の第１〜第ｎ測定光に分けるための第３光分離手段と、複数の参照光を夫々反射するための参照光反射手段と、参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための１つの光路長変化手段と、温度測定対象物から反射する第１〜第ｎ測定光と、参照光反射手段から反射する複数の参照光との干渉を測定するための複数の光検出器とを備えた温度測定装置。 （もっと読む）

【課題】ラマン散乱を利用して低価格で精度が優れ応答性が高く使いやすい光ファイバ温度分布測定装置を得る
【解決手段】光ファイバ内で発生するラマン散乱光のストークス光及びアンチストークス光に基づいて温度分布測定を行う装置において、λ１及びλ２（＞λ１）を含む連続光が光ファイバに入射されたときに、第１の波長λ１の連続光で発生する第１のストークス光の波長λ１ｓと、第２の波長λ２の連続光で発生する第２のアンチストークス光の波長λ２ａとが共に、λ１＜λ１ｓ＜λ２，λ１＜λ２ａ＜λ２を満たすとともに、λ１ｓとλ２ａとがほぼ同一となる連続光を共通のＰＮ符号でデジタル変調して光ファイバに送出し、光ファイバからラマン散乱光を含む後方散乱光をＰＮ符号でＰＮ復調して、時間領域でλ１ｓ成分とλ２ａ成分とを分離検出して第１のレベル比を算出して光ファイバの長手方向における温度分布特性を出力する。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザを用いてガスタービン内の高温ガス温度を測定すること。
【解決手段】ガスタービン（１０）に装着された燃焼ガス測定装置であって、該測定装置が、ガスタービン（１０）内の燃焼ガス通路（３０）を通過するレーザビームを放出（１１０）する波長可変ダイオードレーザ（２２）と、１３３４ナノメートル（ｎｍ）の波長の第１のレーザビームと、１３８０ｎｍ又は１３９１ｎｍの波長の第２のレーザビームとを放出するよう波長調整（１００、１０２）される波長可変ダイオードレーザ用のコントローラ（２０）と、燃焼ガス（３０）を通過する放射線ビームの各々を検知（１００）し、波長の各々において燃焼ガスによるビームの吸収を示す吸収信号（１１２）を生成するレーザセンサ（２２）と、を備え、コントローラ（２０）が、非一時的な記憶媒体上に格納され、第１のレーザビーム及び第２のレーザビームの吸収信号の比に基づいて燃焼ガス温度を決定（１１４）するプログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】ガスタービンエンジン（１０）の排出面における温度の２次元分布を再現する方法及びシステムを提供すること。
【解決手段】光送信（５２）及び検出（５４）ペアは、個々の光線が排出口（１６）のセクタ全体にわたってビームの２次元メッシュ（７０）を形成するようにして、タービンエンジン（１０）の排出口（１６）のアニュラス内に配列することができる。光線の吸収に基づいて、光線が通過する排出口（１６）のセクタの温度を決定することができる。これらの決定に基づき、タービンエンジン（１０）の動作に対応する画像を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】空気入りタイヤを構成する各所の歪みを状況や目的に合わせて検出すること。
【解決手段】伸縮により光の反射波長が変化する回折格子部９２が形成された光ファイバ９を内部に埋設した空気入りタイヤ１において、複数のコードを有するビードコア５１、カーカス層６、ベルト層７およびベルト補強層８などの構造体について、コードの少なくとも１つを光ファイバ９に置換する。かかる空気入りタイヤ１によれば、構造体のコードの少なくとも１つを光ファイバ９に置換したことで、構造体に生じる歪みや温度の変化を状況や目的に合わせて検出できる。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載される複数の部品と接触する光ファイバにおけるラマン散乱光に基づいて複数の部品の温度を検出する温度検出装置において、各部品の温度を適切に検出する。
【解決手段】光ファイバ６００は、一方の端部が温度検出ユニット７００に接続される。光ファイバ６００は、温度検出対象であるエンジン１００、モータジェネレータ２００、排気管３００、電池パック４００、車両室外の空気、および電池パック４００近傍の車両室内の空気に対して、それぞれ接触部６１０，６２０，６３０，６４０，６５０，６６０で接触する。各接触部６１０〜６５０は、各温度検出対象と複数回巻かれた状態で接触するように固定される。温度検出ユニット７００は、光ファイバ６００の端部から光を入力し、端部に戻ってくるラマン散乱光を時間ごと検出することにより、各温度検出対象の温度を一括して検出する。 （もっと読む）

【課題】温度測定のために配線などの付加的な機構を不要としつつ、不純物の発生がなく、１５０〜６００℃程度の最高到達温度の測定を可能とする温度測定方法、ならびに、その方法に用いる、温度測定具および温度測定装置を提供する。
【解決手段】シリコン、ガラス、石英、グラファイト、サファイヤおよびセラミックからなる群から選ばれたいずれか１種の材料からなる基板上に、スパッタ法または蒸着法で膜厚２００ｎｍ以上１８００ｎｍ以下のアルミニウム薄膜を成膜してなる温度測定具を用い、この温度測定具が受けた温度履歴に伴って前記アルミニウム薄膜の表面に形成された突起に起因する、前記アルミニウム薄膜の反射率の低下量を測定し、この反射率の低下量に基づいて、前記温度履歴のうち最高到達温度を推定する温度測定方法。 （もっと読む）

【課題】遠隔から異常な発熱とその発熱区間を、簡易かつ安価な構成により検知することができる発熱検知方法及び発熱検知装置を提供する。
【解決手段】クラッドの屈折率の異なる２種類以上の光ファイバ１２−１〜１２−Ｎを縦列又は並列に接続した光ファイバ群と、光源１０と、偏光子１３と、受光部１４とにより遠隔から異常な発熱とその発熱区間を検知した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、歪み及び／又は温度をより高精度で測定可能な分布型光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】本発明に係る、ブリルアン散乱現象を利用して歪み及び／又は温度を測定する分布型光ファイバセンサでは、メイン光パルスと、メイン光パルスに先立ち、最大光強度がメイン光パルスの光強度よりも小さく、エネルギーが立ち上がりからメイン光パルスの立ち上がりまで最大光強度で一定の光パルスにおけるエネルギーよりも小さいサブ光パルスとが検出用光ファイバ１５に入射され、連続光が検出用光ファイバ１５に入射され、そして、検出用光ファイバ１５から射出されるこれら光の相互作用によって生じるブリルアン散乱現象に係る光に基づいて検出用光ファイバ１５に生じた歪み及び／又は温度が測定される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でコストの上昇を伴わずに伝播速度が異なる複数の信号を所望のタイミングでサンプリングすることができる光ファイバ測定装置及びサンプリング方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ測定装置１は、レーザ光Ｐ_Ｌを光ファイバ１３に入射させて得られるストークス光Ｐ_ｓ及び反ストークス光Ｐ_ａの光電変換信号を同一のタイミングでサンプリングするＡ／Ｄ変換回路２３ａ，２３ｂと、Ａ／Ｄ変換回路２３ｂからのサンプルデータに対し、所定数のサンプルデータ毎に所定数のサンプルデータを間引く処理を行う信号処理回路２５と、Ａ／Ｄ変換回路２３ａからのサンプルデータと信号処理回路２５で間引き処理が行われたサンプルデータとを用いて所定の演算を行い、光ファイバ１２の長さ方向における特性を求める演算処理回路２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】
従来の分布型温度センシングシステムの性能をはるかに凌ぐダイナミックレンジ5000以上、センサからの波長が0.1pmの変化で受光素子での光量変化が0.5nW以上、システムに接続可能センサ数がCバンドの帯域幅50nmで100以上の性能を持った分布型温度センシングシステムの実現を課題とする。
【解決手段】
ダブルリング共振器のドロップポートにブラッググレーティングを接続しセンサを構成する。センサの入出射ポートは該共振器入出射ポートとする。これを複数接続したセンサ群に広帯域光源からの光を入射させ反射光をファブリペロー干渉計のような共振波長が電気信号により可変の干渉計を用いた波長検波器により検波しもってダイナミックレンジ、多重数（システムに接続可能センサ数）の両面から従来の分布型センシングシステムの性能を遥かに凌ぐ。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ分布計測システムに使用される光ファイバブラッググレーティング（以下FBG）は中心波長が変化しても反射光量の変化はほんのわずかであるため信号対雑音比が小さく波長検波器内の受光素子への外来電磁ノイズにより前記中心波長の測定値が大きく変動するという欠点があった。
【解決手段】２つのリング導波路を１つの光方向性結合器で接続し一方のリング導波路中にブラッググレーティングを内蔵させ他方のリング導波路は光方向性結合器で信号伝送用光ファイバに接続してなるセンサを複数直列に接続し該センサからの反射光を波長可変な櫛型チューナブルフィルタを1入力多チャンネル出力のアレイ導波路格子に導き各チャンネルの波長帯域は各センサのブラッググレーティングの波長帯域に等しく各チャンネル出力それぞれを最大にする前記チューナブルフィルタ制御電圧を測定することにより各センサの温度を充分な信号対雑音比で測定する。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスの電界と温度とを一つの測定装置により測定できるようにして、迅速かつ低コストにLSIチップ/パッケージの電気/熱設計のデータを提供できるようにする。
【解決手段】レーザ光源１００と、ファイバアンプ１０２と、偏光コントローラ１０３と、EOセンサ１０５と、検光子１１５と、光サーキュレータ１０４と、電界検出用のフォトディテクタ１１７と、温度検出用の光スペクトラムアナライザ１１９と、検光子１１５の出射光を分岐するカプラ１１６と、各素子を連結する光ファイバ１０１と、RFスペクトラムアナライザ１１８とから構成され、EOセンサ１０５の電気光学効果を電界測定に、また光共振特性を温度測定に利用する。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧの反射中心波長の割り当てが容易で、ＡＷＧの複数の出力チャンネル分の分離波長帯域をまたいでＦＢＧの反射中心波長が変化することに対応可能な物理量測定システムを提供する。
【解決手段】複数のＦＢＧ２が長手方向に形成された光ファイバ３と、光ファイバ３に広帯域の光を入射させる光源４と、光ファイバ３から出射されるＦＢＧ２の反射光を複数の分離波長域に分離してそれぞれ出力チャンネルに出力するＡＷＧ５と、出力チャンネルごとの出力光を受光する複数の受光素子６と、各受光素子６の出力変化により各ＦＢＧ２の反射中心波長変化を検出して光ファイバ３に与えられている物理量とその位置を演算する演算部７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】温度分布測定又は歪分布測定の効率を向上させること。
【解決手段】光ファイバ分布型センサ１では、光源１４から出力されたプローブ光及びポンプ光が、測定対象物Ｍに設置された光ファイバ１１に対向入射し、光ファイバ１１において発生したブリルアン散乱光により利得を得たプローブ光のＢＧＳが、スペクトル測定部１８によって測定される。そして、測定対象物Ｍの一部分で温度変化又は歪変化が発生し、その位置が検知された場合に、区間制御部１３によってＢＧＳを発生させる区間の長さがより小さく設定される。よって、温度変化又は歪変化が発生した位置付近においてより細かい間隔でＢＧＳを発生させることができる。従って、温度変化又は歪変化が発生した位置を高精度に特定することができる。温度変化又は歪変化が検知されなければ、比較的低い精度で測定するので、測定時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 センサ位置の同定ができ、同一光伝送路に複数のセンサを配置可能とし、かつ、２波長系の統合が容易なファイバセンシングシステムの提供。
【解決手段】 ファイバセンシングシステム１は、入射光を被測定物理量に応じた反射応答の反射光として出力できるセンサヘッド３４_１，３４_２，…，３４ｎを有する光ファイバセンシング系３と、共通の擬似ランダム信号によって相補的に出力される波長の異なる二つの光を合成して光ファイバセンシング系３に送出し、光ファイバセンシング系３からの反射光を異なる波長の二つの反射光に分波し、相補的に変化する二つの反射光をそれぞれ電気信号に変換し、二つの電気信号を基に二つの反射光による反射利得の比より求まる波長シフトから被測定物理量を検出する２波長反射計測系５とを備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス製造装置において、臨界点（ハンドギャップ等）近傍のエネルギーを有するレーザ光の反射率を測定することで、基板の温度をリアルタイムに測定可能とする。
【解決手段】半導体デバイス製造装置３において、基板５の臨界点（バンドギャップ等）に近いエネルギーを有する第１レーザ発振器1を観察窓４から照射し、基板５から反射された光量を検出する光検出器８を備え、反射量から反射率を求め、既知の反射率と比較し、基板５の温度をリアルタイムに測定する。観察窓４の汚れ等による測定低下を、基板５の温度によって反射率が殆ど変化しない波長のレーザ光を用いて補正する。 （もっと読む）

【課題】
測定試料の微小な領域の温度を高い精度で測定しようするものである。
【解決手段】
水を含む測定対象である微小領域の測定試料を顕微鏡本体部によって拡大すると共に、微小領域を透過した検体光と参照光のスペクトルを求めると共に、特定の波長の光強度を用いて測定試料の吸光度差を求め、当該吸光度差に基づいて検体の温度変化を求めるようにする。 （もっと読む）

【課題】 ガス流れを乱すことがなく、多種類の成分ガス濃度を精度良く測定できるガス分析装置を提供する。
【解決手段】 排ガス分析装置１０は、排ガスが流れる排気経路に固定されるセンサ部１１を備えており、センサ部は、ガスにレーザ光を照射するための光ファイバ２５Ａと、ガス中を透過したレーザ光を受光するためのディテクタ２６Ａと、ガスが流れる経路の断面形状と実質的に同じ断面形状である排ガス通過孔２１と、ガス通過孔外に配置されレーザ光を反射させるミラー３０，３１と、ミラーと排ガス通過孔とを結ぶスリット３８と、を少なくとも備えており、センサ部は、光ファイバから照射されたレーザ光が、排ガス通過孔を通過するガス中を透過し、スリットを通してミラーに到達し、ミラーで反射されスリットを通してガス中をさらに透過し、ディテクタに導かれるように構成されている。 （もっと読む）