本発明の１つの態様は、第１の端と、第２の端と、それらの間の複数の継ぎ合わせアームセグメントと、を有する関節付きアームを含む座標測定機器を含み、各アームセグメントは、少なくとも１つの位置トランスデューサを含む。アームの第２の端には、測定プローブアセンブリが結合される。測定プローブアセンブリは、アームの第２の端と測定プローブアセンブリのボディとの間に第１の回転軸を提供する第１の継ぎ手を含む。エンコーダは、エンコーダケースおよびエンコーダシャフトを含む。エンコーダケースは、ボディに剛結合されるエンコーダシャフトに対して第２の軸を中心に回転するように構成される。エンコーダシャフトにプローブが剛結合される。第２の軸を中心にプローブに対して回転するように、測定機器がエンコーダケースに結合される。
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【課題】非球面レンズなどの測定物の形状等をより高精度に測定でき、壊れにくく長寿命、低コストの三次元測定プローブを実現する。
【解決手段】小エアー軸受け部７Ａに取り付けられた磁石２９とヨーク８と小摺動軸部６に取り付けられた磁性体ピン２０とが磁気回路を形成することにより、小摺動軸部６の回転と軸方向の変位を妨げる磁力を発生させる。非接触の磁力なので下からでも横からでも測定できる三次元測定プローブとなる。 （もっと読む）

【課題】互換性のある工具に対応する工具懸架台であって、従来の装置にあるような制約のないものを提案する。
【解決手段】
工具２００を収納する為の工具懸架台２０であり、各工具２００は、その座標計測器の可動アームに取り外し可能なように連結可能で、工具２００を収納する為の工具懸架部位があって、該懸架部位には、工具２００を、第一の方向に沿ってその懸架部位の中に挿入することができ、その第一の方向に沿ってその懸架部位の中から取り除くことができるような複数のガイド６０と、その工具２００が第二の方向に向かう動きをするのを制限する複数の保持表面とがあり、そのような複数のガイド６０と複数の保持表面とが、その工具２００に傾きを生じさせるように配置されている。 （もっと読む）

可撓性のスタイラス（１２）を有するアナログ式プローブ（４）を用いて、工作機械上のワークピース（６、３０、６０、１００）を測定する方法が記載されている。方法は、工作機械の作業領域内に配置されている、名目上の表面プロフィール（３２）を有するワークピース（６、３０、６０、１００）を受け取るステップを備えている。工作機械は、ワークピース（６、３０、６０、１００）に対してアナログ式プローブ（４）を所定の（既知の）測定経路（４０、６４、１０２）に沿って移動し、スタイラス（１２）の撓みを測定するのに用いられる。アナログ式プローブ（４）は、ワークピース（６、３０、６０、１００）に対して５ｍｍ／ｓｅｃ以上の速度で移動し、所定の測定経路（４０、６４、１０２）は、スタイラスがワークピースのプロフィールが不連続部分を示すワークピースから空間的に離されるように選択される。
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【課題】 接触型３次元座標測定機と非接触型３次元座標測定機との両方の測定機用に容易に変更可能にするとともに、球体をゲージ本体側との間の応力影響がほとんど作用しないようにして保持できるようにし、振動や衝撃に対して、また、接触型３次元座標測定機用と非接触型３次元座標測定機用との変更時においても、標準値が変化する事態を極力防止して寸法安定性の向上を図る。
【解決手段】 ３次元座標測定機の定盤上に設置されるゲージ本体１と、ゲージ本体１に保持される複数の球体Ｇとを備えて構成され、球体Ｇを磁着性材料で形成するとともに、球体Ｇとして、接触型３次元座標測定機に用いられる接触型球体Ｇ（ａ）と、非接触型３次元座標測定機に用いられる非接触型球体Ｇ（ｂ）との二種類の球体Ｇを備え、ゲージ本体１に、永久磁石を備えて形成され接触型球体及び非接触型球体のうちから選択された何れかの球体Ｇを磁着保持する保持体１０を付設した。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面にプローブ球を接触させて一定力で押しながら測定を行う形状測定装置において、プローブの倒れや曲がりによる誤差を補償する。
【解決手段】プローブ球１をワークＷに接触させて測定する形状測定装置において、プローブ２の倒れや曲がりによるプローブ球１の変位を３次元的に測定する２組のプローブ球位置測定ユニット１０を設ける。プローブ２、ハウジング８、板バネ６、支柱４等を含むプローブユニットの３次元位置を干渉計１８ａ〜１８ｃ等から求めて、その位置情報と、プローブ球位置測定ユニット１０から得られた位置情報とから、ワークＷの表面形状を表わす測定データを算出する。 （もっと読む）

可搬型座標測定装置（ＣＭＭ）を開示する。ＣＭＭは向き合った第１および第２端部と、第１の関節アームに取り付けられた測定プローブとを有する、手動で位置決めができる関節アームを有してもよい。アームは複数の接合アーム部位を有してもよい。各アーム部位は位置信号を生じる少なくとも１つの位置トランスデューサを有してもよい。ＣＭＭは、位置信号をトランスデューサから受信し、選択された空間においてプローブの位置に対応するデジタル座標を提供する電子回路を有してもよい。少なくとも１本のアーム部位はその長さに沿って非直線的でもよい。
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一実施形態において、座標測定装置は、第１の端および第２の端をそれらの間の少なくとも第１のアームセグメントおよび第２のアームセグメントとともに有する関節付きアームを含む。さらに、装置は、第１のアームセグメントを第２のアームセグメントに接続する少なくとも１つのボールソケット継ぎ手であって、ボール部材およびソケット部材を含むボールソケット継ぎ手と、上記関節付きアームの第１の端に取り付けられる測定プローブとを含むことができる。
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【課題】それぞれ傾斜穴の傾斜、方位に基づいて、加工を始める前に主軸頭やテーブルの旋回角度の誤差を測定しておき、自動的に主軸頭やテーブルの旋回角度を補正しながら斜め加工を実施できるようにする。
【解決手段】特定のワークの加工を開始する前の段階で、当該ワークについて加工するすべての傾斜穴の傾斜角度、方位などの形状データに基づいた測定プログラムの実行により、当該ワークに行う各傾斜穴加工のすべてについて、その傾斜角度に前記主軸頭１０を旋回させたときのＡ軸角度の目標値と実際の測定値との誤差である変位角度を測定し、ワークのすべての傾斜穴加工について、変位角度が許容範囲内になるように補正したＡ軸角度を記憶させ、当該ワークの加工プログラムをＮＣ装置で実行したときにすべての傾斜穴について補正後のＡ軸角度を読み出し、各斜め加工を実行するときのＡ軸角度を前記補正後のＡ軸角度で指令する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面に形成された輪郭形状を測定した形状測定データを用いて、当該輪郭形状の幾何学的性状を算出する際に、形状測定データのうちから、当該輪郭形状の幾何学的性状の算出に使用する範囲を指定する作業を自動化ないし半自動化する。
【解決手段】輪郭形状測定装置１に、輪郭形状を特定する幾何要素を含む設計データとこれに従って形成された被測定物表面の輪郭形状の形状測定データとの間の位置合わせを行う位置合わせ部６１と、形状測定データに位置合わせされた設計データに含まれる幾何要素の外端の位置から、形状測定データのうち、幾何要素に対応して形成された輪郭形状を測定した範囲の外端を決定するデータ範囲決定部と６３と、を設ける。 （もっと読む）

測定対象（２６）の輪郭（２５）に沿った多数の測定点（２４）の空間座標を判定するために、プローブ（２０）で移動可能に支承された探触素子（２２）を有するプローブ（２０）が用意される。プローブ（２０）が輪郭（２５）に沿って移動するとき、プローブ（２０）の位置測定値（２８〜３２）と、プローブ（２０）に対して相対的な探触素子（２２）の変位量（７０）が判定される。位置測定値（２８〜３２）と変位量（７０）とから輪郭（２５）に沿った測定点（２４）の空間座標が判定される。定義された接触力をアクチュエータ（６２）によって生成することによって、プローブ（２０）の移動時に探触素子（２２）が輪郭（２５）と接触保持される。本発明の１態様によれば、プローブ（２０）に対して相対的な探触素子（２２）の加速度（１０５；１３４）に依存して接触力が設定される。
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【課題】表裏を同時に共通の座標系で超高精度に測定し、非球面レンズの表裏面の傾きと偏心を超高精度に算出する。
【解決手段】ＸＹＺ座標を形成するＸＹＺ参照ミラー２、３、４と、Ｚエアスライドガイド部１１を上下で共通とすることにより、上下の測定座標系を完全に同一とした。さらに、スタイラス５の変位検出ユニットを回折格子を使って薄くし、プローブの支持を滑車と定荷重バネを使うことによりさらに薄くし、構造が単純、小型化、製作容易にした。 （もっと読む）

【課題】測定手順を図形で案内し、どの段階まで測定動作が進行しているかの経過情報も表示できる測定表示方法及び測定表示装置を備えた機械を提供する。
【解決手段】ＮＣ工作機械１において、測定ヘッド３を用いてワーク７の穴の中心位置を手動操作によって求める場合、表示部４５から測定種別を「穴測定」と指令すると、測定動作工程制御部２１の働きにより表示部４５に穴測定用の測定動作工程が表示される。作業者はその測定動作工程の矢印に案内されて測定動作を行うと、測定結果制御部３１の働きにより、終了した測定動作工程の矢印の色が順次変わる。作業者は矢印の色の変化で次にどの測定動作工程を行えばよいかがわかる。演算部４５は測定動作工程毎に取得した各位置座標の測定値から穴の中心位置を演算し、表示部４５に送出する。 （もっと読む）

【課題】プローブユニットの小型化、簡素化を図ることができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】ルビー球（先端部）２を有するプローブ軸部３と、被測定物Ｏの測定面ＯＳとプローブ軸部３のルビー球２との接触点の空間位置座標を検出する変位計（検出部）５とが設けられたプローブユニット６を備えた形状測定機であって、被測定物Ｏの測定面ＯＳにルビー球２を押付けたときにプローブ軸部３に作用される力、及び、このときに測定された空間位置座標とをパラメータとして記憶する記憶部７と、パラメータに基づいて、測定時におけるプローブ軸部３の傾きに起因する被測定物Ｏの真の空間位置座標からの誤差を補正する補正値を算出する演算部８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】測定の不確かさを軽減し、測定対象物の姿勢及び変位量についての測定精度を向上させ、かつ、高速応答が可能な三次元センサを提供する。
【解決手段】光源２からの光を２分割し一方を参照光ｃ１として参照ミラー１０に照射し、他方を測定光ｃ２として測定対象物９に照射する第１のＰＢＳ３と、参照ミラー１０で反射した参照光ｃ１と測定対象物９で反射した測定光ｃ２とを２分割してそれぞれ干渉させる第２のＰＢＳ４と、一方の干渉光ｃ５を所定の測定直線１４上に導く第１の光学系５と、他方の干渉光ｃ６を光軸を法線とする平面にて９０度回転させて前記測定直線１４上に導く第２の光学系６と、測定直線１４上にて干渉光ｃ５，ｃ６を受光するラインイメージセンサ８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】工作機械や測定機械の主軸に装着された工具や工具ホルダの回転方向の位置決めを、通常の工具測定手段を用いて、自動的に精度良く行う。
【解決手段】工作機械１の主軸に工具ホルダを介してヘールバイトを装着し、工具ホルダは円柱形状部の一部を削り落した平取り部で成る基準面を有する。回転位置決め制御手段１３は、工具測定手段を用いて測定した主軸中心から工具ホルダの円柱面及び基準面までの複数箇所の半径の値の変化から、円柱面と基準面との境界点の回転位置を推定し、推定した回転位置を基にして工具ホルダの基準面を所望の方向に向ける概略位置決めを行う。その後基準面の２位置の位置測定を行って基準面の精密な回転位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度に倣い測定できる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】倣いベクトル指令部２２０から発せられた倣いベクトル指令に基づいて駆動機構の動作状態を推定して推定動作状態量を算出する動作推定部６００と、動作推定部６００にて算出された推定動作状態量に応じて駆動センサの検出値を補正演算する補正演算部７００と、を備える。
動作推定部６００は、倣いベクトル指令が発せられてから倣いプローブの移動位置に反映されるまでの信号伝達特性であるノミナルモデルが設定されたノミナルモデル設定部３１１を有し、補正演算部７００は駆動中の駆動機構が変形することによって生じる測定誤差を補正する補正量を推定動作状態量に基づいて算出する補正量算出部７２０と、駆動センサおよび検出センサによる検出値と補正量算出部７２０にて算出された補正量とを合成して測定データとする測定データ合成部４３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は倣いプローブによるポイント測定が高精度に行えるワーク測定装置を提供することにある。
【解決手段】ワーク測定面２０に対し倣いプローブ１２を予め設定されたアプローチ方向から接触させた際に倣いプローブ１２からの変位量及び座標値検出手段１６からの座標値を収集させる測定制御手段２４と、該変位量に基づきワーク測定面２０の法線方向を算出する法線算出手段２６と、該法線方向と該アプローチ方向との角度差が閾値よりも大の場合は該アプローチ方向が不適切と判断する判定手段２８と、不適切と判断された場合は該角度差に基づき倣いプローブ１２のワーク測定面２０へのアプローチ方向がワーク測定面２０の法線方向となるように該アプローチ方向の設定を修正し、該測定、該法線算出及び該判定の再実行を指示する指示手段３０とを備えたことを特徴とするワーク測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】長くて径小なスタイラスを有し、被測定物とスタイラスとの接触によって生じた衝撃による破損の可能性が低く、検出精度のよいタッチプローブを提供する。
【解決手段】円筒形のプローブ本体１０と、プローブ本体１０に設けられたスタイラス支持手段１１と、スタイラス支持手段１１に略重心位置１２２を支持された棒状のスタイラス１２と、スタイラス１２の変位を検出する検出手段１３と、を備え、スタイラス支持手段１１は、弾性部材から形成されるダイヤフラム１１１を備え、ダイヤフラム１１１は、スタイラス１２を支持する中心部１１３と、プローブ本体１０に固定された外周部１１４と、中心部１１３と外周部１１４との間に放射状に設けられ中心部１１３と外周部１１４とを連結する複数のリム１１５と、を備えるタッチプローブ１。 （もっと読む）

被加工物の表面を測定するための装置が説明される。装置は、座標位置決め機械のような機械（２６）の可動アームに取り付けられ、そして、第１回転軸（１Ａ）および第２回転軸（２Ａ）まわりに回転でき、それら軸がそれぞれ第１モーター（Ｍ１）および第２モーター（Ｍ２）によって駆動される、支持体（７）を備える。装置は、付加的に、第３回転軸（４Ａ）まわりに回転できる、被加工物の表面を感知するための表面感知デバイス（４）を備える。この第３回転軸（４Ａ）は、第１回転軸（１Ａ）に合わさることができ、合わされた場合、表面感知デバイス（４）に対する支持体（７）の回転は、表面感知デバイス（４）がホルダー（７０）によって動かないように保持されるとき、第１モーター（Ｍ１）によって作動可能である。被加工物の表面を測定するための装置を使用するための方法は、また説明される。
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