【課題】コストダウンや制御性の向上が可能で、全体を小型化できる測定装置を提供する。
【解決手段】Yスライダ１６に対して、Ｚスピンドル１７をXスライダ１４およびYスライダ１６の移動方向に対して直交する方向へ移動可能にガイドするＺ軸ガイド機構３０Ｚを有する測定装置。ガイド機構は、Ｚスピンドルの対向する上下面にＺスピンドルの移動方向に沿って平行にかつＺスピンドルの軸を中心に対称配置された一対のガイドレール３１Ｚと、Ｙスライダに配置されガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロック３２Ｚとを有する。 （もっと読む）

【課題】可動距離に応じて大型化することがなく、製造コストを低減させることができる変速機の提供。
【解決手段】変速機７は、３つのボールベアリング８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃと、入力軸７４と、出力用嵌合部材８３と、出力軸７２とを備える。各ボールベアリング８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃは、内輪と、外輪と、複数の転動体とを有している。入力軸７４は、内輪に挿入される挿入部を有し、ボールベアリング８１Ａの回転軸回りに回転することで内輪を回転させる。内輪が回転すると、各転動体は、内輪の回転に伴って転動する。出力用嵌合部材８３は、各転動体に嵌合される嵌合部８３１を備え、各転動体の転動に伴ってボールベアリング８１Ｃの回転軸回りに回転することで出力軸７２をボールベアリング８１Ｃの回転軸回りに回転させる。 （もっと読む）

【課題】接触子の押し付け力を原子間力に相当する微小力（例えば３０ｍｇｆ以下）に設定でき、被測定物の傷を防止し、面粗さ等の微細な形状測定ができ、測定面のうねりに追従でき、プローブのオーバーランによる接触子等の損傷を防止できる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体１０と、下端に設けられた接触子１２ａと接触子から上方に鉛直に延びる円筒形中間軸１２ｂとその上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部１２ｃとを有するスタイラス１２と、プローブ本体の下端に取り付けられスタイラス１２を鉛直にのみ移動可能にガイドするスタイラスホルダ１４と、スタイラスホルダの上面と鍔部の下面の間に挟持され鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネ１６と、プローブ本体に取り付けられ鍔部上面の変位を検出する位置検出センサ１８（レーザーセンサ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】制御性への悪影響、精度悪化、機械寿命への懸念といったデメリットを解消しつつ、高加減速仕様に対応できる三次元測定機の昇降装置を提供する。
【解決手段】Ｙスライダ１６およびＺスピンドル１７の重量を相殺するＹ軸バランス機構５０Ｙと、Ｙスライダを昇降駆動させるＹ軸駆動機構４０Ｙとを備える。Ｙ軸バランス機構は、Ｙコラム１５を挟んでYスライダ１６とは反対側面に配置されたカウンタウエイト５１と、Ｙコラムの上部および下部に設けられたプーリ５２と、これらプーリに掛け回されＹスライダ、カウンタウエイトに連結されたループ状のバランスワイヤ５３とを含む。Ｙ軸駆動機構は、Ｙコラムの上部および下部に設けられたプーリ４１Ｙａ〜４１Ｙｅと、これらプーリに掛け回されＹスライダおよびカウンタウエイトに連結されたループ状の駆動ベルト４２Ｙと、いずれかのプーリに連結されたモータ４３Ｙとを含む。 （もっと読む）

本発明は、対象物の特徴形状を測定するための方法であって、少なくとも特徴形状の表象を、少なくとも特徴形状の表面測定を介して複数のデータ点を取得することによって対象物上で得ることを含む方法に関する。対象物の少なくとも特徴形状をほぼ複製するモデルが、表象に適合される。モデルは、共通点で連結される少なくとも２つの独立的に可変の部分を定義するパラメータを含む。適合させることは、少なくとも２つの独立的に可変の部分の少なくとも１つを変えることによってモデルの形態を変更することを含む。方法はまた、少なくとも特徴形状に関する情報を適合されたモデルから得ることも含む。
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【課題】ワークの中心座標を求めてワークの計測基準点として設定することができるワークの計測基準点設定機能を有する工作機械を提供すること。
【解決手段】加工面が直交する２つの線に対して線対称なワークを、機械座標系の軸と前記２つの線が平行となるように配置する。前記２つの線と平行な第１の線に沿ってワークの加工面上から機上計測装置のプローブの球型測定子をワーク端面に向かって相対移動させる。ワークの端面から球型測定子が離脱して後、プローブの軸方向の移動速度があらかじめ設定された所定速度になる時点の座標を記憶する（Ｓ２〜Ｓ１１）。同様に第２の線に対しても行い座標を記憶する（Ｓ１２〜Ｓ２１）。記憶された座標から、それぞれの中点を求める。求められた中点の座標はワークの中心座標であり、ワークの計測基準位置として設定できる。 （もっと読む）

【課題】小型化できかつ信頼性を高めた工作機械の接触検出装置を提供する。
【解決手段】スタイラス２がワークに接触したことに応じて、可動接点保持部１０により保持されている可動接点１１，１２，１３のうちの少なくともいずれかを、対面する各対の鋼球３１と３２，３３と３４，３５と３６から離すことにより、電池６から抵抗素子２５を介してトランジスタ２６のベースに所定の電位を供給して、トランジスタ２６を導通させ、発光ダイオード８を駆動することにより発光させて、ワークの接触を検知する。基板３０にパターン電極４０〜４３を形成し、鋼球３１〜３６と、トランジスタ２６と、抵抗素子２５を基板３０上に配置し、配線作業を簡略化する。 （もっと読む）

【課題】機上計測を、直動軸と回転軸を含む同時多軸計測を行うようにし、機上計測装置の測定子の同一先端点で測定対象物の表面と接触して計測を行うことが可能な工作機械システムを提供すること。
【解決手段】一端に接触子を取り付けたプローブを有する機上計測装置１を用いて計測対象物の表面形状を計測する工作機械システムにおいて、前記計測対象物の表面に対して機上計測装置１のプローブ１ｂの中心軸が垂直になるようにプログラムされた計測プログラムに基づいて、球型接触子１ｆが前記計測対象物の表面に接触して倣うように前記各軸が数値制御装置により駆動制御されることを特徴とする機上計測装置にて計測対象物の形状を計測する工作機械システム。 （もっと読む）

【課題】フィードバック制御部の安定性を損なうことなく、高速応答性を向上させることができ、測定精度を向上させることができる測定機の提供。
【解決手段】表面性状測定機１は、被測定物Ｗに当接する接触子４１Ａと、被測定物Ｗの表面に倣って接触子４１Ａを移動させるセンサ駆動機構４３と、センサ駆動機構４３を制御する制御装置３と、被測定物Ｗに当接することで接触子４１Ａにかかる測定力を検出する力センサ４１とを備える。制御装置３は、測定力の目標値を出力する目標値出力部３１と、目標値に対する測定力の偏差に基づいて、センサ駆動機構４３をフィードバック制御するフィードバック制御部３２と、フィードバック制御部３２に設けられるフィードバック補償器３２２とを備える。フィードバック補償器３２２は、測定力に応じてフィードバック補償する。 （もっと読む）

【課題】回転テーブル上の被測定物のＶ溝形状の特性値を正確かつ確実に測定する。
【解決手段】測定子方向一定制御工程と、回転テーブル半径一定倣い制御工程と、２面接触倣い制御工程とを組み合わせ、被測定物のＶ溝を構成する２面に、常に倣いプローブ２２の測定子２４を接触させるＶ溝回転テーブル倣い制御工程を行い、プローブ２２の倣い進行方向を、プローブ２２の測定子２４の中心位置の軌跡から求めて、倣い制御処理を行う。 （もっと読む）

【課題】所定の異常が発生した場合に移動体を対象物から離脱させることができるとともに、移動体を移動させる際の負荷を十分に軽減させることができる産業機械の提供。
【解決手段】三次元測定機は、コラム２４３の内部をＺ軸方向に沿ってスライド移動可能に設けられ、被測定物に対して接近離脱するスピンドル２４４と、カウンタウエイト７１にてスピンドル２４４の重量を平衡させることでスピンドル２４４をスライド移動させる際の負荷を軽減する平衡機構７と、所定の異常状態が検出されたときに、スピンドル２４４が被測定物から離脱する離脱方向Ａに向かってカウンタウエイト７１を付勢する付勢手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価で、しかも、複数種のカムのプロファイルを高精度に測定できるカムプロファイル測定装置を提供する。
【解決手段】カム１のプロファイルを測定するカムプロファイル測定装置。カム１を回転させる回転機構２０と、カム１の回転角度を検出する回転角度検出手段３０と、カム１のカムフォロア当接位置に当接され、カム１が回転することにより所定方向へ移動するプローブ４０と、このプローブ４０を所定方向に沿って案内する案内機構５０と、プローブ４０の移動位置を検出する位置検出手段６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の高さ変位によってアームが回転した場合であっても、測定点を正確に算出可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、擬似測定点を取得した際におけるアームの基準位置からの回動角度に基づいて、接触子の表面形状を特定する接触子モデルの基準角度からの回転角度と、この回転角度における接触子モデルの形状を算出する接触子モデル形状算出部２１３を備える。測定点算出部２１６は、比較部２１５において接触子モデルの基準角度における形状と、接触子モデルの回転角度における形状との変位量がしきい値以下と判断された場合には、接触子モデルの基準角度における所定位置を測定点として算出し、比較部２１５において変位量がしきい値を超えると判断された場合には、接触子モデルの回転角度における所定位置を測定点として算出する。 （もっと読む）

【課題】任意形状の被測定面を、被測定物を回転させることなく高精度で測定可能な、形状測定装置用プローブ及び形状測定装置を提供する
【解決手段】プローブ１は、揺動部材３、取付部材４、及び連結機構５を備える。揺動部材３は、測定物２の被測定面２ａに接触するスタイラス８と、形状測定装置６が備える同一の集光レンズ２３を通って集光されるレーザ光２２ａ〜２２ｃが照射されるミラー２１ａ〜２１ｃとを備える。揺動部材３は取付部材４によって形状測定装置６に取り付けられる。連結機構５は取付部材４に固定された載置台１１と、揺動部材３又は載置台１１に固定された支点部材１２とを備える。揺動部材３は支点部材１２の先端１２ｂを支点として揺動可能である。 （もっと読む）

【課題】側面形状測定において形状測定プローブの先端の移動量をレーザ光と４分割フォトダイオードを用いて高精度に測定する。
【解決手段】Ｚ軸に沿って移動可能な形状測定プローブと、該形状測定プローブ内に一点で支持され先端がＸＹ方向の力により傾斜可能でかつレーザ光を反射するミラーを有するスタイラスがあり、反射するレーザ光を４分割フォトダイオードに集光して得られる電気信号出力から該スタイラスの傾斜を検知して該スタイラス先端のＸＹ方向移動量を得る３次元形状測定方法において、実測定に先んじて該電気信号出力から得られるＸＹ方向移動量（ＴＸｍ，ＴＹｍ）の生データと真のＸＹ方向移動量（ＴＸ、ＴＹ）の関係を求める参照テーブル測定工程によって参照テーブルを作成し該参照テーブルを用いて実測定した生データから補正した真のデータを得る。 （もっと読む）

【課題】測定点を正確に算出する。
【解決手段】擬似測定点を取得する擬似測定点取得部２１２と、各擬似測定点から被測定物の表面へと向かう大凡の方向にガイドラインを生成するガイドライン生成部２１３と、接触子の表面形状を特定する接触子モデルの基準点を擬似測定点に一致させると共に測定時の接触子と接触子モデルとの姿勢を一致させて接触子モデルを配置する接触子モデル配置部２１４と、各ガイドラインと各配置された接触子モデルの表面とが交わる交点を取得する交点取得部２１５と、各ガイドライン上における交点の中から擬似測定点から最も離れた交点を測定点として取得する測定点取得部２１６と、接触子モデルの定義範囲に従い測定点を削除する測定点削除部２１７を備える。 （もっと読む）

【課題】プローブを交換した場合や、プローブの姿勢を変更した場合であっても測定値の誤差を適切に補正することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、プローブ２１と、プローブ２１を保持するとともに、プローブ２１を測定空間内で移動させる移動機構２２と、移動機構２２を制御するホストコンピュータとを備える。ホストコンピュータは、移動機構２２に基準のプローブを保持させたときの基準球２３１の中心位置から基点ＢまでのプローブベクトルＶ_１、及び移動機構２２にプローブ２１Ｂを保持させたときの基準球２３１の中心位置から基点ＢまでのプローブベクトルＶ_２を記憶する記憶部と、プローブベクトルＶ_１、及びプローブベクトルＶ_２に基づいて、基点Ｂの誤差を補正するための補正ベクトルＣＶを算出する補正ベクトル算出部と、補正ベクトルＣＶに基づいて、基点Ｂの誤差を補正する基点補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】屋内における水平面から立ち上がっている面を対象にして、突起物の有無を探索することができる探索装置を提供する。
【解決手段】突起物探索装置は、長手方向に並ぶ複数の接触センサを有する複数の棒状体が横方向に配列した接触体１と、棒状体の長手方向が屋内における立ち上がり面（床等の水平面とは異なる面）と直交する状態で、棒状体の先端部分を屋内の側面と接触させつつ接触体を上下方向に移動させる接触体駆動部２と、接触体駆動部に接触体を移動させるための制御信号を出力する接触体移動制御部３と、接触体１が移動しているときに複数の棒状体における接触センサの検出信号を入力する接触情報入力部４と、接触情報入力部４が入力した検出信号にもとづいて、立ち上がり面における突起物の有無を検出し、突起物を検出した場合に突起物の形状を判別する突起物検出部５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】測定値の誤差を適切に補正することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、測定子を有するプローブ２１と、プローブ２１を倣い移動させる移動機構２２と、移動機構２２を制御するホストコンピュータ５とを備える。ホストコンピュータ５は、移動機構２２の移動量を取得する移動量取得部５２と、測定値を算出する測定値算出部５３とを備える。測定値算出部５３は、測定子の位置の誤差を補正するための補正量を算出する補正量算出部と、移動機構２２の移動量と、補正量とに基づいて測定子の位置の誤差を補正する補正部とを備える。補正量算出部は、プローブ２１に設定された基準点におけるプローブ２１の並進誤差を補正するための並進補正量と、基準点を回転中心とするプローブ２１の回転角、及び基準点から測定子までのプローブ２１の長さに基づくプローブ２１の回転誤差を補正するための回転補正量とを算出する。 （もっと読む）

【課題】誤差を抑制して回転テーブルの座標系を定める形状測定装置、形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、回転テーブル５０、回転テーブル５０の表面から第１方向に距離ｈ１をもって位置する基準球６１ｂ、回転テーブル５０の表面から第１方向に距離ｈ２（ｈ２＞ｈ１）をもって位置する基準球６１ｃを備える。制御部３１は、回転テーブル５０を回転軸周りに１２０°ずつ３回にわたって回転させ、１２０°回転毎に接触子１７ａを基準球６１ｂ、６１ｃに追従させる。制御部３１は、基準球６１ｂの球心位置Ｍａ１１〜Ｍａ１３を通る円Ｃ１の中心位置Ｏ１と、基準球６１ｃの球心位置Ｍａ２１〜Ｍａ２３を通る円Ｃ２の中心位置Ｏ２を求め、各中心位置Ｏ１，Ｏ２を通る直線Ａ１をＺ_Ｔ軸として算出する。 （もっと読む）