【課題】画像プローブの校正方法を提供すること。
【解決手段】画像プローブ３の撮像方向を垂直にした状態で画像プローブ３および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂによりそれぞれ校正ゲージ６２を測定し、画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係を求める。次に、一方の測定子６１１Ａ，６１１Ｂにより基準球６３を測定し、基準球６３の位置を登録する。続いて、画像プローブ３の撮像方向を傾斜させた後、各測定子６１１Ａ，６１１Ｂで基準球６３を測定し、該測定結果と登録した基準球６３の位置とから測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置を求める。画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係は既に取得しているので、求めた測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置から画像プローブ３の光軸周りの回転角度および画像プローブ３の位置を校正できる。 （もっと読む）

【課題】鉛直面及び水平面いずれについても小さい測定力による測定を可能とする。
【解決手段】三次元形状測定装置用プローブ１は、取付用部材２、揺動部３、連結機構、アーム取付部１２０、及び板バネ９Ａ，９Ｂ、及び取付用部材２を備える。アーム取付部１２０にはスタイラス１２１が下端に配置されたアーム１２２が垂下して取り付けられている。アーム取付部１２０は板バネ９Ａ，９Ｂを介して揺動部３に保持されている。揺動部３は連結機構によって水平方向に傾動可能に取付用部材２に連結されている。揺動部３の可動側磁石と取付用部材２の固定側磁石との間の磁気的吸引力によりアーム１２２が鉛直方向に延びる中立位置に揺動部３を復元させる復元力が作用する。鉛直面測定時の測定力は可動側磁石との間の固定側磁石の磁気的吸引力により得られる。水平面測定時の測定力は板バネ９Ａ，９Ｂが鉛直方向に撓むことで得られる。 （もっと読む）

【課題】 ある点の測定後のスタイラス（測定ヘッド）のセンター（原位置）への復帰を瞬時に自動的に正確に行える三次元測定装置を提供すること。
【解決手段】 スタイラス（測定ヘッド）を原位置に復帰せしめるべくプローブユニット内に配設される、スタイラスと同軸上に延在するセンターピンと同一部材から製造されるとともにセンターピンと平行に延在する一対のストッパーピンを挟持して前記センターピンの外径と同一間隔を規定する、相対向し水平移動する一対のリミッタと、該リミッタをその背面から押圧付勢する圧縮ばねからなるセンターピンＸ方向復帰機構およびＹ方向復帰機構をＺ軸方向に二層に配設したセンターピン復帰機構を有してなる三次元測定装置。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の測定精度をより一層向上させることができる三次元測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に沿ってプローブを走査して、ＸＹ座標データを取得するとともに、光干渉計によりＸＹ座標データに対応するＡ相正弦波信号値とＢ相正弦波信号値とを取得し、それらの信号値の位相差と２乗和平方根とを算出し、位相差に基づいてＺ座標データを取得するとともに、２乗和平方根によりプローブのＺ軸方向に対する傾き角度を求め、当該傾き角度からプローブと被測定物との接点の位置ズレ量を算出し、ＸＹ座標データとＺ座標データと位置ズレ量とを合成して、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸における各座標データを取得し、被測定物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】精度よく測定しなければならない小さい領域と、精度よく測定しなくてもよい大きな領域とが混在する大きな被測定物を適切に測定することができる安価な三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、三次元測定機本体２と、制御装置３とを備える。三次元測定機本体２は、測定子を有するプローブ４と、プローブ４を駆動する駆動機構５とを備える。プローブ４は、測定子を駆動する駆動部４３を備える。制御装置３は、第１測定部３２１と、第２測定部３２２とを備える。第１測定部３２１は、駆動部４３にて駆動される測定子の移動量を測定する。第２測定部３２２は、プローブ４の移動量を測定する。また、第２測定部３２２による測定精度は、第１測定部３２１による測定精度より低い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定装置のコストを低減し、且つ測定精度を保障する誤差補正方法及びこれを用いた部品測定方法を提供する。
【解決手段】前記誤差補正方法は、プローブ及びガイドを備える測定装置を提供するステップと、ガイドの真直度誤差を測定して補正するステップと、プローブの取付傾斜角をフィッティングするステップと、プローブの形状誤差を計算するステップと、系統誤差補正プログラムを生成するステップと、を含む。前記部品測定方法は、前記誤差補正方法を通して系統誤差補正プログラムを生成するステップと、曲面又は曲線を有する部品を提供するステップと、前記測定装置を使用して、部品の曲面又は曲線を測定するステップと、ガイドの真直度誤差を測定して補正するステップと、プローブの取付傾斜角による誤差を補正するステップと、プローブの形状誤差を補正するステップと、プログラムにより測定誤差を生成するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】解析精度を向上させることができる補正ボール径を算出できる補正ボール径算出方法および形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明によれば、基準ゲージを回転させながら該基準ゲージを測定することにより補正ボール径を算出する。そのため、基準ゲージを回転させながら測定することにより生じる誤差を含んだ補正ボール径を算出することができる。また、基準ゲージの複数の高さ位置を測定することにより各高さ位置毎に補正ボール径を算出する。そのため、測定する高さ位置に応じて生じる誤差を含んだ補正ボール径を各高さ位置毎に算出することができる。従って、被測定物Ｗを回転させながら測定した際に、これらの誤差を含んだ補正ボール径を用いて被測定物Ｗの形状等を解析することで、被測定物Ｗの形状等を高精度に解析することができる。 （もっと読む）

本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）

【課題】先端接触子の呼び半径とスタイラスの実際の移動距離とによって、ワークの寸法計測を正確に行うことができる接触検出装置およびスタイラスの先端接触子の製造方法を提供する。
【解決手段】スタイラス２の先端接触子２１の実際の半径をＲａとしたとき、先端接触子２１の呼び半径Ｒｎに対して、動作遅れ分として、先端接触子２１がワーク１１０に接触した位置から可動接点１１，１２，１３のいずれかが対応する鋼球３１と３２，３３と３４，３５と３６との接触から離れる位置までのスタイラス２の追加移動距離ｄを足したＲａ＝Ｒｎ＋ｄの大きさにする。これにより、先端接触子２１がワーク１１０に接触してから追加移動距離ｄだけスタイラス２をワーク１１０側に移動させることができるので、スタイラス２の移動距離と先端接触子２１の呼び半径とを足すと、実際の移動距離と同じにすることができ、誤差を解消できる。 （もっと読む）

【課題】支持用部品の取付誤差が大きいＳ／Ａ部品が次工程に流出することを確実に防止するべく、現状の検査方法の変更を最低限に抑えつつ、支持用部品の取付位置を、容易に短時間で高精度に測定することができる支持用部品の取付位置測定具および取付位置測定方法を提供する。
【解決手段】揺動可能、かつ、その揺動方向が変更可能に支持されるリンク部材１１とリンク部材１１の変位量を検出する変位計６を備える測定具本体２と、ナット孔５０ａの位置を代替して示す測定孔３ｂが形成されるアタッチメント部材３と、からなり、さらにリンク部材１１には、プローブ１２および検出部１３が固設され、プローブ１２が測定面３ｃに当接するときの球面部１２ａの変位量を、球面部１３ａの任意の一軸方向に対する変位量として変位計６により測定し、測定面３ｃの位置を検出して、ナット孔５０ａの取付位置を検出する取付位置測定具１。 （もっと読む）

【課題】テーブルに固定されているワークの測定基準面が傾いている場合でもワークの形状を精度良く測定することができ、測定作業を簡単に行うことができる形状測定方法及び測定機能を有する機械を提供する。
【解決手段】測定ヘッド９がワーク７に対してアプローチする複数の測定動作方向を画面に表示するステップと、複数の測定動作方向のうちからワーク７の測定基準面２にアプローチするいずれか一つの測定動作方向を選択するステップと、ワーク７の測定基準面２上の３点の座標値を選択された測定動作方向へアプローチさせて測定するステップと、測定した３点の座標値に基づき測定基準面２を装置１の主軸３の軸線ＣＬに対して垂直に向けるのに必要とされる回転送り軸の割出し角度を演算するステップとを含み、ワーク７の形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】作業者の熟練度に左右されることなく、プローブの角度を能率的かつ高精度に調整することができるプローブのアライメント調整方法および形状測定機を提供。
【解決手段】軸部の先端に接触部を有するプローブと被測定物とを相対移動させるとともに、その相対移動方向に対して直交しかつ軸部と交差する方向からプローブの移動軌跡画像を撮像する工程ＳＴ２と、撮像されたプローブの移動軌跡画像から相対移動方向を示す基準直線Ｌ１および軸部の傾きを示すプローブ軸線Ｌ２を抽出する工程ＳＴ３と、抽出された基準直線Ｌ１に対するプローブ軸線Ｌ２の傾きを演算して求める工程ＳＴ４と、求められたプローブ軸線Ｌ２の傾きに基づいてプローブの傾きを調整する工程ＳＴ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度で３次元接触子モデルを生成可能な表面性状測定装置、その接触子モデル生成方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】表面性状測定装置は、被測定物に先端が接触可能な接触子２４と、接触子２４を互いにＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿って移動させる制御部４１とを備える。制御部４１は、接触子２４を被測定物の表面に倣うように駆動すると共に接触子２４の先端位置を疑似測定点Ｐｉとして取得する。制御部４１は、基準ワーク４を接触子２４で倣い測定して３次元接触子モデルＭ２を算出する。制御部４１は、接触子２４を、Ｚ軸を中心として回転駆動する。制御部４１は、回転駆動される接触子２４の複数の回転位置のそれぞれにおいて、接触子２４をＸ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させて基準ワーク４を倣い測定して疑似測定点Ｐｉを取得し、取得された疑似測定点Ｐｉに基づいて３次元接触子モデルＭ２を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定条件を変更した場合であってもプローブの移動量を適切に補正することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、一定の範囲内で移動可能に構成される測定子を有するプローブと、プローブを移動させる移動機構と、移動機構を制御する制御装置とを備える。制御装置は、移動機構の移動量、及びプローブの移動量に基づいて測定子の位置を算出する測定値算出部５３を備える。測定値算出部５３は、被測定物を測定するときの測定条件に基づいて、プローブの移動量を補正するための補正パラメータを算出する補正パラメータ算出部５３１と、補正パラメータに基づいて、プローブの移動量を補正する補正部５３２と、移動機構の移動量と、補正部５３２にて補正されたプローブの移動量とを合成することで測定子の位置を算出する移動量合成部５３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】形状測定に用いる接触式プローブにおいて、自重を補償して接触力を小さくして小型化を図るとともに測定精度を向上させ、さらに、先端球の交換を簡便に行うことができる接触式プローブを提供する。
【解決手段】３次元的に移動可能な移動部材１０３と、前記移動部材に対して重力の方向に移動可能に設けられたプローブ１０２と、前記移動部材１０３に支点を取り付けた天秤１１１またはプーリー１１８とを、有している。前記天秤またはプーリーの一端部にプローブ１０２を吊下げ、他端部には、バランス重り１１４を連結し、ばね１１５を前記バランス重りと移動部材との間に設けたことを特徴とする。このように天秤１１１を介してバランス重り１１４を設けることにより、バランス重りがプローブにかかる重力のほとんどを受けるので、ばね１１５が受け持つ力が非常に少なくなる。 （もっと読む）

【課題】補正パラメータの算出にかかる時間を短縮することができ、測定精度を向上させることができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、測定子２１１Ａを有するプローブ２１と、駆動機構と、補正パラメータ算出装置とを備える。補正パラメータ算出装置は、測定子２１１Ａの回転変位を拘束することなく測定子２１１Ａの並進変位を拘束する拘束手段６と、プローブ２１の移動量が０となる位置を基準位置として設定する基準位置設定部と、拘束手段６にて基準位置に測定子２１１Ａを拘束した状態でプローブ２１を複数の測定点に移動させて各測定点における基準位置からのプローブ２１の移動量、及び駆動機構の移動量を取得する測定点情報取得部とを備え、測定点情報取得部にて取得される情報に基づいて、プローブ２１の座標系を補正するための補正パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成にすることにより、軽量化を図ると共に、車両への設置自由度を高くすることができるホイールアライメント計測装置を提供する。
【解決手段】車体側取付部３１に対してＸ軸周りに回転可能に支持される門形回転部材３３と、門形回転部材３３に対してＹ軸周りに回転可能に支持されるシリンダ部材４１ａと、このシリンダ部材４１ａに対してＺ軸方向に変位するロッド４１ｂとを有する伸縮機構部材４１と、伸縮機構部材４１に対してＺ軸周りに回転可能に支持される枠状回転部材５２と、枠状回転部材５２に対してＸ軸周りに回転可能に支持され、ホイール４に装着されるホイール取付部５９をその回転軸周りに回転可能に支持する回転部材５５と、計測された各部材３３，５１，５５，４１ａの回転角度及びロッド４１ｂの変位に基づいて、ホイール４のＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸方向の変位量、トー角度変化量、キャンバ角度変化量を演算する演算器１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】クリーンな環境以外の環境でも使用できるとともに、接触圧を小さくできる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】接触子３を先端に有し、本体１３に対し上下に移動可能なスライダ５と、本体とスライダとに接続され、スライダに上向き弾性力を作用させる弾性体７と、本体に設けられた第１磁力作用部９と、第１磁力作用部と上下方向に対向するようにスライダに設けられた第２磁力作用部１１と、を備える。第１磁力作用部と第２磁力作用部とは互いに磁力を作用させることで、スライダに下向き磁力が付与されるようになっている。接触子が被測定物１に接触することでスライダが押し戻されると、上向き弾性力が減少し、下向き磁力も減少する。 （もっと読む）

【課題】三次元形状測定装置において、単一の位置検出器で複数の複数の測定ミラーの変位を測定可能とする。
【解決手段】互いに平行なレーザービームが偏光ビームスプリッタ２０４の偏光面Ｅの異なる位置に入射する。一方のレーザービームは偏光面で２つに分岐して第１の測定ミラー４と参照ミラー６に入射する。他方のレーザービームは偏光面で２つに分岐して測定ミラー５と参照ミラー６に入射する。偏光ビームスプリッタ２０４と測定ミラー２１０，２１１の間には、測定ミラー２１０に向かうレーザービームを透過させ、測定ミラー２１１に向かうレーザービームを反射される部分反射ミラー２１４が配置されている。測定ミラー４，５と参照ミラー６で反射されたレーザービームの干渉から測定ミラー４，５の参照ミラー６に対する相対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を有するワークを、貫通孔が所定軸方向に平行となるように、短時間で載置可能に構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、貫通孔１２ａを有するワーク１２を載置可能に構成され且つＸ軸及びＹ軸に回転可能に構成された回転テーブル１３ａ、貫通孔１２ａの一方側からＺ軸に平行に光を照射する光源１３ｂ、貫通孔１２ａの他方側に配置され且つ貫通孔１２ａを通過した光源１３ｂからの光を受光してその受光した光に基づく輝度を測定するＣＣＤカメラ１８ａ、回転テーブル１３ａによるワーク１２の回転角度をＣＣＤカメラ１８ａにて測定された輝度に基づき制御する制御部３５を備える。制御部３５は、回転テーブル１３ａによりワーク１２を所定角度ずつ回転させる毎に、ＣＣＤカメラ１８ａにより輝度を測定させ、その輝度が最大となる角度に回転テーブル１３ａの回転角度を設定する。 （もっと読む）