【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の位置測定装置、形状測定装置、位置測定方法、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】位置測定装置１０は、支持部材１４と、支持部材１４に上端部が固定され自由状態で垂直配置された光ファイバー１１と、光ファイバー１１の下端部に設けられた探触子１２と、光ファイバー１１の上下方向中間位置にあって光ファイバー１１の撓みを検知する光学振れ検知機構１５と、測定対象物２３を載せてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に測定対象物２３を移動させるＸＹＺステージ２５と、光学振れ検知機構１５及びＸＹＺステージ２５の制御部２６とを有し、光ファイバー１１は、光ファイバー１１を揺らす振動手段３０を介して支持部材１４に取付けられ、探触子１２がＸＹＺテーブル２５に載った測定対象物２３に当接した場合の光ファイバー１１の撓み量を光学振れ検知機構１５で検知し、測定対象物２３の特定部位の座標を検知する。 （もっと読む）

【課題】制御性能を向上させる制御装置、および測定装置を提供する。
【解決手段】駆動制御回路３は、測定子を変位させる駆動機構２５を駆動制御し、駆動機構２５に流れる電流を検出する電流検出センサ２７と、駆動機構２５を駆動させる駆動速度に応じた目標電流を設定する速度制御部３２と、目標電流および電流検出センサ２７により検出された検出電流の電流偏差に、積分ゲインおよび比例ゲインをかけて駆動機構２５に出力する出力電流を設定する電流制御部３３と、を具備し、電流制御部３３は、駆動機構２５の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を切り替える。 （もっと読む）

【課題】ＪＩＳ Ｂ ７４４０−２に関する三次元座標測定機の寸法検査（目盛校正）の簡易検査と同時にＪＩＳＢ ７４４０−５に関するマルチスタイラスの簡易検査およびそれぞれのスタイラスまたは方向性の相関の評価も行える三次元座標測定機簡易検査用ゲージを提供する。
【解決手段】三次元座標測定機簡易検査用ゲージ１は、基台３と、前記基台３上に設けられる半球状の本体４と、それぞれ一方の端部に保持具６を介して球体７が取り付けられ、もう一方の端部が前記本体４に固定される複数本のシャフト５からなり、該複数本のシャフト５（５−１〜５−９）のうち、１本のシャフト５−９は前記本体の極から鉛直方向に延びるように取り付けられ、残りのシャフト５−１〜５−８は平面視したときに隣のシャフトと一定の角度をなすように且つ斜め上方向に延びるように取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】基準面側の荷重が変化した場合にも、基準面側のエアベアリングとガイドとの間の隙間を適正な所定値に保つことができるガイド機構およびそのガイド機構を有する３次元測定機を提供する。
【解決手段】第１の側に基準面を有するガイドと、前記基準面に沿ってスライド可能に前記ガイドに設けられる被案内部材と、前記ガイドの前記基準面との間に第１の隙間を有するように前記基準面を押圧し、前記被案内部材に設けられる基準側案内部材と、前記基準面と反対側の前記ガイドの第２の側面との間に第２の隙間を有するように前記第２の側面を与圧し、前記被案内部材に設けられる与圧案内部材と、を有し、前記第１の隙間が所定値になるように、前記予圧との位置が前記被案内部材に対して上下動するように設けられる前記押圧との相対関係が調整可能であることを特徴とするガイド機構である。 （もっと読む）

【課題】 プローブによって、垂直へ切り立った壁面や穴の内面であっても、安定して接触力を制御し、高速な形状計測を行うこと。
【解決手段】 接触式プローブを被測定物の表面に沿って移動させることで、被測定物の表面形状を測定する形状測定方法において、プローブに加わる接触力の分力の大きさにより、被測定面と移動手段の方向の関係を推定する。その結果、被測定面と垂直に近い状態であると判断された方向の移動手段のみによって、プローブの接触力制御を行うこと。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で容易に製造することができ、且つ、プローブ先端の向きによる測定誤差の検証にも使用することができる、高精度な３次元測定機検証用長尺ゲージを提供する。
【解決手段】 ３次元測定機のプローブが当接する基準測定面となる基準孔１Ｂが、上面と下面間を貫通して長手方向に沿って複数配列されている横断面矩形状の長尺なゲージ本体１Ａと、前記ゲージ本体の下面とこれに直角な一方の側面に突設された複数の支持脚１ａとを備えている。これらの支持脚は、前記下面と前記一方の側面のそれぞれの長手方向両端近傍位置と中央位置に、扁平な２等辺３角形の頂点となる配置で突設され、ゲージ本体は、これらの下面または一方の側面の何れかの支持脚で３次元測定機の測定テーブル面に支持される。 （もっと読む）

【課題】不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差計測システムを提供する。
【解決手段】幾何誤差計測システムＳは、予め幾何誤差の閾値を設定可能な閾値記憶領域２５と、同定した幾何誤差が閾値を上回っている場合にその事態を報知する出力手段３２と、幾何誤差設定値を更新記憶可能なパラメータ記憶領域２６とを有している。そして、新たな幾何誤差の計測後に、その計測値に、パラメータ記憶領域２６に記憶されている幾何誤差設定値を加算することによって、新たな幾何誤差設定値を算出するとともに、新たに計測された幾何誤差あるいは算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合には、幾何誤差設定値を自動更新せず、手動による新たな幾何誤差設定値の設定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】計測精度の向上を実現したうえで、寸法計測から計測後の検査記録作成までの作業コストの低減及び作業時間の短縮を実現でき、平坦度や捻れ等の三次元データをも得ることが可能であるワーク寸法計測装置及びワーク寸法計測方法を提供する。
【解決手段】セグメントＷの寸法を計測するワーク寸法計測装置１であって、多関節アーム１２を具備して、アーム１２の先端に有する探触子１１をセグメントＷに接触させることで三次元座標値を得る複数の測定機１０と、複数の測定機１０の相対位置関係を校正する作業及び該複数の測定機１０で得られた各三次元座標値に基づいてセグメントＷの寸法を自動算出する作業を行う校正演算手段２１と、校正演算手段２１からの校正結果及び演算結果に基づいてセグメントＷの寸法計測結果を評価する計測評価手段２２と、計測評価手段２２からの計測結果を検査記録にまとめて出力するデータ管理手段３１を備えている。 （もっと読む）

【課題】予め算出した補正テーブルを変更することなく回転軸の位置補正を簡便に行うことができる、載置台、形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】被検物を載置する載置面が少なくとも１軸を中心として回転可能な載置部と、載置部を支持するベース部と、ベース部に固定されており、載置面の位置を規定する基準部と、を備える載置台である。 （もっと読む）

【課題】複数の測定プローブを備えたフレーム部に起因する回転誤差を短時間且つ精度良く算出できる、誤差分布算出方法、形状測定方法、および形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物が載置される載置部と、被検物の形状を測定する複数の測定プローブの各々が所定のオフセットだけ離間して取り付けられた測定部と、測定部を互いに直交する２方向に前記載置部上を移動させる移動部と、を備えた形状測定装置における移動部による回転誤差分布を算出する誤差分布算出方法である。載置部上と所定の関係を持った位置に基準部材を配置する配置工程と、測定プローブの少なくとも２つが、基準部材の座標値をそれぞれ測定する測定工程と、各々の測定座標値の差分に基づいて移動部による回転誤差分布を算出する算出工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型、安価で、高速の高精度測定が可能であり、工作機械における機上測定や搬送ラインでのインサイト測定が容易な、座標測定用ヘッドユニットを提供する。
【解決手段】座標測定用ヘッドユニット１０において、コンピュータ数値制御によりプローブ１２を互いに直交する複数の駆動軸に沿って移動させ、測定対象に当接させて測定対象の寸法を計測するための駆動手段（Ｘ軸駆動部１４、Ｙ軸駆動部１６、Ｚ軸駆動部１８）と、該駆動手段１４、１６、１８を収めるための一体化された筐体１３と、該筐体１３のいずれかの側面に設けられた、前記駆動手段１４、１６、１８のいずれか一つを支持体（ベース３０に固定されたスタンド３２上のサポート３４）に取付けるための取付手段（取付面２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】機械上の被加工物を工作機械の制御器に保存されたプログラムを利用して、高速に、正確に、且つ容易に被加工物を測定することを可能にする工作機械上の被加工物を測定する方法を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償するためにいくつかの方法が記載されている。 （もっと読む）

【課題】回転テーブル座標系の登録を効率よく行えるとともに高精度が確保できる三次元測定機の校正方法および校正治具を提供すること。
【解決手段】 回転テーブル５０の座標系を登録するために、少なくとも３つの角度位置で回転テーブル５０の表面の基準点の座標位置を測定する。測定には、接触部６１として３つの同径の球体６５を有し、支持部６２として支柱６４および基台６３を有し、プローブ１７の先端球１７Ａに対して３つの接点で同時に接触する校正治具６０を用いる。測定手順として、回転テーブル５０の表面に校正治具６０を設置し、プローブ１７を校正治具６０に近接させ、プローブ１７の先端球１７Ａが３つの球体６５と同時に接触した状態での座標位置を読み取る。 （もっと読む）

【課題】測定装置に関するエラーログを容易に取得可能な測定装置を提供する。
【解決手段】三次元測定機（測定装置）は、被測定対象に対して相対移動可能な測定子、および測定子を移動させる移動機構を有する本体２と、本体２の移動機構の駆動を制御するモーションコントローラー３と、を備える。モーションコントローラー３は、時刻を計測するＲＴＣ３１と、本体２のエラーを検出して、ＲＴＣ３１エラー検出時刻を取得し、検出したエラーに基づいたエラーデータと、エラー検出時刻とを関連付けたエラーログ３２１を生成するエラー検出部３３と、エラーログが記録される記録部３２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】エアー放出量を低減して省エネルギー化を図れる産業機械を提供する。
【解決手段】三次元測定機１（産業機械）は、エアーを供給するエアー供給部７と、エアー供給部７から供給されるエアーにより駆動される駆動機構２５と、エアー供給部７から駆動機構２５にエアーを導入するエアーレギュレータセット内に設けられ、エアーレギュレータセット内の空気供給路を開閉する電磁弁と、駆動機構２５が駆動停止してからの時間が予め設定された設定時間になると、電磁弁を制御して、空気供給路を閉塞させるモーションコントローラー３と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】プローブ交換が行われても、測定データを適正に補正することができる三次元測定機の測定データ補正方法および三次元測定機を提供。
【解決手段】スピンドルに異なる重量を付加したときに三次元移動機構に発生する幾何学誤差を測定する幾何学誤差測定工程と、異なる重量毎に測定された三次元移動機構に発生する幾何学誤差を補正するための補正パラメータを記憶手段に記憶させる補正パラメータ記憶工程と、スピンドルに装着されたプローブの重量情報を入力する重量情報入力工程（ＳＴ１１）と、入力されたプローブの重量情報に対応する補正パラメータを記憶手段から読み出し（ＳＴ１２）、この補正パラメータで測定データを補正する補正工程（ＳＴ１３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】より高精度、より簡便に構成可能な三次元座標測定機ゲージを提供するとともに、当該三次元座標測定機ゲージを用いた精度評価方法を提供する。
【解決手段】 基板３の表面に固定された第１の球体４及び第２の球体５と、前記基板３の表面から突出して設けられた第１の柱７上に固定された第３の球体６と、を備えることにより三次元座標測定機を精度評価するための三次元座標測定機ゲージ１を構成する。 （もっと読む）

【課題】座標読取値の信頼性の向上、およびラッチ処理の高速化を実現可能な測定装置を提供する。
【解決手段】三次元測定機（測定装置）は、被測定対象物に対して接触可能な測定子２１１、および測定子２１１の被測定対象物への接触を検出してタッチ信号を出力する接触検出センサー２１２を有するプローブ２１と、プローブ２１を互いに直交する３軸方向に沿って移動させる移動機構２２と、プローブ２１の位置座標を検出して座標検出信号を出力するスケールセンサー２５Ｘ，２５Ｙ，２５Ｚと、タッチ信号をカウントするタッチカウンタ２８１、および座標検出信号をカウントするスケールカウンタ２８２が組み込まれた集積回路２８を有する制御回路基板２６と、タッチカウンタの値、およびスケールカウンタの値を同タイミングでラッチするラッチ制御部２９と、を具備した。 （もっと読む）