【課題】移動する被検体までの絶対距離を高精度に計測する。
【解決手段】第１光源からの第１光束によって形成される被検体の位置情報を含む第１干渉信号と、第２光源からの第２光束によって形成される前記被検体の位置情報を含む第２干渉信号と、前記第１光束の波長を走査しながらの前記第１干渉信号と前記第２光束の波長を走査しながらの前記第２干渉信号とに基づいて前記被検体までの絶対距離を算出する処理部とを備え、前記処理部は第１時刻から第２時刻までの時間間隔における前記第１干渉信号の位相と前記第２干渉信号の位相との差分の変化量によって得られる前記被検体の速度によって、前記第１干渉信号および前記第２干渉信号の少なくとも一方に基づいて算出される誤差を有する絶対距離を補正し、誤差が補正された絶対距離を算出する。前記第１時刻および前記第２時刻は前記第１光束の波長と前記第２光束の波長との差分が互いに等しい時刻である。 （もっと読む）

【課題】対象物の変化量あるいは移動量を外乱の影響なく高精度に求めることが可能な変位計測方法とその装置を提供する。
【解決手段】４つの位相シフト光路を、４分割プリズムとアレイ状に配置したフォトニック結晶λ/４素子及びフォトニック結晶偏光素子とを組み合わせて空間的に並列生成する構成とすることにより、小形の光干渉変位センサを構築し、適用対象を拡大すると共に外乱の影響を受けることなく、対象物の微小変位や表面凹凸をサブナノメートル以下の分解能でかつ高い再現性で測定する。 （もっと読む）

【課題】グイ位相に伴って生じる計測誤差を低減する。
【解決手段】計測装置１００は、光源から射出された光を参照光と被検光とに分割する分割部１１０と、前記参照光を反射する参照面１１１と、前記被検光を被検面１１３に集光する集光部１１２と、前記被検面でキャッツアイ反射された被検光と前記参照面で反射された参照光との干渉光を検出する第１検出器１１４とを含む計測ヘッド１０１と、前記計測ヘッドを前記被検面に沿って駆動する駆動部１４０と、前記計測ヘッドの位置を検出する第２検出器１５０と、前記被検光の前記被検面における回折によって生じるグイ位相を取得し、前記第１検出器により検出された干渉光の情報から前記被検光と前記参照光との間の位相差を算出し、前記第２検出器により検出された前記計測ヘッドの位置と前記取得されたグイ位相と前記算出された位相差とから前記被検面の形状を算出する処理部１１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】参照面と被検面との間の距離の測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】光源からの光を２つの光に分割して、一方の光を参照面に入射させ、他方の光を被検面に入射させ、前記参照面で反射された光と前記被検面で反射された光との干渉光を検出する検出部と、距離を求める処理を行う処理部、前記光源からの光の波長を固定しての干渉光である第１の信号と、前記光源からの光の波長を連続的に変更させながらの干渉光である第２の信号、前記第２の信号を周波数解析して前記第２の信号に含まれる周期誤差を算出し、前記第１の信号に含まれる周期誤差と前記第２の信号に含まれる周期誤差との対応関係を表すテーブルを用いて、前記算出された前記第２の信号に含まれる周期誤差に対応する前記第１の信号に含まれる周期誤差を特定し、前記第１の信号から前記特定された周期誤差を減算し、前記参照面と前記被検面との間の光路長に対応する位相を求める。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】ゴーストのない高精度な光干渉観測を可能にする。
【解決手段】第１の台形プリズム１３１、第１の直角プリズム１３２、第２の直角プリズム１３３、第３の直角プリズム１３４、第２の台形プリズム１３５、第４の直角プリズム１３６を貼り合わせて一体化した構造のプリズムユニットを用いる。上記第１の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第１の直角プリズムの斜面に貼り合わされ、上記第２の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第４の直角プリズムの斜面に貼り合わされている。また、上記第２の直角プリズム及び第３の直角プリズムは、各斜面の一方の面に偏光ビームスプリッタ膜が形成され、上記偏光ビームスプリッタ膜を挟んで各斜面が貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】 光軸調整が不要で、振動の影響が軽減され、小型化が可能な光学素子及び干渉計を提供すること。
【解決手段】 光学素子２０は、第１〜第４の三角プリズム２１、２２、２３、２４のそれぞれの頂角をなす面同士を貼り合わせて構成され、第１及び第２の三角プリズムの両接合面２１ａ、２２ｂ、及び第２及び第３の三角プリズムの両接合面２２ａ、２３ｂ、及び第３及び第４の三角プリズムの両接合面２３ａ、２４ｂ、及び第４及び第１の三角プリズムの両接合面２４ａ、２１ｂのそれぞれが、光学薄膜を介して接合され、各光学薄膜は、入射光をその偏光状態に応じて透過又は反射する特性を有する。光学素子２０は、光学薄膜における第１の位置Ｐ１で光路を分割し、光学薄膜における第２の位置Ｐ２で光路を合成する。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広い演算器が不要な干渉型光ファイバーセンサーシステムを提供する。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバー１１ａおよびリファレンスファイバーを有する干渉計と、前記物理量の測定信号３を含む干渉光３２ａを、電気信号に変換するＯ／Ｅ変換器３３と、前記電気信号から、正弦波成分および余弦波成分を抽出するＡＭ復調器５１ａ、５１ｂと、該正弦波成分および該余弦波成分を用いて逆正接演算を行い、前記測定信号を含む信号を出力する逆正接演算器５３と、前記逆正接演算器から出力された信号の所定時間毎の差分を算出し、該差分信号を出力する差分器６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測長結果から精度よくデッドパスの影響を排除するヘテロダインレーザー干渉測長器を提供する。
【解決手段】ヘテロダインレーザー光源１０からのビームを２本の物理的に離れた平行なレーザービームに分岐させて測定ビームＢ１と参照ビームＢ２を生成する分岐器８０と、測定ビームＢ１及び参照ビームＢ２を測定光路ＬＰ１，ＬＰ２に向けて分割する偏光ビームスプリッタ３０と、測定光路ＬＰ１，ＬＰ２に設けられる１／４波長板３１，３２と、可動測定物５０に仮想直線上にお互いの反射面を反対方向に向けて固定され、測定ビームＢ１１，Ｂ１２が照射される測定ミラー３４１，３４２と、測定ミラー３４１，３４２近傍に配置され、参照ビームＢ２１，Ｂ２２が照射される反射ミラー４１１，４１２と、測定ミラー３４１，３４２の反射光を干渉させた光と反射ミラー４１１，４１２の反射光を干渉させた光に基づく２つのビート信号から変位を算出する演算回路７０を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像面により生じるノイズを減らし干渉縞の測定精度を向上させることができる干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計１は、第一の光軸Ｃ１上に光束Ｌ１を出射する光源２と、第一の光軸上に配置された参照面７ａと、参照面で反射された光束Ｌ２と、第一の光軸上に配置された被検面Ｗ１で反射された光束Ｌ３、または第一の光軸上に配置された被検物Ｗを透過した後に反射されて再び被検物を透過した光束と、を干渉させた干渉光Ｌ４を、第一の光軸に交差する第二の光軸Ｃ２上に反射するビームスプリッタ４と、第二の光軸上に配置され干渉光を撮像するとともに、自身の法線が第二の光軸に対して傾くように配置された撮像面１４を有する撮像手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 干渉計と波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの量子化誤差に起因する計測誤差を低減した位置計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 移動体の位置を計測する干渉計と、前記干渉計の計測光の光路における気体の状態に起因する前記計測光の波長変動を補償する波長補償器と、前記干渉計と前記波長補償器の出力に応じた位置計測値を出力する制御器と、を備える位置計測装置であって、前記制御器は前記干渉計および前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換器を含み、前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの分解能が、前記干渉計の出力をデジタル信号に変換するときの分解能よりも高い。 （もっと読む）

【課題】入射面のゴミの影響を受け難く、基準球の表面の傷に対してロバストであり、基準球の局所的な真球誤差の影響を受け難くする。
【解決手段】固定位置に配設された透明な基準球６１４と、移動体に配設された再帰逆反射体（６２０）と、基準球の中心を中心として回動するように設計されたキャリッジ６３０と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体と基準球の間でレーザビーム（６４２）を往復させる光学系を含み、再帰逆反射体と基準球の間の距離を干渉測長する測長手段（６４０）と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体の入射光と反射光の光軸のずれ量に応じた信号を出力する追尾用位置検出手段６６０と、光軸のずれ量がゼロとなるようにキャリッジの回動を制御する制御部６７０とを備えた追尾式レーザ干渉測長計において、基準球に入射されるレーザビームが、基準球の中心Ｏに焦点を結び、入射側と反対の内側球面で反射されるようにする。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】
安価で高精度の絶対位置の計測装置を提供する。
【解決手段】
計測装置１００は、第一の光線を射出する第一の光源１と、第一の光線より干渉性の低い第二の光線を射出する第二の光源２と、第一の光線に第二の光線を重ね合わせる第一のビームスプリッタ３と、第一のビームスプリッタからの射出光を計測光と参照光とに分岐する第二のビームスプリッタ４と、参照光及び計測光の反射光を合成して干渉信号を検出する干渉計測装置８と、干渉計測装置から出力された信号を処理する信号処理装置２０とを有し、第一の光線及び第二の光線の波長は同一に設定されており、信号処理装置２０は、第二の光源２から得られる干渉信号の強度を計測する信号強度計測部１４−１、１４−２、及び、第二の光源２から得られる干渉信号の強度の最大点を原点と判定する原点判定部１６を有する。 （もっと読む）

【課題】被測定体によって形成される光束の波面を高精度（例えば、高空間周波数のうねり成分まで）、且つ、短時間で測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】参照面を有する光学系と、検出面を有する検出部とを備え、前記光学系によって前記検出面に形成される被測定体又は基準面からの被検光束と前記参照面からの参照光束との干渉パターンを前記検出部で検出する測定装置を用いて、前記被測定体によって形成される光束の波面を測定する測定方法であって、前記測定装置における位相伝達関数及びパワースペクトル密度を用いて、前記測定装置による測定結果から前記光学系に起因する波面誤差を分離する測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制し且つ変調による影響を解消したレーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法を提供する。
【解決手段】レーザ干渉測長装置は、レーザ光に基づき測長を行う。レーザ干渉測長装置は、変調周波数ｆｍの変調信号Ｓｇ４にて変調されたレーザ光Ｌ１を生成するレーザ光生成部１０と、レーザ光生成部１０からのレーザ光Ｌ１を移動鏡３０に照射して測長情報を含んだレーザ光Ｌ４を得ると共にレーザ光Ｌ４を受光部２０ｂで受光して測長情報を含んだ第１、第２電気信号φＡ、φＢを生成する干渉計測部２０と、変調周波数ｆｍの変調信号Ｓｇ２に基づいて生成されたサンプリング周波数ｆｓのタイミング信号Ｓｇ８に同期するように第１、第２電気信号φＡ，φＢをサンプリングするサンプリング部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】２色法の原理を利用して異なる波長の同軸２光束が同一光学系を経由（透過および反射）する外乱の自己補償光学系を有するため外乱のある環境下でも安定で、可干渉距離の調整機能も備わっているため可干渉距離の短い光源に対しても適応でき、構造が単純で大幅な小型化が実現でき、調整が不要（または簡便）、さらに安価な光干渉計を構築するため利用することのできる光学装置を提供する。
【解決手段】光源１、光源からの光の一部を波長変換する光学素子または光学系、光源からの光と波長変換された光の位相差を制御できる位相制御用光学素子３または光学系、光源から光と波長変換された光の光路長を制御する光路長制御用光学素子４または光学系を備えており、光源からの光と波長変換された光は同軸２光束で同一光学系を経由（透過および反射）する。 （もっと読む）

【課題】 気体の屈折率を高精度に計測すること。
【解決手段】 光源１２からのレーザビーム１００を測定ビーム１０２と参照ビーム１０４に分岐させ、合成ビーム１０６を出射する台形型偏光ビームスプリッタ１４と、台形型偏光ビームスプリッタ１４に相対向して配置された再帰ミラー１８と、台形型偏光ビームスプリッタ１４と再帰ミラー１８とを連結し、参照ビーム１０４の光路を形成する真空容器１６と、測定ビーム１０２と参照ビーム１０４の干渉に伴う測定を行う計測器２０を備え、第１の半透過部２６ａと第２の半透過部２６ｂとを結ぶ光路のうち測定ビーム１０２の光路と参照ビーム１０４の光路が同一の光路長に設定されている。 （もっと読む）

【課題】測定精度の劣化を低減することのできる干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計は、レーザ光源１０と、レーザ光源１０から照射されたレーザ光Ｌ１を測定対象に２分波照射し各々の変位情報を有する光を合成する光波分割合成部２０と、合成レーザ光Ｌ６から第１位相を有する第１干渉光、第１位相と１８０度位相が異なる第２位相を有する第２干渉光、第１位相と９０度位相が異なる第３位相を有する第３干渉光、及び第１位相と２７０度位相が異なる第４位相を有する第４干渉光を生成する多位相干渉光生成部３０と、第１〜第４干渉光に基づく第１〜第４干渉信号Ｓａ〜Ｓｄの差に基づいて９０度位相差３相信号を生成する３相信号生成部４４と、９０度位相差３相信号をベクトル合成することにより９０度位相差２相信号を生成する２相信号生成部４５とを備える。 （もっと読む）

【課題】
液浸露光装置の投影光学系の波面収差を高精度に測定する波面収差測定装置を提供する。
【解決手段】
光源からの光を被検光と参照光とに分離し、投影光学系に前記被検光を入射させる入射光学系と、前記投影光学系から出射される前記被検光を、再び、同一光路で前記投影光学系に向けて反射する反射光学系と、前記反射光学系により反射され前記投影光学系から出射される前記被検光と、前記投影光学系を通過しない前記参照光との干渉により生成された干渉縞を検出する検出器と、を有し、前記投影光学系と基板との間の浸液を介して前記基板を露光する露光装置の前記投影光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置において、前記反射光学系を回転させる回転機構および傾斜させる傾斜機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）