【課題】干渉計測システムなどの振動感知システムのために、データ取得中は音響ノイズを最小限にしながら、環境制御をするための方法およびシステムの提供。
【解決手段】計測機器を含む振動感知計測システムのために環境制御を提供するための装置であって、前記振動感知計測システムを囲う熱的に安定したミニ・エンバイロメントを提供するための手段と、音響ノイズおよび振動から生じる前記振動感知計測システムの測定誤差を最小限にするための手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】本発明は、構成が単純であり、正確な絶対距離測定結果を経済的に提供できる固定波長絶対距離干渉計の提供。
【解決手段】第１の光源と波面半径検出器と波面半径検出器における測定結果から低解像度絶対光路長Ｒを求める第１の固定波長絶対距離干渉計と、合成測定波長Λを有する第２の干渉計光ビームを送出するビーム送出手段と前記第２の干渉計光ビームを参照ビームと測定ビームとに分割するとともに、戻ってきた参照ビームと測定ビームとを重ね合わせるビーム分割／重ね合わせ手段と記重ね合わせビームを受光して位相φを示す信号を発生する第２の干渉計検出器と前記重ね合わせビームの波数Ｎ_Λ、波長Λ、および位相φに基づいて中解像度絶対光路長測定値Ｚ_Ｍを求めるように構成された第２の光路長計算部を備える第２の干渉計と、を有する固定波長絶対距離干渉計。 （もっと読む）

【課題】 光軸調整が不要で、振動の影響が軽減され、小型化が可能な光学素子及び干渉計を提供すること。
【解決手段】 光学素子２０は、第１〜第４の三角プリズム２１、２２、２３、２４のそれぞれの頂角をなす面同士を貼り合わせて構成され、第１及び第２の三角プリズムの両接合面２１ａ、２２ｂ、及び第２及び第３の三角プリズムの両接合面２２ａ、２３ｂ、及び第３及び第４の三角プリズムの両接合面２３ａ、２４ｂ、及び第４及び第１の三角プリズムの両接合面２４ａ、２１ｂのそれぞれが、光学薄膜を介して接合され、各光学薄膜は、入射光をその偏光状態に応じて透過又は反射する特性を有する。光学素子２０は、光学薄膜における第１の位置Ｐ１で光路を分割し、光学薄膜における第２の位置Ｐ２で光路を合成する。 （もっと読む）

【課題】 安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。
【解決手段】 連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。被検体１２の一連の干渉画像が捕捉されると共に、干渉画像が形成された時のビーム周波数が取得される。捕捉された被検体の干渉画像から、監視ビーム周波数が所定のビーム周波数間隔パターンに略一致する限定された数の干渉画像が選択される。選択された干渉画像に基づいて更に処理が継続される。 （もっと読む）

【課題】 被検体と非接触で被検体の立体形状を測定することができるコモンパス型の測定システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 測定システム（１００Ａ）は測定ビーム（Ｌ１）と測定ビームに対して基準となる基準ビーム（Ｌ２）とを出射する光源部１１と、被検物体に隣接して配置され、基準ビームを反射させ測定ビームを被検物体へ透過させる平板状の参照素子（１３）と、被検物体で反射された測定ビームと参照素子で反射された基準ビームとが干渉した干渉ビームを各波長に分光する分光素子（２０）と、分光素子で分光された各波長を検出する検出部（２４）と、光源部から被検物体および分光素子を介して検出部に至る測定ビームの光路長と、光源部から参照素子および分光素子を介して検出部に至る基準ビームの光路長とを揃える迂回路を有する測定光学系（１２）を備える。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを伝わってくる振動を吸収することで、除振器の本来の性能を発揮させることにより高精度なレンズ、ミラーの形状・透過波面の計測を行う。
【解決手段】真空チャンバー１０８の外から干渉計１０１を除振するために真空と大気を隔て、且つ振動を吸収するベローズとして、弾性ベローズ１１３を用いる。さらに弾性ベローズ１１３の変形に関しては、剛体である規制部材１１４を弾性ベローズ１１３の内側に設けることにより変形量を制限している。 （もっと読む）

【課題】外乱振動や空気の揺らぎがある場合であっても、高い測定精度で被測定物の形状測定を可能にする形状測定方法及び装置等を提供する。
【解決手段】光源１から出射した可干渉光束１１を分岐して被測定物７と参照鏡８とに照射する分岐装置６と、被測定物７と参照鏡８との間に相対運動を生じさせる駆動装置２０と、被測定物７で反射した物体光１２と参照鏡８で反射した参照光１３とを重ね合わせて干渉縞を形成する重畳装置６と、前記干渉縞を連続的に撮像して連続撮像データを得る撮像装置１０と、前記連続撮像データから被測定物７の３次元形状を計算する計算装置２１とを有する。計算装置２１は、相対運動によって物体光１２と参照光１３の周波数がドップラー効果により変調することにより両光の周波数差のスペクトルから位相シフトスペクトルを得て、位相シフトスペクトルと連続撮像データとから被測定物７の３次元形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】
被検光学系の波面を高精度に計測することができる干渉計測装置を提供する。
【解決手段】
被検光学系の波面を計測する干渉計測装置において、前記被検光学系の焦点位置に曲率中心が一致するように配置された前記第１の凹球面ミラーを、光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で前記被検光学系の第１の波面および第２の波面を計測し、前記被検光学系の焦点位置に配置された第１の反射基板により前記被検光学系の第３の波面を計測し、前記第３の波面の計測値に対して、前記第１の反射基板の複素屈折率から算出される位相変化誤差の補正を行い、前記第１の凹球面ミラーの固有の誤差を補正する制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

波長選択器５が広帯域光源４の波長を選択する。光導波器ＢＳ１、ＢＳ２が、波長選択器からの光を測定経路に沿ってサンプル表面の領域に向けて誘導すると共に基準経路に沿って基準表面に向けて誘導し、サンプル表面の領域によって反射された光及び基準表面によって反射された光が干渉してインターフェログラムを生成するようにしている。コントローラ２０が、波長選択器を制御して、波長選択器によって選択される波長を変更する。記録器６３が、連続した画像を記録し、各画像は、波長選択器によって選択された波長のそれぞれ１つによって生成されたインターフェログラムを表す。データプロセッサ１８、１８０が、記録された画像を処理して、サンプル表面の少なくとも一部の表面プロファイル及び表面高マップのうちの少なくとも一方を作成する。基準経路を制御して、振動、熱的効果及び乱流のような環境影響を補償することができる。データプロセッサは、グラフィックス処理装置を用いて、ピクセルデータを並列に処理することを可能にすることができる。
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【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】２色法の原理を利用して異なる波長の同軸２光束が同一光学系を経由（透過および反射）する外乱の自己補償光学系を有するため外乱のある環境下でも安定で、可干渉距離の調整機能も備わっているため可干渉距離の短い光源に対しても適応でき、構造が単純で大幅な小型化が実現でき、調整が不要（または簡便）、さらに安価な光干渉計を構築するため利用することのできる光学装置を提供する。
【解決手段】光源１、光源からの光の一部を波長変換する光学素子または光学系、光源からの光と波長変換された光の位相差を制御できる位相制御用光学素子３または光学系、光源から光と波長変換された光の光路長を制御する光路長制御用光学素子４または光学系を備えており、光源からの光と波長変換された光は同軸２光束で同一光学系を経由（透過および反射）する。 （もっと読む）

【課題】微小機械-電気構造から構成された振動型発電装置の開発や保守管理に用いるのに適した振動変位計測装置を提供する。
【解決手段】先端にレンズなどの集光機能が付加され、振動緩衝のため粘弾性材料が使用されている、最大群遅延差が1ナノ秒／メートル以下のマルチモードファイバーを用いた光ファイバーケーブルによるプローブ部１と、連続発振するレーザー光源２−１による光源部２と、フォトダイオードによる光電変換部３と、光干渉ビート信号を配送する光サーキュレータ１０と、発電電圧又は発電電流値、及び振動変位情報を含む干渉ビート信号をディジタル信号に変換する信号収集部４と、電子計算機による解析部５と、記憶部６とを構成要素として有し、振動の瞬時変位量検出に光ホモダイン干渉計の原理を用いている。 （もっと読む）

【課題】基準レンズを必要とせずコンパクトであって振動等の外乱の影響を受けにくく非球面レンズ（自由形状レンズ）の測定を低コストで実現できる干渉縞生成方法および干渉計を提供する。
【解決手段】光源２から出た光Ｓ０を複屈折光学素子７で出射角度が微小に異なる２つの光束Ｓ１，Ｓ２に分割して第一，第二の検査光として被検体１３の被検面１３ａに垂直に照射し、その反射光を照射時の経路に沿って逆行する向きで複屈折光学素子７に透過させることで再び重ね合わせ、重ね合わせた光を受光面１２に投影することで干渉縞を生成する。第一，第二の検査光と其の反射光の往復経路が光源２から受光面１２に至る区間で完全に共通となり振動等に対しては相対運動が行われるので測定精度が向上し、温度差や空気の揺らぎ等による光路の微妙な変化、あるいは、干渉計の設置環境下で生じる振動や光学部品の経年変化等の影響を受けにくくなり、干渉縞の生成と維持が容易となって特殊な防振対策も不要となり簡単なもので済むようになる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光が遮断される等の理由により追尾できなくなったときに追尾を自動的に復帰可能とする、あるいは、測定開始時に初期調整作業の自動化を可能とする追尾式レーザ干渉計を提供する。
【解決手段】被測定体であるレトロリフレクタ３００に向けて照射し、該レトロリフレクタ３００によって戻り方向に反射されたレーザビーム１０２の干渉を利用してレトロリフレクタ３００の変位を検出すると共に、前記レーザビーム１０２の光軸の位置の変化を用いて２軸回転機構２４０によりトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計において、前記レーザビーム１０２の光軸を含む扇形状であって、前記２軸回転機構のうち該扇形の中心軸と直交する軸の回転動作に連動可能な、扇状レーザ光６０２を出射する光照射体６００と、前記レトロリフレクタ３００又は光照射体６００と特定の位置関係を有して、該扇状レーザ光を受光する受光体６２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】白色干渉縞のピーク位置を正確に検出可能な寸法測定装置及び寸法測定方法を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２からの光を、被測定物１０に向かう第１の光束と第２の光束に分岐し、第１の光束と第２の光束の間に被測定物１０の測定対象寸法に対応する第１の光路差を生じさせる第１の干渉計３と、第１の干渉計３を出射した光束を、参照鏡４３に向かう第３の光束と光路に沿って移動可能な移動鏡４４に向かう第４の光束に分岐して、第３の光束と第４の光束との間に第２の光路差を生じさせる第２の干渉計４と、第３及び第４の光束を受光し、第１の光路差と第２の光路差とが略等しい場合に生じる干渉信号を検出する検出器５と、移動鏡４４の複数の位置での検出器５の出力の時間平均値又は移動平均値から干渉信号が最大値となる移動鏡４４の位置を決定し、その位置から第２の光路差を求めて、測定対象寸法を求めるコントローラ６を有する。 （もっと読む）

【課題】環境ノイズなどの影響を受け難い寸法測定システムを提供する。
【解決手段】寸法測定システム１は、白色光源２１からの光を被測定物に向かう第１の光束と第２の光束に分岐し、第１の光束と第２の光束の間に被測定物の測定対象寸法に対応する第１の光路差を生じさせる測定装置２と、測定装置２から出射した光束を、参照鏡４３に向かう第３の光束と光路に沿って移動可能な移動鏡４４に向かう第４の光束に分岐して、第３の光束と第４の光束との間に第２の光路差を生じさせる干渉計４と、第３及び第４の光束を受光して干渉信号を検出する検出器５と、干渉信号が最大値となる移動鏡の位置を求めて被測定物の測定対象寸法を求めるコントローラ６を有する。またコントローラ６は、測定装置２と通信回線７を通じて接続され、被測定物の位置及び白色光源２１を遠隔制御する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の振動の影響を受けず，また，干渉光の乱れや揺らぎを生じさせることなく，被測定物の厚みを簡易に高精度で測定できること。
【解決手段】周波数がわずかに異なる第１ビーム光Ｐ１及び第２ビーム光Ｐ２のそれぞれを分岐させておもて面の測定部位１ａ及びうら面の測定部位１ｂへ導き，第１ビーム光Ｐ１を物体光とし，第２ビーム光Ｐ２を参照光とするおもて面側のヘテロダイン干渉計ａ２０と，第２ビーム光Ｐ２を物体光とし，第１ビーム光Ｐ１を参照光とする（おもて面とは物体光と参照光とが逆の関係である）うら面側のヘテロダイン干渉計ｂ２０と，両ヘテロダイン干渉計ａ２０，ｂ２０それぞれから出力される強度信号Ｓｉｇ１，Ｓｉｇ２の位相差φsを検出し，その検出信号を被測定物１の厚みに相当する測定値として出力する第１位相検波器４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 光断層画像化装置において、光プローブの揺れによる干渉信号レベルの揺らぎを防止する。
【解決手段】 測定対象内に挿入される光ファイバ１２を収容した光プローブ１０を、光断層画像化装置本体１Ａに接続してなる光断層画像化装置１において、光プローブ１０の測定対象Ｈ外に延びる部分の少なくとも一部を、すくなくとも光断層画像取得時に固定する固定手段５Ａを備える。 （もっと読む）

【課題】空調装置で生じた空気振動の、位置計測用のレーザ干渉計のレーザ光軸での位相と、波長センサによる波長検出位置での位相とのずれに起因する補正誤差を低減する。
【解決手段】位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。そして、位相補正器は、空調装置の空気振動源から波長検出器までの空気振動が伝わる第１経路と、空気振動源からレーザ干渉計の光路までの空気振動が伝わる第２経路との長さの差に基づいて決定された、波長検出器と光路における空気振動の位相差に基づいて、波長検出器で検出される波長変化を補正する。位置計測器は、補正された波長変化に基づいてレーザ干渉計による計測値を補正する。ここで、位置計測システムは、上記第２経路の長さよりも、第１経路の長さの方が短く構成されている。 （もっと読む）