【課題】参照面と被検面との間の距離の計測において、計測範囲の広範囲化の技術を提供する。
【解決手段】光源からの第１光を参照面に入射させ第２光を被検面に入射させる分割素子と、前記参照面で反射された前記第１光と前記被検面で反射された前記第２光との干渉光の位相をシフトさせる位相シフト部と、前記干渉光の強度を検出する検出部と、前記光源からの光の周波数を連続的に３つ以上の周波数に設定し前記３つ以上の周波数のそれぞれについて前記干渉光の位相をシフトさせながら前記干渉光の強度を検出するように前記検出部を制御し検出される前記干渉光の強度及び前記位相シフト部による前記干渉光の位相のシフト量に基づいて、前記参照面と前記被検面との間の光路長に相当する位相を特定し前記参照面と前記被検面との距離を求める処理部と前記処理部は前記３つ以上の周波数のそれぞれの間の周波数差が互いに異なるように前記３つ以上の周波数を設定する。 （もっと読む）

【課題】平行板ばねの一端側がより高い精度で平行な姿勢を維持しつつ振動可能な平行板ばねの固定構造を得る。
【解決手段】平行板ばねの固定構造は、平板６１，６２、移動部６３および基台部６４を含む平行板ばね６０と、位置Ｓ１，Ｓ２から基台部６４を挟持し、基台部６４に付与する所定の保持力によって平行板ばね６０の他端６０Ｂ側を固定する固定部５０，７０とを備え、平行板ばね６０の共振状態において、平行板ばね６０の他端側６０Ｂにおける一次の自由振動モードの節Ｎ１は基台部６４の内部に位置し、固定部５０，７０に固定された平行板ばね６０が共振することにより、基台部６４には回転モーメントＲＡ，ＲＢが発生し、固定部５０，７０は、回転モーメントＲＡ，ＲＢを含む仮想平面ＸＹ内において上記保持力が作用するように基台部６４に上記保持力を付与し、位置Ｓ１，Ｓ２は節Ｎ１を中心とする点対称の位置関係にある。 （もっと読む）

【課題】 少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。
【解決手段】 光源Ａからの光を固定鏡２と一対の回転鏡３ａ、３ｂとに二分割し、これら固定鏡２並びに回転鏡３ａ、３ｂから戻った光を再び合成して干渉光を得る二光束干渉計であって、上下方向に沿って延設され、その上下に前記一対の回転鏡３ａ、３ｂを互いに平行な姿勢で保持する回転アーム４と、回転アーム４を回動可能に保持する支持軸５と、回転アーム４の下端部で支持軸５を支点として回転アーム４を反復揺動させる駆動源７と、回転鏡３ａ、３ｂからの光を反射して回転鏡３ａ、３ｂに戻す固定反射鏡９とからなり、回転アーム４の回動を停止して回転アーム４が自重により静止した位置で、二分割された固定鏡側の光と回転鏡側の光の光路差が０のセンターバースト位置となるように、上下の回転鏡３ａ、３ｂの位置が予め調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】グイ位相に伴って生じる計測誤差を低減する。
【解決手段】計測装置１００は、光源から射出された光を参照光と被検光とに分割する分割部１１０と、前記参照光を反射する参照面１１１と、前記被検光を被検面１１３に集光する集光部１１２と、前記被検面でキャッツアイ反射された被検光と前記参照面で反射された参照光との干渉光を検出する第１検出器１１４とを含む計測ヘッド１０１と、前記計測ヘッドを前記被検面に沿って駆動する駆動部１４０と、前記計測ヘッドの位置を検出する第２検出器１５０と、前記被検光の前記被検面における回折によって生じるグイ位相を取得し、前記第１検出器により検出された干渉光の情報から前記被検光と前記参照光との間の位相差を算出し、前記第２検出器により検出された前記計測ヘッドの位置と前記取得されたグイ位相と前記算出された位相差とから前記被検面の形状を算出する処理部１１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉測長装置に対する再帰反射体の絶対位置を精度良く測定できる絶対位置測定方法を提供する。
【解決手段】絶対位置測定方法は、予め設定された３つ以上の各位置に再帰反射体をそれぞれ位置付ける工程Ｓ１，Ｓ４と、回転機構を動作させ、前記各位置にそれぞれ位置付けられた再帰反射体に対して測定光を出射可能とする各姿勢に干渉計を設定する工程Ｓ２と、回転機構の動作量に基づいて前記各姿勢間での測定光の光軸の角度変化量を算出する工程Ｓ５と、干渉計から出力される信号に基づいて前記各姿勢間での前記光軸に沿う方向の再帰反射体の位置変化量を算出する工程Ｓ６と、前記各位置、角度変化量、及び位置変化量に基づいて、レーザ干渉測長装置の基準位置を算出する工程Ｓ７と、基準位置に対する再帰反射体の絶対座標を算出する工程Ｓ８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置によって測定する場合に発生するクロストーク現象のクロストーク補正係数を算出する。
【解決手段】 測定対象面の平面領域内から輝度の異なる６点以上の干渉輝度信号を取得し、前記輝度信号に干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合（フィッティング）することにより、クロストーク補正係数を一括して算出するクロストーク補正係数算出方法、また、該方法を実行できる装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】表面形状測定機の測定視野以上の測定領域の測定をするに際して、複数の測定結果の繋ぎ合せを簡易に行うことを可能とし、オーバーラップ領域を低減して全体の測定時間を削減し、さらに一定の累積誤差の発生を低減することが可能な表面形状測定方法を提供すること。
【解決手段】面測定データの繋ぎ合せ時に回転方向の補正を行わず、面測定データの平行移動のみを行い面測定データを合成して合成面測定データを取得するようにする。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳ１３を用いたときの２光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。光学面の枚数を少なくして、ＢＳ１３に対する入射光の強度が微弱な場合でも、干渉光を確実に得る。
【解決手段】干渉計２では、透明基板１３ａの片面が反射透過面である平板型のＢＳ１３で入射光を２光束に分離し、２光束を固定鏡１５および移動鏡１４でそれぞれ反射させた後、ＢＳ１３で合成して干渉させる。固定鏡１５および移動鏡１４のどちらか一方は、裏面反射鏡で構成されている。この裏面反射鏡は、ＢＳ１３の反射透過面で反射された一方の光束と上記反射透過面を透過した他方の光束とで、ＢＳ１３で分離されてから合成されるまでに透明基板１３ａを通過する回数が異なることによって生ずる上記両光束の光路差を補償する平板１５ｂの裏面に反射膜１５ａを一体的に形成して構成されている。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳを用いたときの２光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。ＢＳへの入射光が軸外光線を有する場合の干渉性能の大幅な低下を回避して、干渉性能を補償する。
【解決手段】移動鏡１４は、静止状態において、移動鏡１４で反射された光束と固定鏡で反射された光束との光路差がゼロとなる第１の位置Ｐに対して、平板型のＢＳの反射透過面で分離される２光束のうち、移動鏡１４または固定鏡を介して再度反射透過面に入射するまでにＢＳの透明基板を透過する側の光束の光路長が、他方の光束の光路長よりも相対的に長くなる第２の位置Ｑ_０にある。移動鏡１４の駆動機構は、第２の位置Ｑ_０に対してＢＳ側とその反対側とで移動量が対称となるように移動鏡１４を移動させることによって、第１の位置Ｐに対してＢＳ側とその反対側とで移動鏡１４の移動量を非対称にさせる。 （もっと読む）

【課題】小型の構成でありながら、移動鏡１５を構成する反射膜１５ａの大きな移動量および並進性を確保しつつ、反射膜１５ａの面精度を向上させて反射光の波面の乱れを抑制する。
【解決手段】駆動機構１８の板ばね部３１・３２は、互いに対向して配置されている。支持体３３・３４は、板ばね部３１・３２の間で互いに離間して配置され、それぞれが板ばね部３１・３２と連結されている。駆動部３５は、板ばね部３１・３２の対向方向に、支持体３４に対して支持体３３を平行移動させる。支持体３４の移動方向において、支持体３３・３４の厚さは、板ばね部３１・３２よりも厚く、支持体３３における移動方向に垂直な一端面に、反射膜１５ａが形成されている。支持体３３は、反射膜１５ａが露出するように板ばね部３１・３２と連結されている。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面で構成される被検面の形状等を短時間で測定することが可能な光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９の被検面（コバ部表面９５、嵌合面９８、嵌合部底面９９）に対し、顕微干渉計１から測定光軸Ｌに沿って収束しながら進行する低可干渉性の測定光を照射し、被検面の回転位置毎に対応した各回転位置別干渉縞を第１撮像カメラ２４の１次元イメージセンサ２３により撮像する。この各回転位置別干渉縞の画像データに基づき被検面の形状が解析される。 （もっと読む）

【課題】参照光および被検光を偏光の回転方向が互いに逆向きとなる２つの円偏光に変換するための光学素子を通過する際の波面の乱れを抑制し、実時間での光干渉測定をより高精度に行うことが可能な実時間測定分岐干渉計を得る。
【解決手段】光源部１からの光ビームを２光束に分岐し、第１光束を第２光束に対して所定の光学距離だけ迂回させた後に１光束に再合波して出射する迂回路部２を設ける。この迂回路部２における第１光束の光路上に第１のλ／２板１５を配置し、第２光束の光路上に、第１のλ／２板１５とは光学軸の方向が４５度だけ異なる第２のλ／２板１９を設置する。さらに、迂回路部２とビーム径拡大部３との間の光路上にλ／４板２１を配置することにより、第１光束および第２光束を偏光の回転方向が互いに逆向きとなる２つの円偏光に変換する。 （もっと読む）

【課題】トールボット干渉計のセンサ部の傾きを精度良く調整する。
【解決手段】トールボット干渉計は、光源１から発せられて被検光学系Ｌを通った光を、回折格子３および撮像素子４を含むセンサ部Ｍに導き、被検光学系の波面を計測する。該干渉計は、光軸ＯＡに沿った方向における被検光学系とセンサ部との位置関係を、波面の計測時とは異なる位置関係であって被検光学系の像点位置に撮像素子が配置されるように設定する機構７，８と、回折格子からの回折光の撮像素子上での光量分布を該撮像素子を用いて測定する測定部５と、光量分布の測定結果を用いてセンサ部の傾き補正量を算出する補正量算出部５と、傾き補正量に応じた光軸に対するセンサ部の傾き調整を行う機構９とを有する。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面または互いに離間した複数の平面からなる被検面の傾斜角度、形状および径の大きさ等を短時間で測定可能な被検面測定装置を得る。
【解決手段】円錐レンズ３１と回折光学素子３２とからなる光偏向素子３０を配置し、測定光を照射する。光偏向素子３０に入射した測定光の一部は、参照基準面３１ｂにおいて参照光として反射され、その余は光偏向素子３０により放射状に偏向されて被検面７１の各部に垂直に照射される。被検面７１の各部から再帰反射された測定光の一部は、光偏向素子３０を経由し被検光として参照基準面３１ｂに戻る。この被検光と参照光の光路長差が低干渉光源１１からの出力光の可干渉距離以下となるように迂回路部１３における迂回距離の調整がなされ、撮像カメラ２３により撮像された干渉縞画像に基づき、被検面７１の各部の傾斜角度、形状および径の大きさが測定解析される。 （もっと読む）

【課題】被検曲面の傾きが大きい場合でも被検曲面の形状を高精度に測定することが可能な被検曲面形状測定装置を得る。
【解決手段】被検曲面Ｐの形状の設計データに基づき形成された反射曲面３１を有する反射偏向素子３を用いて測定を行う。この反射曲面３１は、干渉計１から反射曲面３１に入射した測定光の各光線が、被検曲面Ｐに対し垂直に入射して再帰反射され反射曲面３１を経由して干渉計１に戻るとともに、該各光線の光路長が互いに等しくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 高さ方向の異なる位置に配置された複数の面の形状を一括でかつ高精度に測定できる斜入射干渉計を用いた測定方法を提供する。
【解決手段】 斜入射干渉計を用いた測定方法は、被測定物における測定光の入射面の法線方向の異なる位置に略平行に配置された複数の面に測定光を入射させる測定光入射工程Ｓ１と、複数の面で反射された測定光を利用して複数の面の形状を測定する面形状測定工程Ｓ２とを備える。また、複数の面のいずれか１つの面に対する他の面の傾きを測定する傾き測定工程Ｓ３を備える。 （もっと読む）

【課題】画像処理装置および干渉計測定システムにおいて、干渉計の画像表示のための装置構成を簡素化し、干渉縞計測の作業性を向上することができることができるようにする。
【解決手段】画像処理装置１は、アライメント用画像を撮影するアライメントカメラ６と、干渉縞画像を撮影する干渉縞カメラ７とを接続し、これらから送信される画像データを伝送する接続端子部４と、伝送された画像データのうち、アライメント用画像および干渉縞画像のいずれかを選択するカメラ切替スイッチ３Ｂと、選択された画像データによる画像を表示する表示部２と、干渉縞画像の画像データを解析する画像処理部と、カメラ切替スイッチ３Ｂによって干渉縞画像の画像データが選択されたときに、画像処理部によって解析された解析結果を干渉縞画像とともに表示部２に表示する装置制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】反射率の異なる箇所が存在する測定対象物を測定する場合でも、容易に測定を行える三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】広帯域光を出力する光出射部１０と、広帯域光を参照ミラー３２を有する参照光路と測定対象物Ｗを配置した測定光路とに分岐させ、参照ミラー３２からの反射光と測定対象物Ｗからの反射光とを合成波として出力させる対物レンズ部３０と、参照光路又は測定光路のいずれか一方の光路長を変化させる駆動機構部５０と、干渉画像を撮像する撮像部４０と、を備えた光干渉測定装置１であって、対物レンズ部３０において、参照ミラー３２からの反射光と測定対象物Ｗからの反射光との位相差を制御し、光路差ゼロの位置において暗の干渉縞を発生させる位相差制御部材３４と、撮像された干渉画像に基づいて、光路差ゼロの位置において発生した暗の干渉縞のピーク位置を検出するピーク位置検出プログラム７３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ステップ走査干渉計を、最適に機能させる方法を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態では、ステップ走査赤外線（IR）分光干渉計における路長差（遅延）は、ステップ変更に続く第1の期間について交流サーボ機構（サーボ）制御下で、および、第1の期間に続く第2の期間について直流サーボ制御下で維持される。データは、直流サーボ制御期間中および/または直流サーボ制御期間後に取得される。データ取得前に交流サーボ制御を停止することで、ディザー周波数ノイズを制限することができる。さもないと、ディザー周波数ノイズは、高速時間分解分光法（TSR）などの高速時間スケール用途で特に、対象となる信号に影響を与える可能性がある。鏡位置制御回路は、鏡位置ステップ、および、交流から直流への鏡サーボ制御の切り換えを制御する。 （もっと読む）