【課題】
本発明は、共焦点撮像系によりZスキャン機構無しで物体の表面形状計測を可能とした焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置において、高速計測時に著しく露光時間が短くなることから三次元形状計測で異常をきたす問題が生じる為、露光時間を多く確保して適度な光量を得た画像を取得し、正常に三次元形状計測を可能とすることを目的とする。
【解決手段】
焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置の移動機構による物体の移動と微小シフト機構によるスポットの移動とを等速とすることにより、共焦点撮像系が物体に対して同じ箇所を長時間露光可能なように構成し、三次元形状計測を行う。 （もっと読む）

【課題】光源の光によって発生するノイズを防止することにより正確に指示体の指示位置を演算することができる指示位置演算システムを提供すること。
【解決手段】光源２２（発光部１３、１４）と受光センサ１７（コントローラ１６）とが所与の基準位置関係にある場合に受光センサ１７に入射する反射光ＲＬを発生させる方向に光源２２からの直接光ＤＬを進行させない位置に遮蔽部２４を設けている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、液晶表示装置のシーリング剤ディスペンサ用センサーに係り、シーリング剤の吐き出されるノズルと基板との間の高さを正確に測定できる変位測定センサーに関する。
【解決手段】
本発明による変位測定センサーは、レーザービームを基板に向けて出力する発光部と、前記発光部から出力されたレーザーの受信される受光部とを含むが、前記発光部及び受光部は、互いに離隔されて一体型とからなり、前記発光部と受光部との間には、ディスペンサのシリンジ下部が取り付けられる結合孔が形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電源再立上げ時でも高精度な位置決め精度を発揮することができる光学要素の保持装置及びそれを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】レンズＬＥを光軸方向に駆動させる駆動機構７１と、レンズＬＥの位置を計測するレンズ位置検出手段７２と、を有する光学要素の保持装置であって、レンズ位置検出手段７２は、レンズＬＥの光軸方向における相対位置を計測するインクリメンタル式垂直変位検出センサ７２２と、レンズＬＥの絶対位置を計測するアブソリュート式垂直変位検出センサ７２１と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、地上モバイルマッピングデータからオブジェクトを検出する方法に関する。この場合、地上モバイルマッピングデータは、道路を走行する走行方向を有する地上モバイルマッピング車両により取り込まれており、モバイルマッピングデータは、レーザスキャナデータ、少なくとも１つのカメラにより取得されるソース画像、並びに車両の位置データ及び方位データを含み、レーザスキャナデータは、各々が関連する位置データ及び方位データを有するレーザポイントを含み、各ソース画像は、関連する位置データ及び方位データを含む。方法は、車両の位置及び方位を検索することと、注目領域に対応するレーザポイントを取得するため、車両の位置及び方位に依存してレーザスキャナデータをフィルタリングすることと、車両の位置及び方位と関連するソース画像を検索することと、認識マスクを生成するため、注目領域に対応するレーザポイントをソース画像の画像座標にマッピングすることと、注目領域内の可能なオブジェクトを表す候補３Ｄ画像を取得するため、認識マスク及びソース画像を組み合わせることと、候補３Ｄ画像からオブジェクトグループを検出することとを含むことを特徴とする。画像認識及びレーザスキャナ認識を組み合わせることにより、検出率は非常に高い割合まで増加可能であり、そのため歩行者の労力を大幅に減少する。更に、レーザデータにおいて注目領域を生成することにより、画像内のオブジェクトを検出するために必要な処理能力及び／又は処理時間を大幅に減少できる。
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【課題】非駆動方向に変位が生じても正確に補正することができる光学要素の保持装置並びにその調整方法及びそれを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】レンズＬＥを駆動させる駆動機構７１と、レンズＬＥの位置を計測するレンズ位置検出手段７２と、を有する光学要素の保持装置であって、レンズ位置検出手段７２の位置検出パラメータ数は、駆動機構７１の駆動方向パラメータ数より多いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】時間的に異なる形状の測定対象物を測定、対比するのに適した光学式変位計等を提供する。
【解決手段】投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において、増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算部と、プロファイル演算部で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、プロファイル演算部で演算されたプロファイル形状を、取得した時間情報と共に保存するためのメモリ部とを備え、メモリ部に保存された過去のプロファイル形状を、取得時間を指定して呼び出して表示部に表示させることにより、時間的に異なる複数のプロファイル形状を対比可能に構成できる。これにより、異なる時間に撮像された複数のプロファイルを表示部上に表示して対比、計測を容易に行える。 （もっと読む）

【課題】受光画像の視認性を高め、プロファイルの確認を容易にする。
【解決手段】投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において増幅器で得られた増幅信号に基づき生成された受光画像を表示するための表示部と、受光画像に対し、画素毎の受光信号の階調を、複数の範囲に区分けし、範囲毎に異なる色を割り当て、受光画像の画素毎に、その階調に割り当てられた色を着色する着色処理を施した状態で表示部に表示可能な受光画像着色手段とを備えることができる。これにより、受光信号の階調幅毎に着色することで、受光画像が等高線図のように表示され、着色された階調幅の粗密によって受光分布勾配が急峻であるか、緩やかであるか等が認識し易くなり、プロファイルの傾斜の度合い等を視覚的に把握できる。 （もっと読む）

【課題】所望の反射光を確実に補足して高精度な検出を可能とする。
【解決手段】測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、増幅器で増幅された受光信号に基づき生成された受光画像を表示可能な表示部と、表示部上で表示された受光画像に対して、測定対象から排除する受光マスク領域を指定するためのマスク領域指定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】エラー発生のプロセスを詳細に解析するのに適した光学式変位計を提供する。
【解決手段】増幅器で得られた受光信号の、第１方向における各ピークの分布が所定の範囲内となるように、投光部の発光量及び増幅器の増幅率を含む操作量の少なくともいずれかのパラメータをフィードバック制御するための受光レベル制御手段と、受光レベル制御手段で制御される操作量又は受光量が所定値を越える場合に、アラーム信号を出力するためのアラーム検出手段と、プロファイル形状及び／又はトレンドグラフを、取得した時間情報と共に保存し、さらにアラーム検出手段がアラーム信号を出力した期間を記録するためのメモリ部とを備え、アラーム検出手段がアラーム信号を出力した期間を、表示部のトレンドグラフ表示領域においてトレンドグラフ上に表示可能に構成している。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ動作を妨害せずに、リソグラフィ動作中にリアルタイムでイルミネータの個別制御可能要素アレイの個別制御可能要素の傾き角を決定できる測定装置を提供する。
【解決手段】測定放射ビームを供給する放射源であって、放射ビームを変調することができる個別制御可能要素アレイの個別制御可能要素が前記測定ビームにより照明され、かつ前記測定ビームを再誘導する、放射源と、前記再誘導された測定ビームを受光し、かつ前記再誘導された測定ビームが入射する位置を決定するディテクタであって、前記再誘導された測定ビームが前記ディテクタに入射する位置は前記個別制御可能要素の特性を示す、ディテクタとを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、液晶基板等の分光透過率測定の前工程として行われる照明光源の位置の調整を自動で行う分光測光システムを提供する。
【解決手段】少なくとも水平方向に移動可能な顕微鏡ユニットと、前記顕微鏡ユニットに追従して水平方向に移動可能であり、かつ、鉛直方向に移動可能な照明光源と、前記顕微鏡ユニットによる観察視野にある所定の観察位置と、前記照明光源からの照明光の中心とを一致させる照明中心補正手段と、前記顕微鏡ユニットによる観察視野内で、前記照明光源より照らされる照明領域について合焦させる合焦手段と、前記照明領域のうち最も明るい位置と前記観察位置とを一致させる最大光量位置補正手段と、を備えることを特徴とする分光測光システムにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の傾きが変更可能に構成されたミラーシステムの偏向特性を短時間かつ高精度に測定することを目的とする。
【解決手段】ミラー面１１に測定光２８を照射する測定用光源１４と、測定用光源１４から照射された測定光２８がミラー面１１で反射することにより形成された反射光１３が投射光点として投射される投射部１７と、反射光１３が投射光点として投射された投射部１７を撮像する撮像部１８と、ミラー面１１の傾きを制御する制御部３１と、撮像部１８によって撮像された投射部１７の画像に基づいて、制御部３１によって制御されたミラー面１１の傾きの変更に伴って移動する投射光点の移動量を測定する測定部３３とをそなえたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 複数の光源の位置または指示位置を計測することができる位置計測システムを提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、ポインタ１，２と、ポインタ１，２の発光を制御する発光制御装置３と、ポインタ１，２から放射された光を撮像するＣＣＤイメージセンサ４，５と、イメージセンサ４，５が撮像した画像に基づいてポインタ１，２の指示位置を演算するＰＣ６とを備える。ポインタ１，２は同心円模様光９を投影する。ＰＣ６はディスプレイ１０に接続され、ポインタ１，２が指し示した位置にカーソル７を表示させる。発光制御装置３は、イメージセンサ４，５の撮像フレームに対応してポインタ１，２を順次選択して発光させる。 （もっと読む）

【課題】撮像素子検査装置の各光学部品の芯出しを簡単に精度良く行う。
【解決手段】機枠４１の光源取付位置に第１基準治具５１を取り付ける。第１基準治具５１に円柱治具５２を介しレーザポインタ５３を嵌合させ、レーザポインタ５３をオンにする。機枠４１内のミラー４７で反射されたレーザ光を、載置台３１にセットされる撮像素子ウェハ１６に照射し、その中心位置にレーザ光が位置するように、機枠４１の取付位置を微調整して第１の芯出しを行う。次に、円柱治具をレンズホルダ６３に嵌合させ、円柱治具の先端部を撮像素子本体１８の中心位置に合せて、レンズの光軸と載置台３１の中心線とを合せる第２の芯出しを行う。次に、第１基準治具５１に芯出し治具を嵌合させて、その先端部の位置合せ板により、インテグレータ及び絞りの中心線を光軸に合せ、第３及び第４の芯出しを行う。 （もっと読む）

【課題】屋内での位置情報をきめ細かくサポートすることが可能な小型で低コストの光位置検出システム、光IDタグ装置、位置検出装置、及び光位置検出方法を提供する。
【解決手段】光IDタグ装置は、ID情報を記憶する記憶手段、光送信手段、及び測定対象の状態を検知する状態検知手段を有し、位置検出装置は、光IDタグ装置からの光信号を受信する受信手段、光信号の入射方向を検知する方向検出手段、位置検出装置が少なくともID情報及び受信した光信号の入射方向情報及びID情報と検知された運動の状態情報とから算出される光IDタグ装置の前記検出装置からの相対位置情報を管理する情報管理手段、情報管理手段に管理された相対位置情報を演算することで光IDタグ装置の位置を特定する制御演算手段、及び光IDタグ装置とネットワークに接続するための通信手段を有することにより、屋内での位置情報をきめ細かく特定することが可能な小型で低コスト化を図れる。 （もっと読む）

【課題】環境変化に対する光学性能の変化を低減することができる結像光学系の設計方法を提供する。
【解決手段】第１の焦点距離ｆ１を有する第１のレンズ群と、第２の焦点距離ｆ２を有する第２のレンズ群とを有し、物体面のパターンの像を像面上に結像する結像光学系の設計方法であって、結像光学系が配置される環境が、真空雰囲気から大気雰囲気又は大気雰囲気から真空雰囲気に環境変化した場合において、第１の焦点距離ｆ１と第２の焦点距離ｆ２との比ｆ１／ｆ２に応じて生じるピント位置差Δｄ１を、ａ１及びｂ１を定数としてΔｄ１＝ａ１・（ｆ１／ｆ２）＋ｂ１と定義したときに、定数ａ１及びｂ１を求めるステップと、環境変化によるピント位置差の許容値をΔｄ_Ｔ１として、第１の焦点距離ｆ１と第２の焦点距離ｆ２との比ｆ１／ｆ２を、ｆ１／ｆ２＝（Δｄ_Ｔ１−ｂ１）／ａ１に基づいて決定するステップとを有することを特徴とする設計方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＡＧＶで原反ロール等のロール体を生産機に自動供給するために、床に何らかの手段を設置することなく、ロール体のコア中心を生産機の所定部位、例えばチャッキング装置に精度良く位置決めできるようにする。
【解決手段】ＡＧＶは、前記ロール体を搭載している搭載部を上下方向に駆動する上下方向駆動機構と水平方向に駆動する水平方向駆動機構とを備える。更に、前記所定部位の近傍に設置されたレーザ光源と、前記ＡＧＶに設置され、前記レーザ光源からのレーザ光を受光する受光面を有して該受光面上でのレーザ光の受光位置を検出する検出手段と、検出された受光位置の基準位置からのずれ量を算出し、算出されたずれ量を無くすように前記上下方向駆動機構と前記水平方向駆動機構を制御する位置決め制御回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】走査される光ビームのビームスポット位置を精度よく測定する。
【解決手段】光学特性測定装置７０の受光装置７１を、光走査装置１００から射出された光ビームＬＢ１,ＬＢ２,ＬＢ３,ＬＢ４がそれぞれ入射する受光位置に、Ｘステージ及びＹステージを駆動することにより順次位置決めする際に、受光装置７１のステージ座標系における位置座標を、誤差量δ（Ｘ）、δ（Ｙ）及び角度誤差Δθに基づいて補正する。これにより、精度よくステージ座標系における光ビームＬＢ１〜ＬＢ４のビームスポット位置をそれぞれ計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 対象物の位置や方向を簡易かつ高精度に測定することができる位置計測システムを提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、互いの位置関係が判明している４個のＬＥＤ光源１〜４と、各光源からの光を透過して球面収差により光リング像１１を形成する光学レンズ系１２と、光学レンズ系１２により形成された光リング像１１を検出するイメージセンサ１３と、イメージセンサ１３により検出された光リング像１１の検出情報および各光源の位置関係に基づいて各光源の位置を計測する演算装置１４とを備える。ＬＥＤ光源１〜４は、同一平面上に存在し、矩形部材としてのカード５の４つの頂点位置にそれぞれ配置される。 （もっと読む）