【課題】撮影領域が広くても、ステレオ撮影にて取得した画像データの三次元の校正を実行するための基礎データを簡易に取得する。
【解決手段】広がりのない光を照射可能な第一直光発光装置と、第一直光発光装置が照射する光に対して複数のカメラの撮影領域内において交点をなすように広がりのない光を照射可能な第二直光発光装置と、第一直光発光装置および第二直光発光装置を撮影領域内で移動させる移動手段と、第二直光発光装置と第一直光発光装置との中間点をマーキングするマーキング装置と、マーキングの絶対位置またはマーキングの複数のカメラとの相対位置に関する情報を取得する位置情報取得手段と、位置情報取得手段によるマーキングの絶対位置またはマーキングの複数のカメラとの相対位置に関する位置情報に基づいて、第一直光発光装置および第二直光発光装置による光の交点の位置を特定する光交点位置情報特定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 例えばガラス基板の表面に付着した異物の影響を抑えて、その裏面の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 被検面（２０ａ）の面位置の変位を検出する変位検出装置は、第１乃至第３の光（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３）を被検面の第１乃至第３位置へそれぞれ導いて被検面またはその近傍に第１乃至第３の集光点を形成するための、第１乃至第３の光に共通の光学系（３，４，５）と、被検面で反射された第１乃至第３の光に基づいて第１乃至第３位置における第１乃至第３変位情報をそれぞれ検出し、該３つの変位情報のうちの互いに最も類似した２つの変位情報に基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（ＤＳ：５，４，３，６，７，８，９）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 温度変動や波長変動に起因する検出誤差の発生を抑えて、被検面の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 測定対物レンズ（４）を介して被検面（２０ａ）に光源（ＬＳ）からの光を投光し、測定対物レンズを介した被検面からの反射光に基づいて、被検面の面位置の変位を検出する変位検出装置。光源からの光を複数の光に分割し、複数の光のうちの第１の光を測定光として測定光路に沿って導き且つ複数の光のうちの第２の光を参照光として参照光路に沿って導く光分割部材（２）と、被検面で反射された測定光が含む測定情報と参照光が含む参照情報とに基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（１３，１４）とを備えている。 （もっと読む）

方法及び装置は、ウェハスクライブシステムのためのリアルタイムのオートフォーカスを実行する。方法及び装置は、スクライブレーザビームのための対物レンズ（２６）の真下のウェハ（１０）の表面（５０）に、グレージング角で方向付けられた偏光光（４２）を用いる。ウェハから反射した光は、フィルタリング（５６）され、スクライブレーザビームからの光が除外され、位置敏感型検出器（５８）に集光され、対物レンズからウェハ表面までの距離が測定される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にできるとともに、コスト低減を図ることができ、高速処理し得る検出装置及び検出方法を提案する。
【解決手段】変位検出部３で検出した受光位置の変位に基づいて天井Ｃが床Ｆに対して変位したか否かを検出できるので、撮像手段による撮像や、コンピュータを用いた画像処理技術等が不要となり、その分だけ構成を簡易にできるとともに、コスト低減を図ることができる。また、この検出装置１では、変位検出部３で受光位置の変位を検出するだけで、天井Ｃが床Ｆに対して変位したか否かを検出できることから、従来のようなコンピュータを用いた画像処理技術等を省くことができ、かくしてその分だけ従来よりも高速処理し得る。 （もっと読む）

【課題】測定対象との距離の２次元分布、測定対象の傾斜角、測定対象の傾斜方向を求める。
【解決手段】計測器は、光ファイバ１と、光ファイバ１の入射軸に対して傾いた方向から走査用光を光ファイバの入射側端面に入射させる走査用レーザ３と、光ファイバ１からの光照射によって測定対象１０上に現れる照射光形状を撮影するカメラ４と、カメラ４によって撮影された照射光形状の画像から、測定対象１０との距離と測定対象１０の傾斜角と測定対象１０の傾斜方向のうち少なくとも１つを求める演算装置５とを備える。 （もっと読む）

【課題】スポット特性測定を行う際の被検光学系の位置調整を、自動化して高精度かつ短時間で行うことができるようにする。
【解決手段】測定装置に対する被検光学系の位置を順次移動させ、移動毎に光ビームの画像を撮像し、画像全体の輝度積分値と画像内の各領域別の輝度積分値を求める。求められた画像全体の輝度積分値が第１の閾値以上となるか否かを判定する第１判定処理と、求められた各領域別の輝度積分値の大小を比較し、最大の輝度積分値と最小の輝度積分値との差が第２の閾値以上となるか否かを判定する第２判定処理とを行い、判定結果に応じて、散乱光パターンに基づく第１の移動処理と輝度積分値に基づく第２の移動処理とを行う。 （もっと読む）

【課題】人手による作業を減らし、保管棚のＸ座標、Ｙ座標、Ｚ座標、奥行き方向の傾き角度θの４つの位置情報の計測を短時間で、高精度で、再現性よく行うことができる創薬用自動保管庫に用いられる棚位置自動ティーチング装置を提供する。
【解決手段】創薬研究用のワークを恒温・恒湿・冷凍などの環境のもとで保管管理する垂直及び水平方向に並んだ複数の保管棚と、この保管棚に対してワークの出し入れを行う移載ハンドと、保管棚の最下段及び／又は最上段に挿入される計測用プレート３００とを有する創薬用自動保管庫に用いられる棚位置自動ティーチング装置において、計測用プレート３００が、保管棚の幅に適合した水平板３１０と、この水平板３１０の前面に垂設された垂直板３２０を有し、この垂直板３２０が、その中央部に三角形状の凸部３３０を有していることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】安価に構成することができ、使用することができる状況の制約が少なく、２次元画像情報及び３次元情報の両方を高速に生成することができる画像情報生成装置を提供する。
【解決手段】処理選択部２６０は、投影用光源２０４を消灯させ照明用光源２１４を点灯させているフレームＦＬ１，ＦＬ３，ＦＬ５，・・・にカメラ２２４に第１の撮像を行わせ生成させた画像信号をデジタル化した第１の画像データＤ１，Ｄ３，Ｄ５，・・・を投影可否判定部２７０に処理させ、照明用光源２１４を消灯させ投影用光源２０４を点灯させているフレームＦＬ２，ＦＬ４，ＦＬ６，・・・にカメラ２２４に第２の撮像を行わせ生成させた画像信号をデジタル化した第２の画像データＤ２，Ｄ４，Ｄ６，・・・を３次元情報生成部２６２に処理させる。３次元情報生成部２６２は、半導体ウエハＷに関する３次元情報を画像データＤ２，Ｄ４，Ｄ６，・・・から生成する。 （もっと読む）

【課題】 動的時において快適な枕を得るための判定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 対象者に最適な枕を提供するための最適枕判定方法であって、頭部の回転角を検出する第一の検出手段と、腰部の回転角を検出する第二の検出手段とを準備し、前記第一及び第二の検出手段によって、基本姿勢からの頭部及び腰部のそれぞれの回転角を求め、各々の前記回転角の経時変化を回転履歴として求め、前記頭部の回転履歴と前記腰部の回転履歴とから、同一時刻における前記腰部の回転と前記頭部の回転とのずれを求め、このずれを予め設定された基準値と比較して前記対象者に最適な枕か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】プローブのより先端側にて穴の内径を測定することができる光学式測定装置を提供する。
【解決手段】ワーク等の被測定物に設けられた穴の内径を測定する光学式測定装置の構成に関し、この光学式測定装置は、被測定物の穴の内壁面に向けて基本光を照射する照射部１９と、前記内壁面で反射された散乱光をプローブ１５の内部に導入させるための導入部２０と、この導入部２０に導入された前記散乱光を受光する受光部２１とを備えてなる非接触式のプローブとを備えている。また、プローブ１５が穴の内部に挿入された状態で、受光部２１を構成する受光素子２７上における前記散乱光の受光位置に基づいて、内壁面の反射位置を円周に含む仮想円を算出する演算手段とを備えている。そして、プローブ１５内において、照射部１９を、導入部２０及び受光部２１よりも先端側に配置した。 （もっと読む）

【課題】従来の手法では、特定の対象物を自動的に計測する際に、特定の対象物のみを計測することができず、対象物以外の物体を含めた過剰な計測のため大きな時間コストや演算コストが必要であった。
【解決手段】本発明の計測装置１０は、カメラ１０５等の撮像手段１１により取得した画像において、測定したい対象物を指定し、画像上における対象物の位置情報を利用して、任意の計測手段１５が対象物を計測できるように、回転雲台やロボットアーム等の位置姿勢制御手段１４を用いて計測手段１５の位置、姿勢、またはその両方を変更し、位置、姿勢、またはその両方を変更した後に計測手段１５により対象物の計測を行う。また、計測装置１０は、前回の計測で得られた情報も次回の計測手段１５の位置、姿勢、またはその両方の変更量の算出に利用し、最終的に指定した対象物の計測を行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】高さ測定結果に問題があった場合の原因分析を可能にした３Ｄセンサを提供する。
【解決手段】測定対象物４にレーザ光を投射する半導体レーザ１と、測定対象物４によって反射されたレーザ光を受ける複数のＰＳＤ２と、レーザ光を受けて各ＰＳＤ２から出力された電流信号に基づいて測定対象物４の高さを算出する高さデータ算出手段と、ＰＳＤ２ごとに算出した測定対象物４の高さデータの演算処理によって算出した測定対象物の真の高さ併せて演算処理の状態を示すデータを出力する高さデータ出力手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】記録光学素子で液滴全体を撮像するか否かに関わらず使用可能で、より安定的かつ信頼性の高い像分析を可能にし、コントラストが鮮明な接触角測定法および装置を提供する。
【解決手段】試料表面（３）と、気体環境と、試料表面（３）上に配置され、曲面（７）、対称軸（Ａ_Sy−Ａ_Sy）及び規定の体積（Ｖ_I）を有する液滴（５）とから接触角（φ）を求める方法を提供する。本方法においては、液滴（５）の表面（７）の反射特性と、いずれも既知の光学的測定システムの光軸（Ａ−Ａ）に対する被写体の位置および試料表面（３）に対する被写体の位置と、光軸（Ａ−Ａ）の上または近傍に配置された液滴（５）の対称軸（Ａ_Sy−Ａ_Sy）とに基づいて、被写体を結像する。該像と液滴（５）の光軸（Ａ−Ａ）との間の距離を測定し、該測定距離によって液滴（５）の曲面半径を求め、該曲面半径によって接触角を求める。 （もっと読む）

【課題】安価にＢＲＤＦ測定値を得られる。
【解決手段】座標原点から直線状に見込む方向であり、かつ、予め決定された測定予定方向群を格納させておく。マーカーＫを描画され、表面の中心位置に被測定素材Ｍを貼付したプレートＰ₁を、撮像装置Ｃ₁及び撮像装置Ｃ₂によって、マーカーＫ及び点光源Ｒを同一画像になるように撮像された各画像データを入力し、その各画像データのマーカーＫに基づき算出したプレートＰ₁の位置及び姿勢に、三角測量の原理を用いて、点光源Ｒの設置位置を算出する（１００）。撮像装置Ｃ₁によって、プレートＰ₁表面の座標原点及びマーカーＫを同一画像に収まるように撮像した測定画像データを入力し、その測定画像データのマーカーＫに基づき算出したプレートＰ₁の位置及び姿勢を使って、撮像装置Ｃ₁の撮像方向を算出し、その撮像方向が測定予定方向と一致した場合に、ＢＲＤＦ測定を行う（１００）。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の照射位置における戻り光の正確な光量による計測が可能な形状測定装置を有する３次元形状測定器を提供すること。
【解決手段】レーザダイオード２と、第１光学系と、照射位置移動手段と、エンコーダ６ａと、第２光学系と、ＣＣＤラインセンサ部１３と、入射光量測定手段とを有し、検知手段から出力された検知信号により所定時間の間隔を有する複数のタイミング信号が生成され、タイミング信号によってＣＣＤのリセットタイミングが制御されており、一のタイミング信号後に確認用レーザ光をレーザダイオード２から照射し、確認用レーザ光の光量を入射光量測定手段により測定し、入射光量測定手段により測定された確認用レーザ光の光量から測定用レーザ光の発光量が決定される。 （もっと読む）

光学システムは，あるフィールド内における選択可能な位置にレーザ・ビームを方向付けるようにそれぞれが配列された複数の選択的方向可変ミラー（38），上記複数の選択的方向可変ミラーの方向を感知するように動作し，かつ複数のミラー方向出力を提供するように動作する複数のミラー方向センサ(45)，および上記複数の選択的方向可変ミラーを自動的に較正する自動較正サブシステム(47)を備え，上記自動較正サブシステム(47)は，レーザ・ビームの照射による光学的に視認可能な指標を提供し，書換可能でありかつ光学的に視認可能な複数の基準マーキング（54，56）を有するターゲット(40)，上記ターゲットを選択的に位置決めするターゲット・ポジショナ(42)，上記レーザ・ビームの照射後の上記ターゲットを検視し，かつ複数のレーザ・ビーム照射出力を提供するように動作する光学センサ（44），および較正出力を提供するように動作する相関器（36）を備える。
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【課題】
光学系ユニットに設置した被検体の第１測定面と第２測定面間のレーリーリミット以下の傾き角θを検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を投光用コリメータレンズ３で平行光束とし、２つの被検体４、７に向かわせる。両被検体４、７の測定面５、８で反射した光束を往路に戻し、コリメータレンズ３から一次結像面６にスポットとして集光する。この集光位置は、被検体計測面５、８間に生じているレーリーリミット以下の傾き角θに応じた角θＡで決められる位置ｐ１、ｐ２となる。これを任意倍率の受光用レンズ１０でＣＣＤなどの受光部６に結像することなく投影する。この投影されるとき２つのスポットにθＢの角度を持たせてスポットの重なり部分に干渉縞を発生させる。この干渉縞本数を計数することで被検体計測面５、８間の傾き角θを求める。


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【課題】 ビームウエスト位置を検出することが可能な光源装置を提供すること。
【解決手段】 光源１０４からの光ビーム１０８は、レンズ系１０５を介してコーンミラー１０６の反射部１２５によって反射され、放射状に放射状光１２１として出力される。ビームウエスト位置算出部１２０は、各検出部１１６〜１１９が検出した放射状光１２１の断面の幅に基づいてビームウエスト１２２の位置を算出する。制御部１０２は、レンズ系位置算出部１１５からのレンズ系１０５の現在位置情報、ビームウエスト位置算出部１２０からのビームウエスト位置情報及び距離測定部１２７からの照射位置情報に基づいて、ビームウエスト１２２が照射点に位置するように、モータ１０９を制御する。スライダ１１２はモータ１０９の駆動によってレンズ系１０５のフォーカス位置を変更し、その結果、ビームウエスト１２２の位置が変更される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、３次元空間位置検出装置を提供する。
【解決手段】電磁波エミッション源と、複数の第１の検出素子を有する第１の検出モジュールと、複数の第２の検出素子を有する第２の検出モジュールとが備えられる。上記電磁波エミッション源に対する上記複数の第１、第２の検出素子の空間中の相対的な方向角の差異により、上記複数の第１、第２の検出素子が、それぞれ異なる放射エネルギーを受信し、それらの異なる放射エネルギーの相対的な大小関係により、上記電磁波エミッション源に対する上記第１、第２の検出モジュールのそれぞれの相対的な空間方向角が得られる。また、上記電磁波エミッション源と上記第１、第２の検出モジュールのそれぞれとの距離である二つの空間距離と二つの空間方向角のそれぞれとを用いて演算して、上記電磁波エミッション源に対する上記第１、第２の検出モジュールのそれぞれの相対的な空間座標位置が得られる。 （もっと読む）