【課題】簡易な構成で光ビームの方向を精度良く検出すること。
【解決手段】
第１の容器（１２）と、光源部材（１３）と、第１の容器（１２）の第１の伝播媒体（Ｂ）と、光分離部材（１６）と、第１の光学系（１７）と、第１の受光検出部材（１８）と、中間伝播媒体（１９＋Ａ＋２３）を第１の容器（１２）との間に介した第２の容器（２２）と、第１の伝播媒体（Ｂ）と同一の第２の容器（２２）の第２の伝播媒体（Ｂ）と、第２の光学系（２４）と、第２の受光検出部材（２６）と、第１の伝播媒体（Ｂ）での入射角（θ１）を検出する第１の角度検出手段（Ｃ２）と、第２の伝播媒体（Ｂ）での出射角（θ２）を検出する第２の角度検出手段（Ｃ４）と、第１の伝播媒体（Ｂ）と第２の伝播媒体（Ｂ）の光ビーム（１４ｂ）の方向ズレ量（Δθ）を検出する方向ズレ量検出手段（Ｃ５）と、を備えた方向検出装置（１）。 （もっと読む）

【課題】投射光領域の輪郭が不明瞭な場合でも、移動体の正確な位置を検出する。
【解決手段】移動体の位置を検出する位置検出システムであって、天井面を撮影した画像から前記移動体に装着されかつ鉛直制御された光源から該天井面へ投射された投射光の画像領域を抽出する抽出手段と、前記投射光の画像領域の重心位置を算出する算出手段と、前記重心位置を床面の前記移動体の位置へと変換する位置変換手段とにより達成される。 （もっと読む）

【課題】測定部位毎の態様が急変しても、安定して適切な測定を行うことができる変位センサを提供する。
【解決手段】フィードバック回数設定部１９及び制御部１６にて１出力周期において複数回の調整の設定がなされると、制御部１６はその最後のフィードバック調整後の測定値信号の出力を行い、受光信号が安定するまでの過渡期における測定値の排除が行われる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
レーザスポットを識別して該レーザスポットの座標の位置決めを行う装置及び方法を提供する。
【解決手段】
当該装置は、撮像装置により撮像された撮像画像から該画像の前景画像を算出する前景演算部と、前記装置の初期化段階に、前景演算部により算出される前記前景画像に基づいて、前記前景画像における画素の輝度、飽和度及び色調の閾値を自動予測する閾値予測部と、前記前景画像及び前記画素の輝度、飽和度及び色調の閾値により、レーザスポットを検出するレーザスポット検出部と、前記レーザスポット検出部により検出されたレーザスポットにより、前記レーザスポットの前記撮像画像内での座標を算出する位置決め部とを有する。 （もっと読む）

【課題】改善されたリソグラフィ装置及び方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、基板の目標部分にパターンを生成するよう構成されている光学コラムであって、ビームを与えるよう構成されている制御可能素子９０６と、目標部分にビームを投影するよう構成されている投影系と、を備える光学コラムと、基板に対して光学コラムの少なくとも一部９２４、９３０を移動させるよう構成されているアクチュエータ９３６と、光学コラムの少なくとも一部の位置を測定するよう構成されている測定システム９３８、９４０と、制御可能素子を駆動するよう構成されているコントローラ９４２と、を備え、コントローラに測定システムの出力信号が与えられる。 （もっと読む）

【課題】
車体歪みによる基準レーザ光の上下変動の範囲を抑えることで車両の床下と車体フレームとの間に車体歪み測定装置を設置することが可能でかつ検測車の床上には多くの機器、測定装置を搭載するスペースを確保することができる検測車の車体歪み測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レーザ投光器と第１の受光器との間にレーザビームを受けてその光軸の角度を調整する角度調節器を設けることで歪みによるレーザビームの光軸の変動、特に、上側への変動を角度調節器で調節できるようにして検測車の床下に設ける第１，第２の受光器の高さを低く抑え、この角度調節器とレーザ投光器と第１および第２の受光器とを検測車の車体フレーム上でかつ検測車の床下に配置することができるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】使用環境が制限されず、測定原理が簡単で、且つ、より高い感度及び精度でひずみを測定できる、光学ひずみゲージ、光学的ひずみ測定装置及び光学的ひずみ測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象物１に取り付けられ、光を反射可能であり且つ測定対象物１のひずみ変形に伴って角度が変化する複数の反射面５を備えるように、光学ひずみゲージ１０を構成した。また、光学的ひずみ測定装置１００に当該光学ひずみゲージ１０を備えた。 （もっと読む）

【課題】レーザ検出手段の検出点を用いて車両の端部を高精度に検出する車両検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】上下方向及び左右方向についてそれぞれ異なる複数方向にレーザ光を照射するとともに物体で反射されたレーザ光を受光することにより、物体に対する検出点を取得するレーザ検出手段と、レーザ検出手段で検出している側を撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像した撮像画像から車両を含む領域を探索する領域探索手段と、領域探索手段で探索した領域のうちの特定領域に含まれるレーザ検出手段で検出した検出点を抽出し、当該抽出した検出点に基づいて車両の端部を特定する車両端部特定手段を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】観察対象物と内視鏡遠位端部との距離を表示することが可能な内視鏡装置を得る。
【解決手段】初期設定装置は、内視鏡スコープ２０の遠位端部２１を固定する固定部５１と、ターゲット５２と、固定部５１及びターゲット５２が取り付けられる基部５３とを主に備える。遠位端部２１からターゲット５２までの距離がｘｉであるとき、レーザ輝点Ｌｉがターゲット５２上に現れ、遠位端部２１からターゲット５２までの距離がｘｉｉであるとき、レーザ輝点Ｌｉｉがターゲット５２上に現れ、遠位端部２１からターゲット５２までの距離がｘｉｉｉであるとき、レーザ輝点Ｌｉｉｉがターゲット５２上に現れる。画像におけるターゲット５２の中心点Ｐから輝点の中心までの距離を用いて、遠位端部２１の先端からターゲット５２までの距離を測定する。 （もっと読む）

【課題】２つのミラーの間の直交度を迅速かつ高い精度で計測する。
【解決手段】第１ミラー５４１および第２ミラー５４０を有する物品における前記第１ミラー５４１の反射面と前記第２ミラー５４０の反射面との直交度を計測する計測方法に係り、前記計測方法は、前記第２ミラー５４０の反射面に対して直角にレーザ光ＬＢ１が入射するように前記レーザ光ＬＢ１の光軸を調整する調整ステップと、前記第１ミラー５４１の反射面に平行な方向に前記物品を既知の距離だけ移動させたときの、前記レーザ光ＬＢ１が入射するように前記第２ミラー５４０の反射面に配置されたコーナーキューブＣＣ１によって反射された前記レーザ光ＬＢ１の光軸の変位量を検出する検出ステップと、前記距離と前記変位量とに基づいて前記第１ミラー５４１の反射面と前記第２ミラー５４０の反射面との間の角度が直角からずれている量を計算する計算ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】向かい合う二面の平行度あるいは角度を秒オーダの精度で安価、かつ簡易に測定できる二面の平行度を測定する方法とそれに用いる反射部材を提供する。
【解決手段】反射部材としてのビームスプリッタ７１の第２面９を上部ミラー５に向け、第３面１１を下部ミラー６に向けて配置し、第１面８に入射光ビーム２４を入射し、該第１面８からの第１反射ビーム２５と、該上部ミラー５で反射し該第１面８を透過して戻ってくる第２反射ビーム２６との乖離度を測定する。次に、該第１面８を該下部ミラー６に接して配置し、該第２面９に垂直な方向から該入射光ビーム２４を入射し、該第２面９から反射される第３反射ビームと、該入射光ビーム２４が該第２面９を透過し、さらに該下部ミラー６で反射し該第２面９を透過して戻ってくる第４反射ビームとの乖離度を測定する。該二つの乖離度から、該上部ミラー５と該下部ミラー６との平行性を計算する。 （もっと読む）

【課題】 視準校正のための誤差を高精度、容易かつ短時間に確認できるレーザ視準校正システムを提供すること。
【解決手段】 レーザ視準校正システム１は、視準校正のための誤差６９を算出及び表示する。レーザ視準校正システム１は、レーザユニット１０が配設され、レーザ光線の照準を設定するためのレチクル２０ａを有する照準ユニット２０と、レチクル２０ａに対応するレチクル３０ａを有し、レチクル２０ａがレチクル３０ａと同軸上に配設され、レチクル２０ａとレチクル３０ａとによって照準が設定された状態でレーザ光線を受光する受光ユニット３０と、照準が設定された状態で、受光ユニット３０が受光したレーザ光線の受光ユニット３０における受光位置を基に、レーザ光軸の視準校正のための誤差６９を算出し、算出された誤差を表示する算出表示ユニット５０とを有している。 （もっと読む）

本発明は、液状薬剤（Ｍ）の半透明の薬剤容器（１）のコンパートメント（５）をシールするためのストッパ（４）の長手位置を決定するための配置及び方法に関する。配置は、円形光源（８）及び光感受性センサ（７）を含み、ここで光源（８）又はセンサ（７）は、薬剤容器（１）の長さの少なくとも一部に広がる薬剤容器（１）に接して横方向に配置可能であり、ここでそれぞれの他の光源（８）及びセンサ（７）は薬剤容器（１）の先端周りに円形状に配置可能である。光源は薬剤容器中に光を放射するように配置される。光は薬剤又は薬剤容器（１）により散乱され、センサ（７）により検出される。センサ（７）はストッパ（４）の位置を検出するためにプロセッサユニットに連結される。 （もっと読む）

【課題】一つのセンサで同時に正反射面及び乱反射面の傾き角度の測定を行うことができるチルトセンサを提供する。
【解決手段】検出領域に向けて測定用光を出射する投光部、および、検出領域で反射された測定用光を受光する受光部からなる光学系を備え、投光部は、発光素子とコリメータレンズとを具備して構成され、受光部は、正反射光測定部と乱反射光測定部とを備え、正反射光測定部は、受光レンズと受光素子とを具備し、乱反射光測定部は、受光レンズと、受光素子と、乱反射光受光ミラーと、正反射光乱反射光合成ハーフミラーとを具備して構成され、正反射光測定部の受光レンズ及び乱反射光測定部の受光レンズを１枚の受光レンズで兼用し、また正反射光測定部の受光素子及び乱反射光測定部の受光素子を１つの受光素子で兼用する。 （もっと読む）

【課題】 カメラ及び距離センサを用いて高精度に物体の位置姿勢を計測する。
【解決手段】 物体の二次元画像の画像特徴と、保持された物体の位置姿勢における三次元形状モデルが二次元画像に投影される投影像とのずれを算出する。三次元座標情報と、保持された位置姿勢における三次元形状モデルとのずれを算出する。双方のずれの尺度を、同等の尺度になるように変換して、保持された位置姿勢を補正する。 （もっと読む）

【課題】 可動部に傾きが生じても、細かい干渉縞の発生を防止することが可能な変位計測装置を提案する。
【解決手段】 変位計測装置１は、第一のベース２と、第一のベース２に対して可動に設置された第二のベース３と、を有している。第一のベース２には、光源４と、光源４から照射される光を測定光と基準光とに分岐するビームスプリッタ５と、ビームスプリッタ５からの基準光を第一の反射板６の方に向けて反射する第三の反射板８と、第一の反射板６で反射された基準光と第二の反射板７で反射された測定光との干渉光を検出する光検出器９およびλ／４波長板１０が設けられている。第二のベース３には、反射面が第二の反射板７の反射面と平行に設置されている第一の反射板６およびビームスプリッタ５からの測定光を反射する第二の反射板７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ピストン往復動燃焼エンジンのシリンダのシリンダカバーを取り外すことなく、シリンダの内径および表面状態を検査するようにして、当該シリンダライナの検査の時間を短縮する。
【解決手段】燃焼機関のシリンダライナ２５の摺動面３５を検査する方法および検査装置が提供され、検査装置は、検査工具、制御装置、電力供給と測定データおよび制御信号の伝達のための接続手段６０を有する。検査工具は、ベアリングレール７０を有し、このベアリングレール７０には、ロータリテーブル８０、シリンダライナ２５の内径と摺動面３５とを測定するためと、表面状態を目視検査するための工具９０，９６とが装架される。検査工具は、被検査シリンダライナ２５の開口を通してシリンダライナ２５に導入しうるサイズとする。本発明は、特にピストン往復動燃焼機関のシリンダライナ２５の検査に適している。 （もっと読む）

２次元及び３次元の位置検出システム、ならびにそのシステムで使用されるセンサが開示される。センサは、線形アレイセンサ、及び、光又は他の放射線がセンサの大部分の素子に到達するのを遮るための開口プレートを内包する。相対的な放射線源の方向が、各センサの内の放射されたセンサ素子に基づいて、決定される。センサは、放射線源の位置を推定可能とするために、システム内に組み合わされる。
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【課題】測定線に沿う物体３４の正反射面の相対位置を測定する方法において、正反射面の傾斜角の許容範囲を広くする。
【解決手段】 （ａ）少なくとも１本の集束光ビーム３８を測定線上の公称位置４０に集束させ、正反射面からの反射ビーム４４を形成する。（ｂ）検出器平面５０における反射ビーム４４の像を記録する。（ｃ）検出器平面５０内の反射ビーム４４の像の位置を決定する。（ｄ）その反射ビームの像の位置を測定線に沿う公称位置４０からの正反射面の変位に変換する。工程（ａ）において、複数本の集束光ビーム３８を公称位置４０に集束させることが好ましい。 （もっと読む）