【課題】 穴の全体形状だけでなく、穴の壁面に形成された微細な凹凸形状をも精度良く測定する。
【解決手段】 管状プローブ８０からレーザ光を測定対象穴の壁面に照射し、レーザ光の焦点位置と壁面における反射位置とのずれ量（焦点ずれ量）に応じたフォーカスエラー信号を生成するフォーカスエラー信号生成回路１１１，１１２を備える。コントローラ１００は、管状プローブ８０を回転させながらＺ方向（管状プローブの中心軸方向）に移動させて、レーザ光を測定対象穴の壁面に螺旋状に照射する。そして、管状プローブ８０のＺ方向位置と、管状プローブ８０の回転角度と、フォーカスエラー信号から得た焦点ずれ量とに基づいて測定対象穴の３次元形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸回りの微小角度変位量の測定が可能な多自由度軸角度センサを提供する。
【解決手段】光検出素子が、１対の非分割型の単素子ＰＤ（フォトダイオード）３ａ，３ｂを有している。一方の単素子ＰＤ３ｂは、その受光面の一部に光スポット３ｂｓが入射するように、光ビーム分割用光学素子により分けられたレーザ光源２からの一方の光ビームにより定義される光軸９ｂから、ＰＤ受光面の長さ以下のオフセット量を与えて配置されている。他方の単素子ＰＤ３ａは、位置の変化による光強度変化量の検出用として光スポット３ａｓの大きさよりも十分に大きな素子サイズを有している。単素子ＰＤ３ａは、光ビーム分割用光学素子により分けられたレーザ光源２からの他方の光ビームにより規定される光軸９ａに沿って配置されている。単素子ＰＤ３ａは、光強度変化の正規化のための光量モニタリング用として設けられている。 （もっと読む）

【課題】近両用マーカの３次元位置と方向の計測と計測結果の記憶の手間を省くと共に計測ミスの発生を低減する。
【解決手段】作業環境の基準となる位置（世界座標系の原点や座標軸上の点）及び適宜な位置に遠近両用マーカ１を貼り付け、作業環境に貼り付けた遠近両用マーカ１を見渡せる位置にビデオカメラ２とレーザ距離計測器３を備えたマーカ自動登録システムを設置して作業環境に貼り付けられた総ての遠近両用マーカ１の３次元位置と方向を計測し、これを世界座標系Ｗで表された３次元位置と方向に変換して記憶する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイクロ波透過部材の寿命を正確に検知することができるプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の検査方法を提供する。
【解決手段】マイクロ波により励起させたプラズマを用いてプロセスガスからプラズマ生成物を生成し、被処理物の処理を行うプラズマ処理装置であって、前記プラズマが励起される領域にマイクロ波を導入するためのマイクロ波透過部材と、前記マイクロ波透過部材の厚み寸法を直接検出する厚み検出手段と、を備えることを特徴とするプラズマ処理装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】測定にかかる時間を低減させることができるとともに、鉛直方向に移動する被測定物のローリング角度の変位を測定することができる光学測定装置の提供。
【解決手段】光学測定装置１は、レーザ光源２１と、平行化レンズ２５と、第１の受光素子２３とを有する装置本体２と、反射ミラー３１を有し、被測定物に取り付けられる測定体３とを備える。測定体３は、反射ミラー３１の近傍位置に設けられ、装置本体２から射出される光を反射する一対の反射手段３２Ａ，３２Ｂを備える。装置本体２は、偏光ビームスプリッタ２４と、各反射手段３２Ａ，３２Ｂにて反射され、偏光ビームスプリッタ２４にて分離される光をそれぞれ受光する一対の第２の受光素子２６Ａ，２６Ｂと、各受光素子２３，２６Ａ，２６Ｂにて受光される光の位置変位に基づいて、被測定物の角度変位を算出する算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】手動の測定方法より短時間で測定可能で、労力が小さく、必要な測定精度を有し、かつ、レール側面に障害物があったとしても適切に測定することができると共に、装置自体のコストを下げ、装置の線路への設置や撤去が容易で、駅構内などの狭いスペースでも計測することが可能なレール遊間測定装置を提供する。
【解決手段】レール２１とレール２１の継ぎ目にある遊間２３を測定するレール遊間測定装置１Ａであって、前記レール２１上を移動自在とする移動体と、この移動体に搭載され、前記レール頭部表面２２に対して所定角度でレーザービーム１１を照射させるレーザー変位計４と、前記移動体を前記レール２１上にて移動させたときに、前記レーザー変位計４の検出出力に基づいて前記遊間２３部分の幅ｓを含む情報を得るコントローラとを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大量のスループットを可能にする高速プロセスを有する光学検査システムを提供する。
【解決手段】レーザ光源１０１からの光ビーム１５１は、活性領域を有し、複数の移動レンズを活性領域に選択的に生成するようにＲＦ入力信号に対して応答する移動レンズ音響光学デバイス１０４に適用される。該音響光学デバイスは、生成された移動レンズの各々の焦点のそれぞれで、光ビームを受け、複数のフライングスポットビームを生成するように動作する。該ポットビームは半導体ウェハ１０８を走査する。使用可能な走査データを生成するために、複数の検出器セクションを有する光検出器ユニット１１０が使用され、各検出器セクションは、複数の光検出器と、複数の光検出器からの入力を並列に受けるように動作する少なくとも１つのマルチステージ格納デバイスとを有する。格納デバイスの各々に格納された情報は、複数のステージから同時に連続して読み出される。 （もっと読む）

【課題】時間及び温度における安定性が改良された基準センサを提供すること
【解決手段】センサは、頂面及び底面、頂面にある第一導電性タイプの第一ドープ表面指向領域、及び底面にある反対の第二導電性タイプの第二ドープ表面指向領域を有する半導体本体を含み、第一領域が第二領域にオーバーラップする感応性領域が画定される。抵抗層は一部が感応性領域内に配置される。センサは、２つの第一コンタクト電極及び２つの第二コンタクト電極を含み、第一コンタクト電極は、抵抗層上に配置されて、感応性領域内で第一コンタクト電極間に第一検出領域を画定し、第二コンタクト電極は一部が本体の底面の感応性領域内に配置され、感応性領域内の第二電極の表面が、第一検出領域にオーバーラップする第二検出領域を画定する。 （もっと読む）

【課題】従来は作業者が肉眼で確認しながら各ヘッドユニットごとにノズルとレーザー変位センサーの位置を測定したので、ノズルとレーザー変位センサーの位置測定に長時間が掛かって、精度が低下した。
【解決手段】ノズル及びレーザー変位センサーとカメラ間に透過状態変換部材を配置し、レーザー変位センサーで発光されるレーザーの結像点とノズル位置をカメラで撮影してレーザーの結像点とノズルの吐出口の位置を迅速で正確に測定する。 （もっと読む）

【課題】トレッド部の外面とトレッド部の内面とにおける構造上の相対位置を容易に検査しうる。
【解決手段】空気入りタイヤＴを保持する支持台２と、該支持台２に保持された空気入りタイヤＴの内腔側に配されかつタイヤ半径方向の光軸を有する可視レーザー光３６をタイヤＴのトレッド部４２の内面４２ｉに照射しうる内の照射器３と、支持台２に保持されたタイヤＴの外側に配されかつ内の照射器３と同一の光軸を有する可視レーザー光をタイヤＴのトレッド部４２の外面４２ｏに照射しうる外の照射器４と、支持台２に保持された空気入りタイヤＴに対し、内の照射器３と外の照射器４とを同期させて相対移動させる移動手段５とを含む。 （もっと読む）

【課題】 簡単で低コストな構成でありながら、主鏡と副鏡の位置合わせを行うことができるアライメント装置を提供する。
【解決手段】 光軸ＡＸ上に形成された開口１０ａを有する主鏡１０と、主鏡１０の光軸ＡＸ上に対向配置された副鏡２０とを有する光学系において、主鏡１０と副鏡２０の位置合わせをするためのアライメント装置であって、光の反射機能を備えた光学部材３０と、主鏡１０の開口１０ａから光軸ＡＸに平行な平行光束の状態で入射し、副鏡２０の反射面２１および主鏡１０の反射面１１を順に経て、光学部材３０で反射して折り返され、主鏡１０の反射面１１および副鏡２０の反射面２１を順に経て、主鏡１０の開口１０ａから射出したアライメント光に基づいて、主鏡１０と副鏡２０との位置ずれを検出する検出系４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置において、低測定力を維持したまま高速にプローブを測定面に追従させることができ、高速で高精度な測定を実現できる形状測定用プローブ制御装置を提供する。
【解決手段】Ｘ制御モード切換スイッチ４１とＹ制御モード切換スイッチ４５とを備え、測定物の形状、または測定時のＸプローブ傾斜角度θＸとＹプローブ傾斜角度θＹとの関係により、一方の軸で位置制御を、他方の軸で傾き制御を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】傾斜した測定面を有する被測定物を良好に測定できる光学式変位測定器を提供。
【解決手段】第１反射光の結像点の前および第２反射光の結像点の後に、複数の受光素子を隣接配列した第１光検出部２３５Ａおよび第２光検出部２３５Ｂを設ける。焦点位置検出回路は、第１光検出部および第２光検出部において、隣接受光素子の受光信号の和の組み合わせの中から最大値を選択する最大値選択手段と、第１光検出部および第２光検出部のそれぞれにおいて全受光素子の受光信号の合計値を求める合計値演算手段と、合計値から最大値を減算して光検出信号を求める光検出信号演算手段と、この各光検出信号の差を焦点位置と測定面とのずれ量に基づく信号としてサーボ回路へ与えるエラー信号演算回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、指示体以外から投射された光であるノイズ光の有無を検出することが可能な位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による位置検出装置は、同期信号投射手段５、６によって投射された非可視光を表示スクリーン１１の前面１１ａ側から受光することにより、非有効期間を認識する間、表示スクリーン１１の前面１１ａ側に光を投射して指示することが可能な指示体２と、指示体２から投射された光と指示体２以外から投射された光とを表示スクリーン１１の背面１１ｂ側から撮影して電気信号に変換する撮像手段３と、撮像手段３にて変換された指示体２以外から投射された光の電気信号を解析し、表示スクリーン１１上における指示体２以外から投射された光の有無を検出する画像処理手段４Ｂとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】側面形状測定において形状測定プローブの先端の移動量をレーザ光と４分割フォトダイオードを用いて高精度に測定する。
【解決手段】Ｚ軸に沿って移動可能な形状測定プローブと、該形状測定プローブ内に一点で支持され先端がＸＹ方向の力により傾斜可能でかつレーザ光を反射するミラーを有するスタイラスがあり、反射するレーザ光を４分割フォトダイオードに集光して得られる電気信号出力から該スタイラスの傾斜を検知して該スタイラス先端のＸＹ方向移動量を得る３次元形状測定方法において、実測定に先んじて該電気信号出力から得られるＸＹ方向移動量（ＴＸｍ，ＴＹｍ）の生データと真のＸＹ方向移動量（ＴＸ、ＴＹ）の関係を求める参照テーブル測定工程によって参照テーブルを作成し該参照テーブルを用いて実測定した生データから補正した真のデータを得る。 （もっと読む）

【課題】光量過多によるノイズの影響を極力排する高さ測定装置および高さ測定方法を提供する。
【解決手段】電子部品１７に向けて鉛直方向にレーザ光を投射するレーザ発振器１０と、電子部品１７の表面で反射したレーザ光を鉛直方向に対して異なる角度をなす位置でそれぞれ受光する１５度ＰＳＤと３５度ＰＳＤからなる３Ｄセンサ２において、電子部品１７の反射特性に基づいて、１５度ＰＳＤと３５度ＰＳＤのうち受光量が過多とならない何れかのＰＳＤを選択し、この選択したＰＳＤから発せられた電気信号に基づいて電子部品１７の高さを計測する。 （もっと読む）

【課題】複数の穴の位置を簡単に且つ正確に測定できるようにした車体部品の精度測定装置を提供する。
【解決手段】平面視にて複数のキャブマウント穴を有するフレーム１をワーク位置決め治具６にて位置決めする。各キャブマウント穴にレーザ発光部１５を有する測定治具７を個別に嵌合・着座させて、各レーザ発光部１５を対応する上側のレーザ受光部８に個別に正対させる。各レーザ発光部１５からレーザ受光部８に向けてレーザビームを照射し、各レーザ受光部８の受光信号出力に基づいて各キャブマウント穴のＸ−Ｙ平面座標での平面座標位置とＺ方向での各キャブマウント穴の開口面の高さ座標位置とを検出する。 （もっと読む）

【課題】距離カウンタＰと幅カウンタＷのサンプリング周波数のみに依存せずに形状測定装置と測定対象物との表面との間の距離測定の精度を向上させることができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】ＣＣＤラインセンサ部による反射光の分布に複数の閾値を設定し、各閾値のそれぞれに基づき距離カウンタ値Ｐと幅カウンタ値Ｗを取得する。そして、各距離カウンタ値と前記各幅カウンタ値とを足し上げて、ＣＣＤ素子の信号の揺らぎによって得られる複数の閾値による各値を利用し実質的にサンプリング周波数を高めた場合と同等の分解能を獲得し、より正確な測定対象物との距離を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】光スポットの変位を検出することを原理とする光学式センサにおいて、アナログ型のものは測定範囲が狭い、ダイナミックレンジが狭いなどの難点があり、ディジタル型のものは処理が面倒で、応答が遅いという難点があった。
【解決手段】光スポットの光強度を単独のフォトダイオードで検出することを基本として、受光素子前に光スポットよりピッチの短い格子を置くことでディジタル信号を得ると共に、広範囲の光スポット変位に対応できるアナログ型の検出器を併用する。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤ本来の感度を得る事と、積分等の歪の無い生波形の後処理ができる事と、その例として測定対象物の角（エッジ）部分においても正確な距離情報を取得することができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る３次元形状測定装置は、マッピングデータの処理を用いることにより、デジタル最高値を中心にして、デジタル最高値を示すＣＣＤから徐々に離れた位置に配設されているＣＣＤのデジタル値がこのデジタル最高値よりも徐々に低い値を示すという分布状態を把握することができ、これにより正確に測定対象物の表面に反射したレーザ光が本来収束すべきＣＣＤを特定する。アナログ回路が減る、部品点数が減る、発熱が減る、消費電力が減る、エコである。 （もっと読む）