【課題】複数の画素を選択的に変調する手段側から出射された各ビームで露光処理する際、描画の歪み量を補正して高精度な描画を可能としたマルチビーム露光装置を提供する。
【解決手段】複数の画素を選択的に変調する手段の露光エリア内で平均的に分散して点在するよう設定した複数の被測定画素Ｚから露光面上に照射された光ビームの露光点位置情報をビーム位置検出手段７２、７４で検出し、複数の画素を選択的に変調する手段における各被測定画素Ｚの位置情報と、ビーム位置検出手段を利用して検出された各被測定画素からそれぞれ露光面に投射された光ビームの各露光点位置情報とから、これらの相対的な位置のずれを歪み量演算手段で演算することにより描画の歪み量を求め、これに対応して補正し、高精度な描画を可能とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成において、対象物表面上の複数箇所の距離や変位を計測する。
【解決手段】レーザ光源１４から出射されたレーザ光は、スプリッタ１５で向きの異なる二つの光線に分岐され、対象物２の表面上の異なる二つの位置にそれぞれ光スポットを形成する。測定処理部１６は、一次元撮像カメラ１７のリニアイメージセンサ１９の光検出パターンより二つの光スポットの、一次元撮像カメラ１７に対する方向を算定し、算定した二つの光スポットの一次元撮像カメラ１７に対する方向と、スプリッタ１５からの二つの光線の出射方向と、スプリッタ１５の位置と、一次元撮像カメラ１７の位置とにより、対象物２の表面上の二つの光スポットの位置各々の二次元座標を、三角測量によって算定する。 （もっと読む）

形状測定器の光学系（１）は、レーザダイオード（２）と、レーザ光を測定対象物へ照射するための第１光学系と、測定対象物からの反射光を結像するための第２光学系と、第２光学系からのレーザ光の結像位置を検出するためのＣＣＤラインセンサ部（１２）とを有し、第１光学系はレーザ光の光路を変位させる光路変位手段（２０）を有し、光路変位手段（２０）は光路の変位平面に垂直方向に延在する回動軸を中心にして回動するガラス板（２１）とガラス板（２１）の回動手段と回動手段制御部とを有し、回動手段制御部は、回動手段制御部によって、回動手段の回動に伴うＣＣＤラインセンサ部（１２）の受光最大値が計測された際の回動手段の回動角度に回動手段の回動角度を一致させる。
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ビデオカメラ、ビデオカメラと通信するコンピュータ、及びビデオカメラが捉える目標物であって目標物座標系を有する目標物を含む局所的位置決定システムが提供される。コンピュータは、目標物に対するビデオカメラの位置及び向きを画定し、目標物座標系におけるビデオカメラの位置及び向きを決定し、且つ目標物座標系における対象点の位置を決定するよう適合されている。本システムは、目標物上の、過去に記録された対象点にカメラの照準を合わせためにも使用できる。目標物との接触、又は目標物への接近は不要である。局所的位置決定方法も開示される。
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【課題】レンズを光路から退避させる必要がなく、ダハミラーのダハ角および交点高さを求めるタクトタイムを短くすることのできるダハミラー測定装置を提供する。
【解決手段】ダハミラーのダハ面に向けて測定光束を射出するレーザポインタ３４を備え、そのダハ面で反射されるレーザ光を受光することにより、そのダハ角度及び交点高さを測定するダハミラー測定装置であって、前記ダハ面で反射したレーザ光を２つに分割するビームスプリッタ４０と、このビームスプリッタ４０で分割された一方の分割測定光束を集光させる集光レンズ５０と、この集光レンズ５０で集光された分割測定光束を受光するＣＣＤカメラ６０と、 他方の分割レーザ光を受光するＣＣＤカメラ７０とを設け、ＣＣＤカメラ６０の受光面の受光位置と、ＣＣＤカメラ７０の受光面の受光位置とに基づいてダハミラーのダハ角度と交点高さを求める。 （もっと読む）

【課題】被走査面上を移動するビームスポットの主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動を正確に測定することができるようにする。
【解決手段】両リニアエンコーダ８２Ａ、８２Ｂの検知位置の差Δｔと、両リニアエンコーダの間隔Ｌから、Ｙステージの角度誤差変位Δθを求め、各像高での受光装置７１による受光部位置を計算する。読み取りヘッド部８０Ａ、８０ＢはＹステージのガイド部７３の端部下面に固定されており、読み取りヘッド部８０の近傍に配置された図示しない調整手段により、スケール部８１に対する読み取りヘッド部８０の最適位置調整（アジマス調整）がなされるようになっている。これにより、受光装置７１の移動範囲全体に亘って読み取りヘッド部８０の良好な出力を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 光学検出手段に対して外乱光の位置が変動するときにも、光学マーカーの位置を精度よく測定することにより、移動体に対する搭乗者の頭部の位置及び角度を精度よく算出することができるヘッドモーショントラッカ装置の提供。
【解決手段】 光学マーカー７に点灯と消灯とを繰り返させる光学マーカー駆動部２８と、移動体センサ４から検出された角速度及び／又は加速度に基づいて、外乱光に対する移動体３０の移動角度量を含む絶対移動体情報を算出する絶対移動体情報算出部２４と、光学検出手段２に対する外乱光の移動位置量を算出することにより、光線の点灯データから外乱光の位置を補正した光線の補正点灯データを作成するとともに、光線の消灯データから外乱光の位置を補正した光線の補正消灯データを作成して差分することで、光学マーカー７のみからの光線の差分データを生成する差分生成部２３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
光学系中に設置した被検体測定面の高さ方向の差を検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光をコリメータレンズ２で平行光束としポリゴンミラー３に向かわせる。ポリゴンミラー３で反射した光束をｆθレンズ４で被検体５の測定面６に集光すると共に、ポリゴンミラー３反射面を入射瞳として光センサ７に集光し、集光位置の変化で被検体測定面の高さ方向の差を検出する。被検体５と光センサ７間には被検体５測定面６の走査方向が稜線方向となるようにしたシリンドリカルレンズ８を設置し、被検体５測定面６の走査方向と直角方向が受光面長手方向となるようにして設置した前記光センサ７に光束を向かわせ集光する。光センサ７の検出結果は制御部９を経て表示部１０に表示する。


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【課題】被走査面上を移動するビームスポットの主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動を正確に測定することが可能な光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】ＸステージＸＳＴとしてリニアガイド方式のＸステージを使用する。ＸステージＸＳＴとしてリニアガイド方式のＸステージを使用する場合には、従来のシャフトアンドスライドブッシュ方式のように、支持部材８１の表面８１ｂと移動台７３の底面７３ａとの間に隙間Ｄが形成されないので、ＹステージＹＳＴのモーメントＭの発生が抑制され第１の移動台７２上に受光装置７１に撓みｄの発生が抑制され、真の走査線曲がり特性を測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】パターンの画像を測定しているパターン付き基板上の位置を正確に決定する方法および装置を提供することである。
【解決手段】基板特性の測定方法は、放射ビームＢがマスクＭＡを通過するように構成されたパターン付きマスクを生成してパターンを取得すること、マスクを使用してパターンが与えられたパターン付き放射ビームでの基板Ｗの照射をシミュレーションしてシミュレーションパターンを獲得すること、パターニングの誤差が発生しやすいシミュレーションパターンの少なくとも１つの位置を決定すること、および、リソグラフィプロセスを使用して前記パターン付き放射ビームで前記基板を照射することを含む。方法は、パターニングの誤差が発生しやすいとして決定された基板上のパターンの少なくとも１つの位置の少なくとも１つの特性の精度を測定し、測定に従ってリソグラフィプロセスを調整することも含む。 （もっと読む）

【課題】 カメラ装置の設置に制限がある移動体に対して、搭乗者の頭部に装着される頭部装着型表示装置付ヘルメットの移動範囲が大きくても、移動体に対する搭乗者の頭部の現在位置や現在角度を広範囲で特定することができるヘッドモーショントラッカ装置の提供。
【解決手段】 ３個以上の光学マーカー４と、第一カメラ２ａと第二カメラ２ｂとを有するカメラ装置２と、第一画像及び第二画像に基づいて、カメラ装置２に対する少なくとも３個の光学マーカー４の現在位置である光学マーカー位置情報を算出する光学マーカー位置情報算出部２３と、搭乗者３が搭乗する移動体３０に対する搭乗者３の頭部の現在位置及び現在角度を含む相対頭部情報を算出する相対頭部情報算出部２２とを備えるヘッドモーショントラッカ装置１であって、３個以上の光学マーカー４は、移動体３０の内面上に取り付けられ、カメラ装置２は、搭乗者３の頭部に装着されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 一のカメラに撮影された複数のマーカー像と、二のカメラで撮影された複数のマーカー像との組をそれぞれ正確かつ素早く対応付けることができるマーカー像識別装置及びマーカー像識別方法を提供する。
【解決手段】 エピポーララインＬ間で最も離れているエピポーララインＬを基準エピポーララインとして選択する基準エピポーラライン選択部３２と、基準エピポーララインに距離が最も近いマーカー像１８を、基準エピポーララインに対応するマーカー像１８と同一のマーカー１８の画像であると認識するマーカー像認識部３３と、マーカー像認識部３３で認識されたマーカー像１８に対する残りのマーカー像１８の位置関係を決定するマーカー像位置決定部３４と、マーカー像位置決定部３４で決定されたマーカー像１８の位置関係に基づいて、第一画像Ａ上における残りのマーカー像１８と第二画像Ｂ上における残りのマーカー像１８との組を対応付けるマーカー像識別部３５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサの周囲の物体からの反射光の影響を抑える。
【解決手段】投光部１０２及び受光部１０４を有するセンサ１２と、光沢物体１４とを備える印刷装置の製造方法であって、光軸調整工程を備え、光軸調整工程は、光沢物体１４における少なくとも投光部１０２及び受光部１０４の光軸と対向する領域を、布１６で被う低反射率部材設置段階と、投光部１０２及び受光部１０４とを対向させて、投光部１０２から受光部１０４が受光する受光量が最大になる位置に投光部１０２及び受光部１０４の光軸を合わせる第１光軸調整段階と、鏡１８を布１６上に設置する高反射率部材設置段階と、投光部１０２の光軸が光沢物体１４から離れる方向へ投光部１０２の出射方向を傾けることにより、投光部１０２及び受光部１０４の光軸を合わせる第２光軸調整段階とを備える。 （もっと読む）

【課題】
超精密位置決めが可能な小型ステージ装置を提供する。
【解決手段】
少なくとも３個づつ可動台３に対向するように配置された浮上用電磁石４を具備した固定台２と、前記浮上用電磁石４により非接触磁気浮上方式により支持される可動台３と、前記可動台３に具備された浮上制御用のギャップセンサ１２と、前記可動台３の中央に配置された２次元リニアセンサ８と、前記可動台３を駆動するリニアモータ５とを備えたステージ装置１において、前記可動台３の重心位置近傍の位置を検出する光学式計測手段５１、５２、５３を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 広範囲の測定および高分解能の測定を行うのに好適な多点測距センサを備えた脚車輪型ロボットを提供する。
【解決手段】 多点測距センサは、レンズ位置を変更しながら複数の画像を撮像素子１１２から取り込み、取り込んだ各画像に対応するレンズ位置を取得する。そして、画像の各区分領域について、取り込んだ各画像ごとに空間周波数が所定以上の成分を抽出し、抽出した空間周波数成分が最も大きい画像に対応するレンズ位置に基づいて、区分領域に撮影された対象物までの距離を算出する。広範囲の測定を行う場合、測定に先立って、同一の焦点位置に対する画角を所定の広角の領域に変更する。これに対し、高分解能の測定を行う場合は、測定に先立って、同一の焦点位置に対する画角を所定の望遠の領域に変更する。 （もっと読む）

【解決手段】測定機（１）は、測定容積内において測定センサ（３）を移動させるために座標軸線に沿って移動可能な複数の部材（８、１０、１２）を設けた可動ユニット（７）を備え、レーザセンサ（２６）は、可動部材（８）に結び付いて、可動ユニット（７）の動的変形に関連した値を供給し、これらの値は、動的変形により生じた測定機（１）の測定誤差を補正するために処理される。 （もっと読む）

【課題】薄片試料（ウェーハ等）のエッジプロファイルを高精度に測定すること。
【解決手段】ＬＥＤ駆動回路１１により，１つの平面内の複数の位置各々に配置された複数のＬＥＤ１２を順次切り替えて点滅させることにより，ウェーハ１の測定部位Ｐに対し，順次異なる照射角度で光を照射し，その照射ごとに，計算機３０’により，測定部位Ｐからの反射光の輝度分布を表す画像データを，２つのカメラ２０Ｒ，２０Ｌを通じて取得し，さらに，計算機３０’により，各ＬＥＤ１２に対応した画像データ（反射光の輝度分布）と光の照射角度φとに基づいて，反射光の輝度がピークとなるときの光の照射角度を推定することにより，測定部位Ｐの表面角度の分布及びエッジプロファイルの演算を行い，それらエッジプロファイルを，厚み測定システムにより測定したウェーハ１の厚みに基づいてつなぎ合せることにより，測定部位Ｐの表面形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】光学的変位測定装置において、測定対象物の表面が平坦でない場合でも、高精度の変位測定を可能とすることである。
【解決手段】光学的変位測定装置１０は、光源２０と、コリメートレンズ２２と、ミラー２４と、円錐台形状プリズム３０とを有し、さらに、測定対象物８から円錐台形状プリズム３０を介して戻される光のうち入射光７２の光軸に平行な光のみを抽出するための結像レンズ４０とピンホール光学素子５０と、光位置検出センサ６０とを有する。円錐台形状プリズム３０は、頂角に応じたある一定の角度で円錐面に戻された光のみが入射光の光軸に平行になるという光学的性質を有する。この平行な戻り光は、測定対象物８と円錐台形状プリズム３０との間の変位に応じて、入射光７２の光軸８０からオフセットする。光位置検出センサ６０はオフセット量を検出して測定対象物８の変位を測定する。 （もっと読む）

【課題】 視空間複数点認知の方法を提供する。
【解決手段】 主に本発明視空間複数点認知の方法は多数の一次元光学レンズユニットを利用し構成する光学システム、及びロジック解析の方法を通して複数の点光源の物点座標を測定し取得し、視空間複数の点光源位置を認知するもので、複数の点光源は任意に移動可能で、しかも任意の波長を備え、しかも数量を変えることができるN個の点光源で、光学システムは複数の一次元フォーカス光学レンズユニットにより構成し、ロジック解析方法は像オーバーラップの現象を除去することができ、該複数の点光源の物点座標を計算により取得することができる視空間複数点認知の方法。 （もっと読む）

【課題】正しい３次元形状データを取得することができる３次元形状計測装置および３次元形状計測方法ならびにこの３次元形状計測装置を用いた部品実装装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電子部品２に対して照射されたレーザ光の反射光を受光することにより電子部品２の３次元形状を計測する３次元センサ１１において、１対のＰＳＤ２１Ａ，２１Ｂの受光位置検出結果から走査光が所定の入射方向から誤差Δθだけずれて入射することに起因して、ＰＳＤ２１Ａ，２１Ｂにおいてそれぞれ生じる受光位置の誤差−ΔＺｘ、ΔＺｘを分離して検出し、ＰＳＤ２１Ａ，２１Ｂからの出力値にそれぞれ誤差−ΔＺｘ、ΔＺｘの補正分を加味した上で受光位置検出結果として出力する。これにより、走査光の入射方向のずれに起因する計測誤差を排除して、正しい３次元形状データを取得することができる。 （もっと読む）