【課題】被検物の全体３次元形状を測定する計測装置、およびその計測方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る計測装置１は、被検物１７０を載置する支持ステージ１５１と、支持ステージ上に載置された被検物の３次元形状を光学的手法を用いて非接触で測定する測定部２とを備えており、測定部は支持ステージに対して測定方向が可変となるように構成され、また、予め設定した所定の位置関係で支持ステージ上に載置された少なくとも３つ以上の測定基準体１６０、１６１および１６２と、測定部により複数の測定方向から支持ステージ上に載置された測定基準体および被検物を測定し、得られた測定データから測定基準体の測定位置を合成基準として複数の測定方向からの被検物の測定データを合成することにより、被検物の全体３次元形状を求める合成部とを有している。 （もっと読む）

【課題】フェムト秒レーザー光を使用してもそのメリットを生かすことが出来て、高精度の計測が可能な、計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｔに照射する光源（レーザー光源１１）からの測定光と該被検物で反射する戻り光とに基づいて被検物の形状を測定する計測装置であって、測定光を被検物へ照射させ且つ測定光と同じ光路を通って戻る戻り光を反射させる回転可能な反射面（ＭＥＭＳミラー２３１）を有した偏向部（偏向素子２３）と、前記測定光とは異なる光路を通り前記反射面で反射したモニター光から前記反射面の偏向量を検出する偏向量検出部（ミラーアレイ２５、位置センサー２６）と、偏向量検出部からのモニター光が測定光の光路を通る戻り光と合流するのを防止する防止部（アイソレータ２７）と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】精密機械視覚検査システムに組み込み可能かつ効果的な表面傾斜センサおよび検出方法を提供すること。
【解決手段】光学的表面傾斜センサにおいて、照射される光束１１５，１４５がワーク表面１８０の法線方向に沿うことを特定することで、ワーク表面１８０の傾斜θが決定できる。表面傾斜センサ１００は照明・検出部１１０および対物レンズ１７０を有し、照明・検出部１１０は光源１１２，コリメータレンズ１１４，ビームスプリッタ１１６，光束位置制御部１１８，光検出器部１３０を有する。これらの構成要素は、他の機能に加えて、照射光束１１５および反射光束１４５が最も高いレベルのアライメントを有する時点を示す信号を供給する光束アライメント検出構造となる。最高レベルのアライメントに基づいてワーク表面の法線方向に沿って照射される光束が特定される。 （もっと読む）

【課題】計測部分を目視で確認できる計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る計測装置は、プローブ光２３を被検物２００に向けて走査して照射させる主走査ミラー１３０および副走査ミラー１４０と、被検物によって反射された反射プローブ光３０とプローブ光との位相差から、被検物の走査領域の立体形状を表す三次元座標を測定する測定手段とを有して構成されている。さらに、この計測装置は、可視光領域の波長を有したマーカー光２４を発射するマーカー光源１１０と、マーカー光を反射するとともにプローブ光を透過するダイクロイックミラー１２０とを備えており、これらにより、プローブ光とダイクロイックミラーにおいて反射されたマーカー光とを、同一光路上に重ねた状態で走査して被検物に照射する。 （もっと読む）

【課題】正確に表面形状を測定することができる表面形状測定装置、及び表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】。
本実施の形態にかかる表面形状測定装置は、光源２１と、試料１１で反射した反射光を受光する光センサ２５とが設けられたセンサヘッド１２と、センサヘッド１２と試料１１との相対位置を変化させるＸ駆動機構１７と、光センサ２５上での反射光の入射位置を抽出する位置抽出部３１と、反射光の入射位置に相対位置が対応付けられた位置データを周波数領域のデータに変換する変換部３２と、周波数領域のデータに対して、一定周波数以上の成分、又は所定の周波数帯の成分をフィルタリングするフィルタ部３３と、フィルタリングされた周波数領域のデータを、空間領域のデータに逆変換する逆変換部３４と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 大気屈折率による測定対象の画像の揺れを容易に補正可能とする。
【解決手段】 撮像手段２によって、測定対象と共にレーザ光照射装置から照射されたレーザ光を撮像する。レーザ光と測定対象とは、大気屈折率に従って画像が揺れる際には、共に揺れる。その一方、振動、流れなどが生じた際には、測定対象は、それに従って、任意の方向に任意の距離だけ振動したり、移動したりするが、レーザ光は測定対象の振動等によっては変動しない。従って、各画像間におけるレーザ光の位置の差分（移動量及び移動方向）を求め、それを補正値として、測定対象の移動量、移動方向に加味すれば、大気屈折率の影響を容易に除去でき、長距離離れた測定対象の挙動を解析する場合の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】多数の画素からなる変調手段の全ての描画点の位置を示す全画素座標データを短時間で取得し、生産性の向上を図る。
【解決手段】多数の画素から一部の画素を間引いた残りの第１間引済画素の描画点の位置を測定して詳細測定座標データＰ_１を取得し、その詳細測定座標データＰ_１を補間して全ての画素の第１全画素座標データＲ_１を取得し、第１間引済画素からさらに一部の画素を間引いた残りの第２間引済画素の描画点の位置を測定して第１簡易測定座標データＱ_１を取得し、第１簡易測定座標データＱ_１と詳細測定座標データＰ_１のうち第２間引済画素の詳細測定座標データＰ_１との関係に基づいて詳細測定座標データＰ_１を補正して第１補正済詳細測定座標データＰ_１−１を取得し、その第１補正済詳細測定座標データＰ_１−１を補間して第２全画素座標データＲ_１−１を取得する。 （もっと読む）

【課題】イメージセンサに入射した光線の位置を精度良く測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】受光した光線の光量に応じた数の電子が蓄積される受光部が、少なくとも前記光線の位置の測定方向に沿って所定間隔毎に配置され、各受光部に蓄積された電子を読み出して各受光部毎に蓄積された電子数に相関する相関値に変換した情報を出力するイメージセンサに位置の測定対象とする光線を入射させた状態で、前記情報を複数回出力させるようにイメージセンサを制御し、イメージセンサより複数回出力された各情報により示される各受光部毎の相関値を各受光部毎に合算し、当該合算によって得られた各受光部毎の相関値に基づいて前記所定間隔よりも高い分解能で光線の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの端部のように、その半径方向において比較的大きくに変化する表面形状を高精度かつ短時間で測定すること。
【解決手段】計算機１１が、ＣＣＤカメラ１０により干渉計３０を通じて得られる干渉縞の像が、測定領域ｗａにおける端部ｗｅを除く領域において、Ｘ軸（試料ｗの半径方向に平行な軸）に対してほぼ平行に伸びて形成される複数本の縞の像となる平行縞形成状態となるように、変位装置２１ａ、２２ａを制御し、調節後の干渉縞の像の輝度データに基づいて、Ｘ軸の各位置におけるキャリア波（Ｙ軸方向の輝度データの列が表す空間的周期波）それぞれの位相Φを算出し、その位相Φ(x)からＸ軸方向の表面形状値ｈ(x)を算出する。 （もっと読む）

【課題】対象物までの距離測定における直線性の較正を高精度に行う。
【解決手段】予め設定された加工対象領域までの距離を変位センサから得られる変位量に基づいてレーザ光の焦点深度を調整して倣い制御を行いながらレーザ加工を行うレーザ加工装置に使用される前記変位センサの較正用治具において、前記変位センサから出射される計測用レーザ光の照射面は、水平面に対して所定の角度に傾斜するように形成される傾斜部と、前記レーザ加工装置における加工対象物を保持するために設けられたステージ上に載置するための水平な底部とを有し、前記傾斜部の表面は、光学ガラスで形成されていることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、レーザービームを照射する被検査物の表面の平面領域とエッジ部に該当する所定領域との境界位置を正確に判別して検査する被検査物の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の被検査物の検査装置は、レーザービームを被検査物１の表面に照射するレーザー光源３１と、被検査物１を載置して回転させる回転テーブル２１と、回転テーブルを被検査物１の移送方向に移動させる移動機構２２と、被検査物１の表面に照射されたレーザービームが該被検査物の表面で散乱した散乱光を受光する複数個の受光器３７１〜３７４、３８１〜３８６と、前記複数個の受光器で受光した散乱光の受光信号に基づいて演算処理し、被検査物１の表面の平坦な平面領域と該平面領域から外れたエッジ部に該当する所定領域１０との境界位置Ｅｐを判別するデータ処理装置５２とを備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】レべリングアクチュエータの防水性と組み付け性の向上を図る。
【解決手段】車輌内部の負荷の変化に起因する前記姿勢の遅い変化に適した静的修正による画像処理１０２を、前記車輌の制動及び加速に起因する前記姿勢の速い変化に適した動的修正による画像処理２０２に関連させることにより、前記装置によって同時に発される信号を融合し、かつフィルタリングする装置２０３を用い、車輌光源１０４Ａが発する光束１０５Ａの方向を、前記車輌の姿勢に従い、自動で動的に修正するシステム２００を提案する。光源１０４Ａの回転を制御する装置１０３は、融合・フィルタリング装置から受け取る情報に従い、運転に適する態様で、前照灯の向きを定める。 （もっと読む）

【課題】軸心位置の設定方法を工夫して、容易に迅速に軸合わせができるとともに、軸合わせの前に行われる防風工程を省略できるようにする。
【解決手段】各々が円形状の開口部を有し、互いの開口部の軸心が略同一直線上に乗るように仮設置された第１及び第２の物体の、軸心位置のズレ量及びズレ方向を検出する軸合わせ補助装置において、第１の物体の開口部の一方の端部から、当該第１の物体の開口部の軸心に沿った光線ＬＢ１を、第２の物体の開口部に向けて照射するレーザ照射装置１０と、第２の物体の開口部の内側面に、一端部の２つの接合部を接して配置され、当該第２の物体の開口部の軸心周辺において他端部が光線を受光するとともに、受光された光線の位置情報を出力する受光器２０と、受光器２０により出力された位置情報を入力して、第１及び第２の物体の開口部の軸心位置のズレ量及びズレ方向を検出するコンピュータ４０とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】簡便な操作でありながら、同時に６つの情報を入力することができる６自由度の情報入力システムを提供する。
【解決手段】カメラ３００は、世界座標空間内の所定の位置に配設され、レーザ照射装置１００により照射された５本のレーザビームの照射面ＳＡへの５個の照射点を含む照射点画像を撮影する。演算装置２００は、カメラ３００により撮影された各照射点画像に含まれる各照射点の照射点画像空間内における位置を算出し、各照射点の世界座標空間における位置を算出し、世界座標空間内におけるレーザ照射装置１００の位置を示す第１〜第３の情報と、レーザ照射装置１００の姿勢を示す第４及び第５の情報と、照射口１２７及び照射面ＳＡを結ぶ直線を基準としたときのレーザ照射装置１００の回転量を示す第６の情報とからなる入力情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の位置設定精度に対する厳しい条件がなく、２次関数の表面形状成分を含む表面形状も正確に測定できる形状測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを測定対象表面上で高速に１次元走査し、かつ同時に測定対象表面の傾斜によるレーザビームの角度振れを検出する光学系で構成される形状測定装置を発明した。本装置では、平面ミラー21と凹球面ミラー22の位置関係を設定し、かつ角度振れを受けた反射レーザビームをレンズ41により光ビーム検出器42上に導くことにより、測定対象30表面の傾斜によって測定対象面からの反射レーザビームの伝搬方向が異なることから表面形状の測定を行う。このため、正確に角度振れを検出することができ、測定対象30の位置設定精度に対する厳しい条件はなくなり、２次関数の表面形状成分を含む表面形状も正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来よりも簡便にレーザビームの照射位置及び／又は繰り返し位置精度を取得することのできる照射位置検出装置及びその位置検出方法を提供することを課題とする。
【解決手段】レーザ光源１１から出射されたレーザビームをＹ軸方向に偏光させる第１のガルバノミラー２６と、第１のガルバノミラー２６により偏光されたレーザビームをＸ軸方向に偏向させる第２のガルバノミラー３１とを備えたガルバノミラー装置１４により偏向されたレーザビームの照射位置を検出する照射位置検出装置１０であって、ガルバノミラー装置１４により偏向されたレーザビームを平面部材１６の上面１６Ａに照射した際に形成されるレーザ照射領域Ａにレーザビームの照射位置を検出する少なくとも１つの受光手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】目標となる投射方向へ正しく光線を発射することができるレーダ装置での投光装置を提供することである。
【解決手段】上記レーザダイオード３１より放射した投射光６１の投射方向が、アクチュエータ４０で移動される投射レンズ３７により設定される。この投射レンズ３７の位置は、位置検出器４３ａ、４３ｂで検出される。上記投射光６１の投射方向は、スキャナ制御部２５よりアクチュエータ４０が駆動されて投射レンズ３７の移動により追従される。上記スキャナ制御部２５は、投射光６１が所定の方向範囲を走査可能なように、投射レンズ３７を移動させながら、複数の所定方向に対応する位置で該投射レンズ３７を停止するように上記アクチュエータ４０を制御する。 （もっと読む）

【課題】従来の相関を用いた方法で検出しにくいような測定対象でも、距離検出ができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】照明装置より、レンズを通して、被測定対象物をスポット光により照明し、そのスポット光の位置を左右のカメラで撮像し、撮像面にスポットの画像を得る（撮像スポットと称する）。撮像スポットは、例えば、撮像された画面中で一番輝度の高い点、又は輝度が所定の閾値を超えた点をスポット光が照射された点とすればよい。左右のカメラで撮像された撮像スポットの撮像面上での位置が分かれば、ステレオ法により、スポット光が照射された点までの距離が計測できる。 （もっと読む）

【課題】 変位測定対象物の被測定点の２次元または３次元の変位を、変位測定用ターゲットと１台のＰＳＤカメラを介して、前記変位測定対象物から離れた測定地点から、容易且つ正確に測定する。
【解決手段】 平板片状の基板上に２個または４個の光源を所定間隔を保って固定した変位測定用タ−ゲットを、変位測定対象物の被測定点に付着し、その各光源からの光をＰＳＤカメラのＰＳＤ受光面上に集束投射させることによって得られる各光源の位置に対応する位置検知電圧から、変位測定対象物上におけるＸ方向・Ｙ方向間隔とその間隔に対応する間隔検知電圧の関係を表わす変位補正係数Ｋｘ，Ｋｙを把握し、その上で、変位測定対象物の変位に伴う前記変位測定用タ−ゲットの光源の変位を、上記ＰＳＤ受光面で検知してその光源の位置検知電圧を出力させ、その位置検知電圧と前記変位補正係数ｋｘ，ｋｙを基に、変位測定対象物の被測定点の２次元または３次元の変位量を演算して測定する。 （もっと読む）

【課題】 光伝導アンテナを用いた電磁波発生及び検出器の光伝導アンテナにおいて、その光学パスの変位を検出し補正する方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 基板と、その表面に形成された金属膜から成る３個以上の電極と、その各電極に接続された配線と、電極間にかかる電流を測定する電流測定手段とを備えた装置に対して、サンプリング光照射手段によって電極間にサンプリング光を照射すると共に、被検出波照射手段によって検出対象の電磁波を電極間に照射し、電極制御手段によって、電流測定手段で計測する電極の組を選択切替し、光学パス変位演算手段によって、基板上における各電極組の配置と電極制御手段で選択された電極組と電流測定手段で計測された電極組毎の電流値とから、ビームのスポット位置を算出し、規定のビームスポット位置との差異から光学パスのズレを求める。 （もっと読む）