【課題】検出感度や異物座標検出誤差の機差が小さく、異物等の欠陥の高い位置座標精度が得られるウェハ表面欠陥検査装置およびその方法を提供することである。
【解決手段】第１の光源からの射出ビームを回転するウェハの表面上に照明してビームスポットを形成してウェハ表面上の異物等の欠陥による散乱光を複数方向で検出して信号として出力し、第２の光源からの白色光または広帯域の光を用いてウェハ面の上下動を検出してその情報に基づいてウェハ面上のビームスポット位置を補正してウェハ面上下動に伴う座標誤差を抑制するとともに、第1の光源における光の射出方向および射出位置を補正して第1の光源の変動による座標誤差を抑制することで検出する異物等の欠陥の座標精度を向上する。さらに照明ビームスポット径を補正し、検出感度や異物座標検出誤差の機差を抑制する。 （もっと読む）

【課題】表面、および裏面が球面形状であるレンズの外形形状を精度良く測定することができるレンズ形状測定装置を提供する。
【解決手段】レンズ形状測定装置１は、載置部３に載置されているレンズ２０のＸ軸、およびＹ軸に対する傾きを算出し、ここで算出した傾きに応じて、レンズ２０をＸ軸、およびＹ軸に対して傾ける補正を行う。レンズ形状測定装置１は、この補正の後、レンズ２０の表面、および裏面を走査し、このレンズ２０の外形形状を測定する。したがって、表面、および裏面が球面形状であるレンズ１０に対する外形形状を精度良く測定できる。 （もっと読む）

【課題】対象物を照明し、対象物の反射光から、対象物を撮像する撮像装置に関し、装置の小型化と組み立ての容易化を図る。
【解決手段】イメージセンサ（３０）の周囲の位置に、複数の発光素子（２２，２４）を搭載し、この複数の発光素子の光を、導光体（１０）で、撮像範囲に導き、照明する。又、この撮像系と照明系とが近接している撮像装置を、導光体（１０）の突起（１６）を、撮像範囲外の光を遮断するフード（７８）の下端（７８−５）で、押さえ、且つフード（７８）の上端をフィルタ（７６）で押さえる。このため、接着を最小限とする小型の撮像装置を実現でき、撮像装置の組み立ての作業性を向上し、不良率の低減、生産効率の向上に寄与する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定位置の変動に対応でき、測定対象部分を的確に測定することができる距離測定装置を提供する。
【解決手段】コントローラ３に切替スイッチ１５を設け、該切替スイッチ１５によりＣＣＤ６で得た反射光の受光分布の受光ピーク位置と被測定物の表裏面の位置とを対応付ける基準がセンサヘッド２（投光素子５）の近接側か離間側かのいずれかから選択可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】簡単、かつ、短時間で正規の取付位置に位置決めすることができる磁気マッピング装置並びにその位置決め方法を提供する。
【解決手段】 移動ステージ３１を備えた磁気マッピング装置であって、レーザー光照射方向前方で磁気マッピング装置の設置の際の基準となる基準線Ｌ上の位置に取り付けられたヘッドアップディスプレイ２と、このヘッドアップディスプレイ２の前方で基準線Ｌの延長上に設置されたターゲットボード４とを含み、ヘッドアップディスプレイ２は基準線Ｌ上にシンボルマークを表示させ、ターゲットボードは基準線の延長上にターゲットマークを表示させ、レーザー照射器５から照射させたレーザー光をシンボルマークとターゲットマークとに合致するように移動ステージを設置する。 （もっと読む）

【課題】測定点のアライメント作業を容易に行える安価な測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体２１を水平移動させるＸＹステージ２２と、被検体２１を観察する観察光学系１０と、観察光学系１０の対物レンズ１１を上下移動させるＺステージ１５と、対物レンズ１１を介して被検体２１に測定光を照射して合焦を検出する焦点検出系３０と、焦点検出系３０と対物レンズ１１を光学的に結合するハーフミラー１７と、焦点検出系３０による検出結果に基づいてＺステージ１５を制御する信号処理部４１と、Ｚステージ１５による対物レンズ１１の移動量を測定する測定部４２とを有している。さらに測定顕微鏡装置は、焦点検出系３０とハーフミラー１７の間の光路上に配置された２つのウェッジプリズム５１ａと５１ｂと、ウェッジプリズム５１ａと５１ｂをそれぞれ回転可能に保持している回転機構５２ａと５２ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】複数のレーザビームを出力する光走査光学系のビームプロファイルを精密に計測でき、計測時間を短縮化でき、かつ、計測作業を簡易化できる光走査光学系の計測方法を提供する。
【解決手段】ＲＯＳを走査状態にしつつ複数のレーザビームをパルス状に出力し、かつ、出力タイミングを異ならせて、互いの重なりをなくした状態で各レーザビームのスポットＳＰＡ，ＳＰＢの画像ＩＭを撮像し、スポットの画像ＳＰＡ，ＳＰＢに基づいてビームプロファイルを計測する。これによれば、複数のビームスポットが重ならないので、同時に複数のビームのプロファイルビーム間隔、ビーム径を計測できると共に、走査状態において計測するので、精度よくプロファイルビーム間隔、ビーム径を計測できる。 （もっと読む）

可搬型の座標計測器を提供する。この座標計測器は複数本のアームセグメントをつないだ関節アームを有する。そのアームは計測プローブを有する。そのプローブは、関節アームに搭載、一体化されたラインスキャン型レーザスキャナ、例えば熱安定化レーザスキャナである。
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【課題】レンズ面や反射面である光学面の形状を、容易、且つ確実に精度よく測定する。
【解決手段】光源１０から出射したビームを被検物０の光学面ＳＦに照射し、光学面ＳＦからの反射光を、受光手段１６の受光面に入射させ、受光手段により受光して、反射光の反射角：２θを計測することにより、光学面ＳＦの傾斜角分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】三次元レーザスキャナの移動回数を低減して効率的なデータ収集を行い、データの重複部分を低減できる三次元レーザスキャナのスキャニング方法を提供する。
【解決手段】外側の計測対象物１１内に内側の計測対象物３１が存在する場所や、計測対象物自体にその表面に陰を及ぼす凸部が存在する場所のスキャニングを、三次元レーザスキャナを用いて行う三次元レーザスキャナのスキャニング方法において、三次元レーザスキャナ１の設置位置５１を原点Ｐ０として、計測対象物１１，３１をスキャニングし、スキャニングによって収集された点群データの隣接する点間距離に基づいて、内側の計測対象物３１あるいは凸部によって陰３２となった計測対象物のデータ未収集部分４を割り出し、原点Ｐ０とデータ未収集部分４との間で、陰３２を及ぼす内側の計測対象物３１あるいは凸部よりもデータ未収集部分４側を、三次元レーザスキャナ１の次の設置位置と設定する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、多様な測定に対応できるようにすること。
【解決手段】 光源１１から測定対象物１２の測定対象位置１７に測定用光を照射し、相互の位置関係は既知であると共に光源１１とは位置関係が無関係な任意の位置に配設された受光レンズ１３及び光検出素子１５、受光レンズ１４及び光検出素子１６によって、測定対象位置１７で反射した測定用光を検出し、所定位置を基準とする測定対象位置１７の座標、所定位置から測定対象位置１７までの距離または、測定対象物１２の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】 撮像装置または撮像モジュールが広範囲に多数個設置された場合でも同心円模様を投影する投影装置の指示位置をリアルタイムで算出することができる位置・方向計測システムを提供する。
【解決手段】 この位置・方向計測システムは、同心円模様１を対象物８に投影する投影装置（ポインター）２と、同心円模様１を撮像し同心円模様の法線方向の情報を得る複数の撮像モジュール１−１〜１−７と、各撮像モジュールからの同心円模様の法線方向の情報に基づいて投影装置２の指示位置（指示点）９を算出する演算装置６とを備える。複数の撮像モジュール１−１〜１−７は対象物８の近傍に配置される。 （もっと読む）

光（光学）ビームステアリング／サンプリングシステムにおいて、マトリックス反転制御技術が、ステアリングミラーを駆動するアクチュエータの動作をデカップリングするために用いられる。制御技術は、２つの仮想の変数を用い、その各々は非クロス結合の状態で動作する関連する独立のフィードバックループを有し、各変数は２つのステアリングミラーのうちの１つに関係する。本装置は、ステアリング反射器、ビームスプリッタ、検出器を備えている。
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【課題】ビードの立上りがなだらかでビードの高さが低くても、光切断法やレーザ距離計等の光学的手段で得た鋼管の断面プロフィールから、従来よりも精度よくビード形状を検出できるようにする。
【解決手段】溶接鋼管の溶接部に線状光又は走査した点状光を照射し、溶接部表面に照射された線状光又は点状光の像を撮像して、光学的手段により溶接鋼管の断面プロフィールを検出するビード形状検出方法において、断面プロフィールからピーク探索により仮のビード頂点の座標を算出した後、ビード頂点を含む一定の幅の範囲を第１の関数で近似し、仮のビード頂点を基準に一定の距離だけ離れた位置を開始点として外側の一定の幅を第２の関数で近似し、第１の関数と第２の関数の交点をビードの止端点として算出した後、ビード形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両走行車輪検査装置の設置にあたり、誤差を含むことなく距離センサを所望の位置に容易に設置することができるようにしたい。
【解決手段】レール１１の各踏面にかけて載置する治具ベース２５と、レール１１の内側で少なくとも各踏面より上方において治具ベース２５に垂直に設置した透明な材質でその表面に各距離センサ１ａ，１ｂをレール１１の外側と内側において所望の位置に設置して各距離センサ１ａ，１ｂから光の投受を行ったときに映る輝点の位置に目盛りを設けたスケール２６を備えた設置治具を治具ベース２５がレール１１の延びる方向に対し直交する方向に載置して、各距離センサ１ａ，１ｂから光の投受を行い、スケール２６に映る輝点がスケールに設けてある目盛りを照射する場合の各距離センサの位置に各距離センサを設置する。 （もっと読む）

【課題】スキャナの駆動特性の評価装置及びその評価方法を提供する。
【解決手段】ビームを照射する光源１０１と、光源とスキャニングミラー１００との間に配置されスキャニングミラー上に焦点を有する対物レンズ１０９と、スキャニングミラーで反射されて対物レンズを透過した反射ビームを受光して、スキャニングミラーの回転角の変化を感知する位置感知素子１１５と、位置感知素子で感知された信号を処理する信号処理部１２１、１２５とを備え、スキャニングミラーの回転角の変化にかかわらず反射ビームを光源から照射されて対物レンズに入射されるビームに対して平行なビームにする。 （もっと読む）

【課題】光の副走査方向の走査位置と主走査方向のリニアリティを高精度に測定することを可能とした光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】複数の受光部（２１−１〜ｎ：ｎは、任意の整数）は、固定部材（２０）の主走査方向に配列されており、固定部材（２０）を、主走査方向（２８−１）、副走査方向（２８−２）、デフォーカス方向（２８−３）の何れかの方向に位置調整を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】走査光学系の光学特性である倍率誤差、走査線曲がり量及びビームスポット径を高精度に短時間で計測でき、その計測結果と設定された公差に基づいて被検査対象の走査レンズを良否判定して走査レンズの品質を検査する検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、主走査方向及び副走査方向に移動可能な二軸構成の移動ステージ上に搭載されたビーム計測部１７と、計測部ＣＰＵ２３とを備える。計測部ＣＰＵ２３は、主走査方向ビーム位置算出部３７、副走査方向ビーム位置算出部３８、ビーム径算出部３９、光学特性算出部４０及び良否判定部３５を備え、光学特性算出部４０は、ビーム位置と偏向角回転手段１１の偏向角度とビーム径とから倍率誤差、走査線曲がり量及びビームスポット径を算出し、良否判定部３５は、その算出結果及び設定公差に基づき良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 計測ノイズを除去するとともに測定対象点をレスポンス良く追随することができる位置計測システムを提供する。
【解決手段】 本位置計測システムは、同心円状干渉模様光５を投射するポインター３と、ポインター３から投射された干渉模様光を検出する検出装置１０，１１と、検出装置１０，１１から得られた信号に基づいてディスプレイ１００に投射された干渉模様光の中心の位置座標を求めるコンピュータ１２とを備える。コンピュータ１２は、求めた位置座標からノイズを除去して第１の位置座標値を算出し、第１の位置座標値に基づいて決定されるノイズ除去パラメータを用いて第１の位置座標値から再度ノイズを除去して第２の位置座標値を算出し、第２の位置座標値に基づいて指示位置６を決定する。 （もっと読む）

【課題】光偏向素子の原点位置を高い精度で行うことのできる光ビーム走査装置を提供すること。
【解決手段】光ビーム走査装置１は、光源装置１０と、光源装置１０から出射された光ビームの入射位置により光ビームＬ０の出射方向が変化する光走査領域３６を備えた透過型光偏向ディスク３０と、この透過型光偏向ディスク３０を回転駆動する駆動装置とが構成されている。透過型光偏向ディスク３０には、入射した光ビームＬ０を光走査領域３６とは異なる方向に出射する原点位置検出用出射領域８２が形成され、この原点位置検出用出射領域８２から光ビームが出射される方向には原点位置検出用光検出器８１が配置されている。 （もっと読む）