【課題】計測したい点に高精度にターゲットを設け、ソフトウェアでターゲット位置を自動指定できるようにして、寸法検査実施部品の寸法検査を自動で行うと共に、ターゲットの貼り付け誤差や寸法測定の人によるバラツキに起因する誤差、データの改ざんなどが起こらないようにした、寸法検査装置及び該装置に用いる被撮像部品を提供すること。
【解決手段】寸法検査実施部品における少なくとも２次元座標位置が既知で、且つ、位置決め可能な複数の部位に、予め撮像（目視）可能な位置にターゲットを有した被撮像部品を止設して複数の画像を撮像し、該画像データから前記位置決め可能な部位の座標を算出して前記既知の座標位置と比較し、前記寸法検査実施部品の合否判定を実施するソフトウェアを有したデータ処理装置を用い、前記寸法検査実施部品の位置決め可能な部位に止設する被撮像部品を、前記止設により前記ターゲット中心が前記既知の座標位置と対応した位置となる部材とした。 （もっと読む）

【課題】鏡筒を本体に対して容易に取り付けることができるとともに、本体、及び鏡筒の破損を防止することができる光学式測定機の提供。
【解決手段】画像測定機１は、鏡筒２と、鏡筒２が取り付けられる円筒状の取付部３２を備える本体３と、鏡筒２の周方向に沿ってリング状に配設され、被測定物を照明するリング照明装置４と、取付部３２に取り付けられ、鏡筒２の本体３への取り付けを中継する中継部材５を備える。中継部材５は、鏡筒２が取り付けられる中継取付部５２２と、鏡筒２の外周を覆うように鏡筒２の軸方向に沿って延出し、鏡筒２を軸方向に沿ってガイドするガイド部５２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】アクティブステレオ法を用いて円柱形状を有する物体の段差間隔、半径、中心位置を高精度に計測する計測方法及びその計測装置を提供する。
【解決手段】円柱の段差面と側面に各々少なくとも３点のビームを投影し、同時に、別の段差面に少なくとも３点のビームを投影し、ポイントビームの全てが写るように異なる方向から第１の画像および第２の画像を撮像し、前記第１および第２の画像からステレオ法に基づき全てのビームの座標を算出し、算出された座標のうち、一方の段差面上の３点のビームの座標から、段差面の平面の式を算出し、他方の段差面上の１点のビームと前記算出した平面との距離を算出することにより段差間距離を求め、算出された座標のうち、側面上の３点のビームの座標を、前記算出した平面に投影し、投影された３点を通る円の式に基づいて、円柱の半径および中心を算出する。 （もっと読む）

【課題】移動する複数の被写体間の実空間上の距離情報を、簡素な構成で迅速に取得可能な距離計測装置、距離計測プログラムを提供することを目的とする。また、複数の被写体間の実空間上の距離情報を画像に合成表示することが可能な合成画像生成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の実施形態に係る距離計測装置１は、複数の被写体を撮影する撮影手段１０と、距離計測装置１からの実空間上の距離を、画像の水平座標に対応付けて計測する測距手段２０と、画像を表示する表示手段３０と、外部から、表示手段３０に表示された画像上の被写体を指定する操作信号の入力を複数受け付け、この操作信号により指定された各指定位置の画像座標を順次取得する測距対象指定手段４０と、この各指定位置の水平座標に対応付けられた各実空間上の距離に基づいて、指定された被写体間の被写体間距離を演算する距離演算手段５０とを主に備える構成とした。 （もっと読む）

この発明は、光カーテンに適した平面検出器に関するものであり、この検出器は吸収した光に応じて電気的な信号を発生し、発生した信号用の多数のタッピング点を具えている。個々のタッピング点での信号の大きさは光が吸収された区分への距離に依存しており、複数タッピング点での信号間の大きさの比から、それぞれのタッピング点から光が吸収された区分への距離の比を算出できる。検出器（１０、２０、３０）は、有機材料でできたフレキシブルな層構造として形成されている。タッピング点（２、２４）は、層構造の端部から間隔を空けて配置されている。タッピング点（２、２４）への電気接続導線（３）は、その全長に亘って検出器の層構造に接続されている。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体の３次元的な形状精度を短時間で正確に検査する。
【解決手段】所定間隔を開けてそれぞれ対向配置した４組のレーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２の間に、被検査体を置き、被検査体の両切断端面の各隅部にレーザビームを照射し、各レーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２の検出信号に基づき、各測定ポイント毎に予め標準試料１に対して設定された基準位置からの変位を求める。レーザ変位計Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２から被検査体の側面及び底面にレーザビームを照射し、被検査体の標準試料１からの傾斜角度を求め、前記変位をこの傾斜角度によって補正し、実際の変位（実変位）を算出し、この実変位に基づいて被検査体の形状精度を検査する。３次元的な形状精度として、切断長さ、両切断端面の平行度、各切断端面の押出方向に対する直角度（Ｙ方向直角度及びＺ方向直角度）が検査される。 （もっと読む）

【課題】情報端末装置に対する撮影対象の空間的な動作によって、情報端末装置の表示部に表示される情報を制御できる情報端末装置を提供する。
【解決手段】情報を表示する表示部５と、表示部５に表示する情報を記憶するメモリ６とを少なくとも有する情報端末装置１０であって、空間的位置関係の基準となる撮影対象Ｓと、一定間隔で画像を入力する撮像部１と、撮影対象Ｓに光量を照射する光源部２と、撮影対象の空間的位置関係の変化を推定する推定部３と、メモリ６から読み出して表示部５に表示する情報を推定部３により推定された空間位置関係の変化に応じて制御する制御部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度な試料の回転合わせや画像の位置合わせができ、高感度な検査を実現する高感度なパターン欠陥検査装置および方法を提供すること。
【解決手段】ウェハの回転合わせや画像の位置合わせにロバスト画像照合を用いることによって、高精度な位置合わせを行い高感度に欠陥を検出する。例えば、試料を載置して少なくとも一方向に移動可能な走査手段と、前記試料の回転方向を合わせる手段と、前記試料上を照明する照明手段と、該照明手段で照明された前記試料の光学像を形成する結像手段と、該結像手段で結像された光学像を検出して信号に変換する検出器を有する検出手段と、該検出手段で検出した信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段で検出した結果を表示する結果表示手段とを備え、前記回転方向を合わせる手段はロバスト画像照合を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検物を搬送しながら外観などの画像検査を行う被検物の画像検査方法にあって、被検物を様々な方向から広範囲に亘って確実に検査できる画像検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像検査方法は、水平回転する第１の回転体１の外周面ｍにおいて側方に臨むように形成された第１の吸着孔１１に、単一の被検物ｂの第１の部位ｂ１を吸着させて搬送し、第１の画像検査手段１２により画像検査を行った後、水平回転する第２の回転体２の周縁部ｎにおいて上方に臨むように形成された第２の吸着孔２１に、被検物ｂの第１の部位ｂ１と異なる第２の部位ｂ２を吸着させて受け渡し、第２の吸着孔２１に吸着させて搬送し、第２の画像検査手段２２により画像検査を行うものである。 （もっと読む）

【課題】半導体製造や磁気ヘッド製造において、被加工対象物（例えば、半導体基板上の絶縁膜）に対してＣＭＰなどの研磨または研削加工を施した際、その表面に生じる様々な形状を有するスクラッチ等と付着する粒子状の異物とを弁別して検査することができるようにした欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】欠陥検査装置を、第１のＵＶ光を被検査物の表面に垂直方向から照射する第１の照明系と、第２のＵＶ光を被検査物の表面に斜方から照射する第２の照明系と、被検査物からの散乱光を集光レンズで集光して検出する検出光学系手段と、検出信号を処理して欠陥を弁別する演算処理部とを備えて構成し、第１の照明系の反射ミラーを集光レンズの光軸上で集光レンズとステージとの間に配置して、被検査物の表面に平行な方向から入射した第１のＵＶ光を反射ミラーで反射させて被検査物の表面に垂直方向から照射するように構成した。 （もっと読む）

【課題】溶液中の薄膜の拡散状態を好適に検査することの出来る薄膜検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の薄膜検査方法は、溶液中における薄膜材料の拡散状態を検査する薄膜検査方法であって、基板上に蛍光粒子を含む薄膜材料を用いて薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記基板を溶液に浸漬する溶液浸漬工程と、溶液中の前記基板に対して垂直に前記蛍光粒子に対する励起光を照射する励起光照射工程と、励起光を照射したまま基板近傍の画像を取得する画像取得工程と、前記画像から蛍光粒子の輝度分布を取得する輝度分布取得工程と、前記輝度分布より溶液に拡散した薄膜材料の拡散度を算出する算出工程と、を備える。本発明によれば、薄膜材料に蛍光粒子を混合することから、薄膜材料の拡散に伴う蛍光粒子の拡散を励起光を用いて追跡観察することが出来る。 （もっと読む）

【課題】正確な計測結果を得ることが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】時点ｔ２１，ｔ２２，ｔ２３において、Ｘ方向における光の走査位置が位置Ｐ１２に一致し、時点ｔ２１ａ〜ｔ２１ｂの期間、時点ｔ２２ａ〜ｔ２２ｂの期間、時点ｔ２３ａ〜ｔ２３ｂの期間に露光が行われる。この場合、露光の開始時点と終了時点との中間の時点で、投光方向が所定の方向と一致する。すなわち、時点ｔ２１ａ〜ｔ２１の期間の長さと時点ｔ２１〜ｔ２１ｂの期間の長さとが等しく調整され、時点ｔ２２ａ〜ｔ２２の期間の長さと時点ｔ２２〜ｔ２２ｂの期間の長さとが等しく調整され、時点ｔ２３ａ〜ｔ２３の期間の長さと時点ｔ２３〜ｔ２３ｂの期間の長さとが等しく調整される。 （もっと読む）

【課題】計測装置において、計測対象物の変位計測または二次元画像の撮像について、より高度な計測を実現する。
【解決手段】コントローラ２００では、センサヘッド１００の変位計測部に、計測対象物５００の高さの計測のためのフォトダイオード２の受光信号を出力させ、これに基づき、計測対象物５００の表面の高さを計測する。次に、コントローラ２００では、計測対象物５００の高さに基づいて、画像取得タイミングを決定する。具体的には、テーブルから、算出された計測対象物５００の高さＴに対応するピント調整値Ｐが取得され、そして、当該ピント調整値Ｐを実現するタイミングで画像取得信号を撮像素子９に送信する。これにより取得された画像より、計測対象物５００の高さに基づいて、計測対象物５００上の２点間の長さを演算する。 （もっと読む）

【課題】エアギャップ画像と透明部材画像との間のコントラストを改善して、エアギャップを高精度で測定できるエアギャップ測定装置を提供する。
【解決手段】エアギャップ測定装置は、測定対象物ＯＢＪが、対向配置された一対の透明部材の間のエアギャップであって、前記一対の透明部材を前記エアギャップの厚さ方向に交差する方向から拡散光で照明するための面発光光源１０と、面発光光源１０と透明部材との間に設けられ、開口形状が可変である絞り部材２０と、透明部材およびエアギャップの透過画像を撮像するための撮像ユニット３０などで構成され、さらに撮像ユニット３０を光軸方向に位置決めするためのＺステージ４０を備え、撮像ユニット３０を光軸方向にスキャンして得られた複数の画像を合成する。 （もっと読む）

類似構造要素を分類するＣＤ計測のシステム及び方法を提供する。本方法は、半導体構造の画像を取得する段階と、ｂ）各群が異なる製造ステージから生じる類似構造要素の第１の群に属する構造要素（２０４）の十分な量及び第２の群に属する構造要素（２０５）の十分な量を識別する段階と、ｃ）第１の群及び第２の群内の要素の十分な量のうちの各所定の構造要素に対してそれぞれの製造ステージを示す１つ又はそれよりも多くの特徴を評定し、それぞれの特徴の値が取得画像から導出される段階と、評定の結果を製造ステージと類似構造要素の第１の群内及び第２の群内のそれぞれそれから生じる構造要素とに関連する分類判断に使用する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】計測結果の欠損領域を低減しつつ正確な計測結果を得ることが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】ＦＢ制御部７は、最初の走査の最初の計測点の処理を開始する（ステップＳ１）。次に、ＦＢ制御部７は、現在の計測点の制御モードが計測モードに設定されているか否かを判定する（ステップＳ２）。次の計測点の制御モードが計測モードに設定されている場合、ＦＢ制御部７は、その計測点において検出処理を行う（ステップＳ３）。次の計測点の制御モードが計測モードに設定されていない場合、すなわち探査モードに設定されている場合、ＦＢ制御部７は、その計測点において探査処理を行う（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】光の走査速度を低くすることなく分解能を高めることが可能な光学式変位計を提供することである。
【解決手段】高分解能計測モードでは、往路Ｆ１においてＸ方向における位置Ｐ１１〜Ｐ１５で計測が行われ、復路Ｂ１においてＸ方向における位置Ｐ１１ａ〜Ｐ１５ａで計測が行われ、往路Ｆ２においてＸ方向における位置Ｐ１１ｂ〜Ｐ１５ｂで計測が行われ、復路Ｂ２においてＸ方向における位置Ｐ１１ｃ〜Ｐ１５ｃで計測が行われる。このように、高分解能計測モードでは、光の走査方向の切り替わりに応じて、Ｘ方向における各計測点の位置がずれるように設定される。 （もっと読む）

半導体ウエハの端部を検査する装置に関し、照明用経路（１０）と解析用経路（２０）を有する共焦点色顕微鏡（７）を有し、照明用経路（１０）は多色光源（１１）とスロット（１２）と少なくともアッベ数５０未満の材料からなるレンズからなる軸上色収差対物レンズ（１５）とを有し、解析用経路（２０）は対物レンズと、色フィルタスロット（２２）と光強度センサ（２４）をこの順番に有し、照明用経路のスロットおよび解析用経路のスロットは検査されるウエハの端部からの光学距離がほぼ同じ場所に設けられている。 （もっと読む）

三次元表示を使用して物理パラメータを推定するための、方法、システム、および装置。一態様では、既定の光パターンを対象物上に投影し、この投影光パターンと対象物の一部分との相互作用から生じる光パターンを検出する。この検出光パターン内の複数の光要素の三次元位置を判定し、この位置に基づいて、対象物の物理パラメータ、例えば重量を推定する。例えば、この方法、デバイス、およびシステムを使用して、家畜動物などの対象物の少なくとも一部分の三次元表示を作り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクト且つ被測定者への負担が少なく、正確に体格情報を測定することができる体格情報測定機器を提供する。
【解決手段】体重計１１と、体重計１１に支持部材３を介して固定され、被測定者の身体を撮影する撮影部２１と、撮影部２１により撮影された身体の撮影画像に基づいて、身体の寸法を演算する演算部とを備えた。 （もっと読む）