【課題】様々な位置姿勢や形状のワークに対応可能で、かつ、迅速に最大内接円を抽出可能な画像処理装置、画像処理方法及び画像処理プログラムを提供すること。
【解決手段】撮像部２によりワークＷが撮像された元画像を取得する元画像抽出部３１と、元画像抽出部３１により取得された元画像を２値化して、元画像からワークＷの概略領域を特定する領域特定部３２と、領域特定部３２手段により特定された概略領域を所定回数収縮処理する収縮処理部３４と、元画像抽出部３１により取得された元画像からワークＷの輪郭線を抽出する輪郭線抽出部３５と、輪郭線抽出部３５により抽出されたワークＷの輪郭線と収縮処理部３４により収縮処理された収縮領域とを合成し、収縮領域の領域内で輪郭線に内接する最大内接円の中心点を探索して、中心点を中心としたワークＷの内接円を抽出する最大内接円選定部３６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】波長が１３．５ｎｍ付近の極端紫外(Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ)光を露光光源とする反射型マスクの欠陥修正技術を利用した半導体集積回路装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相欠陥２１１が生じている開口パターン２０４の近傍の吸収層２０３に、開口パターン２０４よりも微細な開口径を有する補助パターン３０１を形成する。この補助パターン３０１は、ウエハ上のフォトレジスト膜に開口パターン２０４を転写する際の露光光量を調整するためのパターンである。 （もっと読む）

【課題】小型化可能で高精度な形状測定が可能な光学式測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源２０１が出力したビーム状の測定用光２１６は第２円錐ミラー２０７によって放射状の測定用光に変換され、ケース１０１の第２開口部１０２を通って出力された後、測定対象物２２０で反射され、第１開口部１０３を通ってケース１０１内へ入り、第１円錐ミラー２０９によって反射された後、受光レンズ２１３を介して光検出素子２１４で検出される。処理部２４０は、光検出素子２１４で検出された測定用光に基づいて測定対象物の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】センサ等を物品内に挿入することなく当該物品の内径や外径を効率的に測定する。
【解決手段】回転テーブル１上に載置された物品２の内周面２１と、物品２の外に配設され回転テーブル１の回転軸１３からの距離が判明している校正面４ａとに、物品２の外に配設した二次元レーザ変位計３のスキャン線を位置させて、内周面２１と校正面４ａとの変位差を二次元レーザ変位計３にて測定し、上記距離と変位差に基づいて内周面２１の半径を算出する。二次元レーザ変位計３のレーザ射出点とスキャン線を含む面上に、回転テーブル１の回転軸１３が位置するように変位計３が配置されており、回転テーブル１を回転させて、内周面２１とこれと径方向対称位置にある他の内周面における各半径を算出して、これら半径の値を合計することで物品２の直径を算出する。 （もっと読む）

【課題】管内面の状態や寸法によらずに管内面を検査することができる管内面検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、管２内面の検査箇所にパターンを有するパターン光Ｐ１を管２内面の周方向にわたって投影する投影手段１１と、検査箇所に投影され反射されたパターン光を反射パターン光Ｐ２として投影する表示手段１２と、反射パターン光Ｐ２の形状を観測する観測手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロボットの座標系に依存しない、三次元計測システムを提供する。
【解決手段】計測対象の三次元形状を計測する三次元計測器２０と、この三次元計測器２０を移動させるロボット１０と、ロボット１０を駆動制御するロボット制御装置３０と、を備えた三次元計測システム１であって、ロボットのアーム先端に固定され三次元計測器を支持したベースプレート６０と、ベースプレートに固定された三次元計測器２０の傾きを計測するロボット計測装置４０と、ワーク計測箇所の座標及びワークの形状寸法を算出するデータ処理装置５０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】内径の異なる種々の穴形状を精度良く測定できる測定装置を提供すること。
【解決手段】被測定領域の少なくとも一部の面の法線方向とは異なる方向から前記被測定領域に照明光を照射することで被測定領域に帯状の照明領域を形成する照明系と、前記照明系による照射方向と前記帯状の照明領域における長手方向等を含む面からはずれた位置から照明領域の散乱光を受光する受光系と、受光系の受光結果に基づいて被検面の形状を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にて巻締め検査を精度よく行える金属缶端部の巻締検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】カメラ３２からの取得画像から極座標展開画像１１２を形成し（Ｓ４）、巻締め部３内側側面６１の内側フランジエッジ１２２と（Ｓ５）、外側側面６２の外側フランジエッジ１２４を認識して（Ｓ６）、内側フランジエッジ１２２から外側フランジエッジ１２４までの幅寸法１３１が閾値内にあるか否かを判断する（Ｓ８）。閾値内の場合、内側側面６１の内帯幅１６１の長さ方向での変化量、及び外側側面６２の外帯幅１６２の長さ方向での変化量を検査し（Ｓ９）、これらの変化が大きい場合、巻締不良フラグをセットして（Ｓ１０）終了する一方、変化が小さい場合には、巻締不良フラグをリセットして（Ｓ１１）終了する。 （もっと読む）

【課題】管状体の内表面に発生しうる凹凸疵及び模様系の疵を同時に検出すること。
【解決手段】本発明に係る欠陥検出装置は、管状体の軸方向に沿って移動しながら管状体の内表面に対して環状のレーザ光を照射して環状ビーム画像を複数生成する管状体撮像装置と、生成された環状ビーム画像に対して画像処理を行い、管状体の内表面に欠陥が存在するかを判断する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、各環状ビーム画像における環状のレーザ光の照射部分の重心位置を算出する環状ビームセンター算出部と、環状ビーム画像の座標系を変換して光切断画像を複数生成する座標変換部と、各光切断画像から生成された縞画像フレームに基づき管状体の内表面の凹凸状態を表す深さ画像及び管状体の内表面でのレーザ光の輝度分布を表す輝度画像を算出する画像算出部と、算出された深さ画像及び輝度画像に基づき内表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出部とを有する。 （もっと読む）

【課題】円形ワーク等を含む種々のワークの形状を短時間で簡易かつ正確に測定できるワーク寸法測定装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを挟んで両側に位置させられ、ワークＷに向けて一定長の線状レーザ光Ｌを照射する一対のレーザ変位計４Ａ，４Ｂと、これらレーザ変位計４Ａ，４Ｂを互いに対向する方向で離間ないし接近方向へ移動させるスライダ機構２Ａ，２Ｂと、ワークＷに照射された線状レーザ光ＬがワークＷの表面に線像を生じさせた際の移動距離に基づいてワークＷの外形寸法を算出するパソコン６とを備える。ワークＷは円形であり、その外周面に生じる線像は頂点を有する円弧状をなし、パソコン６は上記移動距離と頂点の位置に基づいてワークＷの外径を算出する。 （もっと読む）

【課題】従来よりもガラス基板の欠陥の検査感度を向上可能であり、かつ、欠陥を検査する時間を短縮できるガラス基板の欠陥検査方法及び欠陥検査装置、並びに、前記欠陥検査方法又は前記欠陥検査装置を用いたガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本ガラス基板の欠陥検査方法の一形態は、第１主平面及びその対向面である第２主平面を有するガラス基板に、複数方向から光を順次照射し、前記ガラス基板の画像を順次撮像する順次撮像工程と、前記順次撮像工程で順次撮像した各ガラス基板の画像に基づいて、前記ガラス基板の前記第１主平面及び前記第２主平面の欠陥の有無を検査する欠陥検査工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ボイラ設備の装置を分解あるいは開放することなく、フィンチューブの腐食及び減肉状況を評価することができる伝熱管又は蒸発管の減肉状態監視装置を提供する。
【解決手段】伝熱管又は蒸発管の減肉状態監視装置１０Ａは、伝熱管又は蒸発管の減肉状態を監視する監視装置であって、伝熱管又は蒸発管のフィン１１に沿って移動する移動手段１２と、前記移動手段１２に設けられ、伝熱管又は蒸発管の表面の減肉状態をレーザ計測するレーザ計測手段１３と、レーザ計測手段１３にレーザ光を導入する導光路及び反射光を伝達する導出路を備えたケーブル手段１４と、前記レーザ計測のデータを過去のデータ又は標準データと比較して、現在の減肉状態を判定する減肉状態判定手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】空孔付き光ファイバの空孔径の測定に際して、空孔付き光ファイバを切断することなく、簡便にその空孔径、空孔位置、空孔の表面粗さ、曲げ損失などの特性値を知ることができるようにする。
【解決手段】空孔付き光ファイバ３の両端にレファレンス用光ファイバ２をそれぞれ接続し、この接続光ファイバ２の両端からから測定光をそれぞれ入射して後方散乱光を計測する双方向ＯＴＤＲ測定を行い、これにより得られた２つの後方散乱光波形からレファレンス用光ファイバ２部分における相加平均値Ｉｒｅｆと、空孔付き光ファイバ３の位置ｘでの相加平均値Ｉｈｆ（ｘ）とを算出し、相加平均値Ｉｈｆと相加平均値Ｉｒｅｆとの差分（Ｉｈｆ−Ｉｒｅｆ）ΔＩを求め、予め求められた差分ΔＩと空孔付き光ファイバ３の空孔径との相関関係に基づいて、位置ｘにおける空孔径、空孔径、空孔位置、空孔の表面粗さ、曲げ損失を求める。 （もっと読む）

【課題】製造した磁気ディスク用基板の全てについて、歩留まりを悪化させることなく高精度で内径測定を行うことができる円板状基板内径測定装置、円板状基板内径測定方法及び円板状基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】レーザ変位計（測定装置）１００は、ラインレーザ１１２を円板状基板２００の主表面に照射するラインレーザ光源１１０と、円板状基板２００を支持する基板ホルダ１３０と、ラインレーザ１１２が円板状基板２００の円孔２１０を通過するように基板ホルダ１３０を昇降させる昇降部１４０と、基板ホルダ１３０の昇降中、円板状基板２００を反射又は通過したラインレーザ１１２を受光し、該光量分布を取得するレーザセンサ１２０と、レーザセンサ１２０が取得した光量分布から円孔２１０の内径を測定する内径測定部１５０とを具備し、基板ホルダ１３０は、測定時の基板姿勢が、地面に対し鉛直から所定の角度の範囲に入るように円板状基板２００を支持する。 （もっと読む）

【課題】搬送されるワークの外形を正確に検査する。
【解決手段】両側にガイド壁２２を備えた直線状のワーク搬送路Ｐを設け、搬送されるワークＷを上方からＣＣＤカメラ４で撮像してワーク寸法の良否を検査するワーク検査装置であって、ＣＣＤカメラ４に中心を一致させて下方のワーク搬送路Ｐに向けて設けたリング状照明器３と、ガイド壁２２の上方にこれに沿いワーク搬送路Ｐに向けて設けたライン状照明器５Ａ，５Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】 ワークの寸法を測定するための測定設定データを容易に作成することができる測定設定データ作成装置を提供する。
【解決手段】 形状線の位置情報、寸法線の位置情報、並びに、寸法線に関連付けられた設計値及び公差からなる設計値情報を含む設計データを取得する設計データ取得手段と、ワークを含むマスター画像に対し、測定対象箇所及び測定種別を指定するための測定対象箇所指定手段と、指定された測定対象箇所について、マスター画像からエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を算出する寸法値算出手段と、算出された寸法値に近い設計値からなる設計値情報を設計データから抽出する設計値情報抽出手段と、指定された測定対象箇所及び測定種別からなる測定対象箇所情報、並びに、測定対象箇所に関連付けた設計値情報を含む測定設定データを生成する測定設定データ生成手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】 ワークの寸法を測定するための測定設定データを容易に作成することができる測定設定データ作成装置を提供する。
【解決手段】 形状線の位置情報、寸法線の位置情報、寸法線に関連付けられた設計値及び公差からなる設計値情報、並びに、寸法種別情報を含む設計データを取得する設計データ取得部２１と、形状線の位置情報、寸法線の位置情報及び寸法種別情報に基づいて、寸法線を形状線によって規定される位置に対応づけることにより、形状線における測定対象箇所及び測定種別を特定する測定対象箇所特定部２３と、形状線の位置情報に基づいて、ワーク画像からワークを検出するための特徴量情報を生成する特徴量情報生成部２４と、特徴量情報、測定対象箇所情報、並びに、測定対象箇所に関連付けた設計値情報からなる測定設定データを生成する測定設定データ生成部２５により構成される。 （もっと読む）

【課題】レンズ素子の嵌合面およびフランジ面の形成精度、表面状態を、被検面を傷付けることなく、ニュートン縞を利用して簡便に観察できるようにしたレンズ素子のニュートン縞観察装置を得る。
【解決手段】嵌合式レンズ素子１のレンズ嵌合部２の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂに密着可能な嵌合面用ゲージ面２０Ａおよびフランジ面用ゲージ面２０Ｂと、光軸Ｌと平行に入射された観察光１１を反射して嵌合面用ゲージ面２０Ａに直角方向から照射するためのミラー面２０Ｅとを有するニュートン原器２０を交換可能に備え、ゲージ面２０Ａ、２０Ｂで反射した参照光と、レンズ素子１の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂで反射した測定光との干渉によるニュートン縞を得て、レンズ素子１の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂの評価を行う。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面または互いに離間した複数の平面からなる被検面の傾斜角度、形状および径の大きさ等を短時間で測定可能な被検面測定装置を得る。
【解決手段】円錐レンズ３１と回折光学素子３２とからなる光偏向素子３０を配置し、測定光を照射する。光偏向素子３０に入射した測定光の一部は、参照基準面３１ｂにおいて参照光として反射され、その余は光偏向素子３０により放射状に偏向されて被検面７１の各部に垂直に照射される。被検面７１の各部から再帰反射された測定光の一部は、光偏向素子３０を経由し被検光として参照基準面３１ｂに戻る。この被検光と参照光の光路長差が低干渉光源１１からの出力光の可干渉距離以下となるように迂回路部１３における迂回距離の調整がなされ、撮像カメラ２３により撮像された干渉縞画像に基づき、被検面７１の各部の傾斜角度、形状および径の大きさが測定解析される。 （もっと読む）

【課題】油田における坑井ボアの内部寸法を計測するための装置において、過酷な環境（高温または高圧）でも、使用に耐えられるものを提供する。
【解決手段】坑井ボアＷＢの内部寸法を計測するための検層システムＬＳは、坑井ボアＷＢの内部に配置されるようになされた検層工具１を備える。検層工具１はセントラライザー５を含み、全体として、検層工具１および下ノーズ５’に連結された複数の機械式アーム６、７等を含む。機械式アーム６、７等は、坑井ボア壁ＷＢＷと接触し、検層工具１が正しく位置決めされるように、半径方向に展開するとともに、坑井ボアＷＢの内部寸法を計測するために使用される光学式センサのカリパーアームを形成する。また、検層工具１は、光ファイバライン２に連結されており、適合した地表ユニット（例えば、車輛３および対応するシステム４）によって坑井ボアＷＢの内部へ展開される。 （もっと読む）