【課題】スキャナの駆動特性の評価装置及びその評価方法を提供する。
【解決手段】ビームを照射する光源１０１と、光源とスキャニングミラー１００との間に配置されスキャニングミラー上に焦点を有する対物レンズ１０９と、スキャニングミラーで反射されて対物レンズを透過した反射ビームを受光して、スキャニングミラーの回転角の変化を感知する位置感知素子１１５と、位置感知素子で感知された信号を処理する信号処理部１２１、１２５とを備え、スキャニングミラーの回転角の変化にかかわらず反射ビームを光源から照射されて対物レンズに入射されるビームに対して平行なビームにする。 （もっと読む）

【課題】従来技術のもとでこれまでに行うことができた分解能よりも高い分解能で変位を測定し、制御するための改善された方法及び装置を提供する。
【解決手段】干渉計コアに誘導される光ビームを含み、干渉計コアは光ビームを第１の成分のビーム及び第２の成分のビームに分割し、第１の成分のビームはリトロー角で回折格子に誘導され、干渉計コアにより受光され、第２の成分のビームと合成され、合成された第１の成分のビーム及び第２の成分のビームは、合成された第１の成分のビーム及び第２の成分のビームを測定し回折格子の変位を判定する検出器に誘導される、変位を測定するための装置や方法である。 （もっと読む）

【課題】対象画像を教示画像と照合するに際して、位置・回転角度の検出の精度を高めた画像処理方法を提供する。
【解決手段】１個の対象画像の輪郭線と教示画像の輪郭線とについて変曲点ごとに分断した輪郭部品を生成する。対象画像と教示画像との輪郭部品ごとに曲率の差の二乗の和を求めて第１の評価値とする。対象画像と教示画像との各２個の輪郭部品の距離の差を第２の評価値とする。対象画像と教示画像とにおける各３個の輪郭部品を結ぶ直線のなす角度の差を第３の評価値とする。第１の評価値と第２の評価値と第３の評価値との合計を不一致度とし、教示画像と対象画像との輪郭部品の組合せで求めた不一致度が最小になる組合せを、教示画像に対応した対象画像と判定する。教示画像と対象画像とにおいて対応付けた輪郭部品間の位置関係により、対象画像の位置・回転角度を求める。 （もっと読む）

【課題】移動可能な物体の位置決定において、精度の高い方法及び装置を提供する。
【解決手段】デバイス製造方法は、パターン化された放射ビームを基板に投影することを含み、移動可能な物体の位置は多数のセンサを使用して多自由度で決定され、センサの数量は自由度よりも多く、移動可能な物体の位置はその自由度で各センサからの信号を使用して決定され、センサからの信号は、各センサのノイズレベルの差に基づいて重みづけされる。移動可能な物体の位置測定の精度ならびに／または重ね合わせ能力および焦点合わせ能力がリソグラフィ装置で改良された。 （もっと読む）

物体に対するパターンの位置及び検出装置，例えばカメラに対するパターンの位置という２種類の位置データを含むパターンを使用して，絶対位置を検出する装置，システム，及び方法。この装置は，物体上に配置されたパターンの画像を取得する検出装置，及び画像を分析して検出装置に対する物体の絶対位置を判定する演算ユニットを有する。本発明は，トルクセンサ，経緯儀，関節アーム，又は角度検出器の一部分の形成など，多数の用途に具現化される。
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【課題】 レーザ干渉計自身に初期位置回転の検出機能を持たせ、スライダ部の回転方向及び回転角度を自動的に検出することを可能とするＸＹステージを実現する。
【解決手段】 レーザ干渉計とこのレーザ干渉計の照射ビームを反射するバーミラーを有し、スライダ部の移動に応じて前記レーザ干渉計と前記バーミラーが相対的に移動し、前記レーザ干渉計により位置が検出される前記スライダ部をプラテン上で２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーの反射ビームを検出し、検出した反射ビームから前記スライダ部の回転を検出する回転検出手段を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は簡易な構成で高精度・高安定・高分解能な相対位置計測装置、回転体走行検出装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】本発明は所定の反射率あるいは透過率の変化による光学マークが略一定間隔で形成されたスケールの像を一定サンプリング周期ごとにイメージセンサにより読み取り、読み取られた光学マークがイメージセンサ上を移動することを検知してスケールの相対的な位置を検出し、イメージセンサによって取得された画像データに基づいてイメージセンサ上に投影された光学マークの、イメージセンサによって読み取られた画像上に設けられた基準位置に基づく座標位置を算出する信号処理手段と、光学マークがイメージセンサ上の基準位置を通過する個数と光学マークのイメージセンサ上での座標位置の和に基づいてスケールの絶対移動距離を演算する位置演算手段とを有している。 （もっと読む）

【課題】小型で測定角度が広く、しかも安価で精度がよい球体の角度検出装置を提供することである。
【解決手段】回転自在に支持された球体に設けた受光手段と、前記受光手段と対向して設けられた複数の発光手段と、前記発光手段を所定のパターンで走査発光させて前記受光手段が受光したときの受光量と発光位置情報とに基づいて前記球体の角度を検出する制御手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】計測区間及び非計測区間の全区間において可動ステージを高精度に制御する。
【解決手段】可動ステージの計測区間（Ｌ〜Ｒ）における複数の目標位置に対する該可動ステージの実位置に相当する情報を計測してそれぞれ得られる計測誤差情報に基づいて、これらを補間して補正関数を算出し、計測区間における該補正関数の端点Ｌ，Ｒにおける接線の傾きａ_Ｌ，ａ_Ｒをその傾きとする該端点を通る直線を、外挿部における補正関数とし、計測区間及び外挿部における補正関数に基づいて、計測区間及び外挿部における補正情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】自動車の停止時にバッテリーの電力消費を抑制しつつ、自動車の運転開始直後からステアリングホイールの舵角を正確に検出できるようにする。
【解決手段】ステアリングホイールの舵角を検知する舵角センサ８と、この舵角センサ８を所定周期で監視してステアリングホイールの舵角が変化したか否かを判別する舵角操作監視手段２４と、自動車の走行駆動装置を作動または停止させる始動スイッチ（ＩＧスイッチ）の出力信号に応じて上記走行駆動装置が停止状態にあることが検知された場合に、上記舵角操作監視手段２４による舵角センサ８の監視周期を通常時に比べて長い値に変更する監視周期変更手段２５とを設けた。 （もっと読む）

【課題】回転体や各種移動体表面に形成されたマークとそれを検出するセンサとの距離変動や角度変動が生じたりあるいは回転体や各種移動体の速度変動が生じてもて高精度にマークを検出して回転体や各種移動体の移動量を安定して検出する。
【解決手段】所定の周期パターンで配列されて設けられた複数の反射マーク１８とスリット１９によって構成されるスケール１７のほぼ同じ位置に、光ヘッド部２２ａ，２２ｂから波長の異なる光ビームを照射し、スケール１７の反射マーク１８から反射した光あるいはスリット１９を透過した光を検出して、オフセット変動を除去するとともに、スケール１７の隣接した位置に光ビームを照射しても、検出した光ビームは他方の光ビームの散乱光や迷光を受光することなく、Ｓ／Ｎの高いマーク検出信号を得る。 （もっと読む）

【課題】反射面の形状に関する情報を精度良く計測する。
【解決手段】ウエハテーブルＷＴＢが、鏡面状の反射面５４Ｘ，５４Ｙを有する側壁２７Ａ，２７Ｂと、該側壁に対し反射面の裏面側で接触するリブ２１とを有しており、反射面の形状に関する情報を計測する際の計測ピッチとリブの間隔とが所定の関係に設定されていることから、第１部材の反射面の形状が第１部材へのリブの接触により影響を受ける場合でも、計測ピッチとリブの間隔とを所定の関係とすることで、精度良く計測することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 プラテンに変形が生じていても、ステージの動作への悪影響を小さくすることができるＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】 ＸＹステージ装置１の制御系は、ＰＩＤ制御要素１３、力・位相シフト変換要素１４、位相・電流変換要素１５、電流・推力変換要素１６およびステージ可動体動力学要素１７が閉ループを構成している。加えてＸＹステージ装置１の制御系は、位置（角度）指令からプラテン補正量を算出するプラテンスケーリング要素１８と、プラテン補正量と検出したステージ可動体位置（角度）とから補償量に対応した位相を算出する位置・位相変換要素１９を備えている。これにより、プラテンに変形が生じていても、ステージの動作への悪影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

本発明による光エレクトロニクス角度測定装置は、位置コード（C1）を検出し、位置の走査信号を生成するための線状あるいは面状の走査装置により検出される位置コード（C1）を有するコード架体を備える。スキャンフィルム（F1）で形成された走査装置はコード架体を囲むように設けられるか、あるいは、コード架体が周囲に沿って走査装置を完全に囲むように設けられる。これにより、位置コード（C1）の大部分、特に全体の位置コード（ C1 ）が検出できるために、非常に正確な角度測定装置が提供することができる。
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【課題】 本発明は、低損失で、かつ信号のＳ／Ｎが向上する相対位置検出装置、回転体走行検出装置及び画像形成層値を提供する。
【解決手段】 本発明の相対位置検出装置は、光源（１１）と、光源から照射された光ビームをビームパターンのライン状ビームに整形する光整形手段（１２）とを含む光学系ヘッド部と、所定の反射率あるいは透過率の変化によるマークパターンが一定周期で形成されたスケール（１４）と、光整形手段によって整形されたライン状ビームを前記スケールに照射し、スケールからの反射光あるいは透過光を受光し、光学系ヘッド部と移動するスケールとの相対位置の変化に伴って生じる反射光あるいは透過光の光強度を検出する光検出器（１５）とを具備している。よって、エネルギー損失を少なくで、かつ光信号のＳ／Ｎを向上することができる。 （もっと読む）

【課題】受光部における誤検出を防止可能なロータリスケールを具備する位置検出装置、ロータリスケール、および位置検出装置を備える液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】被検出物３１の位置検出を行う位置検出装置であり、発光部６２および受光部６４を備え、これらの間に空間部６１３を備えるフォトセンサ６０と、空間部６１３の間に差し掛かるロータリスケール５１と、ロータリスケール５１に設けられ、第１透光部５３ａおよび第１遮光部５３ｂが交互に形成される位置検出パターン５３と、ロータリスケール５１に設けられ、第２透光部５４ａおよび第２遮光部５４ｂが交互に形成され、通過する光量が位置検出パターン５３を通過する光量よりも少なくなる汚れ検出パターン５４と、フォトセンサ６０を移動させて、位置検出パターン５３の検出状態と汚れ検出パターン５４の検出状態とを切り替えるセンサ位置切替機構７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】実際のカメラ取付けパラメータを精度よく求め、マーカ表示や画像処理の精度を向上させることができるカメラ補正装置及びカメラ補正方法を提供する。
【解決手段】車輌に設置されたカメラ１、制御部２、デフォルトパラメータ保存メモリ３、描画部４、モニタ５、外部入力インタフェース６を備える。制御部２は、デフォルトパラメータ保存メモリ３に保存されたデフォルトのカメラパラメータに基づいて、調整パターンをイメージした調整マーカの描画データを生成するマーカ生成部２１、外部入力インタフェース６からの入力に応じて、デフォルトパラメータに対する角度調整幅を判定し、調整された新たなデフォルトパラメータを算出するパラメータ演算部２２を含む。 （もっと読む）

【課題】外形が変化するワークであっても、３次元形状を正確に評価することがで、容易に評価することのできる３次元形状評価方法及び３次元形状評価装置の提供。
【解決手段】断面データ計算Ｓ４は点群データからワークＷの所定断面における外形形状を表す断面データを求め、線分決定Ｓ５は断面データのうちの１つを第１点Ａ１とし第１点Ａ１から引いた所定の基準直線ｌが外形形状と当接又は接する第２点Ａ２を求める。歪み量計算Ｓ７は評価点から外形形状までの距離を歪み量Ｌとして求め、断面歪み量計算Ｓ１０は第１点Ａ１を断面データ上で一定距離毎に移動させ線分決定Ｓ５及び歪み量計算Ｓ７を各々実行し立体歪み量計算Ｓ１１は所定断面から一定距離毎に平行にずらした各断面における断面データ計算Ｓ４及び断面歪み量計算Ｓ１０を実行する。回転歪み量計算Ｓ１２はワークＷを一定角度毎に回転させた各断面における立体歪み量計算Ｓ１１を実行する。 （もっと読む）

【課題】 真円度、真直度、直径、円筒度等の深穴精度の測定を行うことのできる深穴測定装置および深穴測定方法を提供する。
【解決手段】 本発明の深穴測定装置は、上記の課題を解決するために、被測定物である深穴の内部に設置された測定装置の回転の中心軸から被加工物の内壁までの半径方向の距離を測定する変位検出手段を回転可能に構成すると共に、この変位検出手段を含めた測定装置本体の回転角度、傾きを検出する。さらに、変位検出手段からの検出信号を用いて被測定物である深穴の真円度、真直度、直径、円筒度等の深穴形状精度を一度に演算して出力する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】モアレ縞を観察することにより、画素オーダー以下の精度で、容易に画素合わせや位置合わせを行なうことを目的とする。
【解決手段】
ピッチが２画素のテストパターンを表示もしくは貼付したパターンを画素が２次元に配列している撮像素子により撮影し、撮影された画像に対して隣り合う上下左右の４画素との差の絶対値の和を計算する画像処理を行い、所定のモアレ縞本数を具えるモアレパターンが得ることにより、光学系のずれ、パターンの回転及び位置のずれを検出する。 （もっと読む）