【課題】アライメント処理開始時の待機時間やスループット悪化要因を除外することにより、迅速に位置決め処理を行なうことのできる位置決め装置を提供する。
【解決手段】物体が載置されるステージの位置を検出するステージ位置検出手段（４００）と、前記物体の所定位置に形成されたパターンを検出して当該物体の位置決めを行なう位置決め処理手段（２００）とを有する位置決め装置であって、前記位置決め処理手段は、前記物体に形成されたパターンが当該位置決め処理手段により検出可能な状態となったことを前記ステージ位置検出手段において検出される前記ステージの位置情報に直接基づいて検出し、当該検出結果に基づいて前記位置決め処理を行なう。位置決め処理手段が物体に形成されたパターンが位置決め処理手段により検出可能な状態となったこと、すなわち位置決め処理を開始してよい状態となったことを直接検出することができ、直ちに位置決め処理を開始することができる。
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【課題】
構成が複雑な目盛線が無くとも、原点からの各目盛の位置情報を信頼性高くしかも低コストに形成でき、ホームメジャーと言われる直尺／巻尺／分度器などに適用し得るような、安価で作業スピード性に優れる電子式長さ／角度測定器を得る。
【解決手段】
各仮想目盛間ごとに絶対寸法記号を特定するビット符号が一列に形成されたスケールと、測定対象物の寸法等に対応して前記スケールと相対的に移動可能なスライドブロックと、スライドブロックに設置されスケール上のビット符号を電子情報化するＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子を有する撮像手段と、撮像手段を駆動して電子化した画像情報等を得るＣＣＤ／ＣＭＯＳ駆動手段と、得られた画像情報等に基づいて測定対象物の寸法値等を算出する演算処理手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 容易に回転体の回転を検出する。
【解決手段】 軸部１６８に遮られることなく切欠き１６９を通過した光量の射光部５２が照射した全光量に対する割合が受光部５４の受光量（％）とされており、受光部５４は受光量に応じた電流信号Ｉを受光量処理部５００に対して出力する。受光量処理部５００は、コントローラ２０が駆動ロール１６４の回転などを制御する制御信号を出力することができるように、受光部５４から入力された電流信号Ｉを処理する。コントローラ２０は、受光量処理部５００から入力されたパルスの発生時期及び周期などから、軸部１６８の回転の位置・速度など駆動ロール１６４の回転に関する情報を算出する。つまり、コントローラ２０は、センサ５０及び受光量処理部５００を介して駆動ロール１６４の回転を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 経験や熟練を要することなく、間口の寸法および柱の傾きや鴨居の傾斜・撓みなどの形状を測定する装置を提供すること。
【解決手段】 立設した柱21を有する架台２と、この架台２の柱21に取り付けられる寸法測定装置本体１とを具備し、この寸法測定装置本体１は、柱21に取り付けられる基台26と、この基台26に水平方向に植設された固定軸27に回動自在に設けられた回転台３と、この回転台３上に載置され、基台26に対する回転台３の回動角度を検出するロータリ・エンコーダ32と、回転台３に載置され、基台26から間口の測定点まで長さを検出するワイヤーまたはテープ38およびインクリメンタル形のリニア・エンコーダ33と、検出した角度データおよび長さデータを対応させて極座標で格納する記憶手段とを具備するものである。 （もっと読む）

【課題】 故障や動作不良等が少なく生産性の良い簡素な構造でもって、狂いが生じ難く、かつ高精度に任意の位置の検出が可能な位置検出装置及び該位置検出装置を備えた開閉装置を提供する。
【解決手段】 回転体４１の外面に、所定位置から視た場合の形状が該回転体４１の回転に伴って変化する模様４１ａを設け、この模様４１ａを前記所定位置に設けられた読取装置４３によって読取り、その読取データから前記回転体４１の回転量を認識するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被測定対象物に対してレーザ光が所望とする位置に照射されているか、否かの確認機能を備え、かつ構造が簡便な光学測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学測定装置はレーザ光源２２、撮像部２９、集光部３５、ＣＰＵ３５、モニタ５５を主体として構成されるととももに、被測定対象物Ｗの角度を算出する測定モードと、レーザ光の照射位置調整を行うための照射位置調整モードが設定されている。集光部２５は被測定対象物Ｗで正反射した正反射光の光路内に定置される収束レンズ２６と、同光路内に出入り可能とされた可動レンズ２７とからなる。そして、照射位置調整モードが選択されたときには、可動レンズ２７が光路内に進入する。これにより、正反射光は撮像部２９の前方で焦点を結び、撮像面２９Ａには所定の大きさの光像が形成され、これがモニタ５５に表示される。従って、モニタ５５の画面を参照することでレーザ光が所望とする位置に照射されているか、否かを知ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】 本発明は高精度に可動されるステージの位置及び傾きを正確に検出することを課題とする。
【解決手段】 透過型検出装置２２は、第１ステージ１４の移動方向に延在形成された透明体角度格子３０と、透明体角度格子３０を垂直状態に保持する透明基板３２と、透明体角度格子３０に向けて複数の平行光を発光する発光部３４と、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光を受光する受光部３６とを有する。受光部３６には９個のフォトダイオードが配置され、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光の受光強度分布を検出する。そして、受光部３６で検出された強度分布の変化から固定側の透明体角度格子３０に対する発光部３４の位置及び傾き角度を検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 印刷半田の平行移動ずれと角度ずれを共に検出できる印刷半田検査装置を提供し、更に、印刷半田の平行移動ずれと角度ずれの推移を把握容易な形態で表示できる印刷半田検査装置を提供する。
【解決手段】 プリント基板１の部品実装面１ａに光照射して反射光量に応じた検出信号を出力する検出ヘッド１１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて部品実装面１ａにおける半田印刷領域の基準位置を検出する基準位置検出手段３１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて複数の印刷半田の平行移動ずれを検出する平行移動ずれ検出手段３３と、基準位置検出手段３１の検出情報に基づいて半田印刷領域における回転中心座標を設定する中心座標設定手段３２と、プリント基板１の設計値情報、平行移動ずれ検出手段３３の検出情報および中心座標設定手段３２の設定情報に基づいて複数の印刷半田の角度ずれを検出する回転ずれ検出手段３４とを備える。 （もっと読む）

本発明に従えば、乗り物、特に飛行物体（１）の移動を測定するために、当該乗り物に搭載されている画像化光学システム（２）を用いて、周辺環境（４）の画像を検知する。前記システムは、構造に基づいて画像のあらゆるシフトを検知して、当該シフトの測定信号を発生させるべく用いられる光電子シフトセンサー（３）を含み、そのために前記センサーが固有の評価ユニットを含む。当該センサーは、無制限個数の物体を表現できるように配置される。測定信号は、飛行物体の運動および／または位置を表わす量として用いられる。当該シフトセンサーは、光学式マウスに用いられているセンサーに類似している。本発明のシステムはまた、例えば飛行高度を制御すべく、距離の測定にも用いることができる。本発明は更に、制御ループにより飛行物体を自動制御する方法にも関係する。
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【課題】
【解決手段】本発明は、オーバレイマークと、オーバレイ誤差を決定する方法とに関する。本発明の一態様は、連続的に変化するオフセットマークに関する。連続的に変化するオフセットマークは、位置の関数として変化するオフセットを有する周期構造を重ね合わせた１つのマークである。例えば、周期構造は、ピッチなどの格子特性に関する値が異なる格子に対応してよい。本発明の別の態様は、連続的に変化するオフセットマークからオーバレイ誤差を決定する方法に関する。その方法は、一般に、連続的に変化するオフセットマークの対称中心を決定する工程と、それをマークの幾何学的中心と比較する工程と、を備える。オーバレイがゼロである場合には、対称中心は、マークの幾何学的中心と一致する傾向がある。オーバレイがゼロでない場合（例えば、２つの層間にずれがある場合）には、対称中心は、マークの幾何学的中心からずれる。その位置ずれを、連続的に変化するマークの予め設定されたゲインと組み合わせて用いることで、オーバレイ誤差を算出する。 （もっと読む）

製造物の位置決めシステムであって、製造物を支持するチャック(71)、当該チャックを支持する中間台(79)及び当該中間台(79)を支持する固定ベース(72)を有するシステム。チャック(71)は中間台(79)に対して第1方向X(80)を移動することが可能で、中間台(79)は当該固定ベース(72)に対して第2方向Y(81)を移動することが可能である。システムはさらに固定ベース(72)に対するチャック(71)の位置を測定する少なくとも1つのレーザー干渉計(73,74,75,76,77,78)を有する。当該レーザー干渉計の主部(73,74,75,76,77,78)は、チャック(71)上の反射体(83,84,85)と固定ベース(72)上の反射体(82,87)との距離を測定することが可能なように、当該中間台(79)に取り付けられている。
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投影露光装置（１００）は、基板（Ｗ）が載置されるとともに、その基板を保持して移動可能な基板テーブル（３０）と、基板テーブルの位置情報を計測する位置計測系（１８等）と、液体の供給に起因して基板と基板テーブルとの少なくとも一方に生じる位置ずれを補正する補正装置（１９）とを備えている。この場合、補正装置により、液体の供給に起因して基板と基板テーブルとの少なくとも一方に生じる位置ずれが補正される。これにより、基板に対して液浸法を利用した高精度な露光を行う。 （もっと読む）

【課題】 多層プリント配線板の内層の各導体層の変形量を観測、記録する。
【解決手段】 多層プリント配線板６０の内層用の両面配線板６１の表裏の導体層に中実ガイドマーク２２と中空ガイドマーク２３が形成され、例えば、中実ガイドマーク２２−１ｂに、隣接した導体層に設けられた中空ガイドマーク２３−２ａが同心に配置され、隣接した導体層毎に同心に配置された中実、中空ガイドマーク２２、２３を形成する。Ｘ線カメラの視野内に納まる外形のガイドマーク枠２１内に、例えば３行３列に、同心の中実、中空ガイドマーク２２（１ａ〜５ａ）、２３（１ｂ〜５ｂ）の組が配されている。ガイドマーク群２０は多層プリント配線板の、たとえば４隅に配置され、１個のガイドマーク群は１回のＸ線照射で枠内のガイドマーク全ての像を取り込み、それらの座標値が計算される。４個のガイドマーク群内のガイドマークの座標値から、各導体層に形成された配線用パターンの変形量が計算され、結果を記録できる。 （もっと読む）