駆動系により、アーム部材（７１）から移動体（ＷＦＳ）のＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティング（ＲＧ）に対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材（７１）の形状変化を計測する第２計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。駆動系は、第１計測系の計測結果に含まれるアーム部材の形状変化に起因する計測誤差を、第２計測系の計測結果を用いて補正する。
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【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの２軸回転量を高精度に算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法、及び、エンジンマウントの変位量計測装置を提供する。
【解決手段】エンジンマウント１０のマウント軸であるボルト１２の両端に固定した、半径が既知である２個の球体１３・１３の変位を、それぞれについて３箇所ずつレーザー変位計３１〜３３、３４〜３６で計測する球体変位計測工程と、球体変位計測工程で計測した球体１３・１３の変位結果に基づいて、球体１３・１３の中心Ｉ・Ｊの３次元座標Ｘ１・Ｘ２をそれぞれ算出する座標算出工程と、座標算出工程で算出した２個の３次元座標Ｘ１・Ｘ２に基づいて、ボルト１２の中心Ｋの３軸並進量、及び、ボルト１２の２軸回転量θ・φを算出するマウント軸変位算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】カメラの前方視界の妨げず、鋼管内面の撮影上で逆光状態とならずに、鋼管内面の周方向の位置を特定することを可能にすることにある。
【解決手段】鋼管検査測定装置１０２に固定されるベース部材２１と、偏心位置を揺動中心２２ｃとしてベース部材２１に取り付けられ時計方向の側面位置の第１可動接点２２ａ及び反時計方向の側面位置の第２可動接点２２ｂを有する可動端子２２と、重心が揺動中心２２ｃより下方に位置し静止した可動端子２２の第１可動接点２２ａに対向し可動端子２２が時計方向に揺動した際に第１可動接点２２ａと接触する第１固定接点２３ａを有する第１固定端子２３と、重心が揺動中心２２ｃより下方に位置し静止した可動端子２２の第２可動接点２２ｂに対向し可動端子２２が反時計方向に揺動した際に第２可動接点２２ｂと接触する第２固定接点２４ａを有する第２固定端子２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検出部のエンコーダ信号である２相正弦波信号が、リサージュ波形の表示時において２重になるときも、位置を正確に検出、補正することができるデジタルスケールの検出信号補正方法及び検出信号装置を提供すること。
【解決手段】デジタルスケールの検出信号補正方法及び検出信号補正装置は、２相正弦波信号の周波数の整数分の１の周波数を有する信号により補正を行い、また、２相正弦波信号を組とし、２つの補正区間ごとに各相正弦波信号のオフセット、大きさの比、位相差を補正することにより、高精度の位置検出を可能とするものである。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの２軸回転量を高精度に算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るエンジンマウントの変位量計測方法は、球体変位計側工程の前に、照射方向と直交する平面上における初期座標が既知である球体１３を、照射方向と直交する方向へ、初期座標の位置から既知の移動量ｄｘ（ｄｙ）だけ移動させ、第１レーザー変位計３１ａ〜第３レーザー変位計３１ｃによる計測点におけるそれぞれの照射方向変位量δＳ１ｘ〜δＳ３ｘ（δＳ１ｙ〜δＳ３ｙ）を計測し、照射方向変位量δＳ１ｘ〜δＳ３ｘ（δＳ１ｙ〜δＳ３ｙ）の計測結果から、第１レーザー変位計３１ａ〜第３レーザー変位計３１ｃの位置を算出する、位置算出工程を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの外周端に形成された異形状部の位置を迅速に検出すること。
【解決手段】ある実施の形態における検出方法は、外周端が円弧部と異形状部とで構成されるウェーハを載置した回転ステージ９１１を所定角度毎に断続的に回転させながら、その停止時における撮像カメラ９３の撮像範囲を撮像して撮像範囲内における外周端の位置を撮像データとして取得するとともに、回転ステージ９１１の回転時において撮像カメラ９３の撮像範囲を通過する外周端の位置変化を実測データとして取得する。その後、撮像データの中からウェーハの円弧部上の位置を選択し、円弧部を含む円の円周全周の位置が撮像範囲に位置付けられたときの撮像範囲内における位置変化を回転ステージ９１１の回転角度毎に表した基準データを作成する。そして、実測データを基準データと比較して異形状部の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】同じ基板について２種類以上の基準マークの位置を各々検出し、同じ種類の基準マークの検出結果から求めた補正量を、異なる種類の基準マークに適用して補正量を評価することで、同じ傾向を有する誤差を容易に検出して適正な補正を行うことができる、描画装置、プログラム及び描画方法を提供する。
【解決手段】第１基準マークに基づいて得られた第１補正量で第１基準マークの設定位置を補正して、補正後位置の検出位置からの誤差（第１ずれ量）を演算し、第２基準マークに基づいて得られた第２補正量で第２基準マークの設定位置を補正して、補正後位置の検出位置からの誤差（第２ずれ量）を演算する。第１補正量で第２基準マークの設定位置を補正して、補正後位置の検出位置からの誤差（第３ずれ量）を演算し、第２補正量で第１基準マークの設定位置を補正して、補正後位置の検出位置からの誤差（第４ずれ量）を演算する。 （もっと読む）

【課題】互いのウェハを位置合わせして重ね合わせるときに、ステージの回転量が所定量を超えてしまうと、ステージの正確な位置を把握することが困難となる。ステージの回転量が所定量を超えないように制御するには、そもそも最初にステージに置かれるウェハの位置を厳密に管理する必要がある。
【解決手段】位置検出装置は、第１基板に設けられた少なくとも２個の第１基板指標を一度の撮像動作により撮像する第１撮像ユニットと、第１撮像ユニットにより撮像された画像に基づいて第１基板指標の位置を計測することにより、第１基板の姿勢を測定する測定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】人間型脚式移動ロボットや自動車が自律的に移動する際の自己の位置検出を簡単に行うことができる位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】移動体の自己位置を検出する位置検出装置であって、前記位置検出装置は、前記移動体の前方視野の画像を取得する画像取得手段と、前記画像取得手段と同一の視野を有し、前記画像取得手段が画像を取得するのと同時に距離画像を取得する距離画像取得手段と、得られた画像からそれぞれ特徴点を抽出する特徴点抽出手段と、予め記憶された物体情報と抽出された特徴点とを比較して、相関が高い特徴点を既知と特徴点と見なして自己位置を算出するための基準特徴点とする基準特徴点選択手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の検査方法を提供すること。
【解決手段】基板に装着された素子の検査方法において、素子に対応する形状テンプレートを生成する段階と、照明部の格子パターン光を基板に照射してピクセル別高さ情報を獲得する段階と、ピクセル別高さ情報に対応してコントラストマップを生成する段階と、コントラストマップと形状テンプレートとを比較する段階と、を含む。本発明によると、測定対象物を正確に抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の３次元形状測定装置は複雑で大がかりなものや相当数のカメラを必要とするものが多かった。また、１台のカメラのみを用いた３次元形状測定装置で、精度良く測定対象物の形状を検出するものが見られなかった。
【解決手段】以上の課題を解決するため、回転テーブルの上に載置された測定物体が撮影された動画像を取得し、取得した動画象から得られる測定物体の特徴点の投影回転軌跡や投影回転中心の２次元投影座標等のデータに基づいて特徴点の回転半径、回転中心高度、特徴点間の角度を検出し、３次元位置データを出力可能な３次元形状測定装置、３次元形状測定方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】球体を形状測定する作業性を向上させる形状測定方法及び形状測定装置を実現する。
【解決手段】形状測定装置１００は、球体２００を第１の回転部３１によって光軸Ｌ回りに所定の角度で回転させる度に、球体２００の一断面形状を撮像して得た複数の写像情報に基づいて、形状測定装置１００の系統誤差成分である対物レンズ４０の収差に関する第１情報を取得することができる。そして、第２の回転部３２によって、球体２００をステム２０１の軸回りに所定の角度で回転させる度に、球体２００を撮像して得た球体２００の断面形状に関する複数の第２情報に対して、その第１情報に応じた補正を施すことができるので、アパーチャを測定基準として用いなくても、より正確に球体２００の形状測定を行うことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】感度の高い表面検査が可能な表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定のパターンが形成されたウェハ２０の表面に直線偏光Ｌ１を照射する照明部１０と、ウェハ２０から出射される楕円偏光を受光し、直線偏光Ｌ１と振動方向が異なる第２の直線偏光成分のみを通過させる検光子３と、ウェハ２０の像の信号強度を検出し、信号強度に基づいて被検基板の表面におけるパターンが形成されている位置を検出する位置検出部８ｂと、パターンが形成されている位置の信号強度が最小となるように、楕円偏光及び検光子３のいずれか一方を他方に対して相対回転させ、上記位置の信号強度が最小となる楕円偏光に対する検光子３の相対位置を決定し、上記相対位置に相対回転させる回転駆動装置３０と、検光子３を通過した第２の直線偏光成分を検出し、パターンを検査する表面検査部とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熟練していない者であっても、短時間で確実に、転造ダイス間のピッチを合わせること。
【解決手段】ねじ転造装置は、転造ブランク１を保持する保持部と、転造ブランク１に当接されてねじ山を転造する複数の転造ダイスと、各転造ダイスを保持して固定する装着軸と、各装着軸に連結されて該装着軸を回転させる回転駆動部５０とを有するねじ転造盤を備えている。ねじ転造装置は、転造ダイスによって転造ブランク１に転造されたねじ山を撮影する撮影部７１と、撮影部７１によって撮影されたねじ山を拡大して表示する表示部７２と、一の転造ダイスによって転造されたねじ山と、他の転造ダイスによって転造されたねじ山との間のずれを測定する測定部７６も備えている。 （もっと読む）

【課題】ピック・アンド・プレイス機械のノズルに保持されたときに部品のオフセットおよび方向を検知するセンサを提供する。
【解決手段】センサは、複数の２次元カメラ３００と、バックライト照明装置３０６と、コントローラ３０８とを含む。各カメラはピック・アンド・プレイス機械のノズルを含む視野を有する。バックライト照明装置は照明を複数の２次元カメラに向けるように構成されている。バックライト照明装置は複数の２次元カメラからノズルの反対側に位置決めされている。コントローラは複数の２次元カメラおよびバックライト照明装置に接続されている。コントローラは、複数の２次元カメラによって検出された、バックライトで照らされた複数の影の画像に基づいて（複数の）部品３０２のオフセットおよび方向情報を決定するように構成されている。コントローラはオフセットおよび方向情報をピック・アンド・プレイス機械のコントローラに供給する。 （もっと読む）

【課題】ビジョン検査システム及びこれを用いた座標変換方法を提供する。
【解決手段】本発明は、被検査体を支持するテーブルと、テーブルをＹ方向に直線往復移動させるステージと、被検査体またはテーブルのイメージを取得するためにＸ方向に沿って離隔して配置される複数のカメラを含むビジョン検査システムにおいて、Ｘ方向に沿ってテーブルの一端部に離隔して配置される複数の第１マークと、最も左側及び右側の第１マークから各々テーブルの一側部にＹ方向に沿って離隔して配置される複数の第２マークとを含み、第１マークのイメージを取得してイメージの座標値をステージの座標値に変換し、第２マークのイメージを取得してイメージの座標値とステージの座標値を被検査体を基準とした絶対座標値に変換し、被検査体を基準とした絶対座標値はステージの精度が補正された座標値であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面に凹面が生じているような被測定物にも対応でき、外部の基準原器を用いることなく被測定物の外形情報を得る。
【解決手段】被測定物２を回転台１の上にのせロータリーエンコーダ４により回転台１の回転角を計測しつつ外部に設置した非接触距離センサ５により被測定物２の表面までの距離を計測して１回目の計測結果を得、被測定物２を任意に移動させた後に同じ計測を行って２回目の計測結果を得、パーソナルコンピュータ７で１回目と２回目の計測結果から得られる被測定物２のそれぞれの外形形状が一致するように１回目と２回目の計測結果を演算処理して被測定物２の外形情報を求める。 （もっと読む）

【課題】スケールの位置が基準位置からずれている場合であっても、被測定体（例えば、ステージ）の位置を高精度に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】いずれか一方が被測定体に設けられるスケール及びセンサを備え、前記スケールを前記センサで読み取ることで前記被測定体の位置を測定する測定装置であって、基準位置からの前記スケールのずれ量を検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記基準位置からの前記スケールのずれ量に基づいて、前記スケールを前記センサで読み取ることで測定された前記被測定体の位置を補正する演算部と、を有することを特徴とする測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】３次元計測処理用のパラメータの算出が完了したときに、算出されたパラメータの精度を簡単に確認できるようにする。
【解決手段】撮像により生成された画像から位置関係が既知の複数の特徴点を抽出することが可能な形態のキャリブレーションワークを用いたキャリブレーション処理により３次元計測のためのパラメータを算出した後に、パラメータの算出に用いられたステレオ画像に含まれる複数の特徴点を対象に、算出したパラメータを用いた３次元座標の算出処理を実行する。そして、算出された各３次元座標を透視変換して、変換後の座標を所定のパターンで表した投影画像を生成し、これをモニタ装置に表示する。 （もっと読む）

【課題】容器蓋のブリッジの破断時における容器蓋の回転角を検出する容器蓋のブリッジ切れ角度測定装置を提供すること。
【解決手段】容器蓋２を打栓した容器本体２３を所定位置に設置する容器クランパ３２と、容器蓋２を回転可能に把持する蓋チャック３７と、容器蓋２の周方向破断ライン７に光を照射して反射した反射光を受光する光センサー３３と、光センサー３３を周方向破断ライン７の外周部に沿って回転させるセンサー支持装置と、光センサー３３が検出した反射光の変位によってブリッジの破断の有無を判断する破断検出部４７と、破断検出部４７がブリッジの少なくとも１つの破断を検出した時の容器蓋２の回転角を検出する破断角検出部５１とを備えている。これらの構成物によって、容器蓋２を開栓したときのブリッジの破断角を測定できる。 （もっと読む）