【課題】計測装置が揺動する状況下であっても、計測対象の３次元形状を好適に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１２により撮像された画像データを含む撮像情報を取得する撮像部１１と、撮像情報に基づいて計測対象の３次元座標を取得する３次元形状演算処理部２３と、撮像装置１２の加速度および姿勢角度を含む位置姿勢情報を撮像情報の取得と同期して取得する位置姿勢計測部１４と、位置姿勢情報に基づいて計測原点に対する撮像装置１２の移動量・方向と姿勢角度の変化量・方向とを演算する位置姿勢補正処理部１７と、撮像情報と同期して取得された撮像装置１２の移動量および方向と姿勢角度の変化量および方向とに基づいて３次元形状演算処理部２３により得られる３次元座標を平行移動および回転して複数の３次元座標を統合し、計測対象の３次元形状を取得する統合演算処理部２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 異なる２つの物体の回転ずれを計測する際に、従来と比較して計測時間の短い検出装置、検出方法、インプリント装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】 異なる２つの物体にそれぞれ形成された格子マークが重なることによって生じる干渉縞を用いて、前記２つの物体の相対的な回転ずれ量を求める検出装置において、前記干渉縞を検出する検出器と、該検出器で検出された前記干渉縞の傾きから前記異なる２つの物体の相対的な回転ずれ量を求める演算部と、を有することを特徴とする検出装置。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーなどの静止物体の校正に使用されるエンコーダに有用な技術を提供する。
【解決手段】光源と、マークが一定のピッチで配列され相対移動するスケールと、スケールのピッチによって決定される周期の整数分の一の大きさの周期で偏光方向が回転する直線偏光を生成する光学系と、生成された直線偏光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分割する分割部と、固定配置された第１偏光板を含み、スケールが相対移動する間における、第１偏光板を通過した第１直線偏光の偏光方向の回転の数を得る第１ユニットと、直線偏光の偏光方向に対して回転する第２偏光板を含み、スケールが静止したときにおける第２直線偏光の偏光方向を検出することによってスケールが静止したときにおける直線偏光の１回転内の位相を得る第２ユニットと、第１ユニットおよび第２ユニットにより得られた結果を統合してスケールの移動量を出力する出力部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターンが形成される物体を保持する移動体を安定して位置制御する。
【解決手段】露光装置は、ウエハを保持して所定平面内で移動するウエハステージと、所定平面内でウエハステージとは独立に移動する計測ステージと、計測ステージの位置情報を計測する干渉計システム１１８と、ウエハステージの位置情報を計測する、干渉計システム１１８に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）と、を備えている。このため、露光装置によると、干渉計システム１１８により計測ステージの位置情報が計測され、エンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）によってウエハステージＷＳＴの位置情報が計測される。従って、パターンが形成されるウエハを保持するウエハステージを安定して位置制御することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 電磁ノイズ等の外乱要因の影響を低減。電磁ノイズ等の外乱要因が大きく影響する作業環境下でも、誤動作なく溶接トーチを揺動駆動する。
【解決手段】 偏芯カム６を間にして相対向し該偏芯カムの周面に摺接する第１および第２のばね板２ａ，３ａ；各ばね板に固定されて各ばね板の偏芯カム回転対応の屈伸による張力に対応した波長の光を反射する第１および第２のＦＢＧ光ファイバ４ａ，５ａ；第１のＦＢＧ光ファイバ４ａにレーザ光を送出し該ＦＢＧ光ファイバ４ａからの反射光を出力する第１の光カプラ８；および、第２のＦＢＧ光ファイバ５ａにレーザ光を送出し該ＦＢＧ光ファイバ５ａからの反射光を出力する第２の光カプラ９）；を備える。さらに、第１および第２の光カプラ８，９が出力する光相当の偏芯回転電気信号を発生する電気回路手段１１〜１３；を備える。 （もっと読む）

【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、マーカとマーカの観測物が正対する付近でも、マーカを観測物により正確に計測することができるマーカを提供することである。
【解決手段】上記の課題を解決するために、本発明に係るマーカは、模様と、模様の上に付けられたレンズであって、レンズを観測する方向に応じてレンズ上に観測される濃淡パターンが変化するレンズとを含むマーカユニットを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プローブの撓みの影響を受けずに高精度の形状測定を行う。
【解決手段】プローブ先端部３に一体に平面ダイクロイックミラー１０及び球面ミラー１６を設ける。オートコリメータ光学系５により平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量を測定し、並進移動量測定光学系１２により球面ミラー１６のＸ，Ｙ軸方向のずれ量を測定する。ずれ量算出部４２ｂは、測定した平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量及び球面ミラー１６のずれ量に基づいて、プローブ先端部３において被測定物４の表面に接触する接触点となる球１９の基準位置に対するＸ，Ｙ軸方向のずれ量を算出する。推定部４２ｃは、ずれ量算出部４２ｂにより算出されたずれ量から、プローブ先端部３の球１９のＸ，Ｙ軸方向の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダで位置を測定しつつ、移動体を所望の方向へ精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動装置により、ウエハテーブルＷＴＢのＹ軸方向の位置情報を計測するエンコーダ６４の計測値とその計測時に干渉計１６，４３Ａ及び４３Ｂによって計測されるウエハテーブルＷＴＢの非計測方向（例えば、Ｚ、θｚ及びθｘ方向）の位置情報に応じた既知の補正情報とに基づいて、ウエハテーブルがＹ軸方向に駆動される。すなわち、非計測方向へのヘッドとスケールの相対変位に起因するエンコーダの計測誤差を補正する補正情報により補正されたエンコーダの計測値に基づいて移動体がＹ軸方向に駆動される。従って、ヘッドとスケールの間の計測したい方向（計測方向）以外の相対運動に影響を受けることなく、エンコーダで位置を計測しつつ、ウエハテーブル（移動体）を所望の方向へ精度良く駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな構成で作業台の回転制御の精度の向上を図ることができる回転制御装置及び回転制御方法を提供する。
【解決手段】 回転体の回転に連動して回転するロータリーエンコーダの読取信号を処理して回転ムラ信号と回転ブレ量信号とを生成し、回転駆動部において回転ムラ信号に応じて回転体の回転速度サーボ制御をなすステップと、処理部において回転ブレ量信号に応じてワークに対する位置サーボ制御をなす。 （もっと読む）

【課題】 撮影面に垂直な面内での被写体の回転を検出できる回転検出システムを提供することである。
【解決手段】 イメージセンサ２５は、その撮影面４３に垂直な面内で回転するリフレクタ２を撮影する。リフレクタ２は、再帰反射シート５Ｒ及び５Ｌを含む。ＭＣＵ２３は、撮影された２つの再帰反射シート５Ｒ及び５Ｌの像の面積同士を比較して、その比較結果に基づいて、撮影面４３に垂直な面内でのリフレクタ２の回転方向及び回転量を算出する。コンピュータ３３は、ＭＣＵ２３が算出したリフレクタ２の回転方向及び回転量に基づいて、仮想三次元空間を描画するための仮想カメラ５５の姿勢を設定する。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載された内燃機関の変位量を容易にして精度良く計測可能な内燃機関の変位計測装置を提供する。
【解決手段】変位測定手段による第１被測定体と第２被測定体の測定結果に基づいて内燃機関の変位量を算出する変位量算出手段を備え、該変位量算出手段は、第１被測定体の第１測定面上に変位測定手段による測定点を含んで形成される第１直線部分ｌ1、ｌ'1の延長線と第２被測定体の第２測定面上に変位測定手段による測定点を含んで形成される第２直線部分ｍ1、ｍ'1の延長線との交点Ｐ（Ｘ、Ｚ）、Ｐ'（Ｘ'、Ｚ'）を求め、該交点の第１直線部分と第２直線部分とにより形成される基準平面上での変位を演算することで内燃機関の変位量を算出する。 （もっと読む）

【課題】従来技術と比較して、簡易に角度を測定する。
【解決手段】ビデオカメラ１２によって取得された複数個の画像データに基づいて算出された指定時刻から単位時間経過後の複数のマーカの各々の三次元位置、初期距離、及び初期角度に基づいて算出された各二次元移動量と、追尾結果により得られる指定時刻から単位時間経過後の前記複数のマーカの各々の前記画像上での各二次元移動量との差の二乗和、及び複数のマーカの各々の画像上での各二次元位置と、追尾結果により得られる指定時刻から単位時間経過後の複数のマーカの各々の画像上での各二次元位置との差の二乗和が最小となるように、初期移動量、初期座標、及び初期角度を調整した場合における調整後の初期角度を測定対象平面の角度として測定する。 （もっと読む）

【課題】部品のターミナルを短絡させるブリッジを検出することのできるブリッジ接続不良検出方法を提供する。
【解決手段】部品のターミナルの間を短絡させるブリッジ（bridge）を検出するためのブリッジ接続不良検出方法は部品が実装された基板に照射され反射された複数の光を通じて２Ｄイメージ及び高さ基準情報を獲得する段階と、２Ｄイメージ及び高さ基準情報のうち少なくとも一つ以上を用いて部品の回転情報を獲得する段階と、回転情報を用いて部品のブリッジ接続不良を検出するための検査領域を設定する段階と、２Ｄイメージを用いて検査領域内の第１ブリッジ領域を抽出する段階と、高さ基準情報を用いて検査領域内の第２ブリッジ領域を抽出する段階と、第１及び第２ブリッジ領域のうち少なくとも一つ以上を用いて部品のブリッジ接続不良可否を判断する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】車速パルスのパルス抜けが発生している期間中の車両の走行距離を高精度で算出できる車載情報装置を提供する。
【解決手段】車載情報装置１の制御部１０は、カメラ２３が撮影した車輪２１の撮影画像を取得する。制御部１０は、取得した撮影画像と記憶部１１のテンプレートデータベース１１１に記憶されている車輪２１のテンプレート画像とのパターンマッチングに基づいて車輪２１の回転数を取得する。制御部１０は、車速センサ２２が出力する車速パルスのパルス抜けが発生するときは、取得した車輪２１の回転数に所定の係数を乗ずることにより車両２の走行距離を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】注目点の選定や注目点を追尾することが困難な複雑な形状の計測対象物であっても、また時間の経過とともに移動する計測対象物であっても、正確なキャリブレーションを実行することができ、所望の物理量を正確に計測することができる画像計測装置、画像計測方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】フレーム画像をコマ送り再生表示し、コマ送り再生表示されたフレーム画像から、複数のフレーム画像の選択を受け付ける。選択を受け付けたフレーム画像を重ね合わせた合成画像を生成する。生成した合成画像を表示し、表示した合成画像上で所定の物理量を計測する。また、寸法が既知である球を計測対象物と同一の動画像に写り込むように配置し、計測対象物と球とを撮像して取得した動画像に基づいてキャリブレーションを実行する。 （もっと読む）

【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転駆動される被測定物１の回転軸１ａにロータリエンコーダ２の回転軸３を取り付けるとともに、被測定物１の回転軸１ａとロータリエンコーダ２の回転軸３との偏心を許容するように、ロータリエンコーダ２の回転軸３に直交する面内におけるエンコーダ本体２ａの変位を一定の遊び範囲内に規制し、ロータリエンコーダ２のエンコーダ読取ヘッドの読み取ったコードに基づいてロータリエンコーダ２の回転軸３の回転角度を測定するとともに、非接触角度検出手段２０によりロータリエンコーダ２の回転軸３の回転角度測定開始時点からのエンコーダ本体２ａの変化した角度を検出し、ロータリエンコーダ２を用いて測定された回転角度を非接触角度検出手段２０で検出されたエンコーダ本体２ａの変化した角度に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転駆動される被測定物１の回転軸１ａにロータリエンコーダ２の回転軸３を取り付けるとともに、被測定物１の回転軸１ａとロータリエンコーダ２の回転軸３との偏心を許容するように、ロータリエンコーダ２の回転軸３に直交する面内におけるエンコーダ本体２ａの変位を一定の遊び範囲内に規制し、被測定物１の回転軸１ａに対するロータリエンコーダ２の回転軸３の偏心量を非接触で検出し、ロータリエンコーダ２の読取部の読み取ったコードに基づいてロータリエンコーダ２の回転軸３の回転角度を測定し、ロータリエンコーダ２を用いて測定された回転角度を、少なくとも前記検出された偏心量に基づいて、補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は画像処理装置における撮影画面中の計測範囲設定の調整を容易にすることを目的とする。
【解決手段】視野内に搬送された対象物を撮像して２次元画像を得る撮像手段と、２次元画像を画面に表示する表示手段と、得られた２次元画像から対象物の輪郭を表す輪郭線を抽出する形状抽出手段と、輪郭線上の複数の点の位置を抽出する点位置抽出手段と、複数の点から２次元画像上の対象物の搬送方向における輪郭線の位置を代表する代表点の位置を決定する代表位置決定手段と、少なくとも代表点の位置と２次元画像上の対象物の搬送方向において予め設定された計測幅とに基づいて輪郭線を含む計測領域を得られた２次元画像上に設定する計測領域設定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】関節位置を手動で指定することなく、姿勢推定の精度を向上させること。
【解決手段】学習時に、全身の関節に関する情報から一つの潜在変数モデルＭを構築することに加えて、全身から一部分の関節を選択点として、選択点に関する情報から潜在変数モデルＭ１を学習し、この潜在変数モデルＭと潜在変数モデルＭ１とを対応付ける動作モデルを学習により得る。これにより、３次元動作情報処理装置１００は、推定時に、この動作モデルを参照して、２次元の画像において画像認識しやすく、追跡しやすい一部の関節の動きに基づき、潜在変数モデルＭの潜在空間における全部の関節の位置を得ることができる。 （もっと読む）