【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａ_１，１６Ｙａ_２から、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ１_１，Ｌｙ１_２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２_１，Ｌｙ２_２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂ_１，１６Ｙｂ_２を用いて受光して、テーブルＷＴＢのＸ，Ｙ，θｚ位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルＷＴＢの位置計測が可能になる。さらに、エンコーダシステムを用いて得られるテーブルＷＴＢの位置情報に基づいて、テーブルＷＴＢを駆動する。従って、高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルＷＴＢの位置計測が可能になる。さらに、エンコーダシステムを用いて得られるテーブルＷＴＢの位置情報と、位置情報に含まれるテーブルの傾斜に起因する計測誤差の補正情報と、に基づいて、テーブルＷＴＢを駆動する。従って、補正情報を用いて位置情報を補正し、補正された位置情報に基づいて高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】どのようなボールであっても、正確に回転を検出することができるようにする。
【解決手段】特徴点抽出部９１は、第１画像および第２画像において、エッジを検出し、検出された複数のエッジを、それぞれ第１画像または第２画像の特徴点群として記憶する。簡易回転部９２は、第１画像の特徴点群の３次元空間内での座標位置を特定し、その特徴点群の座標位置を所定のオイラー角だけ回転させ、最隣接特徴点間距離が最小となるオイラー角を特定する。特徴点対応制御部９３は、最小の最隣接特徴点間距離のオイラー角の分だけ第１画像を回転させ、第１画像と、第２画像との間で演算された相関値に基づいて、第１画像と第２画像において、それぞれ２つの特徴点の対応付けを行う。回転数検出制御部９４は、対応付けられた特徴点に基づいて、単位時間当たりのゴルフボールの回転量と回転方向を特定し、回転数などに関する情報を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルの位置計測が可能になる。干渉計システムを用いてエンコーダシステムの計測誤差を補正する補正データを作成し、その補正データを用いてエンコーダシステムの計測結果を補正し、補正された計測結果に基づいてテーブルＷＴＢを駆動することができるので、高精度なテーブルの駆動制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
露光領域ＩＡの中心ＩＡａを含む第１領域では、エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａ_１から、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２_１を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２_１を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂ_１を用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。アライメント系ＡＬＧの検出中心ＡＬａを含む第２領域では、光源１６Ｙａ_２から計測光Ｌｙ２_２をグレーティングに入射させ、回折光Ｌｙ２_２を光検出器１６Ｙｂ_２を用いて受光して位置情報を計測する。さらに、テーブルＷＴＢの位置情報に応じて、使用する計測装置を切り換える。それにより、全領域において、高精度なテーブルの位置計測が、ひいては高精度な駆動制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】画像内の回転したマークの位置を迅速かつ正確に検出する。
【解決手段】ステップＳ１において、投影パターンを用いたマッチングにより、テンプレートと類似度の高い入力画像の領域を検出し、検出した領域の中心を候補点として抽出する。ステップＳ２において、各候補点について、候補点を中心とする所定の形状の領域であって回転角の異なる複数の領域の画像をマッチング対象画像として抽出する。ステップＳ３において、抽出されたマッチング対象画像とテンプレートのマッチングを行い、類似度を表すマッチングスコアを求める。ステップＳ４において、マッチングの結果に基づいて、入力画像のマークの位置および回転角を検出する。本発明は、例えば、画像の位置検出装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】センサの検出精度が変化した場合であっても適切に原点位置を検出することができるモータの原点位置検出装置の提供。
【解決手段】原点位置検出装置６は、モータ６２の回転軸６２１に接続され、回転軸６２１の回転に伴って回転する回転部材６１と、発光素子６３１、及び受光素子６３２にて回転部材６１を挟み込むように配設されるフォトインタラプタ６３と、制御手段５とを備える。回転部材６１は、受光素子６３２の受光レベルを回転に応じて変化させるものであり、受光素子６３２における受光レベルの極値を形成させる突出部が設けられている。制御手段５は、受光レベルの極値を検出する極値検出部５１と、極値検出部５１にて検出された受光レベルの極値に基づいて、モータ６２の原点位置を検出する原点位置検出部５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】締結具の緩み検出システム及び検出方法に関し、締結具がナットの場合であっても緩みによる回転を検出しやすく且つ描画しやすい検出用マークによって、高速で精度よく締結具の緩みを検出することできるようにする。
【解決手段】締結具３の締結後に締結具３の表面に所定方向に向けて配備された検出用マーク５１，５２と、検出用マークを含んだ締結具３の外観を、予め設定され締結具３の軸心線に対して傾斜した撮影方向から撮影する撮影装置と、この撮影装置により撮影された画像中の検出用マーク５１，５２の数に基づいて、締結具３の緩みを判定するように構成する。 （もっと読む）

【課題】印刷物の印刷模様を印刷の版ごとの印刷成分に分離することで、それぞれの印刷成分に適した処理を行なえ、より正確に汚損度を判定することが可能な印刷物の汚損度判定装置を提供すること。
【解決手段】印刷物の汚損度判定装置は、複数の印刷版により印刷された一つの印刷物からの入力画像と予め登録された登録画像との位置を合わせる位置合わせ手段と、前記入力画像を前記複数の印刷版に対応した複数の印刷成分に分離し、各印刷成分から汚損特徴を抽出する版分離処理手段と、各印刷成分から抽出された汚損特徴に基づき前記印刷物の汚損度を判定する汚損度判定手段と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】バーミラーに対するビームの入射位置が２次元的に変化しうる構成において、該バーミラーの変形に起因する計測誤差を低減する。
【解決手段】露光装置は、ステージ３２に投影光学系１０の光軸方向に直交する第１方向に沿うように設けられたバーミラーＢＭ２を使って、前記光軸方向と前記第１方向とに直交する第２方向におけるステージ３２の位置を計測するレーザー干渉計２０と、前記第１方向および前記光軸方向におけるステージ３２の位置を計測する計測器と、バーミラー３２の反射面の面形状データ１５２とに基づいてレーザー干渉計２０による計測値におけるバーミラーＢＭ２の変形に起因する誤差を補正する補正器１５０とを備える。面形状データ１５２は、前記反射面の前記第１方向および前記光軸方向における位置が与えられたときに前記反射面の前記第２方向における位置を与えるデータである。 （もっと読む）

【課題】微小角度センサのダイナミックレンジの増大と、センサ出力の安定性の向上のために、ディジタル読みの角度センサを提供する。
【解決手段】目的の光線をセンサ内で２分して、同じ光路長を経た後、所定の交差角で干渉面に入射させて両スポットを重ねることで生成されるスポット内の干渉縞を目盛として用いる。目的の光線のセンサへの入射角が変わるとその微小角変位に比例して干渉面上のスポットが干渉縞を維持したまま移動し、スポット内の干渉縞がエンコーダにおける目盛移動と同様の効果を現出する。 （もっと読む）

【課題】物体に応答して符号化された検知結果を取得する。
【解決手段】装置は、ＩＣ上の光検知セルの第１および第２の組を含む光検知セルの配列であって、第１の組は物体が検出領域内にあるとき１組の識別可能な物体の各々からの放射光を光検知し、第２の組は符号化／検知領域内の物体からの放射光を光検知する、配列と、識別可能な物体のサブセットの、検出領域内への、検出領域から符号化／検知領域内への、および符号化／検知領域内の相対運動をもたらす相対運動要素と、第１および第２の光検知セルの組からの光検知された量を読み出し、検出領域内の物体のサブセットのうち１つから放射する光を示す第１の組からの光検知された量に応じて、第２の組からの光検知された量からデータを得る回路要素であって、データが、符号化／検知領域内の物体の相対運動から生じる情報を有する少なくとも１つの時変波形を示す、回路要素と、を備える。 （もっと読む）

【課題】軟水装置のカム駆動式コントロールバルブのカム位置を短時間で検出することのできる位置検出装置を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る位置検出装置１は、カム６０の回転軸６１の端部に設けられた回転体１０と、フォトインタラプタ２０と、ホール素子３０と、制御回路５０と、を備えている。回転体１０の外側端面には、フォトインタラプタ２０によって検出される複数の切り欠き１２が円周方向に所定の間隔で形成された切り欠き板１１が設けられている。また、回転体１０の外側端面には、回転軸６１の回転に伴って回転移動し、ホール素子３０によって検出される永久磁石１５が設けられている。制御回路５０は、フォトインタラプタ２０とホール素子３０の出力から、カム６０の回転位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】
基板ステージの移動誤差を短時間で計測する露光装置を提供する。
【解決手段】
基板を保持して移動されるステージと、前記ステージに保持された基板上のマークを撮像するスコープと、を有し、前記ステージに保持された基板を露光する露光装置であって、移動される前記基板ステージ上の計測用基板に配列された複数の第１マークを前記スコープに順次撮像させることにより、前記スコープを基準として前記複数の第１マークそれぞれの位置および回転量を算出し、算出された前記複数の第１のマークそれぞれの位置および回転量と、予め計測された前記複数の第１マークそれぞれの位置および回転量とに基づいて、前記基板ステージの移動誤差を算出する処理部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロボットに備えられたアームの絶対角度をより容易かつ高精度に検出することの
できる回転角度検出装置、及び該回転角度検出装置を備えるロボットのアーム回動機構、
及び該アーム回動機構を採用したロボットを提供する。
【解決手段】基台１１の上面１１Ａには基台１１内のモータにより回動される回転軸ＡＸ
１に固定される回転体としての連結軸１２が設けられている。基台１１の上面１１Ａには
反射型光センサ２１を配設し、連結軸１２の下面１２Ａには中心が軸心Ｃ１に一致する有
底円筒形状の反射体２０を固定する。反射体２０の円筒側壁２０Ｂの下面には、その底部
２０Ａに対して傾斜を有する反射面２０ｓが形成されている。反射型光センサ２１から発
せられる光Ｌ１の反射面２０ｓによる反射光Ｌ２の光量が、反射面２０ｓと反射型光セン
サ２１との対向距離Ｄにより変化することを利用して、基台１１に対する連結軸１２の回
転角度を絶対角度として得る。 （もっと読む）

【課題】フィルムが貼付されたウエハに搬送位置の誤差や反りを生じている場合にも、ウエハの外周端の位置を撮像範囲の比較的小さいリニアスキャンカメラで正確に検出する。
【解決手段】アライナ装置１０に、リニアスキャンカメラ２、変位センサ６、面振追従機構３、偏心追従機構４を設けた。ウエハＷが１回転する間に、変位センサ６の検出結果に基づいてウエハＷの外周端がリニアスキャンカメラ２の被写界深度内に位置するように面振追従機構３を動作させ、リニアスキャンカメラ２の撮像データに基づいてウエハＷの外周端がリニアスキャンカメラ２の撮像範囲内に位置するように偏心追従機構４を動作させる。ウエハＷが回転している間におけるウエハＷの外周端の垂直方向及び水平方向の位置に追従して、リニアスキャンカメラ２を、ウエハＷに対して相対的に、垂直方向及び水平方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】光学式の回転センサを用いた伸縮測定装置を提供する。
【解決手段】回転軸と一定の距離にある第１円周を表面の一部とし、回転軸の周りに回転する第１回転体と、第１円周に沿って、かつ、第１回転体の表面にＮ極またはＳ極を向けて配置された複数の第１磁石と、第１円周と対向するように第１回転体の外部に配置され、磁界の状態を検出する第１近接センサ、第２近接センサを備える回転センサと、対象物に取り付けるワイヤーと、ワイヤーが巻きつけられるワイヤー巻取り部と、ワイヤーの張力を一定に保つように、ワイヤー巻取り部を回転させ、ワイヤーの繰り出しまたは巻取りを行う張力保持部と、基準物とワイヤー巻取り部とを固定する固定部と、を備え、張力保持部のワイヤーの繰り出しまたは巻取りの量に応じて、第１回転体と第２回転体が回転する伸縮測定装置。 （もっと読む）

【課題】ステアリングシャフトへのホイール部材の組み付け作業が容易に行える回転角検出装置を提供する。
【解決手段】コードパターン列３ｅを有するホイール部材３を、先端部にカット面を持つステアリングシャフトの先端部に取付けて回転させ、ステアリングシャフトの回転情報を検出可能な回転角検出装置であって、リング部４ａに形成された開口４ｃにおいてカット面と対向する内周縁から延出する舌片４ｂを有する板金製の取付部材４を介してホイール部材３をステアリングシャフトに取付ける。舌片４ｂは開口を介して対向する折曲片であり、透孔が穿設された基端部と自由端側の先端部との間に曲部４ｈが形成されている。リング部４ａをホイール部材３の筒状部３ｂ上にかしめ固定して、軸孔３ａに挿入せしめたステアリングシャフトの外周面に存する一対の平坦面にそれぞれ舌片４ｂを線接触状態で圧接させる。 （もっと読む）

【課題】対象物までの距離の正確な制御を必要とせずに対象物の動きを測定する小型で低価格のセンサを提供する。
【解決手段】反復式光学構造が、照明されて移動する対象物により出射される反復光学信号の形成に用いられる。反復式光学構造は光源によって照明され、フリンジパターン（レーザドプラー風力測定法に似た）を形成し、そして／又は対象物が光源により照明され、反復式光学構造は、照明された対象物からの光を光センサの上へ導く。スペックルパターンは照明によって対象物の上に形成される。スペックルパターンは対象物の移動に伴って移動し、スペックルパターンの移動は、反復式光学構造上に対象物を結像させる必要なしに測定される。スペックルパターンは光学部材上に結合されないので、対象物と光学部材間の、距離と可能な距離変化はシステムの性能に実質的に影響しない。 （もっと読む）

【課題】ステージ側面に設けられた反射面（Ｚ干渉計の反射面）が液浸領域の液体で濡れることを防止する。
【解決手段】液浸領域１４を含む領域に、一方のウエハステージＷＳＴ１が位置する状態から他方のウエハステージＷＳＴ２が位置する状態に移行させる際に、両ステージＷＳＴ１，ＷＳＴ２を、それぞれに設けられた庇部２３ａ，２３ｂを係合させてＸ軸方向に近接又は接触した状態にし、その状態を維持してＸ軸方向に同時に駆動する。このようにして、液浸領域１４を、庇部を介して２つのステージ上で往来させる。これにより、両ウエハステージ間の隙間を介した液体の漏れを抑制することができ、また、両ウエハステージの側面に設けられた反射面２７ｅ，２７ｆに対する液体の漏れを抑制することができる。また、両ウエハステージに設けられた反射面同士の干渉を回避できる。 （もっと読む）