【課題】実物モデルとカメラとの位置関係を任意に変更して３次元計測を行い、各計測により復元された３次元情報を位置合わせして統合する方法でも、精度の良い３次元モデルを作成できるようにする。
【解決手段】３次元認識の対象とするワークの実物モデルＷＭの所定箇所に、向きを一意に特定できる形状の多角形のマークＭを取り付ける。そして、このマークＭが各カメラ１１，１２，１３の視野に含まれる状態が維持されるように実物モデルＷＭの姿勢を変更して３次元計測を行う処理を、複数回実行する。さらに、毎回の計測により復元された３次元情報のうちの２以上の所定数を選択し、これらを位置合わせして統合した後、統合された３次元情報からマークＭに対応する情報を削除または無効化し、その処理後の３次元情報を３次元モデルに設定する。 （もっと読む）

【課題】容量をできるだけ少なくして精度の良い３次元モデルを作成する。
【解決手段】３次元認識の対象とするワークの実物モデルＷＭに対し、ステレオカメラによる３次元計測を複数の方向から実行する。つぎに、各計測により復元された３次元情報のうちの所定数（［１２］［３］［６］［９］の各計測ポイントの３次元情報）を位置合わせして統合することにより、仮の３次元モデルを作成する。さらに、統合されなかった３次元情報を対象に、仮の３次元モデルによる認識処理を実行し、その認識結果が正しくないと判定された３次元情報（計測ポイント［１０］の情報）を仮の３次元モデルに位置合わせしてから統合する。最終的に、正しく認識されなかった３次元情報のすべてが追加された３次元モデルを本登録する。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を有するワークを、貫通孔が所定軸方向に平行となるように、短時間で載置可能に構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、貫通孔１２ａを有するワーク１２を載置可能に構成され且つＸ軸及びＹ軸に回転可能に構成された回転テーブル１３ａ、貫通孔１２ａの一方側からＺ軸に平行に光を照射する光源１３ｂ、貫通孔１２ａの他方側に配置され且つ貫通孔１２ａを通過した光源１３ｂからの光を受光してその受光した光に基づく輝度を測定するＣＣＤカメラ１８ａ、回転テーブル１３ａによるワーク１２の回転角度をＣＣＤカメラ１８ａにて測定された輝度に基づき制御する制御部３５を備える。制御部３５は、回転テーブル１３ａによりワーク１２を所定角度ずつ回転させる毎に、ＣＣＤカメラ１８ａにより輝度を測定させ、その輝度が最大となる角度に回転テーブル１３ａの回転角度を設定する。 （もっと読む）

【課題】 穴の全体形状だけでなく、穴の壁面に形成された微細な凹凸形状をも精度良く測定する。
【解決手段】 管状プローブ８０からレーザ光を測定対象穴の壁面に照射し、レーザ光の焦点位置と壁面における反射位置とのずれ量（焦点ずれ量）に応じたフォーカスエラー信号を生成するフォーカスエラー信号生成回路１１１，１１２を備える。コントローラ１００は、管状プローブ８０を回転させながらＺ方向（管状プローブの中心軸方向）に移動させて、レーザ光を測定対象穴の壁面に螺旋状に照射する。そして、管状プローブ８０のＺ方向位置と、管状プローブ８０の回転角度と、フォーカスエラー信号から得た焦点ずれ量とに基づいて測定対象穴の３次元形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】基板アライメント装置が緊急停止した場合に、マーク保持部が基板及び基板保持部と衝突することを防止する。
【解決手段】上ステージ部と下ステージ部とにより互いに面方向に相対移動されて位置合せされる一対のウエハに設けられたアライメントマークを撮像する上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０との視野内に、上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０とにより撮像される上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０との相対位置検出用の基準マーク１４６を出し入れする基準マーク移動装置１００であって、基準マーク１４６を保持するボード１４４と、ボード１４４におけるマーク形成部分をウエハ及びウエハホルダの移動通路に出入りさせると共に、駆動が停止された場合に、ボード１４４の全体を移動通路の外部へ退避させる昇降装置１０２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】車種ごとのチューニングを抑制して汎用性の高い車載カメラの校正装置を提供する。
【解決手段】床面上に配置された校正指標を撮影範囲内に含む車載カメラ１によって撮影された撮影画像を受け取る画像受け取り部３と、撮影画像を床面に対して直交する方向から見た変換画像に視点変換する視点変換部１１と、変換画像上において校正指標が含まれる領域を、車載カメラ１が搭載される車両の種別に応じて設定された座標値に基づき、認識対象領域として設定する領域設定部１２と、認識対象領域において校正指標内の校正点を検出する校正点検出部１５と、校正点の空間上の配置位置を示す基準座標系における座標及び変換画像上において検出された校正点のカメラ座標系における座標に基づいて、車載カメラ１を校正する校正演算部１７とを備える。 （もっと読む）

計器座標系を有するビデオカメラの照準点までの軸の方向を制御することにより、可動なターゲットオブジェクト上のポイントオブインタレスト（ＰＯＩ）を追跡して、当該移動しているターゲットオブジェクトを含む局所座標系におけるＰＯＩの位置を計算するための方法が開示される。本方法は、照準点までの軸の回転角及び傾斜角と、照準点までの軸に実質的に沿った距離とを測定すること、並びに、計器座標系において決定された位置を局所座標系において決定された位置に変換するキャリブレーションマトリックスを計算することを含む。一つの計器と少なくとも一つのコンピュータとを含むシステムが開示され、このシステムでは、計器はビデオカメラと距離計とを含んでおり、ビデオカメラは、方向の調節が可能な照準点までの軸を含んでいる。一実施例では、ターゲットオブジェクトは航空機の表面上を移動して同表面を検査する。 （もっと読む）

【課題】 非接触で球面形状を高精度に測定できる球面形状測定装置および球面形状測定方法を提供する。
【解決手段】 被測定物支持手段１０と、被測定物回転手段２０と、非接触変位計３１および変位計回動手段３２を有する球面形状測定手段３０と、変位計位置調整手段および被測定物位置調整手段８０とを備え、この被測定物位置調整手段８０は、非接触変位計３１の回動中心に非測定物１の軸部１ｂの中心軸を位置調整する。 （もっと読む）

【課題】測定にかかる時間を低減させることができるとともに、鉛直方向に移動する被測定物のローリング角度の変位を測定することができる光学測定装置の提供。
【解決手段】光学測定装置１は、レーザ光源２１と、平行化レンズ２５と、第１の受光素子２３とを有する装置本体２と、反射ミラー３１を有し、被測定物に取り付けられる測定体３とを備える。測定体３は、反射ミラー３１の近傍位置に設けられ、装置本体２から射出される光を反射する一対の反射手段３２Ａ，３２Ｂを備える。装置本体２は、偏光ビームスプリッタ２４と、各反射手段３２Ａ，３２Ｂにて反射され、偏光ビームスプリッタ２４にて分離される光をそれぞれ受光する一対の第２の受光素子２６Ａ，２６Ｂと、各受光素子２３，２６Ａ，２６Ｂにて受光される光の位置変位に基づいて、被測定物の角度変位を算出する算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】最小二乗法を用いた精密位置決めの精度、特に回転角度の精度を向上させる。
【解決手段】登録画像から輪郭を抽出し、登録画像のパターンモデルを構築する工程と、サーチ対象画像を取得すると共に、該サーチ対象画像中に含まれる登録画像に対応する初期位置を取得し、該初期位置に従って、前記パターンモデルをサーチ対象画像上に重ねるように配置する工程と、前記パターンモデルを構成する各円弧セグメントに対応するサーチ対象画像上の個々の対応エッジ点を求める工程と、各円弧セグメントとその対応エッジ点との関係を評価値とし、該評価値の累積値が最小又は最大となるように、前記与えられた初期位置の精度よりも高い精度で精密位置決めを行う工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】被検体の測定光軸回りの回転角度と測定光軸に対する傾斜角度を、共に高精度に測定することが可能な小型で軽量の姿勢測定装置を得る。
【解決手段】反射素子４０は、光軸Ｌと垂直となるように配された第１反射平面４１と、互いに直交するように配された１対の第２反射平面４２，４３とを備え、第１反射平面４１からは第１の光が反射され、１対の第２反射平面４２，４３からは第２の光が反射されるように構成されている。第１反射平面４１から反射された第１の光により形成された標線像の位置変化量に基づき、カメラ２の光軸Ｌに対する傾斜角度が測定され、１対の第２反射平面４２，４３から反射された第２の光により形成された標線像の回転角度変化量に基づき、カメラ２の光軸Ｌ回りの回転角度が測定される。 （もっと読む）

【課題】 フーリエ変換の必要性を除去し、したがって時間のかかる乗算および加算を除去する、ビデオディジタル色画素フィルタリングおよびディジタル画像処理のための装置。
【解決手段】 それは、単純なソフトウェアを活用して各プロセッサがリアルタイム対話型ディジタル画像処理のレーテンシ問題を最小にする、ファーストイン／ファーストアウトメモリと連動して動作する新しい分散型コンピュータアーキテクチャを活用する。この分散処理アーキテクチャは、ＦＩＦＯが１台のプロセッサからもう１台に半分処理されたデータを伝える、工場組立てラインと同様の方法で動作するように設定される。独特のメモリベースのシステムが、６自由度で移動する移動オブジェクトの、距離および回転ベクトルを含む動きベクトルを測定するのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、撮像手段の位置及び姿勢の変化を高精度に推定することができるようにする。
【解決手段】画像撮像装置１２によって第１の画像及び第２の画像を撮像し、特徴点抽出部３０によって、第１の画像から、複数の特徴点を抽出し、対応点検索部３２によって、抽出された特徴点の各々に対応する点を、第２の画像から検索する。また、特徴点重み決定部３４によって、特徴点の各々について、第１の画像の特徴点を中心としたウィンドウ内に存在する特徴点の数が少ないほど大きい重み係数を決定する。そして、運動推定部３６によって、対応する第１の画像の特徴点と第２の画像の点との複数の組に基づいて推定される画像撮像装置１２の位置及び姿勢の変化であって、第１の画像と第２の画像との間で対応する特徴点と点との組の重み係数の総和が最大となる位置及び姿勢の変化を、画像撮像装置１２の位置及び姿勢の変化として推定する。 （もっと読む）

【課題】 ロータリヘッドを備えた部品移載装置を移動台に交換可能に固定した電子部品実装装置において、交換した部品移載装置のロータリヘッドの各スピンドルの回転中心位置の各補正値を容易且つ正確に求める。
【解決手段】ロータリヘッドの複数のスピンドルの中、実装ポイントに割出されたスピンドルの回転中心が、校正された部品認識用カメラの光軸の座標位置に位置するように移動台を移動する。各スピンドルを第１回転角度位置および第１回転角度位置と異なる第２回転角度位置にそれぞれ位置決めした状態で各スピンドルに装着された吸着ノズルの先端を部品認識用カメラで撮像する。実装ポイントに割出された第１および第２回転角度位置での各吸着ノズルの先端画像の中心位置に基づいて各スピンドルの回転中心位置の各補正値を効率的に正確に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】
レチクルとウェハ（ウェハステージ）との位置合わせ計測に用いる手順を状況に応じて変更させるようにした露光装置及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】
原板（レチクル）ステージに保持された原板を基板（ウェハ）ステージに保持された基板に位置合わせして原板のパターンを基板に投影し基板を露光する露光装置であって、原板に付されたマークと基板ステージに付されたマークとの位置関係を計測する計測部と、原板に付されたマークと基板ステージに付されたマークとを計測部の視野内に入れて計測部に計測を実行させる制御部とを具備し、制御部は、第１の手順（第１の手順は、第２の手順よりも計測部による原板に付されたマークの計測回数が少ない）及び第２の手順を少なくとも含む複数の手順のいずれかにしたがって計測部に計測を実行させ、当該実行した計測により得られた結果に応じて位置合わせを行なうように構成される。 （もっと読む）

【課題】機器構成を簡素化して製造コストの低減及び耐久性の向上を実現するとともに、あらゆる姿勢において、その姿勢を検知することを実現したロボットハンドの姿勢検知システムを提供する。
【解決手段】ロボットハンド１の指部２において、その外周面２ｃにはバンド８が巻き付けられている。バンド８の外周面には、互いに異なる色で着色された複数の領域ｂ１，ｂ２，ｂ３，・・・，ｂｎが形成されている。各領域ｂ１〜ｂｎに着色された色の色相は、それぞれ指部２の長手方向に沿って同一である。また、各領域ｂ１〜ｂｎの色相は、指部２の周方向に沿って連続的に変化している。ロボットハンド１から所定の距離を隔てた位置には、指部２を撮影するためのカメラ７が配置されている。カメラ７が撮影した指部２の画像は制御部６に出力され、制御部６は、画像上におけるバンド８のエッジ及び色相の変化に基づいて、ロボットハンド１の姿勢を検知する。 （もっと読む）

【課題】複数の反射部における反射効率の違いを利用することなく、光学的に２つの筐体間の相対的な回転位置を検出することができる携帯電子機器を提供すること。
【解決手段】光Ｒを発光する第１発光部５１と、第１発光部５１が搭載される第１筐体２と、光Ｒを受光する第１受光部６１と、第１受光部６１が搭載されるとともに第１筐体２に対して回転軸４１を中心に回転可能に連結される第２筐体３と、第１受光部６１における第１発光部５１から発光された光Ｒの受光の有無を検出することにより、第１筐体２に対する第２筐体３の回転位置を検出する検出部と、を備え、第１発光部５１は、第１筐体２において、回転軸４１を中心とする第１の円周Ｃ１上に配置され、第１受光部６１は、第２筐体３において、回転軸４１を中心とするとともに第１の円周Ｃ１に対向する第２の円周Ｃ２上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なる複数のディスプレイが部屋の中に自由に配置された場合には、各ディスプレイの相対位置の情報を設定するのが困難だった。
【解決手段】メインディスプレイ２１０からの指示により、設置設定装置２３０は予め１つ以上備える一意な測定用画像を、検出可能な各ディスプレイ２１０及び２２０に表示させ、各ディスプレイからディスプレイサイズの情報を取得する。ユーザはその様子をデジタルカメラを用いて撮影した画像を設置設定装置２３０に与える。設置設定装置２３０は画像から測定用図形を抽出し、各測定用画像の３次元位置を推定する。設置設定装置２３０は、各測定用画像の３次元位置からメインディスプレイ２１０を基準とする相対位置および相対角度と、各ディスプレイのディスプレイサイズからメインディスプレイ２１０を基準とする相対サイズとを算出し、各ディスプレイの相対位置の情報としてメインディスプレイ２１０に送付する。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ安定な移動テーブルの位置計測を実現する。
【解決手段】 液浸露光方式の露光装置において、投影光学系ＰＬとの間に供給される液体によってウエハＷ上面に液浸領域ＡＬｑが形成され、そのウエハＷを保持する移動テーブル上に、複数のエンコーダヘッド６０Ａ〜６０Ｄが配置されている。制御装置は、複数のエンコーダヘッドのうち、液浸領域外にあるエンコーダヘッド６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｄを用いて、ＸＹ平面内における移動テーブルの位置情報を計測する。これにより、高精度且つ安定な移動テーブルの位置情報の計測が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
走査型露光装置を用いる基板上のショット配列の精度を計測する計測方法において、より短時間でショットの配列精度を評価する計測方法を提供する。
【解決手段】
第１の露光においてウェハ上に転写されたショットＡ(i,j+１), Ａ(i,j)と、そのウェハを９０°回転させた第２の露光においてウェハ上に転写されたショットＢ(i,j), Ｂ(i+１,j)とを重畳させ、その重畳領域において、ショットＡ(i,j+１), Ｂ(i+１,j)に含まれる中実箱型マークとショットＢ(i,j)に含まれる中空箱型マークが重なり合い、ショットＡ(i,j)に含まれる中空箱型マークとショットＢ(i,j)に含まれる中実箱型マークが重なり合う。形成した重ね合わせマーク３７〜４２を、全ての重畳領域内のマークに関して計測し、これら重畳領域を形成する全てのショットの相対的な位置誤差および回転誤差を一括して演算する。 （もっと読む）