【課題】ウェハ１０の概要および欠陥を速やかに認識することが可能な観察装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る観察装置は、ウェハ１０を部分的に撮像可能な撮像部を備え、撮像部の撮像領域をウェハ１０の周方向に相対移動させながらウェハ１０（アペックス部１３）の部分を複数撮像して得られた、当該複数の撮像領域におけるウェハ１０の部分画像Ｃを用いてウェハ１０の表面観察を行う観察装置であって、撮像部により撮像されたウェハ１０の複数の部分画像Ｃをそれぞれ、撮像領域を変えずにデータ圧縮する処理をしてから相対移動方向へ並べるように互いに連結して、ウェハ１０のアペックス部１３を周方向へ連続的に視認できる連結画像Ｂにする画像連結部と、画像連結部により連結された連結画像Ｂを表示する画像表示部とを有している。 （もっと読む）

【課題】面位置計測システムの異常発生時にも、移動体を継続して駆動する。
【解決手段】位置計測システム、例えばＺヘッド７２ｂ，７２ｄ等を用いて、ウエハステージＷＳＴのＺ軸方向とＸＹ平面に対する傾斜方向（例えばθｙ方向）の位置情報を計測し、その計測結果に基づいてウエハステージを駆動制御する。同時に、干渉計システム、例えばＺ干渉計４３Ａ，４３Ｂを用いて、ウエハステージの位置情報を計測する。位置計測システムの異常が検知された際、又はウエハステージが位置計測システムの計測領域から外れた際には、干渉計システムの計測結果に基づく駆動制御に切り換える。これにより、位置計測システムの異常発生時においても、ウエハステージを継続的に駆動することができる。 （もっと読む）

【課題】移動体システムにおいて、１つのマーカを撮像するだけで移動体の自己位置と姿勢の認識を可能とし、狭い撮像範囲しか得られない環境での使用を可能とし、マーカの配置数を減らすことを可能とする。
【解決手段】移動体システム１０は、移動体１２と、その移動領域に配置されたマーカ１１で構成される。移動体１２は、搭載した撮像手段１３によりマーカ１１を撮像し、撮像情報と記憶部１４に記憶した位置情報１４１とに基づいて位置認識手段１５により自己の位置と姿勢を認識して移動する。位置認識手段１５は、マーカ１１が外観に備える方向を示す特徴情報と記憶部１４が有するマーカの方向情報１４２とに基づいて移動体１２の姿勢を認識する。これにより、移動体１２は、撮像範囲のマーカを一度に１つだけ撮像して移動体の自己位置と姿勢の認識をすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】物体上の複数のマークを効率的に、かつ高精度に検出する。
【解決手段】ウエハマークを検出するアライメント装置であって、互いに異なる位置に配置された複数の検出領域ＡＬ１ｆ〜ＡＬ２₄ｆの像を撮像素子上に形成し、その撮像素子上に形成されたその像に関する情報を検出する複数のアライメント系と、複数の検出領域ＡＬ１ｆ〜ＡＬ２₄ｆの位置関係を求める装置と、そのアライメント系の撮像信号のうち、その位置関係に基づいてそれぞれ定められる積算領域１５１Ｘ，１５１Ｙの撮像信号を積算し、該積算結果に基づいてそのマークの位置情報を求める検出信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】検出対象である回転体の回転角度の検出精度を向上させることができる。
【解決手段】舵角センサ１１は、ステアリングシャフト１２と一体回転する外歯車１４及びこれに噛み合う内歯車１５を備えた。外歯車１４及び内歯車１５の第１及び第２の検出面１４ａ，１５ａには、６つの第１及び第２検出部材２１，３１を環状に配設するとともに、これらの内側には環状の第１及び第２補助検出部材２２，３２を設けた。第１及び第２検出部材２１，３１の幅、並びに第１及び第２補助検出部材２２，３２の幅を検出してこれら幅情報を含む明暗情報を出力するラインセンサ４２を、第１及び第２の検出面１４ａ，１５ａに対向して配設した。ラインセンサ４２からの明暗情報に基づき外歯車１４及び内歯車１５の単位角度範囲内における回転角度を求め、これら回転角度の組み合わせに基づき外歯車１４の絶対回転角度を算出するマイクロコンピュータ４３を備えた。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの一側部に回路基板を精密に実装することができる実装装置を提供することにある。
【解決手段】上面に液晶表示パネルが載置されるθテーブル７を第１の回転位置から第２の回転位置及び第３の回転位置に順次所定角度ずつ回転させるθ駆動源８と、θ駆動源によってθテーブルが各回転位置に順次回転させられたときに、液晶表示パネルのマークを撮像する撮像カメラ３６と、撮像カメラの撮像信号から各回転位置でのマークのＸ、Ｙ座標を算出し、その算出に基いて第１の回転位置のマークと第２の回転位置のマークを結ぶ第１の線分の中点を通ってその第１の線分に対して直交する第１の直線と、第２の回転位置のマークと第３の回転位置のマークを結ぶ第２の線分の中点を通ってその第２の線分に対して直交する第２の直線の式を求め、これらの２つの式から第１の直線と第２の直線の交点を算出してθテーブルの回転中心とする制御装置３５を具備する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の変位に対する出力特性の変動を抑えることで、測定対象物の軸心の振れの測定精度を向上させることができる回転振れ測定装置およびスケール部を提供する。
【解決手段】スケール部１１をシャフトＦに取り付け、Ｘ軸ヘッド部２２に対してシャフトＦを回転させると、スケール部１１は、Ｘ軸ヘッド部２２の照射ユニット３０から照射されたレーザー光線Ｌ１を、シャフトＦが一回転する間連続してＸ軸ヘッド部２２のエンコーダ受光ユニット４０に反射する。このように、シャフトＦの軸心Ｔの振れを、スケール部１１の変位によるレーザー光線Ｌ２の強さの変化の回数によって測定しているので、長時間の測定においても、シャフトＦの電気的特性変化に影響されることなくシャフトＦの軸心Ｔの振れを測定することができる。よって、長時間の測定において軸心Ｔの振れの測定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ上の複数の区画領域に精度良くパターンを形成する。
【解決手段】
制御装置により、ステップ・アンド・スキャン方式の露光動作を行なうに当たり、ウエハステージＷＳＴの移動経路中のウエハＷ上の各ショット領域の露光開始点において、エンコーダシステム６５、６４、６６及び干渉計１６、１２６の計測値を取り込み、露光開始点毎に、エンコーダシステムの計測値に基づいて干渉計１６，１２６の計測値を補正しつつ、干渉計１６，１２６の計測値に基づいてウエハステージＷＳＴが駆動される。すなわち、ウエハ上の複数の区画領域をステップ・アンド・スキャン方式で露光する際に、ウエハステージＷＳＴ体の加速度に起因するエンコーダシステムの計測誤差が小さくなる露光開始点毎に、エンコーダシステムの計測値に基づいてパターンと物体との位置合わせ精度を向上させるための処理が行なわれる。 （もっと読む）

【課題】干渉計システムとエンコーダシステムを併用するハイブリッド方式のサーボ制御により、移動体を安定且つ高精度に２次元駆動する
【解決手段】干渉計システム、例えばＸ干渉計１２６とＹ干渉計１６とを用いてステージＷＳＴの第１の位置情報を計測する。同時に、エンコーダシステム、例えば１つのＸヘッド６６とＹヘッド６５，６４とを用いてステージの第２の位置情報を計測する。第１の位置情報と第２の位置情報の差分を所定の計測時間にわたって移動平均して座標オフセットを設定し、該座標オフセットを用いてエンコーダシステムの出力信号の信頼性を検証する。正常が確認された場合に、第１の位置情報と座標オフセットとの和を使用してステージをサーボ制御する。このハイブリッド方式のサーボ制御により、干渉計の安定性とエンコーダの精密さを兼ね備えたステージの駆動制御が可能になる。 （もっと読む）

【課題】複数の移動ステージを用いるプロキシミティ方式の露光において、レーザー測長系を用いて、露光時の基板の位置決めを精度良く行う。
【解決手段】各移動ステージは、チャック１０ａ，１０ｂを搭載して、副ステージベース１１ａ，１１ｂ上及び主ステージベース１１上へ移動し、主ステージベース１１上で基板１の位置決めを行う。各第１のレーザー測長系は、レーザー光源３１ａ，３１ｂと、各移動ステージのＸステージ１４の下に取り付けられたバーミラー３４ａ，３４ｂと、主ステージベース１１のＸガイド１３から外れた位置に設置されたレーザー干渉計３２ａ，３２ｂとを有し、各移動ステージのＸ方向の位置を検出する。レーザー干渉計３２ａ，３２ｂが副ステージベース１１ａ，１１ｂの振動の影響を受けず、レーザー干渉計３２ａ，３２ｂから主ステージベース１１上の各移動ステージまでの測定距離が短くなる。 （もっと読む）

【課題】座標測定装置（１）の座標系（４０）に対する基板（２）の曲がり度の補正値を割り当てる方法を提供する。
【解決手段】座標測定装置（１）内の基板ホルダ（２７）に載置された各基板（２）に関し、基板ホルダ（２７）上の２以上の参照マーク（３２）の、座標測定装置（１）の座標系（４０）に対する位置が自動的に測定される。 （もっと読む）

【課題】円柱状部品を平面部判定しかつ基準周方向箇所を判定可能な、簡単で処理判定時間の短い判定装置および判定方法を提供する。
【解決手段】部品１が第１平面部１ｂを第１発光手段４に対面させて載置台８に載置されている状態で部品１を回転させて、基準周方向箇所Ｘが所定の周方向位置Ｙと一致したときに、第１光４ａが部品１の貫通孔１ａを通過して、第１受光手段５が第１光を受光可能となり、部品１が第２平面部１ｃを第２発光手段６に対面させて載置台８に載置されている状態で部品１を回転させて、基準周方向箇所Ｘが所定の周方向位置Ｙと一致したときに、第２光６ａが部品１の貫通孔１ａを通過して、第２受光手段７が第２光６ａを受光可能となるように、第１発光手段４と、第１受光手段５と、第２発光手段６と、第２受光手段７とが、載置台８に載置されている状態の部品１に対して配置されている判定装置。 （もっと読む）

【課題】被検出物の位置ずれを高速かつ高精度に検出する技術を提供する。
【解決手段】ステージ上に載置された基板上に形成されたアライメントパターンＡＰをカメラにより撮像して撮像画像データを取得する。得られた撮像画像データの画素データ値をＸ，Ｙ各方向について積算して積算波形Ｓ（Ｙ），Ｓ（Ｘ）を取得する。得られた積算波形に基づいて、アライメントパターンＡＰを構成する４つのマーク図形Ｔ１〜Ｔ４のそれぞれの中心Ｃ１〜Ｃ４の位置を特定する。４つの中心の位置からアライメントパターンＡＰの中心位置ＡＭＯを特定し、基板の平行ずれ量を取得する。また、２つの中心Ｃ１，Ｃ３を結ぶ線分のＸ軸に対する傾き量に基づいて基板の回転ずれ量を取得する。取得されたずれ量に基づいてステージ位置および描画開始位置を補正することによって、載置位置のずれを補正して正確な位置に描画を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】移動体の基準姿勢を計測・設定すること。
【解決手段】ウエハテーブルＷＢＴの側面に設けられた反射面５４Ｙ（５４Ｘ）に測定ビームＷＹ（ＷＸ）を照射して反射面までの距離を計測する。同時に、アライメント系ＡＬＧの検出中心からの基準マークＦＭ１の中心の位置を計測する。さらには、ウエハテーブルＷＢＴを、その姿勢を保ったまま、Ｙ軸（Ｘ）方向に距離ＤＹ（ＤＸ）移動し、基準マークＦＭ２（ＦＭ３）を検出し、反射面５４Ｙ（５４Ｘ）までの距離と基準マークＦＭ２（ＦＭ３）の中心の位置を計測する。これらの計測値とウエハテーブルＷＢＴの回転角θｚと傾斜角θｘ（θｙ）、さらには移動距離ＤＹ（ＤＸ）との関係より、角度θｚとθｘ（θｙ）を絶対計測することなく、所望の角度、すなわちウエハテーブルＷＢＴの基準姿勢を計測し、設定する。 （もっと読む）

【課題】ケールと駆動部の距離を最小化して共振周波数を上げることにより、サーボ周波数帯域を上げ、外乱抑制性能を向上させることができるアクチュエータの位置検出装置を得る。
【解決手段】ピボットを挟んでアームとボイスコイルモータを備えたアクチュエータであって、前記ボイスコイルモータのコイルに、該コイルに近接したマグネットと対向するスケールを設け、前記スケールに対向するマグネット及び該マグネットが装着されたヨークに、このヨーク外方からスケールまで連通する光路穴を開け、前記ヨークの外方から前記光路穴を通して前記スケールに向けてセンサ光を照射し、スケールで反射またはスケールを透過したセンサ光を受光してスケールを読み取る光検出器を設けた。 （もっと読む）

可撓性ウェブの変位を表示するための方法及びシステムについて記載する。細長い可撓性ウェブは、目盛り構造を有する一体的な目盛りを含み、その目盛り構造は、ウェブに向けられたエネルギーを変調するように構成される。移送構造は、ウェブと変換器との相対運動をもたらす。変換器は、目盛り構造によって変調されたエネルギーを検知し、変調されたエネルギーに基づいて連続的なウェブの変位を表示する信号を生成する。
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【課題】簡素で高信頼性の絶対回転角度計
【解決手段】回転軸に固定された回転偏光板と変更角度が相違する固定偏光板に複数の通過光量検出器で判定し半円内角度を求め、回転偏光板に形成させた半円状の凹凸で絶対回転位置を認識させ双方の結果から軸の絶対角度を求める。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で、真直度（ｚ方向変位）と、ピッチングとローリング（ｘ、ｙ軸周りの回転傾き）のうち少なくとも一方とを、同時に測定する装置を提供すること。
【解決手段】光源から導かれた光を測定対象５０上の互いに異なる２以上の方向に出射する光出射手段１０と、該光出射手段１０により出射された光が前記測定対象５０に照射され、反射された光を受光して受光位置の変化を計測可能な２以上の受光手段３０、４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】直線駆動部と直線運動案内部と旋回運動案内部から構成されて旋回駆動部を有さない旋回駆動部レス位置決めステージ機構に対して、平行駆動部と旋回駆動部を有する旋回駆動部付位置決めステージ機構と同様に１回の補正動作により対象物を所定の位置・姿勢に補正することのできる画像処理装置を提供する。
【解決手段】直線駆動部の変位量から旋回駆動部付位置決めステージ機構部座標系におけるステージの平行・旋回補正値を演算する補正値演算部４と、ステージ旋回中心位置を特定し、前記平行・旋回補正値を直線駆動部変位量に変換するステージ座標／補正値変換部１１とを設けた。 （もっと読む）

【課題】回転移動するような被検面の姿勢の変化を、３次元的かつ高精度に測定することが可能な姿勢変化測定方法および装置を得る。
【解決手段】各々の面法線Ｎ_１，Ｎ_２の向きが互いに異なる第１および第２の反射平面３１，３２を有する測定用治具３を被検面５上に設置し、該被検面５が回転移動する過程の複数時点において、第１および第２の反射平面３１，３２の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を干渉計１によりそれぞれ撮像する。撮像された各々の干渉縞画像を解析することにより、第１および第２の反射平面３１，３２の各面法線Ｎ_１，Ｎ_２の向きの変化分、および交線３３の向きの変化分を求め、この求められた結果に基づいて、直交３軸回りの被検面５の各回転角度を算定する。 （もっと読む）