パターン形成装置及びパターン形成方法、移動体駆動システム及び移動体駆動方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
【課題】パターンが形成される物体を保持する移動体を安定して位置制御する。
【解決手段】露光装置は、ウエハを保持して所定平面内で移動するウエハステージと、所定平面内でウエハステージとは独立に移動する計測ステージと、計測ステージの位置情報を計測する干渉計システム１１８と、ウエハステージの位置情報を計測する、干渉計システム１１８に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）と、を備えている。このため、露光装置によると、干渉計システム１１８により計測ステージの位置情報が計測され、エンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）によってウエハステージＷＳＴの位置情報が計測される。従って、パターンが形成されるウエハを保持するウエハステージを安定して位置制御することが可能となる。
【解決手段】露光装置は、ウエハを保持して所定平面内で移動するウエハステージと、所定平面内でウエハステージとは独立に移動する計測ステージと、計測ステージの位置情報を計測する干渉計システム１１８と、ウエハステージの位置情報を計測する、干渉計システム１１８に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）と、を備えている。このため、露光装置によると、干渉計システム１１８により計測ステージの位置情報が計測され、エンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）によってウエハステージＷＳＴの位置情報が計測される。従って、パターンが形成されるウエハを保持するウエハステージを安定して位置制御することが可能となる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記物体を保持して第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動する第１移動体と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に移動する第２移動体と、
前記第２移動体の位置情報を計測する第１計測システムと、
前記第１移動体の位置情報を計測する、前記第１計測システムに比べて計測値の短期安定性が優れる第２計測システムと、を備えるパターン形成装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成装置において、
前記第１移動体には、前記第１軸と平行な方向を周期方向とする格子を有する第１格子部と、前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有する第２格子部とが設けられ、
前記第２計測システムは、前記第２軸に平行な方向に関して位置が異なる複数の第１ヘッドを有し、前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記第１移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測する第１軸エンコーダと、前記第１軸に平行な方向に関して位置が異なる複数の第２ヘッドを有し、前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記第１移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測する第２軸エンコーダとを有するエンコーダシステムを含むパターン形成装置。
【請求項３】
請求項２に記載のパターン形成装置において、
前記第１移動体は、前記第１格子部が前記第２軸と平行な方向に関して所定間隔隔てて一対設けられるとともに、前記第２格子部が前記第１軸と平行な方向に関して所定間隔隔てて一対設けられ、
前記エンコーダシステムは、前記一対の第１格子部にそれぞれ対向する前記複数の第１ヘッドの２つ、及び前記一対の第２格子部にそれぞれ対向する前記複数の第２ヘッドの２つのうち、少なくとも３つのヘッドの計測値に基づいて、前記第１移動体の前記第１軸に平行な方向と前記第２軸に平行な方向との位置情報、及び前記平面内の回転情報を計測するパターン形成装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン形成装置において、
前記第２計測システムは、前記第１移動体の前記平面内における位置情報を計測する干渉計システムを含むパターン形成装置。
【請求項５】
請求項３に記載のパターン形成装置において、
前記物体上にエネルギビームを照射する光学系をさらに備え、
前記複数の第１ヘッドは、前記光学系の中心を通り且つ前記第２軸に平行な軸上に配置され、
前記複数の第２ヘッドは、前記光学系の中心を通り且つ前記第１軸に平行な軸上に配置されているパターン形成装置。
【請求項６】
請求項５に記載のパターン形成装置において、
前記複数の第１ヘッドのうち最も内側に位置する第１ヘッドは前記光学系に固定され、前記複数の第２ヘッドのうち最も内側に位置する第２ヘッドは前記光学系に固定されているパターン形成装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載のパターン形成装置において、
前記第２計測システムは、前記第１移動体の前記平面内における位置情報を計測する干渉計システムを含むパターン形成装置。
【請求項８】
請求項７に記載のパターン形成装置において、
前記物体に前記パターンを形成する動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記エンコーダシステムを用いて計測し、前記第１移動体上に載置される前記物体の交換動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記干渉計システムを用いて計測する計測制御装置をさらに備えるパターン形成装置。
【請求項９】
エネルギビームを照射して物体上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記物体を保持して第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動し、前記第１軸に平行な方向を周期方向とする格子を有する第１格子部、及び第２軸に平行な方向を周期方向とする格子を有する第２格子部が設けられる第１移動体と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に移動する第２移動体と、
前記第２移動体の前記平面内での位置情報を計測する干渉計を含む第１計測システムと、
前記第１、第２格子部がそれぞれ対向して配置される複数のヘッドを有し、前記干渉計システムに比べて計測値の短期安定性が優れ、前記平面内における前記第１移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む第２計測システムと、を備えるパターン形成装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のパターン形成装置において、
前記第２計測システムは、前記第１移動体の前記平面内における位置情報を計測する干渉計システムを含むパターン形成装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のパターン形成装置において、
前記エネルギビームを前記物体上に照射する光学系を更に備え、
前記光学系を介して前記物体に前記パターンを形成する動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記エンコーダシステムを用いて計測し、前記第１移動体上に載置される前記物体の交換動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記干渉計システムを用いて計測するパターン形成装置。
【請求項１２】
請求項８又は１１に記載のパターン形成装置において、
前記交換動作時に、前記第１移動体の、前記第１軸及び第２軸の一方の軸に平行な方向の位置情報は前記干渉計システムを用いて計測するとともに、他方の軸に平行な方向の位置情報は前記エンコーダシステムを用いて計測するパターン形成装置。
【請求項１３】
請求項２又は３に記載のパターン形成装置において、
前記複数の第１ヘッドは、前記第２軸に平行な方向に関して前記第１格子部の幅より狭い間隔で配置され、
前記複数の第２ヘッドは、前記第１軸に平行な方向に関して前記第２格子部の幅より狭い間隔で配置されるパターン形成装置。
【請求項１４】
物体上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記物体が載置され、該物体を保持して第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動する移動体と、
前記第１軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第１格子部と、
前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第２格子部と、
前記第２軸に平行な方向に関して互いに第１の所定距離だけ離間して配置された複数の第１ヘッドを有し、前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測する第１軸エンコーダと、
前記第１軸に平行な方向に関して互いに第２の所定距離だけ離間して配置された複数の第２ヘッドを有し、前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測する第２軸エンコーダと、
前記第１軸エンコーダ及び前記第２軸エンコーダの少なくとも一方と並行して、前記第１軸に平行な方向及び前記第２軸に平行な方向の少なくとも一方の方向に関する前記移動体の位置情報を計測する干渉計システムと、を備え、
前記第１の所定距離は、前記第２軸に平行な方向に関して前記第１格子部の幅より狭く、
前記第２の所定距離は、前記第１軸に平行な方向に関して前記第２格子部の幅より狭いパターン形成装置。
【請求項１５】
物体をエネルギビームで露光する露光装置であって、
前記物体を保持して所定の平面内で可動な第１移動体と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に可動な第２移動体と、
前記第１移動体の位置情報を計測する第１計測装置と前記第２移動体の位置情報を計測する第２計測装置とを含み、前記第１計測装置は前記第２計測装置に比べて計測値の短期安定性が優れる計測システムと、を備える露光装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の露光装置において、
前記第１移動体は、前記平面内で前記物体を保持して第１及び第２方向に移動するとともに、前記第１方向に格子が周期的に配列される第１格子部が設けられ、
前記第１計測装置は、前記第２方向に関して前記第１格子部の幅より広い検出範囲を有する第１ヘッドユニットによって前記第１移動体の前記第１方向の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む露光装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の露光装置において、
前記第１格子部は、前記第２方向に関して前記物体を挟んで一対設けられ、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して前記エネルギビームの照射位置の両側にそれぞれ前記検出範囲を有する露光装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の露光装置において、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して前記検出範囲が前記第１格子部の幅と同程度以上離れている露光装置。
【請求項１９】
請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して位置が異なる複数の第１ヘッドを有し、前記エンコーダシステムは、前記検出範囲内で前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記第１移動体の前記第１方向の位置情報を計測する露光装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の露光装置において、
前記複数の第１ヘッドは、前記第２方向に関して前記第１格子部の幅よりも狭い間隔で配置される露光装置。
【請求項２１】
請求項１６〜２０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１移動体は、前記第２方向に格子が周期的に配列される第２格子部が設けられ、
前記エンコーダシステムは、前記第１方向に関して前記第２格子部の幅より広い検出範囲を有する第２ヘッドユニットによって前記第１移動体の前記第２方向の位置情報を計測する露光装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載の露光装置において、
前記第２格子部は、前記第１方向に関して前記物体を挟んで一対設けられ、
前記第２ヘッドユニットは、前記第１方向に関して前記エネルギビームの照射位置の両側にそれぞれ前記検出範囲を有する露光装置。
【請求項２３】
請求項２１又は２２に記載の露光装置において、
前記第２ヘッドユニットは、前記第１方向に関して位置が異なる複数の第２ヘッドを有し、前記エンコーダシステムは、前記検出範囲内で前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記第１移動体の前記第２方向の位置情報を計測する露光装置。
【請求項２４】
請求項１６〜２３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記エンコーダシステムによって計測される位置情報は、少なくとも前記物体の露光動作で用いられる露光装置。
【請求項２５】
請求項２４に記載の露光装置において、
前記エンコーダシステムによって計測される位置情報は、前記物体のマークの検出動作で用いられる露光装置。
【請求項２６】
請求項１６〜２５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第２計測装置は、前記第２移動体の位置情報を計測する干渉計を含む露光装置。
【請求項２７】
請求項１６〜２６のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１計測装置は、前記第１移動体の位置情報を計測する干渉計システムを含み、前記干渉計システムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向は、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向と異なる方向を含む露光装置。
【請求項２８】
請求項２７に記載の露光装置において、
前記干渉計システムは、前記平面内の方向と異なる方向に関して前記第１移動体の位置情報を計測する露光装置。
【請求項２９】
請求項２７又は２８に記載の露光装置において、
前記干渉計システムは、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の少なくとも１つの計測方向に関して前記第１移動体の位置情報を計測する露光装置。
【請求項３０】
請求項２７〜２９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記干渉計システムによって計測される位置情報を含む前記第１計測装置の計測情報に基づいて前記第１移動体の移動を制御する制御装置をさらに備える露光装置。
【請求項３１】
請求項３０に記載の露光装置において、
前記計測情報は、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向と異なる方向に関する、前記干渉計システムによる前記第１移動体の位置情報を含む露光装置。
【請求項３２】
請求項１５〜３１のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体が対向して配置され、前記エネルギビームを射出する光学部材と、
前記光学部材と前記物体の間を液体で満たして液浸領域を形成する液浸システムと、をさらに備え、
前記液浸領域は、前記第１移動体との交換で前記光学部材と対向して配置される前記第２移動体との間に維持される露光装置。
【請求項３３】
物体をエネルギビームで露光する露光装置であって、
前記物体を保持して所定の平面内で第１及び第２方向に可動であり、前記第１方向に格子が周期的に配列される第１格子部、及び前記第２方向に格子が周期的に配列される第２格子部が設けられる第１移動体と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に可動な第２移動体と、
前記第１及び第２格子部と異なる２つが対向する複数のヘッドによって前記第１移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む第１計測装置と、前記第２移動体の位置情報を計測する干渉計を含む第２計測装置とを有する計測システムと、を備え、
前記エンコーダシステムは、前記干渉計に比べて計測値の短期安定性に優れる露光装置。
【請求項３４】
請求項３３に記載の露光装置において、
前記第１及び第２格子部の少なくとも一方に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補正する補正装置をさらに備える露光装置。
【請求項３５】
請求項１５〜３４のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【請求項３６】
物体上にパターンを形成するパターン形成方法であって、
第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動する第１移動体上に前記物体を載置する第１工程と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に移動する第２移動体の位置情報を第１計測システムを用いて計測する第２工程と、
前記第１計測システムに比べて計測値の短期安定性が優れる第２計測システムを用いて前記第１移動体の位置情報を計測する第３工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項３７】
請求項３６に記載のパターン形成方法において、
前記第１移動体には、前記第１軸と平行な方向を周期方向とする格子を有する第１格子部と、前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有する第２格子部とが設けられ、
前記第３工程では、前記第２軸に平行な方向に関して位置が異なる複数の第１ヘッドを有し、前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記第１移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測する第１軸エンコーダと、前記第１軸に平行な方向に関して位置が異なる複数の第２ヘッドを有し、前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記第１移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測する第２軸エンコーダとを有するエンコーダシステムを、前記第２計測システムとして用いるパターン形成方法。
【請求項３８】
エネルギビームを照射して物体上にパターンを形成するパターン形成方法であって、
第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動する第１移動体上に前記物体を載置する工程と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に移動する第２移動体の前記平面内での位置情報を干渉計を含む第１計測システムを用いて計測する第１計測工程と、
前記第１移動体上に配置され且つ前記第１軸、第２軸にそれぞれ平行な方向をそれぞれの周期方向とする格子を有する第１、第２の格子部がそれぞれ対向して配置される複数のヘッドを有し、前記干渉計に比べて計測値の短期安定性に優れ、前記平面内における前記第１移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む第２計測システムを用いて、前記平面内における前記第１移動体の位置情報を計測する第２計測工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項３９】
請求項３８に記載のパターン形成方法において、
前記第２計測工程では、前記第１移動体上に載置されている前記物体に、前記エネルギビームを照射してパターンを形成する動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記第２計測システムを用いて計測し、
前記第１移動体上に載置される前記物体の交換動作時は、前記第１移動体の位置情報を干渉計から成る第３計測システムを用いて計測する第３計測工程を、さらに含むパターン形成方法。
【請求項４０】
請求項３９に記載のパターン形成方法において、
前記第３計測工程では、前記交換動作時に、前記第１移動体の、前記第１軸及び第２軸の一方の軸に平行な方向の位置情報は前記第３計測システムで計測し、他方の軸に平行な方向における位置情報は、前記第２計測システムを用いて計測するパターン形成方法。
【請求項４１】
互いに直交する第１軸及び第２軸を含む所定の平面内で移動する移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第１軸と平行な方向の位置情報を計測する第１干渉計と、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第２軸と平行な方向の位置情報を計測する第２干渉計と、
前記第１軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第１格子部と、
前記第２軸に平行な方向に関して位置が異なる複数のヘッドを有し、前記第１格子部と対向するヘッドによって、前記移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測する第１エンコーダを構成する第１ヘッドユニットと、
前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第２格子部と、
前記第１軸に平行な方向に関して位置が異なる複数のヘッドを有し、前記第２格子部と対向するヘッドによって、前記移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測する第２エンコーダを構成する第２ヘッドユニットと、
前記第１及び第２干渉計の計測値、又は前記第２干渉計及び前記第１ヘッドユニットの計測値に基づいて、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させつつ、該移動に伴って前記第２格子部に順次対向配置される前記第２ヘッドユニットの複数の前記ヘッドから得られる計測値と、各計測値に対応する、前記第１干渉計及び前記第１ヘッドユニットの少なくとも一方の計測値とを用いて、所定の統計演算を行って前記第２格子部の格子曲がりの補正情報を求める演算処理装置と、
前記第２ヘッドユニットから得られる計測値を、前記第１干渉計及び前記第１ヘッドユニットの少なくとも一方の計測値と前記第２格子部の格子曲がりの補正情報とに基づいて補正しながら、前記移動体の前記第２軸と平行な方向への駆動を行う制御装置と、を備える移動体駆動システム。
【請求項４２】
請求項４１に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記演算処理装置は、前記第２格子部に対して順次対向して配置される前記第２ヘッドユニットの複数のヘッドの計測値の平均値を前記格子曲がりの補正情報として算出する移動体駆動システム。
【請求項４３】
請求項４１又は４２に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第２干渉計からの前記計測ビームが照射される前記移動体の反射面は理想的な平面であり、
前記演算処理装置は、前記第２干渉計の計測値を所定値に固定しつつ前記第１干渉計及び前記第１ヘッドユニットの少なくとも一方の計測値に基づいて前記移動体を第１軸に平行な方向に移動させる移動体駆動システム。
【請求項４４】
請求項４１〜４３のいずれか一項に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記演算処理装置は、さらに、前記第１及び第２干渉計の計測値に基づいて、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させつつ、該移動に伴って前記第２ヘッドユニットに対して順次対向配置される前記第２格子部の格子ピッチの補正情報を、前記第２干渉計の計測値と前記第２ヘッドユニットの計測値とに基づいて求め、
前記制御装置は、前記第２ヘッドユニットから得られる計測値を、前記第１干渉計及び前記第１ヘッドユニットの少なくとも一方の計測値、及び前記第２格子部の格子曲がりの補正情報、並びに前記第２格子部の格子ピッチの補正情報に基づいて補正しながら、前記移動体の前記第２軸に平行な方向への駆動を行う移動体駆動システム。
【請求項４５】
請求項４４に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第１干渉計からの前記計測ビームが照射される前記移動体の反射面は理想的な平面であり、
前記演算処理装置は、前記第１干渉計の計測値を所定値に固定しつつ前記第２干渉計の計測値に基づいて前記移動体を第２軸に平行な方向に移動させる移動体駆動システム。
【請求項４６】
請求項４４又は４５に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記演算処理装置は、前記第２干渉計の計測値の短期変動が無視できる程度の低速で、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させる移動体駆動システム。
【請求項４７】
物体が載置され、該物体を保持して移動面内で移動可能な移動体と、
前記物体に対するパターン形成のため、前記移動体を駆動する請求項４１〜４６のいずれか一項に記載の移動体駆動システムと、を備えるパターン形成装置。
【請求項４８】
請求項４７に記載のパターン形成装置において、
前記パターンの形成は、エネルギビームを照射して前記物体を露光することで行われるパターン形成装置。
【請求項４９】
互いに直交する第１軸及び第２軸を含む所定の平面内で移動する移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第１軸と平行な方向の位置情報を計測する第１干渉計の計測値と、前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第２軸と平行な方向の位置情報を計測する第２干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させる第１移動工程と、
前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第１格子部に検出光を照射して、前記移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測するエンコーダを構成する第１ヘッドユニットに含まれる、前記第１軸に平行な方向に関して位置が異なる複数のヘッドのうち、前記第１移動工程における前記移動体の移動に伴って前記第１格子部に順次対向して配置される複数の前記ヘッドから得られる計測値と、各計測値に対応する、前記第１干渉計の計測値とを用いて、所定の統計演算を行って前記第１格子部の格子曲がりの補正情報を決定する第１決定工程と、
前記第１ヘッドユニットから得られる計測値を、前記第１干渉計の計測値と前記第１格子部の格子曲がりの補正情報とに基づいて補正しながら、前記移動体の前記第２軸と平行な方向への駆動を行う駆動工程と、を含む移動体駆動方法。
【請求項５０】
請求項４９に記載の移動体駆動方法において、
前記第１決定工程では、前記第１格子部に対して順次対向配置される前記第１ヘッドユニットの複数のヘッドの計測値の平均値を前記格子曲がりの補正情報として算出する移動体駆動方法。
【請求項５１】
請求項４９又は５０に記載の移動体駆動方法において、
前記第２干渉計からの前記計測ビームが照射される前記移動体の反射面は理想的な平面であり、
前記第１移動工程では、前記第２干渉計の計測値を所定値に固定しつつ前記第１干渉計の計測値に基づいて前記移動体を第１軸に平行な方向に移動させる移動体駆動方法。
【請求項５２】
請求項４９〜５１のいずれか一項に記載の移動体駆動方法において、
前記第１及び第２干渉計の計測値に基づいて、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させる第２移動工程と、
前記第２移動工程における前記移動体の移動に伴って前記第１ヘッドユニットに対して順次対向配置される前記第１格子部の格子ピッチの補正情報を、前記第２干渉計の計測値と前記第１ヘッドユニットの計測値とに基づいて求める第２決定工程と、をさらに含み、
前記駆動工程では、前記第１ヘッドユニットから得られる計測値を、前記第２干渉計の計測値及び前記第１格子部の格子曲がりの補正情報、並びに前記第１格子部の格子ピッチの補正情報に基づいて補正しながら、前記移動体の前記第２軸に平行な方向への駆動を行う移動体駆動方法。
【請求項５３】
請求項５２に記載の移動体駆動方法において、
前記第１干渉計からの前記計測ビームが照射される前記移動体の反射面は理想的な平面であり、
前記第２移動工程では、前記第１干渉計の計測値を所定値に固定しつつ前記第２干渉計の計測値に基づいて前記移動体を第２軸に平行な方向に移動させる移動体駆動方法。
【請求項５４】
請求項５２又は５３に記載の移動体駆動方法において、
前記第２移動工程では、前記第２干渉計の計測値の短期変動が無視できる程度の低速で、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させる移動体駆動方法。
【請求項５５】
移動面内で移動可能な移動体上に物体を載置する工程と、
前記物体に対してパターンを形成するため、請求項４９〜５４のいずれか一項に記載の移動体駆動方法により前記移動体を駆動する工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項５６】
請求項５５に記載のパターン形成方法において、
前記パターンの形成は、エネルギビームを照射して前記物体を露光することで行われるパターン形成方法。
【請求項５７】
請求項３６〜４０、５５、５６のいずれか一項に記載のパターン形成方法を用いて物体上にパターンを形成する工程と、
パターンが形成された前記物体に処理を施す工程と、を含むデバイス製造方法。
【請求項５８】
物体をエネルギビームで露光する露光方法であって、
前記物体を保持して所定の平面内で可動な第１移動体及び前記平面内で前記第１移動体とは独立に可動な第２移動体の位置情報を、第１及び第２計測装置を用いて計測する工程を含み、
前記第１計測装置は前記第２計測装置に比べて計測値の短期安定性が優れる露光方法。
【請求項５９】
請求項５８に記載の露光方法において、
前記第１移動体は、前記平面内で前記物体を保持して第１及び第２方向に移動するとともに、前記第１方向に格子が周期的に配列される第１格子部が設けられ、
前記第１計測装置は、前記第２方向に関して前記第１格子部の幅より広い検出範囲を有する第１ヘッドユニットによって前記第１移動体の前記第１方向の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む露光方法。
【請求項６０】
請求項５９に記載の露光方法において、
前記第１格子部は、前記第２方向に関して前記物体を挟んで一対設けられ、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して前記エネルギビームの照射位置の両側にそれぞれ前記検出範囲を有する露光方法。
【請求項６１】
請求項６０に記載の露光方法において、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して前記検出範囲が前記第１格子部の幅と同程度以上離れている露光方法。
【請求項６２】
請求項５９〜６１のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して位置が異なる複数の第１ヘッドを有し、前記エンコーダシステムは、前記検出範囲内で前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記第１移動体の前記第１方向の位置情報を計測する露光方法。
【請求項６３】
請求項６２に記載の露光方法において、
前記複数の第１ヘッドは、前記第２方向に関して前記第１格子部の幅よりも狭い間隔で配置される露光方法。
【請求項６４】
請求項５９〜６３のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第１移動体は、前記第２方向に格子が周期的に配列される第２格子部が設けられ、
前記エンコーダシステムは、前記第１方向に関して前記第２格子部の幅より広い検出範囲を有する第２ヘッドユニットによって前記第１移動体の前記第２方向の位置情報を計測する露光方法。
【請求項６５】
請求項６４に記載の露光方法において、
前記第２格子部は、前記第１方向に関して前記物体を挟んで一対設けられ、
前記第２ヘッドユニットは、前記第１方向に関して前記エネルギビームの照射位置の両側にそれぞれ前記検出範囲を有する露光方法。
【請求項６６】
請求項６４又は６５に記載の露光方法において、
前記第２ヘッドユニットは、前記第１方向に関して位置が異なる複数の第２ヘッドを有し、前記エンコーダシステムは、前記検出範囲内で前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記第１移動体の前記第２方向の位置情報を計測する露光方法。
【請求項６７】
請求項５９〜６６のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記エンコーダシステムによって計測される位置情報は、少なくとも前記物体の露光動作で用いられる露光方法。
【請求項６８】
請求項５９〜６７のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記エンコーダシステムによって計測される位置情報は、少なくとも前記物体のマークの検出動作で用いられる露光方法。
【請求項６９】
請求項５９〜６８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第２計測装置は、前記第２移動体の位置情報を計測する干渉計を含む露光方法。
【請求項７０】
請求項５９〜６８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第１計測装置は、前記第１移動体の位置情報を計測する干渉計システムを含み、前記干渉計システムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向は、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向と異なる方向を含む露光方法。
【請求項７１】
請求項７０に記載の露光方法において、
前記干渉計システムは、前記平面内の方向と異なる方向に関して前記第１移動体の位置情報を計測する露光方法。
【請求項７２】
請求項７０又は７１に記載の露光方法において、
前記干渉計システムは、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の少なくとも１つの計測方向に関して前記第１移動体の位置情報を計測する露光方法。
【請求項７３】
請求項７０〜７２のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第２計測装置は、前記第２移動体の位置情報を計測する干渉計システムを含み、
前記干渉計システムによって計測される位置情報を含む前記第１計測装置の計測情報に基づいて前記第１移動体の移動が制御される露光方法。
【請求項７４】
請求項７３に記載の露光方法において、
前記計測情報は、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向と異なる方向に関する、前記干渉計システムによる前記第１移動体の位置情報を含む露光方法。
【請求項７５】
物体をエネルギビームで露光する露光方法であって、
前記物体を保持して所定の平面内で第１及び第２方向に可動であり、前記第１方向に格子が周期的に配列される第１格子部、及び前記第２方向に格子が周期的に配列される第２格子部が設けられる第１移動体の位置情報を、第１計測装置が備えるエンコーダシステムの前記第１及び第２格子部と異なる２つが対向する複数のヘッドによって計測する工程と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に可動な第２移動体の位置情報を第２計測装置が備える干渉計によって計測する工程と、を含み、
前記エンコーダシステムは、前記干渉計に比べて計測値の短期安定性に優れる露光方法。
【請求項７６】
請求項７５に記載の露光方法において、
前記第１及び第２格子部の少なくとも一方に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補正する工程をさらに含む露光方法。
【請求項７７】
請求項５８〜７６のいずれか一項に記載の露光方法を用いて物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【請求項１】
物体上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記物体を保持して第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動する第１移動体と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に移動する第２移動体と、
前記第２移動体の位置情報を計測する第１計測システムと、
前記第１移動体の位置情報を計測する、前記第１計測システムに比べて計測値の短期安定性が優れる第２計測システムと、を備えるパターン形成装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成装置において、
前記第１移動体には、前記第１軸と平行な方向を周期方向とする格子を有する第１格子部と、前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有する第２格子部とが設けられ、
前記第２計測システムは、前記第２軸に平行な方向に関して位置が異なる複数の第１ヘッドを有し、前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記第１移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測する第１軸エンコーダと、前記第１軸に平行な方向に関して位置が異なる複数の第２ヘッドを有し、前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記第１移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測する第２軸エンコーダとを有するエンコーダシステムを含むパターン形成装置。
【請求項３】
請求項２に記載のパターン形成装置において、
前記第１移動体は、前記第１格子部が前記第２軸と平行な方向に関して所定間隔隔てて一対設けられるとともに、前記第２格子部が前記第１軸と平行な方向に関して所定間隔隔てて一対設けられ、
前記エンコーダシステムは、前記一対の第１格子部にそれぞれ対向する前記複数の第１ヘッドの２つ、及び前記一対の第２格子部にそれぞれ対向する前記複数の第２ヘッドの２つのうち、少なくとも３つのヘッドの計測値に基づいて、前記第１移動体の前記第１軸に平行な方向と前記第２軸に平行な方向との位置情報、及び前記平面内の回転情報を計測するパターン形成装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン形成装置において、
前記第２計測システムは、前記第１移動体の前記平面内における位置情報を計測する干渉計システムを含むパターン形成装置。
【請求項５】
請求項３に記載のパターン形成装置において、
前記物体上にエネルギビームを照射する光学系をさらに備え、
前記複数の第１ヘッドは、前記光学系の中心を通り且つ前記第２軸に平行な軸上に配置され、
前記複数の第２ヘッドは、前記光学系の中心を通り且つ前記第１軸に平行な軸上に配置されているパターン形成装置。
【請求項６】
請求項５に記載のパターン形成装置において、
前記複数の第１ヘッドのうち最も内側に位置する第１ヘッドは前記光学系に固定され、前記複数の第２ヘッドのうち最も内側に位置する第２ヘッドは前記光学系に固定されているパターン形成装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載のパターン形成装置において、
前記第２計測システムは、前記第１移動体の前記平面内における位置情報を計測する干渉計システムを含むパターン形成装置。
【請求項８】
請求項７に記載のパターン形成装置において、
前記物体に前記パターンを形成する動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記エンコーダシステムを用いて計測し、前記第１移動体上に載置される前記物体の交換動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記干渉計システムを用いて計測する計測制御装置をさらに備えるパターン形成装置。
【請求項９】
エネルギビームを照射して物体上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記物体を保持して第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動し、前記第１軸に平行な方向を周期方向とする格子を有する第１格子部、及び第２軸に平行な方向を周期方向とする格子を有する第２格子部が設けられる第１移動体と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に移動する第２移動体と、
前記第２移動体の前記平面内での位置情報を計測する干渉計を含む第１計測システムと、
前記第１、第２格子部がそれぞれ対向して配置される複数のヘッドを有し、前記干渉計システムに比べて計測値の短期安定性が優れ、前記平面内における前記第１移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む第２計測システムと、を備えるパターン形成装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のパターン形成装置において、
前記第２計測システムは、前記第１移動体の前記平面内における位置情報を計測する干渉計システムを含むパターン形成装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のパターン形成装置において、
前記エネルギビームを前記物体上に照射する光学系を更に備え、
前記光学系を介して前記物体に前記パターンを形成する動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記エンコーダシステムを用いて計測し、前記第１移動体上に載置される前記物体の交換動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記干渉計システムを用いて計測するパターン形成装置。
【請求項１２】
請求項８又は１１に記載のパターン形成装置において、
前記交換動作時に、前記第１移動体の、前記第１軸及び第２軸の一方の軸に平行な方向の位置情報は前記干渉計システムを用いて計測するとともに、他方の軸に平行な方向の位置情報は前記エンコーダシステムを用いて計測するパターン形成装置。
【請求項１３】
請求項２又は３に記載のパターン形成装置において、
前記複数の第１ヘッドは、前記第２軸に平行な方向に関して前記第１格子部の幅より狭い間隔で配置され、
前記複数の第２ヘッドは、前記第１軸に平行な方向に関して前記第２格子部の幅より狭い間隔で配置されるパターン形成装置。
【請求項１４】
物体上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記物体が載置され、該物体を保持して第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動する移動体と、
前記第１軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第１格子部と、
前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第２格子部と、
前記第２軸に平行な方向に関して互いに第１の所定距離だけ離間して配置された複数の第１ヘッドを有し、前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測する第１軸エンコーダと、
前記第１軸に平行な方向に関して互いに第２の所定距離だけ離間して配置された複数の第２ヘッドを有し、前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測する第２軸エンコーダと、
前記第１軸エンコーダ及び前記第２軸エンコーダの少なくとも一方と並行して、前記第１軸に平行な方向及び前記第２軸に平行な方向の少なくとも一方の方向に関する前記移動体の位置情報を計測する干渉計システムと、を備え、
前記第１の所定距離は、前記第２軸に平行な方向に関して前記第１格子部の幅より狭く、
前記第２の所定距離は、前記第１軸に平行な方向に関して前記第２格子部の幅より狭いパターン形成装置。
【請求項１５】
物体をエネルギビームで露光する露光装置であって、
前記物体を保持して所定の平面内で可動な第１移動体と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に可動な第２移動体と、
前記第１移動体の位置情報を計測する第１計測装置と前記第２移動体の位置情報を計測する第２計測装置とを含み、前記第１計測装置は前記第２計測装置に比べて計測値の短期安定性が優れる計測システムと、を備える露光装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の露光装置において、
前記第１移動体は、前記平面内で前記物体を保持して第１及び第２方向に移動するとともに、前記第１方向に格子が周期的に配列される第１格子部が設けられ、
前記第１計測装置は、前記第２方向に関して前記第１格子部の幅より広い検出範囲を有する第１ヘッドユニットによって前記第１移動体の前記第１方向の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む露光装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の露光装置において、
前記第１格子部は、前記第２方向に関して前記物体を挟んで一対設けられ、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して前記エネルギビームの照射位置の両側にそれぞれ前記検出範囲を有する露光装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の露光装置において、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して前記検出範囲が前記第１格子部の幅と同程度以上離れている露光装置。
【請求項１９】
請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して位置が異なる複数の第１ヘッドを有し、前記エンコーダシステムは、前記検出範囲内で前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記第１移動体の前記第１方向の位置情報を計測する露光装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の露光装置において、
前記複数の第１ヘッドは、前記第２方向に関して前記第１格子部の幅よりも狭い間隔で配置される露光装置。
【請求項２１】
請求項１６〜２０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１移動体は、前記第２方向に格子が周期的に配列される第２格子部が設けられ、
前記エンコーダシステムは、前記第１方向に関して前記第２格子部の幅より広い検出範囲を有する第２ヘッドユニットによって前記第１移動体の前記第２方向の位置情報を計測する露光装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載の露光装置において、
前記第２格子部は、前記第１方向に関して前記物体を挟んで一対設けられ、
前記第２ヘッドユニットは、前記第１方向に関して前記エネルギビームの照射位置の両側にそれぞれ前記検出範囲を有する露光装置。
【請求項２３】
請求項２１又は２２に記載の露光装置において、
前記第２ヘッドユニットは、前記第１方向に関して位置が異なる複数の第２ヘッドを有し、前記エンコーダシステムは、前記検出範囲内で前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記第１移動体の前記第２方向の位置情報を計測する露光装置。
【請求項２４】
請求項１６〜２３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記エンコーダシステムによって計測される位置情報は、少なくとも前記物体の露光動作で用いられる露光装置。
【請求項２５】
請求項２４に記載の露光装置において、
前記エンコーダシステムによって計測される位置情報は、前記物体のマークの検出動作で用いられる露光装置。
【請求項２６】
請求項１６〜２５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第２計測装置は、前記第２移動体の位置情報を計測する干渉計を含む露光装置。
【請求項２７】
請求項１６〜２６のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１計測装置は、前記第１移動体の位置情報を計測する干渉計システムを含み、前記干渉計システムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向は、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向と異なる方向を含む露光装置。
【請求項２８】
請求項２７に記載の露光装置において、
前記干渉計システムは、前記平面内の方向と異なる方向に関して前記第１移動体の位置情報を計測する露光装置。
【請求項２９】
請求項２７又は２８に記載の露光装置において、
前記干渉計システムは、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の少なくとも１つの計測方向に関して前記第１移動体の位置情報を計測する露光装置。
【請求項３０】
請求項２７〜２９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記干渉計システムによって計測される位置情報を含む前記第１計測装置の計測情報に基づいて前記第１移動体の移動を制御する制御装置をさらに備える露光装置。
【請求項３１】
請求項３０に記載の露光装置において、
前記計測情報は、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向と異なる方向に関する、前記干渉計システムによる前記第１移動体の位置情報を含む露光装置。
【請求項３２】
請求項１５〜３１のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体が対向して配置され、前記エネルギビームを射出する光学部材と、
前記光学部材と前記物体の間を液体で満たして液浸領域を形成する液浸システムと、をさらに備え、
前記液浸領域は、前記第１移動体との交換で前記光学部材と対向して配置される前記第２移動体との間に維持される露光装置。
【請求項３３】
物体をエネルギビームで露光する露光装置であって、
前記物体を保持して所定の平面内で第１及び第２方向に可動であり、前記第１方向に格子が周期的に配列される第１格子部、及び前記第２方向に格子が周期的に配列される第２格子部が設けられる第１移動体と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に可動な第２移動体と、
前記第１及び第２格子部と異なる２つが対向する複数のヘッドによって前記第１移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む第１計測装置と、前記第２移動体の位置情報を計測する干渉計を含む第２計測装置とを有する計測システムと、を備え、
前記エンコーダシステムは、前記干渉計に比べて計測値の短期安定性に優れる露光装置。
【請求項３４】
請求項３３に記載の露光装置において、
前記第１及び第２格子部の少なくとも一方に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補正する補正装置をさらに備える露光装置。
【請求項３５】
請求項１５〜３４のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【請求項３６】
物体上にパターンを形成するパターン形成方法であって、
第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動する第１移動体上に前記物体を載置する第１工程と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に移動する第２移動体の位置情報を第１計測システムを用いて計測する第２工程と、
前記第１計測システムに比べて計測値の短期安定性が優れる第２計測システムを用いて前記第１移動体の位置情報を計測する第３工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項３７】
請求項３６に記載のパターン形成方法において、
前記第１移動体には、前記第１軸と平行な方向を周期方向とする格子を有する第１格子部と、前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有する第２格子部とが設けられ、
前記第３工程では、前記第２軸に平行な方向に関して位置が異なる複数の第１ヘッドを有し、前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記第１移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測する第１軸エンコーダと、前記第１軸に平行な方向に関して位置が異なる複数の第２ヘッドを有し、前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記第１移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測する第２軸エンコーダとを有するエンコーダシステムを、前記第２計測システムとして用いるパターン形成方法。
【請求項３８】
エネルギビームを照射して物体上にパターンを形成するパターン形成方法であって、
第１軸及びこれと交差する第２軸を含む所定の平面内で移動する第１移動体上に前記物体を載置する工程と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に移動する第２移動体の前記平面内での位置情報を干渉計を含む第１計測システムを用いて計測する第１計測工程と、
前記第１移動体上に配置され且つ前記第１軸、第２軸にそれぞれ平行な方向をそれぞれの周期方向とする格子を有する第１、第２の格子部がそれぞれ対向して配置される複数のヘッドを有し、前記干渉計に比べて計測値の短期安定性に優れ、前記平面内における前記第１移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む第２計測システムを用いて、前記平面内における前記第１移動体の位置情報を計測する第２計測工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項３９】
請求項３８に記載のパターン形成方法において、
前記第２計測工程では、前記第１移動体上に載置されている前記物体に、前記エネルギビームを照射してパターンを形成する動作時は、前記第１移動体の位置情報を前記第２計測システムを用いて計測し、
前記第１移動体上に載置される前記物体の交換動作時は、前記第１移動体の位置情報を干渉計から成る第３計測システムを用いて計測する第３計測工程を、さらに含むパターン形成方法。
【請求項４０】
請求項３９に記載のパターン形成方法において、
前記第３計測工程では、前記交換動作時に、前記第１移動体の、前記第１軸及び第２軸の一方の軸に平行な方向の位置情報は前記第３計測システムで計測し、他方の軸に平行な方向における位置情報は、前記第２計測システムを用いて計測するパターン形成方法。
【請求項４１】
互いに直交する第１軸及び第２軸を含む所定の平面内で移動する移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第１軸と平行な方向の位置情報を計測する第１干渉計と、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第２軸と平行な方向の位置情報を計測する第２干渉計と、
前記第１軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第１格子部と、
前記第２軸に平行な方向に関して位置が異なる複数のヘッドを有し、前記第１格子部と対向するヘッドによって、前記移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測する第１エンコーダを構成する第１ヘッドユニットと、
前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第２格子部と、
前記第１軸に平行な方向に関して位置が異なる複数のヘッドを有し、前記第２格子部と対向するヘッドによって、前記移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測する第２エンコーダを構成する第２ヘッドユニットと、
前記第１及び第２干渉計の計測値、又は前記第２干渉計及び前記第１ヘッドユニットの計測値に基づいて、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させつつ、該移動に伴って前記第２格子部に順次対向配置される前記第２ヘッドユニットの複数の前記ヘッドから得られる計測値と、各計測値に対応する、前記第１干渉計及び前記第１ヘッドユニットの少なくとも一方の計測値とを用いて、所定の統計演算を行って前記第２格子部の格子曲がりの補正情報を求める演算処理装置と、
前記第２ヘッドユニットから得られる計測値を、前記第１干渉計及び前記第１ヘッドユニットの少なくとも一方の計測値と前記第２格子部の格子曲がりの補正情報とに基づいて補正しながら、前記移動体の前記第２軸と平行な方向への駆動を行う制御装置と、を備える移動体駆動システム。
【請求項４２】
請求項４１に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記演算処理装置は、前記第２格子部に対して順次対向して配置される前記第２ヘッドユニットの複数のヘッドの計測値の平均値を前記格子曲がりの補正情報として算出する移動体駆動システム。
【請求項４３】
請求項４１又は４２に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第２干渉計からの前記計測ビームが照射される前記移動体の反射面は理想的な平面であり、
前記演算処理装置は、前記第２干渉計の計測値を所定値に固定しつつ前記第１干渉計及び前記第１ヘッドユニットの少なくとも一方の計測値に基づいて前記移動体を第１軸に平行な方向に移動させる移動体駆動システム。
【請求項４４】
請求項４１〜４３のいずれか一項に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記演算処理装置は、さらに、前記第１及び第２干渉計の計測値に基づいて、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させつつ、該移動に伴って前記第２ヘッドユニットに対して順次対向配置される前記第２格子部の格子ピッチの補正情報を、前記第２干渉計の計測値と前記第２ヘッドユニットの計測値とに基づいて求め、
前記制御装置は、前記第２ヘッドユニットから得られる計測値を、前記第１干渉計及び前記第１ヘッドユニットの少なくとも一方の計測値、及び前記第２格子部の格子曲がりの補正情報、並びに前記第２格子部の格子ピッチの補正情報に基づいて補正しながら、前記移動体の前記第２軸に平行な方向への駆動を行う移動体駆動システム。
【請求項４５】
請求項４４に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第１干渉計からの前記計測ビームが照射される前記移動体の反射面は理想的な平面であり、
前記演算処理装置は、前記第１干渉計の計測値を所定値に固定しつつ前記第２干渉計の計測値に基づいて前記移動体を第２軸に平行な方向に移動させる移動体駆動システム。
【請求項４６】
請求項４４又は４５に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記演算処理装置は、前記第２干渉計の計測値の短期変動が無視できる程度の低速で、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させる移動体駆動システム。
【請求項４７】
物体が載置され、該物体を保持して移動面内で移動可能な移動体と、
前記物体に対するパターン形成のため、前記移動体を駆動する請求項４１〜４６のいずれか一項に記載の移動体駆動システムと、を備えるパターン形成装置。
【請求項４８】
請求項４７に記載のパターン形成装置において、
前記パターンの形成は、エネルギビームを照射して前記物体を露光することで行われるパターン形成装置。
【請求項４９】
互いに直交する第１軸及び第２軸を含む所定の平面内で移動する移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第１軸と平行な方向の位置情報を計測する第１干渉計の計測値と、前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第２軸と平行な方向の位置情報を計測する第２干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させる第１移動工程と、
前記第２軸と平行な方向を周期方向とする格子を有し、前記移動体上に配置された第１格子部に検出光を照射して、前記移動体の前記第２軸に平行な方向の位置情報を計測するエンコーダを構成する第１ヘッドユニットに含まれる、前記第１軸に平行な方向に関して位置が異なる複数のヘッドのうち、前記第１移動工程における前記移動体の移動に伴って前記第１格子部に順次対向して配置される複数の前記ヘッドから得られる計測値と、各計測値に対応する、前記第１干渉計の計測値とを用いて、所定の統計演算を行って前記第１格子部の格子曲がりの補正情報を決定する第１決定工程と、
前記第１ヘッドユニットから得られる計測値を、前記第１干渉計の計測値と前記第１格子部の格子曲がりの補正情報とに基づいて補正しながら、前記移動体の前記第２軸と平行な方向への駆動を行う駆動工程と、を含む移動体駆動方法。
【請求項５０】
請求項４９に記載の移動体駆動方法において、
前記第１決定工程では、前記第１格子部に対して順次対向配置される前記第１ヘッドユニットの複数のヘッドの計測値の平均値を前記格子曲がりの補正情報として算出する移動体駆動方法。
【請求項５１】
請求項４９又は５０に記載の移動体駆動方法において、
前記第２干渉計からの前記計測ビームが照射される前記移動体の反射面は理想的な平面であり、
前記第１移動工程では、前記第２干渉計の計測値を所定値に固定しつつ前記第１干渉計の計測値に基づいて前記移動体を第１軸に平行な方向に移動させる移動体駆動方法。
【請求項５２】
請求項４９〜５１のいずれか一項に記載の移動体駆動方法において、
前記第１及び第２干渉計の計測値に基づいて、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させる第２移動工程と、
前記第２移動工程における前記移動体の移動に伴って前記第１ヘッドユニットに対して順次対向配置される前記第１格子部の格子ピッチの補正情報を、前記第２干渉計の計測値と前記第１ヘッドユニットの計測値とに基づいて求める第２決定工程と、をさらに含み、
前記駆動工程では、前記第１ヘッドユニットから得られる計測値を、前記第２干渉計の計測値及び前記第１格子部の格子曲がりの補正情報、並びに前記第１格子部の格子ピッチの補正情報に基づいて補正しながら、前記移動体の前記第２軸に平行な方向への駆動を行う移動体駆動方法。
【請求項５３】
請求項５２に記載の移動体駆動方法において、
前記第１干渉計からの前記計測ビームが照射される前記移動体の反射面は理想的な平面であり、
前記第２移動工程では、前記第１干渉計の計測値を所定値に固定しつつ前記第２干渉計の計測値に基づいて前記移動体を第２軸に平行な方向に移動させる移動体駆動方法。
【請求項５４】
請求項５２又は５３に記載の移動体駆動方法において、
前記第２移動工程では、前記第２干渉計の計測値の短期変動が無視できる程度の低速で、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させる移動体駆動方法。
【請求項５５】
移動面内で移動可能な移動体上に物体を載置する工程と、
前記物体に対してパターンを形成するため、請求項４９〜５４のいずれか一項に記載の移動体駆動方法により前記移動体を駆動する工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項５６】
請求項５５に記載のパターン形成方法において、
前記パターンの形成は、エネルギビームを照射して前記物体を露光することで行われるパターン形成方法。
【請求項５７】
請求項３６〜４０、５５、５６のいずれか一項に記載のパターン形成方法を用いて物体上にパターンを形成する工程と、
パターンが形成された前記物体に処理を施す工程と、を含むデバイス製造方法。
【請求項５８】
物体をエネルギビームで露光する露光方法であって、
前記物体を保持して所定の平面内で可動な第１移動体及び前記平面内で前記第１移動体とは独立に可動な第２移動体の位置情報を、第１及び第２計測装置を用いて計測する工程を含み、
前記第１計測装置は前記第２計測装置に比べて計測値の短期安定性が優れる露光方法。
【請求項５９】
請求項５８に記載の露光方法において、
前記第１移動体は、前記平面内で前記物体を保持して第１及び第２方向に移動するとともに、前記第１方向に格子が周期的に配列される第１格子部が設けられ、
前記第１計測装置は、前記第２方向に関して前記第１格子部の幅より広い検出範囲を有する第１ヘッドユニットによって前記第１移動体の前記第１方向の位置情報を計測するエンコーダシステムを含む露光方法。
【請求項６０】
請求項５９に記載の露光方法において、
前記第１格子部は、前記第２方向に関して前記物体を挟んで一対設けられ、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して前記エネルギビームの照射位置の両側にそれぞれ前記検出範囲を有する露光方法。
【請求項６１】
請求項６０に記載の露光方法において、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して前記検出範囲が前記第１格子部の幅と同程度以上離れている露光方法。
【請求項６２】
請求項５９〜６１のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第１ヘッドユニットは、前記第２方向に関して位置が異なる複数の第１ヘッドを有し、前記エンコーダシステムは、前記検出範囲内で前記第１格子部と対向する第１ヘッドによって前記第１移動体の前記第１方向の位置情報を計測する露光方法。
【請求項６３】
請求項６２に記載の露光方法において、
前記複数の第１ヘッドは、前記第２方向に関して前記第１格子部の幅よりも狭い間隔で配置される露光方法。
【請求項６４】
請求項５９〜６３のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第１移動体は、前記第２方向に格子が周期的に配列される第２格子部が設けられ、
前記エンコーダシステムは、前記第１方向に関して前記第２格子部の幅より広い検出範囲を有する第２ヘッドユニットによって前記第１移動体の前記第２方向の位置情報を計測する露光方法。
【請求項６５】
請求項６４に記載の露光方法において、
前記第２格子部は、前記第１方向に関して前記物体を挟んで一対設けられ、
前記第２ヘッドユニットは、前記第１方向に関して前記エネルギビームの照射位置の両側にそれぞれ前記検出範囲を有する露光方法。
【請求項６６】
請求項６４又は６５に記載の露光方法において、
前記第２ヘッドユニットは、前記第１方向に関して位置が異なる複数の第２ヘッドを有し、前記エンコーダシステムは、前記検出範囲内で前記第２格子部と対向する第２ヘッドによって前記第１移動体の前記第２方向の位置情報を計測する露光方法。
【請求項６７】
請求項５９〜６６のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記エンコーダシステムによって計測される位置情報は、少なくとも前記物体の露光動作で用いられる露光方法。
【請求項６８】
請求項５９〜６７のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記エンコーダシステムによって計測される位置情報は、少なくとも前記物体のマークの検出動作で用いられる露光方法。
【請求項６９】
請求項５９〜６８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第２計測装置は、前記第２移動体の位置情報を計測する干渉計を含む露光方法。
【請求項７０】
請求項５９〜６８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第１計測装置は、前記第１移動体の位置情報を計測する干渉計システムを含み、前記干渉計システムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向は、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向と異なる方向を含む露光方法。
【請求項７１】
請求項７０に記載の露光方法において、
前記干渉計システムは、前記平面内の方向と異なる方向に関して前記第１移動体の位置情報を計測する露光方法。
【請求項７２】
請求項７０又は７１に記載の露光方法において、
前記干渉計システムは、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の少なくとも１つの計測方向に関して前記第１移動体の位置情報を計測する露光方法。
【請求項７３】
請求項７０〜７２のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第２計測装置は、前記第２移動体の位置情報を計測する干渉計システムを含み、
前記干渉計システムによって計測される位置情報を含む前記第１計測装置の計測情報に基づいて前記第１移動体の移動が制御される露光方法。
【請求項７４】
請求項７３に記載の露光方法において、
前記計測情報は、前記エンコーダシステムによる前記第１移動体の位置情報の計測方向と異なる方向に関する、前記干渉計システムによる前記第１移動体の位置情報を含む露光方法。
【請求項７５】
物体をエネルギビームで露光する露光方法であって、
前記物体を保持して所定の平面内で第１及び第２方向に可動であり、前記第１方向に格子が周期的に配列される第１格子部、及び前記第２方向に格子が周期的に配列される第２格子部が設けられる第１移動体の位置情報を、第１計測装置が備えるエンコーダシステムの前記第１及び第２格子部と異なる２つが対向する複数のヘッドによって計測する工程と、
前記平面内で前記第１移動体とは独立に可動な第２移動体の位置情報を第２計測装置が備える干渉計によって計測する工程と、を含み、
前記エンコーダシステムは、前記干渉計に比べて計測値の短期安定性に優れる露光方法。
【請求項７６】
請求項７５に記載の露光方法において、
前記第１及び第２格子部の少なくとも一方に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補正する工程をさらに含む露光方法。
【請求項７７】
請求項５８〜７６のいずれか一項に記載の露光方法を用いて物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【公開番号】特開２０１２−２３５１６５（Ｐ２０１２−２３５１６５Ａ）
【公開日】平成２４年１１月２９日（２０１２．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−１８２８７７（Ｐ２０１２−１８２８７７）
【出願日】平成２４年８月２２日（２０１２．８．２２）
【分割の表示】特願２００８−５０１７４５（Ｐ２００８−５０１７４５）の分割
【原出願日】平成１９年２月２１日（２００７．２．２１）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月２９日（２０１２．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年８月２２日（２０１２．８．２２）
【分割の表示】特願２００８−５０１７４５（Ｐ２００８−５０１７４５）の分割
【原出願日】平成１９年２月２１日（２００７．２．２１）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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