【課題】 大型のワイヤーカセットの検査を短時間でかつ精度よく行うことの可能なワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置を提供すること。
【解決手段】 直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する方法であって、前記ワイヤー列の１つとレーザを用いたセンサとが所定の位置にあるときにレーザを用いて前記ワイヤー列の１つの高さを自動的に測定し、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させて、順次、他のワイヤー列の高さを自動的に測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】板状部材Ｗの反り量を簡単且つ確実に測定することである。
【解決手段】板状部材Ｗを水平に載置するための載置台３と、前記載置台３に載置された板状部材Ｗに光を照射する光照射部６１と、光が照射された板状部材Ｗからの反射光を検出する光検出部６２と、前記光検出部６２からの光検出信号を受け付けて、前記板状部材Ｗに生じる反り量を算出する演算部７２と、を備え、前記載置台３が、その上面に設けられ、前記板状部材Ｗの下面に接触して、その板状部材Ｗを水平に支持する互いに離間した複数の突出支持部３１を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対象物上の膜内の応力を容易かつ迅速に求める。
【解決手段】応力測定装置１では、対物レンズ４５７を介して基板９に照射した光の反射光を遮光パターン撮像部４３により受光することにより、光学系４５の開口絞り部４５３に配置された遮光パターン４５３ａの像が取得される。制御部５では、遮光パターン撮像部４３からの出力に基づいて、複数の傾斜ベクトル測定領域における基板９の傾斜ベクトル、および、基板９の表面形状が求められ、表面形状に基づいて求められた曲率半径、膜厚および基板９の厚さに基づいて膜内の応力が求められる。応力測定装置１では、対物レンズ４５７からの光が基板９上においてほぼ平行光となっているため、基板９上の各傾斜ベクトル測定領域においてフォーカス調整なしに測定を行うことができ、基板９の表面形状を容易かつ迅速に求めることができる。その結果、基板９上の膜内の応力を容易かつ迅速に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】従来の接触式の検出器に比べて直径の測定精度が高く、複数の直径を高速で測定でき、測定するワークの直径の大小の差が大きい場合でも対応可能な測定装置を開発する。
【解決手段】筒状ワークを載置する回転台と、回転台を回転駆動する回転駆動手段と、回転台の上方にその回転軸線を挟んで対向する投光部と受光部を有するデジタル寸法測定器と、投光部及び受光部を昇降する昇降手段と、ワークの測定高さを入力する入力手段と、測定結果を表示する表示手段と、回転駆動手段及び昇降手段を制御する制御手段を備える筒状ワーク寸法測定装置である。回転台に載せたワークを回転させながら投光部からワークに平行光束を投光すると共に受光部でその光束を受光し、ワークで遮られた光束からワークの複数本の径又は曲がりを測定するので、測定精度が高く、複数の直径を高速で測定でき、測定するワークの直径の大小の差が大きい場合にも対応できる。 （もっと読む）

【課題】鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上の、観察可能なあらゆる点での面歪分布を、定量的に、また高速・高精度に測定および評価できる、面歪の測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数種の明暗パタン５を切替えて表示することが可能なパタン表示手段２と
、鏡面乃至半鏡面状の測定対象１表面上に写る、前記パタン表示手段に表示された複数の
明暗パタンの鏡像を、撮影する撮影手段３と、撮影された、複数の明暗パタンの鏡像画像
を画像処理して、測定対象表面の面歪分布の演算、面歪の定量評価するパソコン１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】
大面積・薄肉化パネルの形状測定において、より正確なパネルの「そり」を測定できる縦型形状測定装置を提供する。
【解決手段】
パネルを均一で一定の力で挟持できるクランプで構成された支持機構を備えた縦型形状測定装置を使用し、パネルを支持するクランプ力を変えた、少なくとも２種類のクランプ力で測定した、真の「そり」の分かっているパネルの「そり」の測定結果と三点裏返し測定法により求めた真の「そり」の測定結果より、装置固有の系統誤差を求め、真の「そり」が未知のパネルについて、少なくとも２種類のクランプ力で測定したパネルの「そり」の測定結果より、計算式によりパネルの真の「そり」を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】電子デバイス用基板に関する評価項目を１回の測定で検査でき、基板とは非接触で、高い測定精度が得られる電子デバイス用基板形状検査装置を提供する。
【解決手段】電子デバイス用基板の形状を光学的に検出する形状検出手段１と、検出した形状情報に必要に応じた画像処理を施す形状情報処理手段５と、前記検出した形状情報又はこれに前記画像処理を施した形状情報に基づいて前記基板の形状を測定する形状測定手段６とを備え、前記形状検出手段１は受光部を備え、前記基板の少なくとも測定部位を通過した光を反射させて再び前記受光部に戻すように光路中に光学部材を介在させた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板等の板状体の微小な反りを確実に検出することができる板状体の反り検出装置及びその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】実施の形態のガラス基板Ｇの反り検出装置１０は、ガラス基板Ｇを搬送装置１２によって搬送しながら、レーザ変位計２４、２４による全数検査を実施し、下流工程への流出防止を図る。ガラス基板Ｇの搬送装置１２は、搬送中のガラス基板Ｇに外乱である振動を極力与えない装置、すなわち、ガラス基板Ｇの下面にエアを噴射してガラス基板Ｇをフローティングさせるフローティングテーブル１６と、フローティングテーブル１６内に配設されるとともにフローティングしたガラス基板Ｇの下面を支持してガラス基板Ｇを所定の方向に搬送するベルトコンベア１８Ａとから構成している。これにより、１ｍｍ以下の微小な反り量を検出するガラス基板Ｇの搬送装置として好適である。 （もっと読む）

【課題】長尺工具エッジの曲率半径の測定を高速かつ高精度に行うことのできる計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】長尺工具エッジ１１をその長手方向に直交して臨むようにラインカメラ２０が設置される。ラインカメラ２０を長尺工具の長手方向と平行に駆動するＸ軸移動ステージ５２と長尺工具エッジ１１にラインカメラ２０の焦点を合わせるためのＹ軸移動ステージ５３を有するカメラステージ５０がある。カメラステージ５０上にラインカメラ２０を載架する。 （もっと読む）

【課題】走査される光ビームのビームスポット位置を精度よく測定する。
【解決手段】光学特性測定装置７０の受光装置７１を、光走査装置１００から射出された光ビームＬＢ１,ＬＢ２,ＬＢ３,ＬＢ４がそれぞれ入射する受光位置に、Ｘステージ及びＹステージを駆動することにより順次位置決めする際に、受光装置７１のステージ座標系における位置座標を、誤差量δ（Ｘ）、δ（Ｙ）及び角度誤差Δθに基づいて補正する。これにより、精度よくステージ座標系における光ビームＬＢ１〜ＬＢ４のビームスポット位置をそれぞれ計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】例えば液晶ディスプレイのキャビネットに発生する外観上の欠陥を定量的に評価することが可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、検査対象５０を撮像して得られた画像の輝度レベルを示す画像データに基づいて、撮像面に対する輝度レベルを連続曲面として算出し、算出した連続曲面に関する最小曲率値、輝度レベルが所定値の仮想平面と交差する交差領域の面積、交差領域及び連続曲面にて形成される閉空間の体積、交差領域上の最大の線分長等の複数のパラメータを用い、各パラメータに対応する重み係数を夫々のパラメータに乗じて算出した評価値に基づいて、検査対象５０の外観を定量的に検査する。またニューラルネットワーク等の学習法にて重み係数を算出する。 （もっと読む）

【課題】計測作業の効率を高め、人的誤差の発生を防止し、レールレベルからの台枠高さや屋根高さ計測における真値を計測可能にする。
【解決手段】レールＲＬを挟むように配置した少なくとも四台の一部撮影用デジタルカメラ１〜４をそれぞれ固定し、レール上の所定位置に計測対象の鉄道車両ＲＶを配置した際および、その後鉄道車両をレール上で所定距離移動させる毎に、レール上の車両の一部を、デジタルカメラで車両の長手方向の斜め方向から撮影して、車両の複数箇所に設けたターゲットを撮像し、各ターゲットの画像データを基に画像処理および演算処理をすることによって、車両全体に設けた複数のターゲットの各々の撮影位置での３次元座標値を算出し、各ターゲットの撮影位置での３次元座標値と、車両の移動距離との組み合わせから車両の出来形寸法を算出する、鉄道車両用出来形寸法計測方法。 （もっと読む）

【課題】薄片状の被測定物の厚さ分布および反り形状を同時にかつ高精度に測定できる形状測定方法およびその装置を提供する。
【解決手段】対向する一対の静電容量センサ２，２’を、被測定物Ｓを挟んで昇降可能に配置し、上部の静電容量センサ２を昇降させて被測定物Ｓとの間隙を略一定に保持するとともに、下部の静電容量センサ２’を、上部の静電容量センサ２の前記移動に追随させて移動させ、一対の静電容量センサ２，２’間の距離を一定に保持する。そして、上部の静電容量センサ２の移動量および一対の静電容量センサ２，２’で検出された被測定物Ｓとの間隙に基づいて前記被測定物の厚さおよび反り形状を求める。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ等の円盤状体の直径測定における重力の影響を除外して重力のない状態での真の直径を測定することのできる直径測定方法を提供すること及び，円盤状体が外力の無い状態でもともと備えている反りを伸ばして平面状にしたときの円盤状体の直径を演算によって求めることのできる直径測定方法を提供すること。
【解決手段】 測定対象である実測円盤状体に近似される基準円盤状体を所定の支持状態で支持したときの，重力によって生じる直径の基準変化量を予め算出しておき，測定対象である実測円盤状体を，上記基準変化量を算出したときと同じ所定の支持状態で実際に支持した時の実直径を測定し，上記実直径を上記基準変化量で補正することで，上記実測円盤状体の無重力状態における直径を演算する直径測定方法。 （もっと読む）

【課題】改善された端面を有する特にガラス・ロッド部分の形で光導体を提供する。
【解決手段】本発明は、ガラス・ロッド、特に光導体を検査するための方法であって、ガラス・ロッドは２台のカメラの前に配置され、これらのカメラはガラス・ロッドの端面を側面から、ガラス・ロッドの長手方向軸に対して半径方向の２つの異なる視野方向で記録し、端面の外形の平面度と傾斜度は両方のカメラによって記録に基づいて光学的に非接触式で決定され、ガラス・ロッドは、その端面の平面度または傾斜度のいずれかがそれぞれ規定された設定範囲から逸脱している場合には、除去／分類デバイスによって自動的に除去および／または分類される方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、半導体ウェハ、光学薄膜、ディスプレイスクリーンなどの基体における欠陥の物理的特性を決定して、特定して位置を定める方法に関する。方法は、基体を撮像するためにＰＣスキャナの使用を伴う。特に、透過モード撮像において用いられるＰＣスキャナは、基体の体積に関する情報を決定することを可能にする。方法は、干渉法技術の使用により、層厚、曲率および光学定数などの特性の決定を可能にし、偏光撮像の使用により、複屈折率および歪みの決定を可能にする。方法はまた、例えば、光ルミネセンスおよびエレクトロルミネセンスなどの基体におけるルミネセンスに刺激を与え、ルミネセンスマッピングのために刺激を与えた基体を走査することに関する。
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【課題】レンズを物理的に切断すること無しで済むような、球状と非球状レンズの双方の正確な表面測定を提供する、レンズを測定する。
【解決手段】光学的コヒーレンス断層撮影法（ＯＣＴ）システムが、レンズを測定するために用いられる。本方法は、ＯＣＴシステムを用いて、１つあるいはそれより多いレンズの画像を得る。例えば、ＯＣＴシステムは、コンタクト・レンズ、眼内レンズ、角膜に載せるレンズ、角膜嵌め込みレンズ、及び、眼鏡レンズ、のような視覚補正レンズ、又は、光学的機器及び診断機器レンズのような非視覚補正レンズの、断面画像、表面画像、又は、断面画像と表面画像の組み合わせ、を得るために使用され得る。画像は、表面形状、厚さ、曲率、レンズ倍率、及び、エッジ・プロファイル等のようなレンズの特性を決定するために用いられ得る。本方法は、レンズ計測方法、レンズ設計方法、及び、レンズ製造方法を含む。 （もっと読む）

【課題】ウェハ各部の検査画像の撮像にあたり、ウェハのソリに対処しつつフォーカス補正を容易に行え、検査時間を大幅に短縮できる外観検査方法および外観検査装置の提供。
【解決手段】ウェハをアライメントする際（Ｐ１）に用いられるアライメントパターンについてのマーク合焦位置を測定し（Ｐ２）、このマーク合焦位置を基にウェハのソリ形状を求め、このソリ形状からウェハの被検査面の各部における各部合焦位置を算出するので（Ｐ３）、ウェハの被検査面の各部ごとにフォーカス調整（合焦）することが不要となる。すなわち、ウェハの各部ごとに合焦する手間が掛かることなく、ウェハ各部における合焦位置を得ることができるので、孔が明いていたり裏面側への接触が不可とされたウェハのソリに対処しつつフォーカス補正を容易に行うことができ、ウェハの外観検査に要する時間を大幅に短縮できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、低い装置コストのシステムにより、反射面及び特に、透明対象物に対して信頼性の高い形状測定が可能となり、システムの較正及び形状測定が特に処理しやすくなる選択肢を提案することにある。
【解決手段】本発明は、反射面（１４）の形状を測定する方法と対応するシステムであって、反射面（１４）で反射される少なくとも１つのパターン（１５）と反射面（１４）で反射されたパターン（１５）を画素毎に視認するための少なくとも１つのカメラ（１）とを有し、カメラ（１）とパターン（１５）との位置と向きとが既知であるものに関する。複雑でない装置により信頼性高く反射面の形状を測定するため、画素（８）につき既知のカメラ（１）の視認方向と、反射されたパターン（１５）の画素（８）へのマッピングに対応するパターン（１５）の位置とを用いて、反射面形状を測定するため表面角度と表面高さとを決定する。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面の反りを測定する方法を提供する。
【解決手段】本基板の裏面の反り測定方法は、基板検出ステップＳ１と最適平面算出ステップＳ５と、算出ステップＳ６とを含む。また、本基板の裏面の反り測定方法において、基板検出ステップＳ１後、最適平面算出ステップＳ５前に、ノイズ除去ステップＳ２および外周部除去ステップＳ３、外周部除去ステップＳ３および平滑化ステップＳ４、またはノイズ除去ステップＳ２、外周部除去ステップＳ３および平滑化ステップＳ４を含むことができる。 （もっと読む）