【課題】傷加工部に加わる曲がり量を正確に検知することができ、高感度の曲がりセンサの提供。
【解決手段】光ファイバの外周面に、該光ファイバに加わる曲げによって損失変動を生じさせる傷加工部が形成された曲がりセンサにおいて、光源と前記傷加工部との間の光ファイバに多数回の曲げを与えた曲げ部が設けられたことを特徴とする曲がりセンサ。この曲げ部は、光ファイバを８字状に曲げたり、蛇行させることにより形成することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバリングの一部に印加された物理的外力とその位置を同定し、且つ光ファイバリングの切断と切断位置を検出する。
【解決手段】 光ファイバ侵入監視装置１は、波長が異なる２つの光源９，２５と、この２つの光源９，２５に対応して光ファイバの干渉光を検出する２種類の受光部１３，２９とを備えた光ファイバ振動センサ検出装置４９と、この光ファイバ振動センサ検出装置４９の各光源９，２５と各受光部９，２５に接続される第１分岐結合器５１と、この第１分岐結合器５１に一端側を接続した光ファイバリング干渉型の振動センサ２３、２９を構成する振動センサ用光ケーブル６９と、この振動センサ用光ケーブル６９の他端側に接続した第２分岐結合器５３と、から構成され、前記振動センサ用光ケーブル６９に、ケーブル切断検出用光ファイバ７を収容している。 （もっと読む）

【課題】画像上の対象物の明るさに左右されることなく、対象物の抽出精度を確保する。
【解決手段】カラーハイライト照明を用いた基板検査装置において、リード先端部を検査のために抽出するに際し、処理対象のカラー画像を構成するＲ，Ｇ，Ｂの各色データをそれぞれ所定の係数により重み付けし、重み付け後の各色データの総和Ｉを濃度とするグレイスケール画像を生成する。ここで各係数のうち、検査対象のリード先端部を抽出するのに適した色データであるＲ，Ｇの係数には正の値が設定され、残りのＢには負の値が設定される。さらに生成されたグレイスケール画像について、判別分析法によりしきい値を特定した後に、そのしきい値による２値化処理を行って、リード先端部を抽出する。 （もっと読む）

【課題】レンズ面や反射面である光学面の形状を、容易、且つ確実に精度よく測定する。
【解決手段】光源１０から出射したビームを被検物０の光学面ＳＦに照射し、光学面ＳＦからの反射光を、受光手段１６の受光面に入射させ、受光手段により受光して、反射光の反射角：２θを計測することにより、光学面ＳＦの傾斜角分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】回転ドラムの設置を要せず、計測範囲に応じて、容易に部材選定等が定まる構造とし、そのコストを安価にして構成できる変位検出装置および伸縮検出装置の提供を目的とする。
【解決手段】傾斜角を有する移動溝が内部に設けられ、かつガイド溝が設けられた装置本体と、可動部と、ガイドピンがガイド溝に遊嵌して平行移動可能とされた帯状曲げひずみ検出センサと、帯状曲げひずみ検出センサを装置本体の前後方向から引張する引張部材と、
を備え、可動部が傾斜移動し、ガイドピンが平行移動するときの帯状曲げひずみ検出センサにおける曲げひずみの値を検出する。 （もっと読む）

【課題】複写機等の電子写真を用いた画像形成方法による定着装置、画像形成装置における、省エネルギー化と、画像の光沢ムラ防止を図る。
【解決手段】無端状の定着ベルト２３と加圧ベルト２５の間に記録紙２８を挟んで搬送し、その表面のトナー像を加熱、放熱させた後に定着ベルトからトナー面を分離する。定着ベルト２３からの分離時にトナー像は凝固しているため、１００℃程度で溶融するトナーを用いても定着ベルト２３側に低粘度トナーがオフセットすることが防止され、低温度定着が容易になる。このため良好な省エネルギー定着システムが得られることになる。このようなシステムにおいて懸架された一対のベルト２３、２５に一定の張力をかけ、記録紙２８の挟持を密着状態に保つ。ベルト２３、２５の面のうねりは光反射型センサ３１、３２で検出し、テンション調整によりうねりを無くす。 （もっと読む）

【課題】ビードの立上りがなだらかでビードの高さが低くても、光切断法やレーザ距離計等の光学的手段で得た鋼管の断面プロフィールから、従来よりも精度よくビード形状を検出できるようにする。
【解決手段】溶接鋼管の溶接部に線状光又は走査した点状光を照射し、溶接部表面に照射された線状光又は点状光の像を撮像して、光学的手段により溶接鋼管の断面プロフィールを検出するビード形状検出方法において、断面プロフィールからピーク探索により仮のビード頂点の座標を算出した後、ビード頂点を含む一定の幅の範囲を第１の関数で近似し、仮のビード頂点を基準に一定の距離だけ離れた位置を開始点として外側の一定の幅を第２の関数で近似し、第１の関数と第２の関数の交点をビードの止端点として算出した後、ビード形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】車両ボディ表面などの凹曲面又は凸曲面等の複雑な曲面を被検査面とする面形状検査において、受光手段が捉えた被検査面の任意の位置において像対象物の鏡像が映るようにして、一度の検査で被検査面の曲面形状を残らず検出することのできる技術を提案する。
【解決手段】被検査面Ｆを略中心として放射状に、且つ、併せて検査面を包囲する円弧を成すように、複数が略平行に配列されている略直線状の光線照射部２１ａ・２１ａ・・・を備えた像対象物２１から、被検査面Ｆに光線束を照射することによって、該被検査面Ｆに明部と暗部とを形成する。そして、被検査面Ｆの明部と暗部の表れ方や形状等に基づいて該被検査面Ｆの形状を特定し、品質の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】芯材の表面に形成されたクラッド層のクラッド率を客観的かつ定量的に測定するのにより好適なクラッド率測定装置を実現する。
【解決手段】クラッド率測定装置１２は、芯材１４の表面にクラッド層１６を形成した測定対象部材１３に関する断面像を取り込む画像取得手段１８と、前記断面像の厚み方向におけるピクセル値の変化に基づきクラッド層１６の対向する二つの境界を求める境界判定手段２０と、前記境界間の距離を演算してクラッド層１６のクラッド率を算出するクラッド率演算手段２２を備える。 （もっと読む）

【課題】走査光学系の光学特性である倍率誤差、走査線曲がり量及びビームスポット径を高精度に短時間で計測でき、その計測結果と設定された公差に基づいて被検査対象の走査レンズを良否判定して走査レンズの品質を検査する検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、主走査方向及び副走査方向に移動可能な二軸構成の移動ステージ上に搭載されたビーム計測部１７と、計測部ＣＰＵ２３とを備える。計測部ＣＰＵ２３は、主走査方向ビーム位置算出部３７、副走査方向ビーム位置算出部３８、ビーム径算出部３９、光学特性算出部４０及び良否判定部３５を備え、光学特性算出部４０は、ビーム位置と偏向角回転手段１１の偏向角度とビーム径とから倍率誤差、走査線曲がり量及びビームスポット径を算出し、良否判定部３５は、その算出結果及び設定公差に基づき良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 光学的技法は、半導体ウェーハなどの基板を特徴づけるために用いられることがあるが、既存の技法は、時間が掛かる、扱いにくいなどの問題がある。
【解決手段】 光学的技法を用いてサンプルを特徴づけるためのシステム及び技法を提供する。コヒーレント光がサンプルに入射し、回折パターンが検出されることがある。１若しくは複数のサンプル特性及び／または１若しくは複数のパターン特性を決定するために、回折パターン強度を示す情報が用いられることがある。例えば、応力、そり、曲率、汚染などのサンプル特性が決定されることがある。コヒーレント光は、単一波長の光であることがあるかまたは複数の波長の光であることがある。 （もっと読む）

【課題】放電灯用のガラス管の形状を計測し、評価する事により品質を確保する検査方法及び検査装置を、汎用性が高く安価に提供する。
【解決手段】基準値情報の入力手段と、透光体よりなる被検査体の保持手段と、前記被検査体に光を照射する光源手段と、前記被検査体を透過した光の画像情報を取り込む画像取り込み手段と、前記画像取り込み手段により取り込んだ画像情報に基づき前記計測基準項目毎の測定値を計測する計測手段と、前記入力手段により予め入力された情報と前記測定値情報を比較して合否判定を行う演算手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】 光干渉法と偏光解析法を1台の装置において可能にすることによって、基板上に形成した透明な薄膜の屈折率と膜厚や、基板のたわみや膜の段差などを試料面内で２次元的に測定できるようにするとともに、測定精度を向上させた表面測定装置を提供する。
【解決手段】 ある偏光状態にある平面波を試料１に照射し試料１の反射による偏光状態の変化をセンサー１１によって測定することを特徴とする光学式表面測定装置において、反射側のレンズ７の焦点に偏光素子８を置くことを特徴とする表面測定装置。 （もっと読む）

【課題】例えば面取り部、ベベル、フィレット及びその他の部品特徴形状部に見ることができるようなエッジ鋭利部を生じる可能性がある、部品特徴部及び／又は幾何学的不連続部のようなエッジ急変部を特徴付けるためのコンピュータ実行の方法、システム及びコンピュータプログラムコードを提供する。
【解決手段】部品内のエッジの最初のセグメントに対応するウィンドーサイズを設定するためのインタフェースと、前記部品内のエッジ急変部を含む前記エッジのイメージングデータポイントを処理するプロセッサと、前記エッジに適合する直線に基づく複数の相互接続直線によって形成された線を生成する３６プロセッサと、前記エッジの勾配差を計算する３８プロセッサと、前記計算した勾配差の大きさの変化に基づいて、第１のエッジ急変ポイントを特定する４０プロセッサと、前記第１の湾曲屈曲部を特徴付けるために曲率半径を計算するプロセッサと、を含む。 （もっと読む）

【課題】被検レンズが球面レンズであるか非球面レンズであるかを簡易且つ迅速に知ることのできるレンズ特定装置を提供すること。
【解決手段】被検レンズ３０の光学特性を測定する測定光学系２０と、前記測定光学系２０で測定された被検レンズ３０が単焦点レンズである場合、被検レンズ３０の周縁部と他の部分の球面度数によって被検レンズ３０が球面レンズか非球面レンズかを判別する処理回路３７を有する。しかも、処理回路３０は、被検レンズ３０の周縁部の球面度数が他の部分の球面度数より小さい場合、被加工レンズ３０が単焦点レンズの非球面レンズであると判断する。 （もっと読む）

透過性又は拡散性の物体（１９）上の幾何学量を測定する方法及び装置のために、２つの基準アームと短いコヒーレンス長とを有するマイケルソン干渉計が用いられる。基準アーム（１１、１２）の基本光学遅延時間は、結果として、幾何学量としての層厚に対応する光学遅延時間差を生成するように選択される。少なくとも２つの基準アームビーム（３３ａ、３５ａ）が、互いに空間的なオフセット角（ｄｗ）を成して、単一の回転式光路長変更素子（２３）に送られる。光路長変更素子（２３）によって引き起こされる遅延時間変化が、基準アーム（１１、１２）内の基本光学遅延時間に対して逐次的に適用されるようにするために、回転角に依存する、基準アームビームの遅延時間変化が、回転によって引き起こされる回転角の関数として生成される。測定されることになる表面上に光強度構造を投影し、その像を測定することによって、さらなる幾何学量としてトポグラフィが得られる。 （もっと読む）

【課題】反射面の形状に関する情報を精度良く計測する。
【解決手段】ウエハテーブルＷＴＢが、鏡面状の反射面５４Ｘ，５４Ｙを有する側壁２７Ａ，２７Ｂと、該側壁に対し反射面の裏面側で接触するリブ２１とを有しており、反射面の形状に関する情報を計測する際の計測ピッチとリブの間隔とが所定の関係に設定されていることから、第１部材の反射面の形状が第１部材へのリブの接触により影響を受ける場合でも、計測ピッチとリブの間隔とを所定の関係とすることで、精度良く計測することが可能である。 （もっと読む）

【課題】測定対象物における各端部を撮像する撮像装置を厳格に位置決めして配置する必要がないとともに、撮像装置に対する測定対象物の端面の向きに関わらず測定対象物の長さを精度よく測定することを可能にする。
【解決手段】３次元形状測定装置２０Ａ，２０Ｂにおける各座標原点間のワークＷＫの軸線方向に沿った距離を基準距離Ｌ_０として記憶しておくとともに、ワークＷＫの軸線に直交する基準面Ｐｋａ，Ｐｋｂを定義する。次に、３次元形状測定装置２０Ａ，２０ＢによりワークＷＫの端面Ｓａ，Ｓｂを含む各端部を測定し、同端面Ｓａ，Ｓｂを表す平面Ｐｗａ，Ｐｗｂを定義するとともに、同平面Ｐｋａ，Ｐｋｂを用いて基準面Ｐｋａ，Ｐｋｂに平行な測定用平面Ｐｍａ，Ｐｍｂを定義する。そして、基準距離Ｌ_０から測定用平面Ｐｍａ，Ｐｍｂと前記各座標原点との距離を減算してワークＷＫの長さＬを計算する。 （もっと読む）

【課題】 部品を組立した後の製品の検査項目の観点で部品の形状計測ができる部品の形状計測方法を提供する。
【解決手段】
検査装置１０は、部品形状を撮像するＣＣＤカメラ４０と、製品検査において基準となる基準点と、ＣＣＤカメラ４０により得られた部品形状の幾何学的関係に基づき前記基準点の代わりとなる仮想点を算出する画像処理部５０ａを備える。又、画像処理部５０ａは製品検査と同項目の検査に関し、仮想点を基準として部品形状に基づいて測定を行う。外部装置７０は、測定結果の適否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 被測定面における歪を定量的に評価可能な歪評価装置を提供する。
【解決手段】 被測定面の三次元計測データに基づいて歪の評価を行う歪評価装置４０であって、被測定面の凹凸を表す断面の二次元計測データを２次微分して、断面の曲率データを導出する２次微分手段４１と、基準値からの上限値及び下限値の範囲によって曲率データに関する設定許容範囲を設定する許容範囲設定手段４３と、曲率データのうち設定許容範囲を超えるデータを、断面における歪を表す歪データとして抽出する歪データ抽出手段４２とを備える。 （もっと読む）