【課題】マークを検出する処理を効率よく行う。
【解決手段】候補数決定部３７は、マークの探索の対象となる探索領域の画像の面積と、マークを含む大きさのテンプレート画像の面積との比率に基づいた候補数を決定する。粗探索部３３は、探索領域の画像における所定の対象領域を対象としたテンプレート画像とのマッチングを行い、その結果を示すマッチングスコアの出力を、探索領域の全域にわたって行う。そして、精密探索部３４は、粗探索部３３において出力されるマッチングスコアのうちの、マッチングスコアが高いものから前記候補数分マッチングスコアが求められた対象領域を対象として、テンプレート画像とのマッチングを精密に行い、テンプレート画像と合致する対象領域の位置を、マークの位置として検出する。本発明は、例えば、シリコンウェハに形成されたマークの位置を検出する検出装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＤモデルがない場合であっても、画像情報から重なり合ったワークの部品形状から、その繋がりや重なりを推定して一つのワークとして認識することができるワーク形状推定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】バラ積みされた状態の複数の同一のボルトＢを撮影するカメラ１と、カメラ１により得られた画像情報をエッジ検出するエッジ検出部４と、エッジ検出部４により得られた画像情報に基づいてボルトＢを部分画像ａ〜ｑに分離する画像分離部５と、分離されたボルトＢの部分画像を分類する部分画像分類部６と、部分画像分類部６により分類されたボルトＢの部分画像の情報を補完することでボルトＢの推定形状を生成するワーク推定形状生成部７とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】近両用マーカの３次元位置と方向の計測と計測結果の記憶の手間を省くと共に計測ミスの発生を低減する。
【解決手段】作業環境の基準となる位置（世界座標系の原点や座標軸上の点）及び適宜な位置に遠近両用マーカ１を貼り付け、作業環境に貼り付けた遠近両用マーカ１を見渡せる位置にビデオカメラ２とレーザ距離計測器３を備えたマーカ自動登録システムを設置して作業環境に貼り付けられた総ての遠近両用マーカ１の３次元位置と方向を計測し、これを世界座標系Ｗで表された３次元位置と方向に変換して記憶する。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークに付着した異物の存在を検出し、検出された異物の影響を排除してアライメントマークの重心を決定する。
【解決手段】２値化された画像データから、アライメントマークの画素値とは異なるマーク非対応画素値で形成されるマーク非対応領域の特徴値を算出する領域特徴値算出手段１０３と、領域特徴値算出手段１０３が算出したマーク非対応領域の特徴値がしきい値の範囲内に入っているか否か判定する判定手段１０４と、判定手段１０４がマーク非対応領域の特徴値がしきい値の範囲内に入っていると判定した場合に、そのマーク非対応領域の画素値をアライメントマークの画素値であるマーク対応画素値に変換する画素値変換手段１０５と、画素値変換手段１０５が変換処理を実行した後のマーク対応画素値で形成される領域をアライメントマークと見なして重心を決定する重心決定手段１０６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 溶液の塗布装置及び方法において、撮像手段で撮像される液滴の面積を高精度で求めること。
【解決手段】 基板に溶液の液滴Ｙを吐出して塗布するノズル３４を備えた塗布ヘッド２２と、塗布ヘッド２２を駆動してノズル３４から溶液の液滴Ｙを吐出させる圧電素子３５と、塗布ヘッド２２のノズル３４から吐出された飛翔中の溶液の液滴Ｙを撮像する高速度カメラ４７と、高速度カメラ４７が撮像した溶液の液滴Ｙの画像に基づいて該液滴Ｙの面積を求める画像処理装置５５とを有してなる溶液の塗布装置において、高速度カメラ４７の撮像光学系中に液滴Ｙの吐出方向に沿う縦方向と、該縦方向に直交する横方向で倍率の異なる変倍レンズ４８を配置し、横方向の倍率を縦方向の倍率に比して大きくするもの。 （もっと読む）

【課題】保存した画像データに対して計測を行うことが可能となる画像データ形式、画像データ、計測プログラム、計測装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡により観察される標本をカメラで撮像して得られる画像データ形式において、前記画像データは、前記カメラが有するＣＣＤの有効画素数と、保存する画像サイズと、前記ＣＣＤの画素ピッチと、前記顕微鏡の光学系の倍率とが対応付けられて保持していることを特徴とする画像データ形式。 （もっと読む）

【課題】新規な接触面積測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】接触面積測定装置は、試料３０に接する光透過性基板３１と、前記試料３０と前記光透過性基板３１を相対的に移動させる駆動手段３８と、前記試料３０とは反対側から、前記光透過性基板３１に白色光を照射する照射手段と、前記試料３０からの反射光と前記光透過性基板３１からの反射光とから生じる干渉画像を取得する干渉画像取得手段２７と、前記干渉画像の輝度値情報から輝度値ヒストグラムを作成する輝度値ヒストグラム作成手段と、前記輝度値ヒストグラムから輝度値差分ヒストグラムを算出する画像解析演算手段を有する。ここで、輝度値ヒストグラム作成手段は、干渉画像の輝度値情報をRGB輝度値情報に分離し、G輝度値ヒストグラムを作成する。また、画像解析演算手段は、輝度値ヒストグラムから輝度値差分ヒストグラムを算出し、前記輝度値差分ヒストグラムのうち正の値を有する領域を決定する。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路装置の製造技術において、データ作成が簡単で不良部の目視確認が容易な、基板上に印刷された半田の２Ｄ・３Ｄ検査技術を提供する。
【解決手段】２Ｄ・３Ｄ半田印刷検査装置による基板の検査工程において、検査装置に２Ｄ検査機能と３Ｄ検査機能を実装し、最初に３Ｄ検査を実行し、続いて２Ｄ検査を実行することで、検査終了と同時に不良判定パッド（印刷半田）の部分の２Ｄ撮像画像を拡大表示することを可能とし、それにより作業者に効率的な目視確認環境を提供する。また、検査データ作成時に生基板を測定することにより、検査装置が自動で生成した独自の高さ測定基準とパッド上面高さとの関係を調べ、これにより、検査においてパッド上面基準による印刷半田の高さ・体積の測定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】密集している細胞群から個々の細胞の大きさおよび形状を正確に測定する。
【解決手段】入力された細胞集合体の２次元的な位相差分布に基づいて、該位相差がピークをとる位置を細胞候補として特定する候補特定部２と、該候補特定部２により特定された細胞候補を含む領域の境界であって、他の細胞候補を含む領域と隣接しない境界線を抽出する境界線抽出部３と、前記候補特定部２により特定された細胞候補の周囲において位相差値が等しい点を結んで得られた環状の等位相差線の内、隣接する他の細胞候補の周囲に形成される等位相差線と交差しない等位相差線の形状を抽出する形状抽出部４と、該形状抽出部４により抽出された等位相差線を、その形状を維持したまま、境界線抽出部３により抽出された境界線に接触するかまたは該境界線との差が最小となる位置まで拡大して細胞の輪郭を予測する輪郭予測部５とを備える細胞測定装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 鉄塔，鋼橋などの鋼構造物の塗装面の劣化状況を検出し、劣化度判定を行うための塗装劣化診断方法および装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、塗装が施された鋼構造物の表面を撮影した入力画像に対して塗装面の劣化部だけを透過させた変換に変換する劣化部抽出フィルターを構築する工程と、変換画像中の透過部を検出して劣化部プロファイルを生成する工程と、塗装面劣化の発生・成長をシミュレートした仮想塗装面劣化画像を作成する工程と、作成された仮想塗装面劣化画像と劣化基準とから評価用劣化プロファイルを作成し、蓄積してデータベースを形成する工程と、劣化診断対象の入力画像から得られた劣化プロファイルと評価用劣化プロファイルを比較することで劣化度合いを判定する劣化度評価の工程により構成される。 （もっと読む）

【課題】気体や液体等の媒体中を、略一定速度で移動する粒子サイズを簡易な構成且つ簡易な演算処理で検出する。
【解決手段】液滴の移動速度Ｕを検出し、液滴の飛翔方向の幅が所定幅Ｌである孔４４ａ，４４ｂを備え、これらの孔の有効視野において液滴の占める面積情報を所定時間置きに複数回取得し、取得した面積情報Ａ１〜Ａｎを取得回数ｎで平均化し、複数回取得に要した総時間Ｔを、液滴が上記所定幅Ｌを移動するのに要する時間Ｌ／Ｕで除算して、取得回数ｎを正規化した正規化枚数Ｎを得て、平均面積情報Ｂと正規化された取得回数Ｎとの積を実粒子面積Ｓとし、実粒子面積を１．５乗して実粒子体積Ｖを得る。 （もっと読む）

【課題】表面が鏡面状態である被測定物の寸法を正確に測定でき、被測定物の寸法計測の作業効率が高く、且つ、低コストである半導体寸法計測装置を提供する。
【解決手段】半導体寸法計測装置１は、ウェハ１０から切り出されたウェハ分割片１１の寸法を計測する装置であり、ウェハ分割片１１を保持する保持台２と、保持台２に保持されたウェハ分割片１１の表面に自己が投影されない位置に配置され、ウェハ分割片１１を撮像する撮像装置３と、撮像装置３によりウェハ分割片１１を撮像して得られた撮像画像２５に基づいてウェハ分割片１１の寸法を求める寸法計算装置４とを備える。 （もっと読む）

【課題】操作の煩わしさを低減し操作性を向上することができる内視鏡装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】基準点指定部１８ｂは、映像信号に基づく画像上の３つの基準点を指定する。バーニング構成点算出部１８ｄは、３つの基準点で決定される基準楕円上に設定した複数点の各々に基づく画像領域内で映像信号を処理し、バーニングを構成するバーニング構成点を算出する。バーニング構成点修正部１８ｇは、ユーザからの指示に基づいて構成点を修正する。バーニングサイズ算出部１８ｅは、バーニング構成点に基づいてバーニングのサイズを算出する。 （もっと読む）

【課題】ディンプル頂点の位置を正確に検出することができるディンプル位置検出装置を提供する。
【解決手段】ロードビームに形成されたディンプルの位置を検出するためのディンプル位置検出装置であって、ディンプルに向けて光を照射する照明装置と、その反射光を受光する撮像装置と、得られた画像を二値化する画像処理部とを備えている。画像処理部は、二値化レベルを最大にする手段Ｓ２と、反射光の画像を二値化する手段Ｓ３と、二値化レベルを超えた光点領域（オン領域）の面積が所定値であるか否かを判定する手段Ｓ４と、光点領域の面積が所定値未満のときに二値化レベルを下げる手段Ｓ６と、光点領域の面積が所定値に達したときに光点領域の重心の位置を算出する手段Ｓ８とを具備している。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板に印刷された半田ペーストについての三次元計測値をもとに、この基板に印刷された半田ペーストの形状の特徴を示す情報を得るための方法とそのための装置を提供する。
【解決手段】まず、プリント回路基板のパッド上やランド上に印刷された半田ペーストそれぞれの三次元形状に関するデータを生成し、このデータに基づいて印刷された半田ペーストそれぞれについての三次元形状を表す特徴量を抽出する。抽出された特徴量に基づいて印刷された半田ペーストを分類し、その分類毎に印刷された半田ペーストの数またはその検出対象全数に対する割合を算出する。算出された分類毎の印刷された半田ペーストの数またはその割合にもとづいて、半田ペーストの印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】検査に用いられる光以外の光が存在すると、紙に糊が付着しているか否かを検査することができない。
【解決手段】糊状物体検査装置６は、平面上の糊状物体を検査する装置であって、被検査物に対して光を照射する光照射部６２と、光照射部６２により光が照射された被検査物を撮影する撮影手段６４と、撮影手段６４により撮影された画像おいて、被検査物の特定の検査領域内に映ったスリット線が直線状から変化しているかにより、被検査物上の糊状物体を検出する糊状物体検出手段６５とを備え、光照射部６２は、平行に並んだ複数本の直線状のスリット線が形成された透過体と、被検査物に対し、透過体を透して光を照射する照明手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】マークの形状が変化した場合や、照明が変化した場合、あるいはマークが付されている対象が変化した場合であっても、マークを正確に読み込むことができる閾値レベルを自動的に検出することができる閾値レベル自動演算装置と方法、位置決めマーク認識装置と方法および電子部品の製造方法を提供すること。
【解決手段】位置決めマーク１８を撮像する撮像カメラ６と、撮像カメラ６で撮像された位置決めマーク１８を含む多値画像を、初期の閾値レベルで二値化する二値化手段８と、二値化手段８で二値化された二値化画像のうち、位置決めマーク１８に対応すると考えられる二値化画像塊の面積（S)と周囲長（R)とを求め、前記面積（S)を前記周囲長（R)で割り算した比率（S/R）を求める演算回路１０と、二値化手段８における閾値レベルを変化させて、演算回路で比率（S/R）を求める工程を繰り返し、比率（S/R）が所定値以上となる閾値レベルの範囲を求め、当該閾値レベルの範囲Ｗから実閾値レベルＷ０を決定する制御部１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】１組の光源とラインセンサ型カメラによって欠陥の検出に加え、欠陥の種別の判別も行う。
【解決手段】一定方向に送られる被検査物５の表面に斜光照明を行うライン状光源２と、該光源からの光の被検査物表面での反射光を捕らえるラインセンサ型カメラ１と、上記カメラの出力画像の明暗から欠陥を検出する画像処理回路３とからなる。上記光源の光軸Ｌ２と被検査物表面との交点の位置を、上記カメラの光軸Ｌ１と被検査物表面との交点の位置からずらして、上記光源の光軸と被検査物表面とがなす角度αよりも、上記光源からカメラの光軸と被検査物表面との交点の位置に至る光が被検査物表面とがなす角度α’を小さくする。 （もっと読む）

【課題】霧化電極に水分を付着させる冷却の機能と、水分を空中に飛散させる放電の機能との検査を画像に基づいて行うことにより、静電霧化装置の検査を自動化する。
【解決手段】静電霧化装置は、霧化電極と冷却手段とを備える。静電霧化装置を実際に動作させた状態で近紫外領域に感度を有する撮像装置１で霧化電極を撮像する。撮像により得られた濃淡画像は画像処理装置２０に入力される。画像処理装置２０は、霧化電極の放電の良否を判定する判定処理部３２と、霧化電極への水分の付着の良否を判定する判定部２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】マークの重心位置を高精度で検出することが可能なマーク位置認識装置およびマーク位置認識方法を提供する。
【解決手段】撮像されたマーク周辺の画像から、所定面積以上のマーク構成要素を特定し、求められたマーク構成要素に外接する図形から仮重心Ｇｐを求め、仮重心Ｇｐを中心として、マーク構成要素の輪郭領域を抽出し、その内部に位置するマーク構成要素の輪郭と輪郭領域の内側境界とで構成される閉曲線を形成し、当該閉曲線の内外で輝度の差異が生じる色を塗り分ける輪郭形状特定手段と、閉曲線の輪郭形状３４を仮重心Ｇｐの中心方向に向けてスキャンして、当該走査線の両側に位置する一対の輝度の変化点の中心点を順次算出して中心点４２ｃの集合を求め、中心点の集合からマークの重心Ｇ０を算出するマーク位置認識装置。 （もっと読む）