【課題】はんだ過多の不良は、はんだ量によって決定される良否であるため、はんだ付け部の高さ計測により検査することができるが、基板のはんだ付け部はその数が多く、はんだ付け部全ての高さ計測を実施すると、生産タクトが大幅に増大してしまうという課題を解決すること。
【解決手段】課題を解決するための本発明のはんだ付け検査方法は、基板の表面に垂直な垂直方向におけるはんだ量が多い状態をはんだ過多とし、前記はんだ過多を検出するはんだ付け検査方法であって、前記垂直方向から前記基板のはんだを撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像された画像に基づいてはんだ過多候補を抽出する候補抽出工程と、前記候補抽出で抽出されたはんだ過多候補の前記垂直方向の高さ測定を行う高さ測定工程と、前記高さ測定工程で測定された高さに基づいてはんだ過多を検出する検出工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ユーザが定めた計測対象の高さ範囲に適した姿勢でキャリブレーションワークが設置されているかどうかを作業者が容易に判断できるようにする。
【解決手段】キャリブレーション処理の設定画面において、作業者は、高さ計測範囲の下限値および上限値を入力ボックス２０４，２０５に入力した後に、ボタン２０６〜２０８のいずれかによりキャリブレーションワークの姿勢を選択する。この後、作業者がキャリブレーションプレートを選択した姿勢になるように調整すると、正面視用のカメラにより生成された画像を用いた処理により、このカメラの光軸に直交する平面（基準平面）に対するキャリブレーションワークの表面の傾きを示す角度が算出される。さらに算出された角度に基づき、キャリブレーションワークの姿勢が上記の高さ計測範囲が適合しているか否かが判定され、その判定結果が設定画面上に表示される。 （もっと読む）

【課題】設定された有効領域の立体形状を周囲との関係とともに簡単に表示できるようにして、３次元視覚センサの利便性を高める。
【解決手段】ステレオカメラのうちの１つをワークＷの支持面を正面視する状態に設定して、このカメラにより生成された画像を表示し、計測処理を有効にする領域を矩形枠により範囲指定する。また高さ計測範囲の上限値および下限値を指定する操作を受け付ける。各指定が確定されると、矩形枠Ｒが設定された画像の各構成画素にｚ座標として０を設定し、矩形枠に対応する座標に、高さ計測範囲の上限値に基づくｚ座標と下限値に基づくｚ座標とを設定する。そして、これらの設定により生成された３次元情報を、ユーザにより設定された視線方向から透視変換し、生成された投影画像をモニタに表示する。 （もっと読む）

【課題】定量的な基準で、製造工程の手順や個々の重量に影響されることなく、油分の性状に関わらず被測定物表面の脱脂状態を自動的に検知する。
【解決手段】試料３０に光を照射する光源１４と、試料３０からの蛍光を検出するカメラ３２と、蛍光の強度分布を空間パターンの解析で得られる第１の指標と、蛍光の強度分布を統計解析して得られる第２の指標の少なくとも２つの指標を用いて、試料３０の脱脂の均一性及び脱脂の度合いを判定する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】
スキャトロメトリを用いることにより、基板上に形成された線幅数１００ｎｍ以下のパターンの断面形状を、例えばディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定することも可能となる。しかし、ディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定したパターンの幅や高さ等を全て表示することは困難であり、また全て表示することが必ずしも有効であるとはいえない。
【解決手段】
本発明では、パターンの幅や高さ、特にデバイスの性能に直接影響を及ぼすパターン断面の磁性体部分の断面積(単位長さあたりの体積)等の分布を独立に、又は組み合わせて表示する。また、結果の特徴を強調して表示する。さらに、リードライトテスト結果との相関を予め評価しておくことにより、パターン断面形状の検査・測定時に最終的な不良箇所の特定を可能とし、不良の発生を事前に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】金属や陶磁器などの他、自動車やその部品などの光沢塗装が施されるなどして表面反射の強い計測対象物であっても、パターン光投影による三次元情報の計測を可能にする。
【解決手段】パターン光を計測対象物に直接当たらないように投影するパターン光投影装置１と、パターン光投影装置１により投影されたパターン光を反射して計測対象物Ａに投影する反射板２と、反射板２により反射されたパターン光が投影された計測対象物Ａを撮像して投影パターン画像を取得するカメラ装置３であり、レンズの光軸が反射板２により反射されたパターン光の投影方向と同一でないカメラ装置３と、投影パターン画像から計測対象物Ａの三次元情報を算出するデータ処理装置４とを含む。 （もっと読む）

【課題】海島型複合繊維を溶融紡糸する紡糸口金の内部に装着された数万本にも及ぶパイプに関して、少なくともパイプ曲りの発生を自動で検出することができる紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法を提供する。
【解決手段】直管型パイプが口金板に対して垂直に多数立設された口金板を装着する紡糸口金に対して各パイプのポリマー流路である貫通孔を通過した検査光をカメラで撮影して、撮影した画像データを二値化処理などの画像処理を行って各パイプの先端部のポリマー流路の中心座標を算出し、算出した中心座標が設計時の値よりもずれているかどうかを判断して、パイプ曲りの有無を検出する紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フォトマスクの特性を検出することができるフォトマスクの特性検出装置およびフォトマスクの特性検出方法を提供する。
【解決手段】被検出体に形成されたパターンの光学像に基づいて検出データを作成する検出データ作成部と、前記パターンに関する参照データを作成する参照データ作成部と、特性の検出対象となるパターンに対応する参照パターンと、前記参照パターンの位置情報と、を前記参照データから抽出する抽出部と、前記参照パターンに基づいて特性を検出する領域を設定するとともに、前記位置情報に基づいて前記検出データから前記特性の検出対象となるパターンを抽出する第１の領域設定部と、前記特性を検出する領域における前記特性の検出対象となるパターンの特性を受光面上に結像された光学像を光電変換することで検出する検出部と、前記検出された特性を集計する集計部と、を備えたことを特徴とするフォトマスクの特性検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】エッチングや印刷のムラによりメッシュ幅の太さの変化に影響されずに正確な欠陥抽出を行うことが可能なメッシュ検査装置を提供する。
【解決手段】メッシュ検査装置１の処理部３は、ラインセンサ５からメッシュシート１０のメッシュが画像に写る分解能で画像を入力し、前処理として光源である白色ＬＥＤ照明７によるシェーディングの補正を行い、前処理した画像を平滑化し、欠陥を誤検出しない程度に画像をぼかす。平滑化した画像内でしきい値により欠陥を抽出し、抽出した欠陥の重心を中心に例えば１２８×１２８画素を平滑化前の画像からトリミングする。トリミングした画像のＦＦＴ画像でメッシュの空間周波数に相当する領域を０に置き換えてメッシュ周波数を除去した後、ＩＦＦＴ処理を施し、得られた画像から欠陥の輝度、形状、面積の判定を行い、結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】 原液中のフロックの凝集状態を撮影して、凝集剤の添加量及び凝集剤撹拌機の回転数を調整する汚泥処理装置及び汚泥処理方法を提供する。
【解決手段】 凝集フロックを撮像する撮像部１１と、凝集フロックの画像の輝度信号を電気信号に変換し、電気信号から画像を２値化し、２値画像を生成する変換部１２と、２値画像に表示された凝集フロック面積を算出する算出部１３と、凝集フロック測定面積と凝集フロック基準面積とを比較する比較部１４と、比較結果に応じて、凝集剤供給ポンプ２９及び凝集剤撹拌機２１の回転数を制御する制御部１５と、比較結果に応じて、警報を発する出力部１６とを備え、算出部１３は、予め同一の凝集剤添加率において複数回分の凝集フロック面積を算出し、複数回分の凝集フロック面積の平均値である凝集フロック平均面積を算出し、凝集フロック平均面積に基づいて凝集フロック基準面積を算出する。 （もっと読む）

【課題】 膜厚を測定するフィルムに光を照射し、その反射光または透過光のスペクトルからパワースペクトルを求めて膜厚を算出する膜厚測定装置では、ポリプロピレンやポリエチレン等ヘイズが大きい材質ではかけ離れた測定値が頻繁に得られるので測定が困難であり、またフィルムの傾きやしわによって測定値のばらつきが大きくなるので、オンライン膜厚計として用いることが困難であったという課題を解決する。
【解決手段】 パワースペクトルのピーク高さ、ピーク面積、反射率などの測定品質を算出し、この測定品質と閾値を比較して測定の有効、無効を判断して、有効なときのみ膜厚測定値を外部に出力するようにした。かけ離れた測定値を除去することができるので、測定の信頼性が高まり、また従来測定が困難であったポリエチレン等の膜厚が測定できる。 （もっと読む）

【課題】
３次元計測装置と計測対象物体との間の位置及び姿勢の関係が高速に変化している場合であっても、装置構成を複雑化させずに、当該物体の位置及び姿勢の計測を精度良く行なえる。
【解決手段】
３次元計測装置は、計測対象物体の３次元形状モデルを保持するモデル保持手段と、計測対象物体の３次元形状を示す情報に基づいて計測対象物体における距離計測用の領域を決定する決定手段と、計測対象物体に対して所定の照明パターンを照射する照明手段と、当該照射が行なわれている状態で計測対象物体の画像を撮像する撮像手段と、当該撮像された画像内における距離計測用の領域に対応する領域に基づいて撮像手段から計測対象物体までの距離を示す距離情報を算出する距離算出手段と、距離情報と３次元形状モデルとに基づいて計測対象物体の位置及び姿勢を算出する位置姿勢算出手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの接合部分の接合状態を安定して測定し、当該接合状態の良否の判断のばらつきを抑えることができるワイヤボンド検査装置及びワイヤボンド検査方法を提供する。
【解決手段】撮像装置により撮影される接合痕の画像情報に基づき、ボンディングワイヤが接触していた痕跡部分であるワイヤ接触領域、及び当該ワイヤ接触領域に含まれる領域であってボンディングワイヤが好適に接合されていた痕跡部分としてボンディングワイヤの一部分が残存するワイヤ残存領域における、シェアツールが近接する側のエッジをそれぞれ検出し、これらエッジの輪郭形状に基づき、ワイヤ接触領域及びワイヤ残存領域をそれぞれ楕円近似する。そして、これら近似楕円の面積をワイヤ接触領域及びワイヤ残存領域の面積としてそれぞれ求め、これら面積の比であるワイヤ接合率を、ワイヤの接合部分の検査の用に供される情報として算出する。 （もっと読む）

【課題】高多層プリント配線基板の配線パターンを検査する際に誤報告の少ないキャリブレーション位置を決定すると共に、その検査性を評価しベリファイ作業時間を予測することができる検査システムを提供する。
【解決手段】検査システムにおいて、検査対象のプリント配線基板を構成する各層のＣＡＤデータとその層構成情報を元に検査面より透視した輝度成分マップを生成する。そして検査面を構成する輝度成分の組を求め、全組を網羅する１つ以上の輝度評価領域を決定した後、検査装置にて領域を撮像、各輝度成分に対応する統計輝度値を求め輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求め検査を行う。 （もっと読む）

【課題】実装対象の部品を接合用材料を間にして所定の実装領域に搭載した際に、接合用材料の所定状態を安定的に得るための部品の実装手法を提供する。
【解決手段】部品の実装工程では、接合用材料形成工程Ｓ１と、部品搭載工程Ｓ２と、はみ出し状態検出工程Ｓ３と、形状パターン更新工程Ｓ４とを含む。接合用材料形成工程Ｓ１では、部品の実装領域に、接合用材料を、所定の形状パターンでもって形成する。部品搭載工程Ｓ２では、実装領域に接合用材料を間にして部品を搭載する。はみ出し状態検出工程Ｓ３では、部品搭載後に、実装領域から実装領域の外側にはみ出している接合用材料のはみ出し状態を検出する。形状パターン更新工程Ｓ４では、実装領域に形成する接合用材料の形状パターンの設定を、検出された接合用材料のはみ出し状態に応じた形状パターンに更新する。 （もっと読む）

【課題】簡単な標識を含む画像のみで、被写体における対象領域の面積を算出する被写体面積算出装置を提供する。
【解決手段】第１撮像装置により撮像された被写体と標識とを含む第１画像と、第２撮像装置により第１撮像装置と異なる角度から撮像された被写体と標識とを含む第２画像と、を読み出す読み出し手段１２と、第１撮像装置の第１位置の３次元座標の値と、第２撮像装置の第２位置の３次元座標の値とを推定する撮像装置座標推定手段１３と、第１位置および第２位置に基づいて、被写体に含まれる複数の特定点のそれぞれの３次元座標の値を推定する特定点座標推定手段１４と、複数の特定点のそれぞれの３次元座標の値に基づいて、被写体の面積を算出する面積算出手段１５と、を備え、標識は、３以上のポインタを備える２次元形状を有する （もっと読む）

【課題】生体組織の３次元的な定量評価を簡単に行う。
【解決手段】測定器５に接続可能な生体組織表面解析装置１は、生体組織を含む測定対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを入力するデータ取得部１０５と、表面形状データにより表される表面の中で解析範囲を決定する範囲決定部１０６と、解析範囲における前記表面の凹凸を抑制した基準面を生成する基準面設定部１０７と、測定対象物Ａの表面と基準面とを比較することにより特徴領域を抽出する検出部１０８と、特徴領域の数、特徴領域の面積、および基準面に対する凹凸の体積のうち、少なくともいずれかを１つを計算する解析部１０９とを備える。 （もっと読む）

【課題】計測により適した位置をユーザに知らせることができる内視鏡装置および計測方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ１８は、被写体の表面の曲率情報に基づいて、その表面を近似する平面とその表面との交点のうち２つの交点間の空間距離を算出する。映像信号処理回路１２は、映像信号に基づく画像上に、２つの交点間の空間距離分の幅を示す目印を表示するための表示信号を生成する。ＣＰＵ１８は、画像上で指定された点の空間座標を算出し、少なくとも３点の空間座標で決まる平面と１点の空間座標との空間距離を算出する。 （もっと読む）

【課題】段ボールシートの継ぎ代片に糊の塗布が適正になされているか否かを、正確に検査することができる糊塗布検査装置を提供する。
【解決手段】糊塗布検査装置は、糊が塗布された継ぎ代片４１について、糊が塗布されるべき糊塗布対象領域４２を撮影するカメラと、糊塗布対象領域内に、糊塗布対象領域より面積が小さく全数で糊塗布対象領域を網羅する複数の小検査領域４３を設定し、カメラにより撮影された画像を処理することにより、小検査領域の面積に対する糊塗布領域４５の面積の割合を予め定めた基準値と対比して、小検査領域ごとに糊の塗布が適正か否かの判定を行い、小検査領域ごとの判定結果に基づいて、糊塗布対象領域における糊の塗布が適正か否かの判定を行う画像処理判定装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】惑星表面のクレータの位置および大きさをクレータ特徴量として計測する際の計算負荷を軽減して処理時間を短縮したクレータ検出装置を得る。
【解決手段】第１の閾値よりも高い輝度値の画素のみを明部画像Ｇａとして入力画像Ｇから抽出する明部抽出部１と、第２の閾値以下の輝度値の画素のみを暗部画像Ｇｂとして入力画像Ｇから抽出する暗部抽出部２と、明部画像Ｇａと暗部画像Ｇｂの合成画像Ｇｃを生成する画像合成部４と、画像合成部４に含まれる抽出領域の領域特徴量を計測して抽出領域がクレータか否かを判定するとともに、検出されたクレータのクレータ特徴量を出力するクレータ判定部６とを備えている。 （もっと読む）