【課題】基板に形成された凹部の形状を、非破壊、非接触にて検査する技術を提供する。
【解決手段】基板検査装置１００は貫通ビアＷＨ（凹部）が形成されている基板Ｗを検査する。基板検査装置１００は、ポンプ光の照射に応じて、基板Ｗに向けてテラヘルツ波を照射する照射部１２と、プローブ光の照射に応じて、基板Ｗを透過したテラヘルツ波の電場強度を検出する検出部１３と、テラヘルツ波が基板Ｗの貫通ビア形成領域を透過する透過時間と平坦領域を透過する透過時間との時間差を取得する時間差取得部２４と、該時間差に基づいて貫通ビアＷＨの深度を算出するビア深度算出部２６とを備える。また、基板検査装置１００は、ビア深度算出部２６により算出した貫通ビアＷＨの算出深度と、干渉法を利用する深度測定装置１６によって測定した貫通ビアＷＨの実測深度とに基づいて、貫通ビアＷＨの形状を示す形状指標値を取得する形状指標取得部２７を備える。 （もっと読む）

【課題】抗菌剤の抗菌性能の評価に要する時間および費用を低減する。抗菌剤の抗菌性能の評価において、細菌培養を行うことなく間接的な方法によって簡易な評価方法を提供する。さまざまな形状の抗菌加工品の各部位の抗菌性能を評価する方法を提供する。
【解決手段】本願発明の抗菌の抗菌性能の評価方法は、抗菌剤の少なくとも一部が表面から露出してなる抗菌加工品の抗菌性能を評価する評価方法であり、抗菌加工品の表面上に設定した関心領域の画像を取得し、関心領域において表面から露出する抗菌剤の露出の程度を表す露出率を画像から求め、予め求めておいた露出率と抗菌加工品の抗菌性能との相関関係に基づいて、画像から求めた露出率に対応する抗菌性能を求め、求めた抗菌性能によって抗菌加工品の抗菌性能を評価する。 （もっと読む）

【課題】農産物の体積を高速且つ高精度に測定できるようにする。
【解決手段】塊状の測定対象農産物７の表面上に設定方向に延びる線状の輝線６を形成する光線を照射する光線投射手段２と、輝線６を撮像する撮像手段１と、輝線６を、測定対象農産物７上で、輝線６の方向と交差する方向に移動させる輝線移動手段ＢＭとが備えられて農産物の体積測定装置が構成され、移動される輝線６の移動途中の各位置において、輝線６の位置情報によって得られる測定対象農産物７の外形形状と、測定対象農産物７上の輝線の両端位置の夫々から前記光線の入射側と反対側へ伸ばした線を測定対象農産物７の外形形状とみなしたみなし外形形状とに基づいて特定される面積の少なくとも一部に対して補正係数を乗算することによって補正し、前記移動途中の各位置での補正後の面積に基づいて測定対象農産物７の体積を求める。 （もっと読む）

【課題】タイヤのスリップ角とキャンバー角を同時に効率よく測定でき、かつタイヤの交換を容易に行うことができるタイヤ状態検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】撮像カメラ１６で撮像した角度検出用回転体１４の画像データを基にタイヤ１２０４のキャンバー角αを求め、さらに、撮像カメラ１６で撮像した走行路面２８の画像データと角度検出用回転体１４の画像データを基にタイヤ１２０４のスリップ角βを求める構成にした。 （もっと読む）

【課題】単品状態および圧縮部に組み込まれた状態における分割面の隙間を測定することができるツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、単品の中間プレート５の分割面同士を突き合わせるための右スライドシリンダ４７ａ等、突き合わせられた分割面隙間Ｃを測定するためのＬＥＤ光源２７および画像センサ３６、中間プレート５の外径を測定するためのリニアセンサ６１等を具備する第一検査装置１００と、組み込まれた状態の中間プレート５の分割面同士を突き合わせて、中間プレート５の外径を測定するための第二検査装置２００と、第一検査装置１００が測定した分割面隙間Ｃが無い状態における中間プレート５の外径である単体隙間合計値Ｅ５と、第二検査装置２００が測定した中間プレート５の外径である組立隙間合計値Ｅ１５とを比較する制御装置３００と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ディンプル頂点の位置を正確に検出することができるディンプル位置検出装置を提供する。
【解決手段】ロードビームに形成されたディンプルの位置を検出するためのディンプル位置検出装置であって、ディンプルに向けて光を照射する照明装置と、その反射光を受光する撮像装置と、得られた画像を二値化する画像処理部とを備えている。画像処理部は、二値化レベルを最大にする手段Ｓ２と、反射光の画像を二値化する手段Ｓ３と、二値化レベルを超えた光点領域（オン領域）の面積が所定値であるか否かを判定する手段Ｓ４と、光点領域の面積が所定値未満のときに二値化レベルを下げる手段Ｓ６と、光点領域の面積が所定値に達したときに光点領域の重心の位置を算出する手段Ｓ８とを具備している。 （もっと読む）

【課題】試料を詳細かつ適切に評価することができる形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる形状測定装置は、観察窓５１と、基板５４とを有する試料保持ユニット１１と、観察窓５１又は基板５４を介して、試料５３を加圧するシリンダ５６、５７と、試料５１の形状を測定するため試料５１を照明するとともに、照明光の焦点位置を光軸方向に走査可能な共焦点光学系３０と、共焦点光学系３０を介して、試料保持ユニット１１に保持された試料からの反射光を検出するラインセンサ１５〜１７と、焦点位置を光軸方向に走査した時での検出結果によって、形状を測定する処理部１８と、を備え、観察窓５１の表面５１ａに焦点位置を合わせて、観察窓５１の表面形状を測定するものである。 （もっと読む）

【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の断面積を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、測定対象物が載置されている断面形状出力範囲の複数の測定点における変位を測定し、測定された変位から測定対象物の形状データを算出する際に、複数の測定点に対応する複数の変位情報を大きさで順番付けした場合に、最も大きい側から予め定められた第１割合に含まれる変位と、最も小さい側から予め定められた第２割合に含まれる変位と、を除いた中間変位情報を選出し、この中間変位情報を圧縮係数を用いて圧縮処理した圧縮変位情報を加算して測定対象物の断面積を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の断面積を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、測定対象物が載置されている範囲を含む変位測定範囲の変位を測定し、測定された変位に平準化処理を実行して第１処理情報を生成し、第１処理情報から断面積測定範囲を決定する。変位測定装置は、断面積測定範囲における前記変位情報から測定対象物の断面積を検出する。第１処理情報から断面積測定範囲を決定することで、配線パターン等などによって生じるノイズを除去することができ、断面積測定範囲を正確に決定することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷検査によって取得した印刷状態計測情報を印刷品質向上のために有効活用することができる印刷状態計測結果の表示装置および表示方法を提供することを目的とする。
【解決手段】印刷検査装置Ｍ２による印刷検査において基板３のランドに印刷されたペーストの平面形状における面積値の正規の印刷面積に対する比率を示す面積率を複数のランドのそれぞれについて求めた面積率計測データ２３ａを、表示用データ作成プログラム２３ｂに規定された所定の処理アルゴリズムにしたがってデータ処理して、基板に印刷されたペーストの印刷状態を視覚的に表示するための表示用データを作成し、作成された表示用データを表示フォーマットデータ２３ｃに規定される所定の表示フォーマットにしたがって表示パネル２６の表示画面に表示する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の変位情報を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、ガラス板及び測定対象物に対して垂直方向に光を出射し、当該光と同軸方向に反射される反射光を複屈折性のクリスタル及び偏光板を用いて受光し、反射光に含まれる各反射光成分に応じた反射面の変位の複数個を、各反射光成分の反射強度に関連付けて検出する。変位測定装置では、検出される変位のうち、最も高い反射強度の得られた変位Ｚ１と、変位Ｚ１の次に高い反射強度の得られた変位Ｚ２と、の差である差分変位をガラス板の同軸方向の厚さに設定された基準変位ＺＫと比較し、差分変位が基準変位ＺＫよりも小さい場合、変位Ｚ１を測定対象物までの変位Ｚと判断し、差分変位が基準変位ＺＫ以上である場合、変位Ｚ１と変位Ｚ２のうちの短いものを測定対象物までの変位Ｚと判断する。 （もっと読む）

【課題】吐出された液体の体積を精度よく測定する。
【解決手段】吐出手段１０１から吐出される液体２００を表面張力を用いて凸状に保持する保持面部１２１と、保持面部１２１の周囲に形成され、保持面部１２１からの液体２００の流出を抑止する抑止面領域１２２とを備える検査部材１０２と、保持面部１２１に保持される液体２００の形状に関する情報である形状情報を取得する形状情報取得手段１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検出形状に縁部における輝度変化を除去し、欠けや異物の検出を確実に行える孔形状検査方法および孔形状検査プログラムを提供する。
【解決手段】孔形状良否を判定する孔形状検査方法およびプログラムであって、前記孔の孔形状撮像工程と、前記孔形状画像の２値化画像形成工程と、前記孔の面積が既定値であるかを判定する孔面積判定工程と、前記孔の内形状の孔重心を求める孔重心演算工程と、前記孔形状画像に前記孔重心を中心とする同心フィルターをかけ、前記孔重心を中心とする同心形状上の画素の平均輝度と、１画素の画素輝度と、の差によるフィルタリング画像形成工程と、前記フィルタリング画像の２値化フィルタリング画像形成工程とを有し、前記２値化フィルタリング画像の画素数が所定の値以下である場合、前記孔を良品と判定する良否判定工程を有する孔形状検査方法、およびその検査方法をコンピューターに実行させるプログラム。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、目標となる錠剤の輪郭に関し、重心を原点とする各角度毎の複数の各点の接線の向き情報を目標向き情報として記憶しておき、検査に際し、抽出された錠剤の輪郭に基づき重心を特定するとともに、前記各角度毎の対応する各交点の接線の向き情報を求め、当該接線の向き情報と目標向き情報とを比較する。そして、１の交点の接線の向き情報が、対応する目標向き情報に対し許容範囲を逸脱している場合に、不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】仮組み用ワイヤ残留の検出精度を高める。
【解決手段】ろう付けにより製造された熱交換器１に仮組み用ワイヤ６が残留しているか否かを検出する仮組み用ワイヤ残留検出装置であって、熱交換器１のチューブ２を撮影する撮影手段１３と、撮影手段１３が撮影した画像を処理する画像処理手段１４とを備え、画像処理手段１４は、撮影手段１３が撮影した画像をチューブ２と平行な方向に収縮処理する第１の処理と、撮影手段１３が撮影した画像をチューブ２と直交する方向に収縮処理する第２の処理と、第１の処理を行った画像に対して、チューブ２が分断されているか否かを判定する第１の判定と、第２の処理を行った画像に対して、仮組み用ワイヤ６があるか否かを判定する第２の判定とを行うものである。 （もっと読む）

【課題】塗膜の将来の劣化状態を予測できる塗膜劣化予測方法、塗膜劣化予測装置及びコンピュータプログラムを提供すること。
【解決手段】塗膜劣化予測装置１の仮想劣化画像作成手段１１は、所定のパラメータ及び時間変数に対応する複数の仮想劣化画像を作成する。対象画像作成手段１２は、塗装面の撮影画像から対象画像を作成する。仮想プロファイル作成手段１３は、仮想劣化画像の統計量として劣化部の個数ｆ、面積率ａ、標準偏差ｓを算出し、ｆ−ａ−ｓ空間座標上に仮想プロファイルを示す。統計量算出手段１４は、対象画像から統計量を算出し、対象値特定手段１５は、対象画像に近い仮想プロファイルの統計量を特定し、特定した特定量に対応するパラメータ及び時間変数を特定する。劣化予測画像作成手段１６は、特定されたパラメータを劣化進行モデルに入力し、時間変数に特定された値よりも大きい値を入力して、劣化予測画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】同一仕様で形成され同一方法で保持された複数の平面基板上の、同一箇所に形成された同一パターンの形状を確実に順次検査するための簡単な方法を提供すること。
【解決手段】１枚目の検査対象基板に対して、検査のためのカメラと検査対象となるパターンとの撮像距離を順次変化させて各撮像距離で撮像して合計で複数の画像情報を入力し、入力した複数の画像情報を予め登録してある登録画像情報と比較して、登録画像情報に最も類似した一画像の情報を複数の画像情報の中から選択して、検査判定するとともに、選択した画像情報に対応する撮像距離をカメラ最適高さとして特定し、２枚目以降の平面基板上の同一箇所に形成された同一パターンの形状検査において、カメラ最適高さとした撮像距離で検査することを特徴とするパターン検査方法。 （もっと読む）

【課題】監視領域の撮影画像に基づいて監視を行う際、撮影画像の各画素について正確な三次元空間座標及び空間属性を保持するとともに常に最新の情報に更新することができる監視装置を提供する。
【解決手段】監視領域を連続撮影して得られた撮影画像の各画素に三次元座標により定まる位置を示す三次元空間座標を設定する設定手段（Ｓ１０３）と、撮影画像の各画素に該各画素が属する画像部位に対応する空間属性を付与すると共に、画像部位と隣接する画素の各々に画像部位との境界を示す空間属性を付与する付与手段（Ｓ１１３）と、境界を示す空間属性が付与された画素の各々から特徴量を繰り返し抽出する抽出手段（Ｓ１１７）と、抽出された特徴量の変化量が予め定められた閾値を超えた場合に、設定された三次元座標により定まる位置を示す三次元空間座標になるように前記画素の各々に設定された三次元空間座標を変更する変更手段（Ｓ１２９）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】集積回路のような電子素子の製造において、光計測を用いた測定の精度を改善する方法及びシステムを提供する。また、調節可能なレジストの光学特性を変化させる方法及びシステムを提供する。
【解決手段】その調節可能なレジスト層は反応性ガス、液体、プラズマ、放射線若しくは熱エネルギー又はこれらを結合させたものを用いて処理されて良い。それによってフォトレジストは露光前に第１組の光学特性と異なる第２組の光学特性を得て、露光波長で又はその近傍の放射線に対して透明ではなくなり、ＯＴＳＭ構造４２０が光線４２５、４２６及び４２７を反射する。 （もっと読む）