【課題】１つの装置で複数波長に対応する光学部品の色収差、コマ収差、非点収差、球面収差を簡便な調整で同時測定できる計測装置を確立する。
【解決手段】波長の異なる光源を複数備え、光源より同時に出射された光線にて個々の波長毎に参照光と計測光に分割し、被検物体と基準可動ミラー１３、１４、１５に照射して重ね合わせることで、波長の異なる複数の干渉縞画像が形成できる。波長選択フィルタ１６、１７を用いて形成した干渉縞画像を波長毎に分けてパソコンに取り込む。取り込まれた画像を電子解析することでコマ収差、非点収差、球面収差の測定が可能となる。また、色収差測定では個々の波長の計測光を用いて被検物体の焦点距離のズレ量から計算することで可能となる。 （もっと読む）

【課題】透明基板上に少なくとも複数の着色フィルタが形成されたカラーフィルタ基板の外観検査を行う検査方法において、着色フィルタの表面を一定の平滑面にした状態で外観検査を行うカラーフィルタの検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ブラックマトリクス２１ｂが形成された透明基板１１上に赤色フィルタ３１Ｒを形成し、赤色フィルタ３１Ｒ表面を加熱処理、物理研磨、化学研磨等の方法で平滑化処理を行って、自動外観検査機を用いて、赤色フィルタ３１Ｒの反射、透過照明による比較検査を行い、赤色フィルタ３１Ｒ上の異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と、反射系白欠陥と、透過系の白欠陥を検査する。以下、着色フィルタ形成、平滑化処理、自動外観検査を繰り返すことにより、カラーフィルタの検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 本願発明の課題は、着色されたガラスやプラスチックのような光吸収材料、あるいは、磨りガラス、紙、生体などの光散乱物の向こうにある透明物体の３次元形状と分光特性の測定を可能にすることである。
【解決手段】 物質による吸収・散乱の影響を受けにくい波長の異なる二つの近赤外短パルスレーザー光をもちいるところが本願発明の要点である。第1のパルスを多光子励起パルス、第2のパルスを吸収モニターパルスと呼ぶ。試料の一点に集光した第1パルスの多光子吸収過程によって観測物を電子的励起状態に遷移させる。これによって誘起される近赤外波長領域の光吸収を同じ位置に集光した第２パルスでモニターする。吸収スペクトルあるいは２パルス間の時間差を掃引したときの吸収強度応答から物質を同定する。レーザーの集光位置を３次元的に走査することによって物体の形状を観測することも可能である。 （もっと読む）

【課題】 撮影画像内でＩＤ光を受信している画素の位置の検出処理の演算量を削減することで信号処理回路の消費電力を抑制する。
【解決手段】 ＩＤ光に重畳された低周波のパイロット信号を検出することでＩＤ受信位置を判断する際に、複数の画像フレームに亘った高速フーリエ変換演算を含む評価関数を用いた各画素毎の評価値を閾値と比較することでＩＤ受信画素であるか否かを判断する（Ｓ４、Ｓ５）が、解像度の異なる多階層のビニング画像を作成して（Ｓ２）まず低解像度のビニング画像でＩＤ受信画素を判断し、その範囲を絞ってより高い解像度のビニング画像でＩＤ受信画素を判断する、という処理を繰り返す。これにより、ビニングによる階層化を行わない場合に比べて評価値を算出する対象画素の数が大幅に少なくなり、評価値算出の演算実行回数が削減されるのでそれだけ消費電力を減らせる。 （もっと読む）

【課題】伝送路の曲げによる影響を受けず、光源の波長スペクトルが変化することによる光ファイバＮＡの変化によって変動する測定値を抑制し、精度良く測定することのできる光学式検出センサを提供する。
【解決手段】光源から出力された出射光を第１光ファイバの端面から相対距離離して配置された被測定物に照射し、第２及び第３光ファイバでこの反射光を受光して被測定物の変位量を算出する光学式検出センサであって、第１光ファイバの長手方向と被測定物の照射面に対する法線とが角度θとなるように配置され、第２及び第３光ファイバは、平行配置され、且つこの第２及び第３光ファイバの長手方向と被測定物の照射面に対する法線とが角度θとなるように配置され、第１光ファイバと、第２及び第３光ファイバは、法線を介して対向配置され、第１乃至第３光ファイバは、光源の出力波長に対してｄＮＡ/ｄλが４×１０^-５以下の特性を有する。 （もっと読む）

【課題】 外乱光の影響を容易に排除することが可能な光センサと、この光センサを用いた物体検出装置、光通信装置を提供する。
【解決手段】 光センサ１は、ＰＮ符号を発生する変調部２Ａと光源２Ｂを備えた発光部２と、複数の光電変換素子がマトリクス状に配列され光源２Ｂから投光された変調光ａを受光して電気信号に変換するイメージ検出部３と、変調光ａと同一のＰＮ符号を用いて各光電変換素子の受光出力毎に逆拡散処理して外乱光の影響が排除された受光出力を抽出する相関処理部４とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】エッチング対象物を実際にエッチングする環境下でのエッチングマスクに対するエッチング対象物のエッチング選択比を求めることができるエッチング選択比測定方法およびエッチング選択比測定装置を提供する。
【解決手段】エッチング対象物６および回折格子パターン７による回折光に基づいて、エッチング前の回折格子パターン７の高さＨ１と、エッチング後の回折格子パターン７の測定用長波長半導体レーザ側の表面から溝の底面までの距離と、溝の深さとを求める。これらに基づいて、エッチング前の回折格子パターン７の高さとエッチング後の回折格子パターン７の高さとの差を求める。この差と溝の深さとに基づいて、エッチングマスク５に対するエッチング対象物６のエッチング選択比を導き出すことができる。 （もっと読む）

【課題】基板上に反射層と少なくとも１層以上の光透過性薄膜層を積層してなる光学積層体における各層の膜厚を簡便に検査可能にする。
【解決手段】光学積層体４を構成するＡｇ全反射層は、可視光領域では高い反射率を示すが、短波長ではやや低く、長波長ほど高い反射率スペクトルとなる。このようなＡｇ反射膜を、等ピッチの溝を有するプラスチック基板上に形成した場合、溝による回折に起因した反射率の低下が見られる。この反射率の低下は溝深さが深いほど反射率の低下度合いが大きくなり、溝のピッチを小さくすると、ピッチにほぼ比例して反射率が低下する波長が小さい方へとシフトする。この現象を利用して、光学積層体４を構成する光透過性薄膜層側から検査用光を入射させ、各層までの光路長の変化に応じて変化する各層からの反射光の光強度を測定し、特定波長の反射光強度に基づいて膜厚を検査する。 （もっと読む）

【課題】 載物ガラスの平面度を保ちつつ載物ガラス上の被測定物を鮮明に透過照明できる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 載物部２２０は、開口２４０する収納空間２６０を有する基台部２３０と、上面にワークが載置される載置面２８１を有し、かつ、基台部２３０の開口２４０を覆う位置に配設された載物ガラス２８０と、収納空間２６０内において移動自在に配設されているとともに載物ガラス２８０を通してワークを透過照明する照明手段２９０と、開口２４０を横切って架け渡され載物ガラス２８０を支持する支持板３００と、を備える。支持板３００は、厚み寸法ａに対して高さ寸法ｂが大きい扁平形状であり、かつ、その高さ方向（ｂ）を載物ガラス２８０の載置面２８１に垂直な方向とするとともにその厚み方向（ａ）を載物ガラス２８０の載置面２８１に平行な方向として配設されている。 （もっと読む）

【課題】 人間の眼に照射しないように安全性を確保しながら検出精度を保つレーザスキャン装置を提供する。
【解決手段】 カメラ３が自動車１の前方を撮影する。カメラ３で取り込んだ画像を解析し、あらかじめ規定した人間の顔、および眼を画像内に認識した場合は、レーザレーダ２の照射範囲に座標変換する。レーザレーダ２は、照射範囲内で人間の顔、および眼が存在する位置付近にレーザを照射するときは、その照射出力を通常よりも低下、または停止するように設定される。人間の眼にレーザを照射することなく、他の範囲には通常のレーザ照射出力でスキャンするので、安全性を確保しながら検出精度を保つことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、対象物の位置を高精度に求めると共に、小型化が可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】 光信号を照射する光源と、対象物に取り付けられ、光信号を反射する反射手段と、光信号と反射手段により反射された光信号とを分離する第１の分離手段と、反射された光信号を受光する第１の受光素子と、第１の受光素子の出力信号に基づき、第１の受光素子の受光面における反射された光信号の位置を求める反射位置演算手段と、光源から第１の受光素子までの伝搬距離を求める伝搬距離演算手段と、反射位置演算手段に求められた受光面における反射された光信号の位置と、伝搬距離演算手段に求められた伝搬距離とに基づき、対象物の位置を求める対象物位置演算手段とを有する。 （もっと読む）

非球面を有する光学素子または非球波面を形成する光学素子を測定する干渉走査法および装置に関する。基準面を用いて生成される既知の球波面の原点に対する走査軸に対して試験用光学素子を調整および移動し、前記非球面の頂点および前記球波面と非球面が共通の接点を有する放射領域において前記試験用光学素子を交差させる。前記試験用表面を空間分解能検出器上に結像して、前記基準面と試験用表面の間の光学距離の差に関する位相情報を含むインターフェログラムを形成する一方で、前記試験用光学素子が前記球基準面に対して移動する軸方向距離を干渉的に計測する。前記非球面の法線方向の設計と比較した前記非球面の形状のずれを決定して報告する。
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【課題】使用する偏光素子数を減らしてコストダウンを図りつつ、トナーの付着量を正確に測定する方法を実現すること。
【解決手段】像担持体上に付着したトナー像へ測定光を照射する光照射手段と、その反射光を受光する受光手段とを有するトナー量測定装置において、測定光の照射角度が像担持体に対するブリュースター角に設定されていることを特徴とする。そして、前記測定光がＰ偏光に偏光されていることを特徴とする。又、前記反射光のＰ偏光成分を選択して受光する受光手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 厚さの薄い測定対象の温度又は厚さの測定精度を向上させる。
【解決手段】 光源１１０と，光源からの光を測定光と参照光とにスプリットするためのスプリッタ１２０と，スプリッタからの参照光を反射するための参照光反射手段１４０と，参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための光路長変化手段（例えば参照光反射手段を駆動する駆動手段１４２）と，測定対象を透過又は反射する測定光と参照光反射手段から反射する参照光とが干渉して得られる複数の測定光の干渉波形を測定するための受光手段１５０とを備え，測定された測定光の干渉波形のうちのある干渉波形を基準とし，この基準干渉波形の測定光よりも測定対象の両端面を少なくとも２回以上多く往復反射する測定光の干渉波形を選択干渉波形として，各干渉波形により測定対象の両端面間における測定光の光路長を測定し，その光路長に基づいて測定対象の温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】
透明基板上に堆積させた透明膜や吸収膜の誘電率テンソルと膜厚を同時に決定できるように改良したラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散の同時決定方法を提供する。
【解決手段】
入射面および入射角と偏光状態を変えて基板の透過スペクトルを測定して測定データを得る第１のステップと、入射面および入射角と偏光状態を変えて上記基板の反射スペクトルを測定して測定データを得る第２のステップと、前記第１のステップと同じ条件で上記基板に薄膜を付着させた試料の透過スペクトルを測定して測定データを得る第３のステップと、前記第１のステップと同じ条件で上記試料の反射スペクトルを測定して測定データを得る第４のステップと、上記の各ステップで得られた測定データに最小二乗法による演算処理を実行して膜厚と光学的周波数領域における異方的な誘電率の値及びその分散誘電率を共に決定する第５のステップとからなる。 （もっと読む）

【課題】基材に塗工を行って形成される被膜において膜厚変動をともなう欠陥を検出する被膜検査装置と被膜検査方法を提供する。
【解決手段】走行する基材に形成された被膜の表裏面で反射した光が干渉するように照明する照明手段と、走行方向に対して直角方向の直線状の被膜における光が干渉する領域からの反射光を撮像する撮像手段と、その撮像手段によって検査基準を撮像して得た基準ラインデータと検査対象を撮像して得た検査対象ラインデータとの差異に基づいて被膜の欠陥を検出する処理手段を具備するようにした被膜検査装置およびその装置に適用された被膜検査方法。 （もっと読む）

【課題】 透光性を有する複数の層が積層されて構成される光学部品の欠陥を、光学部品と検出用の光の入射位置とを高精度に位置決めすることなく、検出することができる光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 判定部１３は、入射領域１９の積層方向の寸法Ｌ１が、光学部品１４の導光層２２の層厚Ｌ２よりも大きくなるように入射させる。検出用の光１８の入射位置の位置決め精度が低くても、導光層２２に入射させることができる。また判定部１３は、光学部品１４の積層方向の寸法ｌ３よりも小さくなるように検出用の光１８を入射させる。光学部品１４の積層方向Ｚ両端面の散乱要因、たとえば塵、または傷などによって検出用の光１８が散乱することを防ぐことができる。したがって光学部品１４から出射される光を検出することによって、光学部品１４の欠陥２５を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】干渉計による非球面測定が低コストで実現可能であって、尚且つ高精度に面形状測定が可能な非球面形状測定方法を提供すること。
【解決手段】被検物上の被検面で反射した被検光と参照波面を有する参照光とを互いに干渉させることにより得られる干渉縞を検出器により検出し、検出された干渉縞の情報に基づいて前記被検面の面形状を測定する干渉計において、干渉計により被検面の面形状を測定する実測定工程と、前記干渉計内の光学素子の情報を用い屈折の法則に基づいて光線が通る座標を計算する所謂光線追跡により前記干渉計による面形状測定の模擬実験を行う模擬実験工程と、前記実測定工程により測定した面形状実測定データと前記模擬実験工程により計算した面形状模擬実験データが一致するように前記被検面形状を定め面形状測定結果として出力する面形状決定工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 偏光板貼付前の液晶パネルの表示画面をあらゆる角度から総合的に検査することができる液晶パネルの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 液晶パネル８を挟んで一対の偏光板６、７が配置され、前記偏光板の一方の面に照明手段１０を設け、他方の面には撮像手段２０が設けられ、前記一対の偏光板６、７の間に前記液晶パネル８の表示画面８ａが介在するように前記液晶パネルを支持し、少なくとも前記一対の偏光板の一方または両方を稼働させる工程と、前記照明手段からの照明光を介して前記撮像手段により液晶パネルの表示画面を撮像する工程と、前記撮像された画像に基づいて画像処理する工程と、前記画像処理された画像データにより前記液晶パネルの表示画面を検査する工程とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 振動に対する敏感さを低下させた光学系の評価装置を提供する。
【解決手段】 光学系１の光軸評価装置Ａは、表示領域を有する表示器８と、光学系１から基準面上に投影された像を、表示領域上の基準位置に常に表示させる投影像捕捉装置３とを備える。投影像捕捉装置３は、光学系から基準面に投影された像を撮像する光学検出器５と、この撮像画像を、表示領域上の基準位置に表示させる捕捉制御器７とを備える。さらに、捕捉制御器７は、低倍率の撮像画像を受けて、光学系１を光学検出器５に対して相対的に調整可能に位置決めする位置決め部７０であって、投影像が、第１の検出領域上の特定領域内に位置するように動作する、位置決め部７０と、高倍率の撮像画像を受けて、表示器８の表示領域の基準位置に投影像の画像を表示させることにより、投影像の表示領域上における揺れを抑制する投影像揺れ抑制部７２と、を備える。 （もっと読む）