【課題】貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、照明手段５１と、照明手段５１により照明がなされている状態で貼り合せ板状体１０を走査するラインセンサカメラ５０から出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、処理ユニットは、映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、検査画像情報から得られる第１板状体１１の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、検査ライン上での第１板状体１１の縁端と接着剤１３の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する。 （もっと読む）

【解決手段】画像収集モジュール１が一個の画像取得位置に位置する時、複数個の光入力側１１０はそれぞれ載置台２と運び台３に向くように形成され、そして複数個の光出力側１１１はそれぞれ二個の画像取得ユニット１２、１２’に向くように形成されることにより、載置台２と運び台３の場所の光線は同時に複数個の光入力側１１０を経由してそれぞれ二個の光反射プリズム１１２ａ、１１２ｂに入射し、そして二個の光反射プリズム１１２ａ、１１２ｂの光反射面Ｒ１、Ｒ２に反射される光線は複数個の光出力側１１１を通じて上記光伝送経路に沿ってそれぞれ二個の画像取得ユニット１２、１２’まで到達するように構成されている。
【効果】簡単な操作の形態で物体に対して精確なアライメントを行うことにより、アライメントに必要な時間とコストを低く抑えることができ、さらに作業上の便利性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】断面円形材である高温の棒鋼、線材や鋼管の外径を測定しても測定精度が良く、かつ、スケールや粉塵が投光部及び受光部に付着し難い外径測定装置を提供する。
【解決手段】外径測定装置１は、棒鋼Ｗの外径を測定する外径測定器２と、棒鋼Ｗを挿通させる挿通部材３とを備えている。外径測定器２は、棒鋼Ｗに光Ｌを投光する投光部２１と、光Ｌを受光する受光部２２と、棒鋼Ｗの外径を演算する制御演算部２３とを有している。挿通部材３は、棒鋼Ｗを挿通させる挿通口３１を有しており、挿通口３１が投光部２１から受光部２２への光路に対向するように設けられている。挿通部材３は、挿通口３１を囲繞する環状の送風口３２を有しており、送風口３２は、棒鋼Ｗの径方向外方の周囲を棒鋼Ｗの軸方向にエアーＦを送風してエアーカーテンＡを形成する。送風口３２から送風されるエアーＦの送風方向には遮蔽物がない。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサカメラのライン周期と比べてＰＷＭ周期が十分に短くなくても、所望の光量を各ライン周期に供給することができ、撮像された画像における明暗差が出るのを防ぐことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】検査対象Ｗに光を照射する光照射機構１と、所定のＰＷＭ周期で点灯期間及び消灯期間を交互に繰り返すＰＷＭ制御により、前記光照射機構を所定の明るさに制御するＰＷＭ制御部２と、を備え、ラインセンサカメラの各ライン周期に含まれる前記点灯期間が、１期間分又は数期間分であり、前記ＰＷＭ周期が、前記ライン周期と同期しているとともに、受光素子が１ライン周期に撮像する１画素のアスペクト比が大きくなるほど、１ライン周期に含まれる前記点灯期間の数が多くなるように設定した。 （もっと読む）

【課題】電力消費量が少なく高熱の発生を伴わずに太陽光に近い白色光で被測定物を照明できる照明手段を備えた二次元測定機を提供する。
【解決手段】
テーブル12に載置した被測定物Wに対して垂直を保持したままＸ−Ｙ方向に自在に移動する顕微鏡一体型ＣＣＤカメラ30と、顕微鏡光学系と同軸状の被測定物照明手段と、を備えた二次元測定機で、前記照明手段を、顕微鏡20の鏡筒21内のハーフミラー24と、ハーフミラー24に対応する鏡筒21側方延長位置に配置したクロスプリズム54と、該クロスプリズム54を取囲んで配置した赤,青,緑の単色ＬＥＤ52R,G,Bで構成し、単色ＬＥＤ52R,G,Bの発光がクロスプリズム54で合成されてハーフミラー24に導かれる。単色ＬＥＤ52R,G,Bの同時点灯で、太陽光に近い十分な光量の白色照明光が得られ、モニタ画面に映し出されるカラー画像が非常に見易い。照明用光源の電力消費量，発熱量が小さく、省エネルギー対策にも合致する。 （もっと読む）

【課題】 スキップ信号が読み込まれない場合であっても、工具の移動を確実に停止させることができる工具長測定方法及び工具測定装置を提供する。
【解決手段】 工具を４所定位置から所定方向に移動させて、前記工具４によりレーザー光６を遮光したときの、前記工具４の前記所定位置からの移動量に基づいて前記工具の長さを測定する工具長測定方法において、前記工具４がレーザー光６を遮光していることを示すスターティック信号Ｂが検知されたとき、前記工具４のレーザー装置本体５へ接近する方向への移動を停止する。 （もっと読む）

【課題】金属試料の検査面をエッチング処理して欠陥を現出させ、撮像装置によって検査面を撮像することにより欠陥を検出するに際し、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくすることにより、欠陥部を明瞭に検出することのできる金属の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】金属試料１の検査面２を一方向に研磨し、金属試料１にエッチング処理を行って金属試料中の欠陥を現出させ、照射光源として線状に連続した光源又は複数の点光源を線状に配置した光源（線状光源４）を用い、線状光源４の線状方向１７と研磨方向１１とを同一の方向とし、線状光源４によって研磨方向１１と直角の方向から検査面２を照射し、撮像装置３によって検査面２を撮像する。これにより、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくし、欠陥部６を明瞭に検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】フォトインターラプターを、アームやギアなどといった可動部材の位置検出に応用する場合、位置検出の対象である可動部材に取り付けられる遮光板と、フォトインターラプターとのクリアランスを厳密に調整しないと、遮光不良が生じたり、遮光板とフォトインターラプターとが接触したりして、部材の位置を正確に検出することができないため、装置の組み立てや調整のためのコストが上昇するという課題があった。
【解決手段】フォトインターラプター６６６用の遮光板６６３１に、遮光部材６６３２を取り付けることによって、フォトインターラプター６６６における遮光不良を防止する。 （もっと読む）

【課題】計測対象に対する撮像装置の相対的な位置や姿勢を一定に保つことが容易な、あるいは、計測対象に対する相対的な位置や姿勢を容易に調整できる変位／ひずみ計測装置を提供する。
【解決手段】撮像装置２と画像解析装置から構成されて、撮像装置２で計測対象物を撮像した画像を画像解析装置で解析して、当該計測対象物の変位又はひずみを算出する変位／ひずみ計測装置において、撮像装置２に、１個の固定当接部材１３と、２個のマイクロメータ１４を取り付けて、固定当接部材１３とマイクロメータ１４のスピンドル１４ｂの先端を計測対象物に当接させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、有効測定範囲を認識可能で高精度な測定を実現できる光学式寸法測定装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出力する発光部１０と、レーザビームによりワークＸが配置される測定領域を走査する走査部２０と、測定領域を通過したレーザビームを受光する受光部３０と、受光部３０で得られた走査方向の明暗パターン（受光信号）からワークＸの寸法を算出する寸法算出プログラム５１２と、を備えた光学式寸法測定装置１００において、レーザビームの走査中における点灯区間及び消灯区間をユーザ操作により設定するためのキーボード４８と、設定された点灯区間及び消灯区間におけるレーザビームの点灯制御を行う点灯制御プログラム５１１と、を備え、寸法算出プログラム５１２は、点灯区間を測定領域中の有効測定範囲とし、有効測定範囲における受光信号からワークＸの寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】 迅速に精度よく面間隔を測定することができる低コヒーレンス光干渉計及びそれを用いた膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 第１低コヒーレンス光源１１と被検物６０，１６０との光路中に光路に沿って移動可能な第１干渉光学系２と、第２低コヒーレンス光源１１１と被検物６０，１６０との光路中に光路に沿って移動可能な第２干渉光学系１０２とで、第１被検物６０及び第２被検物１６０の各表面の差を求め、その差から第２被検物１６０の第１面１６０ａから第２面１６０ｂまでの厚さを測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発光源からの光を効率的かつ均一に計測管へ照射し、光検出器によって透過光を検出するために十分な光を得ることができる汚泥容量測定装置を実現することを目的とする。
【解決手段】側面と底面で構成された計測槽１の側面外側の一方に光源２からの光を発光させる発光部５を、他方に光センサー８を備え、計測槽１は発光部５の光を光センサー８へと透過する部分を有し、計測槽１に汚泥混合液を一定液位まで導入し、所定時間経過後に、発光部５から計測槽１を透過し光センサー８へと到達する光を光センサー８で検出し、光センサー８で検出する光の検出量から、汚泥混合液の汚泥容量を測定する装置であって、光源２からの光を第１の集光手段３で集め、導光手段４で発光部５へと導くようにした。 （もっと読む）

可撓性ウェブの変位を表示するための方法及びシステムについて記載する。細長い可撓性ウェブは、目盛り構造を有する一体的な目盛りを含み、その目盛り構造は、ウェブに向けられたエネルギーを変調するように構成される。移送構造は、ウェブと変換器との相対運動をもたらす。変換器は、目盛り構造によって変調されたエネルギーを検知し、変調されたエネルギーに基づいて連続的なウェブの変位を表示する信号を生成する。
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【課題】膜厚ムラの欠陥が検出された際に、膜形成工程と膜厚ムラとの因果関係の判断を容易かつ適切に行う。
【解決手段】ムラ検査装置の検査部２００では、基板から得られる対象画像において筋ムラ、部分ムラおよび点ムラが検出され、評価点取得部２１１により求められた基板上の膜の膜厚ムラに係る評価点に基づいて、膜検査部２１３により膜の検査が行われる。続いて、平均評価点取得部２１４により当該基板以前の所定数の基板上の膜に係る平均評価点が求められ、工程検査部２１５により当該平均評価点に対する当該基板上の膜の評価点の割合を示す乖離度が求められる。そして、工程検査部２１５により、基板の評価点および乖離度に基づいて膜形成工程の検査が行われる。これにより、一の基板において膜厚ムラに係る欠陥が検出された際に、膜形成工程と膜厚ムラとの因果関係の判断を容易かつ適切に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】スケール部材から目盛りの画像を正確に読み取り可能にする。
【解決手段】媒体に印刷されたパターンの前記媒体上の印刷位置を、スキャナを用いて算出する際に使用されるスケール部材であって、前記スキャナの画像読み取り面に載置された際に前記スキャナの画像読み取りセンサと対面する面とは反対側の面に、目盛りが形成された透明な第１層と、前記第１層における前記目盛りの形成面に隣接して設けられた第２層であって、前記第１層側の面の色が光を反射する反射色である第２層と、を有することを特徴とするスケール部材。 （もっと読む）

【課題】 透明ばかりでなく非透明な被検査体の３次元形状測定が可能である表面形状計測装置および表面形状計測方法の提供。
【解決手段】 撮像素子と被検査体の間にコヒーレント光照射素子、非コヒーレント光照射素子、および、光分配素子を被検査体上部に配置することにより元画像、および、回折画像を非常に効率よく取得でき、位相回復法により、２次元ばかりでなく３次元形状測定を可能とする表面形状計測装置および表面形状計測方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】光透過性を有した物質の外周部の一部に非透過な外層部があり、その外層部がＲ形状部分の多い被検査部品の外観形状を正確に検査する検査方法、および外観形状検査装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】被検査部品４の外観形状を検査する方法は光を透過する物質部分に外部から光を照射する、１つまたは複数の照明光ガイド手段５ａ、５ｂを持ち、それより照射された光が透過する物質部分内部で拡散し、その拡散した光が外部に放出する光の一部が被検査部品４の欠陥部６ａ、６ｂから光として漏れ、上記外層部を有した面から放出された光を２次元カメラ部１で、上記外層部の２次元画像として検出する構成とする。 （もっと読む）

【課題】回路基板の実装面（基板面）の任意の測定対象点における高さ測定精度向上と処理時間短縮を実現する。
【解決手段】基板面に合計４個以上の高さ測定点１２，１３を基板面全体にほほ均等に分散するように配置する。そして、全ての高さ測定点１２，１３を測定した後、高さ測定点１２，１３の中から隣り合う３個の高さ測定点１２又は１３を選択し、当該３個の高さ測定点１２又は１３を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して基板面を複数の三角形領域に分割する。この後、複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択した後、測定対象点が含まれる三角形領域の３個の頂点（高さ測定点１２又は１３）の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する。 （もっと読む）

【課題】スプレーの噴射状態の良否を正確に判定することができるスプレー噴射状態監視システムを提供する。
【解決手段】連続的に流体が噴射されるスプレーの噴射状態を監視するスプレー噴射状態監視システムであって、スプレーの噴射状態を撮影するＩＴＶカメラ５と、スプレー噴射形状を背後から照明する照明装置６と、カメラ５により撮影された画像データを画像処理することで、スプレー噴射形状を抽出する形状抽出手段２４と、抽出されたスプレー噴射形状に基づいて噴射状態が正常か否かを判定する判定手段２５とを備える。形状抽出は、フィルター処理により行われ、このフィルターは、注目画素よりも前記噴射先に近い側の画素に対して正の係数、注目画素よりもスプレーノズルに近い側の画素に対して負の係数、注目画素に対して０を与える行列式で与えられる。 （もっと読む）

不透明のテスト部品の両側面を測定するために、２つの共通光路干渉計が、１つの測定キャビティを共有する。テスト部品の一方の側面と２つの干渉計のうち第１の干渉計の参照面との間、テスト部品の他方の側面と２つの干渉計のうち第２の干渉計の参照面との間、及び第１の参照面と第２の参照面との間に干渉縞が形成される。２つの干渉計の参照面間の測定により、テスト部品の両側面の測定値を互いに関係付けることが可能になる。
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