【課題】被験者をできるだけ拘束せず、ハーフミラーの持つ欠点を低減しつつも、所定の向きの顔の三次元形状のデータを求めることができるようにする。
【解決手段】レンジファインダ１００のカメラ１１０の上方に鏡１３０を設ける。被験者が顔を鏡１３０に映すと、その顔の向きはカメラ１１０に対して所定の向きを向いた状態となる。カメラ１１０は、鏡１３０を向いた顔を、幾分下方から見上げる角度（例えば１２度）で撮影する。これにより、鼻の下部や顎の下面など顔の特徴的な部位の三次元形状を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】被検物の測定手順を自動的に設定して被検物との干渉を防止した形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、パターン投影部を利用して投影光より明るい予備投影光を被検物に投影するとともに、撮像部を利用して予備投影光が投影された被検物を撮像し、予備投影光が投影された被検物の画像に基づいて被検物の三次元形状を予備測定する第１のステップ（Ｓ１０１〜Ｓ１０３）と、第１のステップで予備測定した被検物の三次元形状に基づいて、被検物に対する測定手順を設定する第２のステップ（Ｓ１０４）と、第２のステップで設定した測定手順に基づいて、被検物の三次元形状を本測定する第３のステップ（Ｓ１０５）とを有している。 （もっと読む）

【課題】基板に実装され表面にコーティング剤が塗布された部品を撮像してその画像データにより実装欠陥を誤判定することなく容易に且つ確実に検査することが可能な実装検査装置およ実装検査方法を提供する。
【解決手段】基板１に実装され表面にコーティング剤が塗布された部品２を異なる位置から撮像し取り込み、この撮像した各取り込み画像データＧｂ、Ｇｃを所定の位置Ａから撮像した変換画像データＧａｂ、Ｇａｃに変換処理し、この変換画像データＧａｂ、Ｇａｃに基づいて部品２の実装欠陥を判定する。変換画像データＧａｂ、Ｇａｃに基づく部品２の実装欠陥の判定は、各変換画像データＧａｂ、Ｇａｃの互いに異なる部分を抽出した差分画像データ｜Ｇａｂ−Ｇａｃ｜を演算し、差分画像データ｜Ｇａｂ−Ｇａｃ｜を変換画像データＧａｂまたはＧａｃから差し引いた判定画像データＧａによる。 （もっと読む）

【課題】試料表面の面粗さや正常な回路パターンからの散乱光の影響を抑制し、かつ、欠陥や異物からの散乱光の利得を高くして、高感度に試料表面の欠陥等を検出することが可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】ＮＡ値が大きいレンズを使用するとレンズ外径は１０ａとなり斜方光学系とウエハとの角度はα１である。ウエハ表面粗さや酸化膜下の面粗さ、回路パターンからの散乱光を低減して、欠陥散乱光を多く検出するために斜方検出系の仰角を下げると仰角α２＜α１となるがレンズの外径１０ｂはレンズ外径１０ａより小となり散乱光の集光能力が低下する。集光能力を向上するためレンズ径を広げた１０ｃとするとレンズとウエハ７とが干渉を起こす。干渉部分を削除したレンズの創作により低仰角α２を保持してレンズの開口寸法を１０ｂより大とすることができ欠陥検出能力の向上とレンズ性能の向上が同時に成立する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ安全な物体検知装置を提供する。
【解決手段】物体検知装置１は、光を被検知領域に照射する発光素子２と、被検知領域にある被検知物Ｗから反射された反射光を受光する受光素子３と、受光素子３を回転させる回転駆動手段４と、受光素３子により受光された反射光の強度を検知する検知手段５とを備える。回転駆動手段４は、少なくとも一対の圧電ユニモルフ振動板と、圧電ユニモルフ振動板の一端を固定して支持する空洞部を有する支持体と、圧電ユニモルフ振動板に弾性体を介して接続され、圧電ユニモルフ振動板の圧電駆動により空洞部内で回転振動する基板とで構成される。基板上に受光素子３が配置され、該基板の回転角度に対する反射光の強度分布から被検知物Ｗの位置を求める。 （もっと読む）

【課題】
検査装置並びに高さ計測装置において、照明手段を、試料上の所望の領域にレーザ光を斜方入射させて均一な強度分布でかつ高い光利用効率で照明することでより低いレーザパワーでも充分に検査又は計測を行えるようにして、比較的小型のレーザ光源を用いること可能にする。
【解決手段】
照明手段を、光学素子の回折光学素子により、照射部を介して試料上に照射される照明光が試料上の直線状の領域を直線状の全領域に渡ってほぼ均一の強度分布で直線状の全領域に渡って焦点が合った状態で照射するように照明光の光束の断面形状と強度分布とを変換するように構成した。 （もっと読む）

【課題】正確な検査を短時間で行うことができる検査装置及び検査方法ならびにパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、フォトマスク３３を透過した透過光とフォトマスク３３で反射した反射光とを用いて検査を行う検査装置１であって、レンズ３２の視野６０の一部である同時照明領域６２を、フォトマスク３３のレンズ３２側から照明する反射照明光源２１と、同時照明領域６２と同時照明領域６２以外の透過照明領域６１とを照明する透過照明光学系１０と、同時照明領域６２からの透過光と反射光とを、レンズ３２を介して検出する合成像用センサ４４と、透過照明領域６１からの透過光を、レンズ３２を介して検出する透過像用センサ４３とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射光の影響を受けることなく正確な三次元形状測定を行う。
【解決手段】被検物２０に所定の投影パターンを投影するパターン投影系と、投影パターンが投影された被検物を撮像する第１の開口数ＮＡ１を有した第１撮像装置６と、これと同一光軸上において被検物を撮像する第２の開口数ＮＡ２を有した第２撮像装置８と、被検物に対する光軸方向の相対位置を調整する位置調整器とを備えて形状測定器が構成される。Ｚ１位置およびＺ２位置において、投影パターンを投影した被検物を、第１および第２撮像系により撮像して第１（Ｚ１）および第２（Ｚ１）測定画像並びに第２（Ｚ１）および第２（Ｚ２）測定画像を取得し、所定画像位置における第1位置ずれ（Δｄ１）と第２位置ずれ（Δｄ２）とから、所定画像位置に対して合焦する合焦位置（Ｚ０）を求め、所定画像位置における合焦位置（Ｚ０）での測定画像から所定画像位置の光軸方向位置を求め、前記被検物の三次元形状を求める。 （もっと読む）

【課題】外光の影響を除去し、精度良く測距を行う。
【解決手段】対象物に向けて赤外光を照射する発光素子と、前記対象物からの反射光を受光する受光素子と、前記受光素子で受光した受光データに基づいて前記対象物までの距離を演算する距離演算部とを備え、前記受光素子は、波長λ１の赤外光を中心とする第１のバンドパスフィルタと、波長λ１より大きな波長λ２の赤外光を中心とし前記第１のバンドパスフィルタとは光透過領域が重複しない第２のバンドパスフィルタとが、画素毎に所定の配置で配列されたカラーフィルタを有し、前記発光素子は、波長λ２の赤外光を照射し、前記受光素子に前記第１のバンドパスフィルタから入射した第１の受光量と、前記受光素子に前記第２のバンドパスフィルタから入射した第２の受光量とを比較することにより外光の影響を除去して距離画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】光断層画像化装置において、高速に高分解能の断層画像を取得する。
【解決手段】光源ユニット１０から、波長が1295nm〜1345nm 内で間欠的に繰り返し掃引される光Ｌａと、波長が1255nm〜1305nm 内で間欠的に繰り返し掃引される光Ｌｂとが同時に射出される。どちらかの光の波長が1290nm〜1310nmの間である場合には他方の光は射出されない。光分割手段３は光Ｌａ、Ｌｂをそれぞれ測定光Ｌ１ａ、Ｌ１ｂと参照光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂとに分割する。波長分割手段５aは、測定光Ｌ１ａ、Ｌ１ｂが測定対象Ｓに照射されたときの反射光Ｌ３ａ、Ｌ３ｂを波長分割する。波長分割手段５ｂは、参照光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂを波長分割する。合分波手段６ａ、６ｂは反射光Ｌ３ａ、Ｌ３ｂと参照光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂとを各光ごとにそれぞれ合波する。干渉光検出手段４０ａ、４０ｂは上記合波により生ずる干渉光Ｌ４ａ、Ｌ４ｂを干渉信号として各光ごとに検出する。 （もっと読む）

【課題】計測が正しく行なわれないというトラブルが生じた場合に、そのトラブルの原因を迅速に究明できるようにする。
【解決手段】計測が行われると、計測結果および干渉波形のファイルを作成するとともに、その計測に用いた各種のパラメータのファイルのパラメータ内容をコピーしたコピーファイルを作成し、計測日付および計測単位毎の追い番を含むファイル名を付与するとともに、計測結果および干渉波形のファイルには、作成した日時をタイムスタンプとして付与する一方、コピーファイルには、元のパラメータのファイルの作成または更新に日時をタイムスタンプとして付与して保存するようにしている。 （もっと読む）

【課題】トンネル坑口や陸橋下など背景が急激に変化してもパンタグラフを見失わずデータ抜けが生じないパンタグラフ測定装置を提供するにある。
【解決手段】車両１の屋根上に設置したラインセンサ２からパンタグラフ３付近の映像を取得し、この映像を画像処理部６により画像処理して時空画像を生成し、パンタグラフ３の位置と加速度を測定するパンタグラフ測定装置において、パンタグラフ３には、光の反射しやすい領域４ｂと光の反射しにくい領域４ａとが縞模様となったマーカー４をラインセンサ２による走査方向を横切るように設置し、画像処理部６は、時空画像において、縞模様に対応するマーカーパターンを単位時間毎に高さ方向に走査して一致又は一定以上に近似する箇所を探索することにより照合するパターンマッチングを行うことで、昼間でも背景と明確に切り分けができ、また、トンネル坑口など、背景の輝度が急に変化する場合においても連続的にデータを取得することができる。 （もっと読む）

【課題】車両のドライバの目の状態を検出する技術において、光源の配置を工夫することで、目の検出ができなくなるような状況の発生頻度を低減する。
【解決手段】このように、右側近赤外照明１と、左側近赤外照明２と、右側近赤外照明１および左側近赤外照明２によって照らされた車両のドライバの目を撮影するためのカメラ３と、カメラ３によって撮影された目の状態に基づいた制御を実行するＥＣＵ４と、を備えた目状態検出装置５０において、右側近赤外照明１を、カメラ３よりもドライバの座席から向かって右側に配置し、かつ、右側近赤外照明１の光軸１１を、カメラ３の撮影方向３１に対して右に１５°〜４５°傾いて配置し、左側近赤外照明２を、カメラ３よりもドライバの座席から向かって左側に配置し、かつ、左側近赤外照明２の光軸２１はカメラ３の撮影方向３１に対して左に１５°〜４５°傾いて配置することで、目状態検出装置５０を車室内に設置する。 （もっと読む）

【課題】布帛の検査項目、特に炭素繊維織物における開口率を簡便、かつ、高精度で信頼性高く検査を実施する
【解決手段】照明装置により布帛を照明し、撮像装置によって布帛および照明光を撮像して被検査布帛である炭素繊維布帛を検査する方法であって、少なくとも次の工程を有する欠点の最小サイズから検査条件を設定するキャリブレーション工程被検査布帛の検査面における照度が３０〜４００ｌｘの範囲となる条件で布帛画像を撮像する撮像工程撮像した画像の濃度分布からバイナリ画像に変換する前処理工程バイナリ画像から被検査布帛における開口部、炭素繊維糸条の隙間または端部の形状情報を抽出する抽出工程被検査布帛の形状情報から布帛における開口率、炭素繊維糸条幅、炭素繊維糸条の配列密度、糸条の斜行、弧形または布帛総幅を算出する演算工程算出された被検査布帛の情報が欠点であるか否かを判定する判定工程判定結果を出力装置に出力する出力工程 （もっと読む）

【課題】迷光による校正への影響を軽減できる校正ゲージを提供する。
【解決手段】被測定物へ斜めに光を出射し、該記被測定物の測定点からの反射光を受光することにより変位を測定する変位測定装置１００の高さ方向の校正を行うための校正ゲージであって、コーティングされた平面を頂面６ａとし既知の高さｈを有する支柱６ｂで構成され、少なくとも頂面６ａの一角は鋭角な形状、かつ頂面６ａと支柱６ｂの側面とは直交する形状にされた測定ゲージ部６を備え、この測定ゲージ部６の頂面６ａの一角が光が出射してくる方向に向けて配置されて前記校正に用いられる構成とした。 （もっと読む）

【課題】被測定物体に模様や外乱光の影響を受けない三次元形状測定装置及びその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】高輝縞と、高輝縞より輝度の低い低輝縞とが交互に位置する縞パターン光を被測定物体２に投影する投影手段３と、縞パターン光の反射を受像し画像データを出力するカメラ４と、画像データから三次元座標データを生成する計算機５を有する三次元形状測定装置において、計算機５は、画像データの高輝縞及び低輝縞の所定部分で輝度の差が所定値以上であるかどうかの合否を判断する輝度差判断手段５０と、否と判断された所定部分の輝度を調節した一部修正縞パターン光を作成する輝度調節手段５１と、一部修正縞パターン光を被測定物体に投影することを投影手段３に命令する再投影命令手段５２と、一部修正縞パターン光の反射を受像し画像データを出力する再受像命令手段５３を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スケール部材から目盛りの画像を正確に読み取り可能にする。
【解決手段】媒体に印刷されたパターンの前記媒体上の印刷位置を、スキャナを用いて算出する際に使用されるスケール部材であって、前記スキャナの画像読み取り面に載置された際に前記スキャナの画像読み取りセンサと対面する面とは反対側の面に、目盛りが形成された透明な第１層と、前記第１層における前記目盛りの形成面に隣接して設けられた第２層であって、前記第１層側の面の色が光を反射する反射色である第２層と、を有することを特徴とするスケール部材。 （もっと読む）

本発明は、
− コヒーレント光源（２４）を使用して、コヒーレント放射光ビーム（９）を形成するステップと、
− オブジェクトに直接接触してまたはオブジェクトに非常に近接した位置に配置された合焦手段（４）を用いて、合焦されたコヒーレント放射光ビーム（９）でオブジェクトを照明するステップと、
− 検出手段（１４）を使用して、オブジェクトによって回折された光の光学フーリエ変換イメージ（ＦＴ）を形成するステップと、
を含むユニークオブジェクト（１）の検査方法に関する。
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第１及び第２の異なる波長の光源からの光が合成され、導波器に供給され、導波器は、０次光を基準表面に誘導し、他の次数、一般的に１次の回折光を、波長に依存するサンプル表面の１つの場所に誘導する。サンプル表面及び基準表面によって反射される光が干渉する。サンプル表面の特性が第１の波長の干渉光から求められる。基準表面を動かすか、又は経路部分の屈折率を変更することによって経路長差を調整し、環境の影響に起因する位相変動を補償することによって、第２の波長の干渉光を用いて、位相同期することができるようにする。異なる波長の場合に異なる１次回折角を与える可変波長源及び導波器、又は可変ピッチ音波回折格子を提供する音響光学デバイスを用いることによって、非機械的な走査を用いてサンプル表面が走査される。
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【課題】シート端の位置を安価に検出するシート端検出装置を実現することを目的とする。
【解決手段】フォトセンサを用いてシート状物体の端部を検出するシート端検出装置において、前記シート状物体の一方の面に配置された一つの発光素子と、前記シート状物体の他方の面に配置された分割受光素子と、該分割受光素子からの複数の出力信号を入力するとともに基準値調整手段手段からの基準値を入力する比較回路と、前記シート状物体を挟み前記発光素子と分割受光素子を搭載するセンサアームと、該センサアームをシート状物体の幅方向に駆動させる駆動装置を具備し、
前記比較回路は前記分割受光素子のそれぞれの出力と前記基準値調整手段手段からの基準値を比較し、その比較結果に基づいて前記駆動装置に駆動指令を出力する。 （もっと読む）