【課題】 被測定物を異なる角度から撮影した複数の画像から被測定物の３次元座標を測定する３次元座標測定装置において、背景光，水銀灯の光，或いは被測定物で反射したストロボ光の影響を排除する手段を提供する。
【解決手段】 本発明に係る３次元座標測定装置１は、光を反射する反射材１４，１５が設けられ車両Ｓに取り付けられるターゲット板２と、車両Ｓの画像を撮影する複数台の撮像装置３と、車両Ｓに対して光を照射するストロボ装置４と、同一のターゲット板２を異なる角度から撮影した複数枚の画像に基づいて車両Ｓの３次元座標を算出する画像処理装置５とを備え、ターゲット板２における少なくとも反射材１４，１５の表面に、ストロボ装置４から発せられた光のうち特定の色の光だけを透過するカラーフィルター１６，１７が設けられたものである。 （もっと読む）

【課題】光切断法による形状検査において、検査設備からの計測器の取外し等を必要とせず、検査精度に影響する検査設備についての誤差を確認・評価することができるステータコイルの形状検査方法を提供すること。
【解決手段】光切断法によるステータコイルの形状検査方法であって、撮像画像の取得に適した表面処理が施され、ステータコアに対するコイルエンドの形状に倣い所定の基準面（端面部３１ｂ）に対して略円環状に突出する部分として形成されるコイルエンド部３２を有するマスターワーク３０を用い、マスターワーク３０を検査設備にセットした状態で、スリット部５１を用い、スリット光１１がスリット５１ａに重なることを基準として、スリット光１１の照射位置の調整を行い、頂点形成部５２を用い、頂点形成部５２についての画像における頂点に対応する位置が撮像素子の中心の位置に重なることを基準として、撮像画像の撮像位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】光切断方法を用いながらも、多重反射光の影響を抑制して表面形状を測定できるようにする。
【解決手段】まず測定対象物の表面で反射したレーザ光を受光して当該測定対象物の表面形状を、撮像光軸方向に所定ステップ量で移動する撮像部により撮像し、撮像部の各ステップ位置における測定対象物表面の形状線像を含む光切断画像を取得する。そして、各ステップ位置における光切断画像から形状線像が合焦している光切断画像を特定し、特定した光切断画像を利用して測定対象物表面の形状線像及び多重反射によるノイズ光像を判別する。その判別結果に基づいて、光切断画像から当該判別されたノイズ光像を除去する画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】作業性を低下させることなく、被検物の測定結果のＳＮ比を向上させる。
【解決手段】形状測定装置１１は、光源２６から測定光を射出して被検物１２に照射するとともに、受光部２７により被検物１２からの測定光を受光し、被検物１２の形状を測定する。光センサ部２５には、その外周部分を覆うように、笠状の遮光部２８が設けられており、遮光部２８は、被検物１２に照射され受光部２７に入射する外乱光が、被検物１２に照射されないように、外乱光を遮光する。これにより、受光部２７に外乱光が入射することを防止することができ、受光部２７が測定光を受光して得られる電気信号のＳＮ比を向上させることができる。また、遮光部２８が邪魔になって測定者が被検物１２を視認できなくなるようなこともないので、作業性が低下することもない。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

本発明は、当該工業過程において品質制御を行うために、サーモグラフィ技術を利用することによりリアルタイムに透明な被写体の３次元モデル化を行うことができる３次元スキャナ（１）に関し、摺動部（２）、ヒータ（３）、サーマルカメラ（５）及び制御ユニット（６）を含む。
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【課題】外乱光の影響を抑制し、物体の形状の測定精度を向上する。
【解決手段】物体にパタンを投影して、その像を撮像素子６０により撮像することによって物体の形状を測定する形状測定装置の制御部６１のFFT部１０２は、A/D変換部１０１を介してフォトセンサ５９から取得した受光信号に基づいて、撮像素子６０に入射する入射光の周波数成分を検出する。ピーク検出部１１１は、周波数成分の検出結果に基づいて、撮像素子６０への入射光に含まれる外乱光の光量が所定の閾値以上かつ最大となる周波数fpを検出する。露光時間設定部１１３は、周波数fpに対応する周期Tpの倍数に撮像素子６０の露光時間を設定する。本発明は、例えば、光学式の形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 迷光を除去して、精度の高い形状測定を行うことが可能な形状測定装置、及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０とビームスプリッタ４０とを介して前記格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ４０を介して撮像する撮像部７０と、撮像部７０によって撮像された画像のコントラスト値に基づき測定対象物６０の形状を測定する測定部８２とを有し、ビームスプリッタ４０と測定対象物６０との間に１／４波長板５０を備え、１／４波長板５０に入射させる投影光が直線偏光であり、前記投影光と偏光方向が直交する直線偏光のみを撮像部７０に入射させるように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コイルばねの撮影画像からコイルばねの形状を正しく測定する。
【解決方法】 形状測定装置１０は、コイルばね３０の軸方向に広がるスリット光１５をコイルばね３０の表面に照射するレーザ１４と、コイルばね３０をその軸回りに回転させる回転ステージ１２と、コイルばね３０の表面からの反射光を撮影するＣＭＯＳカメラ１６と、コイルばね３０をその軸回りに回転させたときに複数の回転角のそれぞれについてＣＭＯＳカメラ１６で撮影される撮影画像から、コイルばね３０の素線の座標値を算出するコンピュータ２２を備えている。この形状測定装置１０によると、コイルばね３０の撮影画像からコイルばね３０の位置を正しく特定し、コイルばね３０の形状測定を正しく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】複数の色の組み合わせパターンからなる校正指標を環境光の影響下で撮影して得られた撮影画像データから、効率的に且つ正確に校正点の検出と位置算定を行うことが可能な車載カメラの校正装置を提供する。
【解決手段】格子模様の境界線の交差点を校正点Ｑとする少なくとも２つの校正指標を含む撮影画像上において、第１校正点Ｑ１が含まれる第１領域Ｒ１を設定し、第１領域Ｒ１において第１境界線Ｖ１、第１交差境界線Ｈ１を検出し、第１境界線Ｖ１及び第１交差境界線Ｈ１に基づいて第１校正点Ｑ１を検出し、第１校正点Ｑ１に基づいて第２校正点Ｑ２が含まれる第２領域Ｒ２を設定し、第２領域Ｒ２において第２境界線Ｖ１、第２交差境界線Ｈ２を検出し、第２境界線Ｖ１及び第２交差境界線Ｈ２に基づいて第２校正点Ｑ２を検出し、第１校正点Ｑ１及び第２校正点Ｑ２に基づいて車載カメラを校正する。 （もっと読む）

【課題】凹面部と凸面部を有してなる被検面の形状を光干渉計測できるようにする。
【解決手段】被検面８０の凹面部８１を測定する場合には、測定光が一旦収束した後に発散しながら凹面部８１に照射されるように、凸面部８２を測定する場合には、測定光が収束しながら凸面部８２に照射されるように、干渉光学系２に対する被検面８０の測定光軸Ｌ方向の位置をサンプルステージ６を用いて変更する。また、被検面８０に測定光が照射されたときに被検面８０の一部領域から反射されて撮像系４に入射する不要光の発生を防止するために、所定の干渉縞パターンを被検面８０に投影する干渉縞形成光学系７０を、光源部２０と分岐光学素子３との間の光路上に配置する。 （もっと読む）

【課題】チョクラルスキー炉における原料融液の液面位置（メルトレベル）の位置測定方法及び位置測定装置を提供する。
【解決手段】測定箇所７ａで反射した反射光を、集光レンズ１３ａで集光して二次元光センサ１３ｂで受光し、受光された反射光の輝度に基づいて三角測量の原理を利用して測定箇所７ａの位置を測定する方法であって、二次元光センサ１３ｂにおいて反射光が測定箇所７ａの位置を表す方向を第１方向Ｄ１といい、第１方向Ｄ１と直交する方向を第２方向Ｄ２という場合に、第２方向Ｄ２に沿う反射光の輝度を示す第２波形についてその重心である第２方向重心を算出する第２方向重心算出工程と、第２方向重心に基づいて第１方向Ｄ１に沿う反射光の輝度を示す第１波形についてその中心である第１方向中心位置を算出する第１方向中心位置算出工程と、第１方向中心位置に基づいて測定箇所の位置を算出する測定箇所算出工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】信号光成分が小さい一方でノイズ光成分が大きいという状態においても光学式計測装置による計測を実現可能とする技術を提供する。
【解決手段】光学式計測装置は、計測対象物体５の表面の計測対象部分に直線偏光（レーザビーム５３）を照射するレーザダイオード２０２ａと、直線偏光によって照射された計測対象部分の撮影画像が計測対象物体５の表面高さに応じて変化する方向から、計測対象部分を撮影して撮影画像を取得する２次元ＣＣＤ２０３ａと、２次元ＣＣＤ２０３ａの前段に設けられて、入射する光のうち直線偏光の偏光軸に平行な偏光軸を有する偏光成分を抽出する偏光フィルタ２０３ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の赤外線センサを利用して赤外線源の位置を位置情報信号として出力する装置および方法において、光学系等の高度な設計技術を必要とすることなく、赤外線源の位置に関する信号を正確に出力する。
【解決手段】位置情報出力装置１は、赤外線センサＳ_１〜Ｓ_３が所定方向に並んで配列されてなる赤外線検出部２と、赤外線センサＳ_１〜Ｓ_３からの出力信号に基づいて赤外線源の位置を示す位置情報信号Ｐを生成する信号生成部３とを備える。信号生成部３は、赤外線センサＳ_１〜Ｓ_３から出力信号を受け、赤外線センサＳ_１，Ｓ_３の間に位置する赤外線センサＳ_２からの出力信号値が、赤外線センサＳ_１，Ｓ_３からの各出力信号値より大きい場合に、赤外線センサＳ_１からの出力信号値と赤外線センサＳ_３からの出力信号値との差分に基づく位置情報信号Ｐを出力する。 （もっと読む）

【課題】
ゴースト光の影響を抑制した高精度の干渉計を提供する。
【解決手段】
光源装置１からの光をリファレンス光及び測定光に分割するＰＢＳ２と、ＰＢＳ２で分割されて第１の方向から入射するリファレンス光を反射するリファレンスミラー４ａと、ＰＢＳ２で分割されて第２の方向から入射する測定光を反射する測定ミラー４ｂと、ＰＢＳ２を介して、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂからの反射光を入射するレンズ系６と、レンズ系６からの光を反射する反射素子５と、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂのそれぞれに二度照射して合波された光を受光する受光素子１６とを有し、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂは、反射素子５と共役関係にあり、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂの少なくとも一つは、その法線方向が第１の方向及び第２の方向とは異なるように傾いて配置されている。 （もっと読む）

【課題】光の多重反射等により生じるノイズ等に起因する検査精度の低下を招くことなく、光切断法による計測を用いることができ、コイルエンドの形状について、ケースに対する絶縁不良につながる形状不良の有無を、非破壊（非接触）・自動・高速で精度良く検査することが可能となるステータコイルの形状検査方法を提供すること。
【解決手段】スリット光１１を照射することで得られる反射光の二次元画像１３を取得する光切断法を用い、ステータコイル１０のコイルエンド１０ｂの部分の形状の良否判定を行う形状検査方法であって、二次元画像１３の取得に適した表面処理が施され、コイルエンド１０ｂの部分の外形形状について良品として許容される最大外形形状を有する部分を備える基準ワークを用い、基準ワークについての計測点群に基づき基準データを作成し、ステータコイル１０についての計測点を、基準データと比較することにより、前記良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】一次元の撮像素子及び二次元の撮像素子の双方を備えることなく、処理の負担軽減、光軸調整作業の容易化を図ることが可能な光電センサ、コントローラ及び光電センサシステムを提供する。
【解決手段】光電センサ５１は、複数の受光素子Ｐが二次元状に配列され、投光部６２からの光を、検出領域Ｅを介して受光する受光面８６を有する受光部８０を備え、設定モードが選択されている場合に、投光部６２が光を出射したときにおける受光素子Ｐからの受光信号に基づき、受光面８６上における受光範囲Ｚを抽出し、その受光範囲Ｚに基づき使用範囲Ｖ'を設定し、検出モードが選択されている場合に、上記使用範囲Ｖ'内の受光素子Ｐのみからの受光信号に基づき検出動作を行う。 （もっと読む）

【課題】ノイズ光成分を除去することで、内部から穴形状を撮像できない被検物体の光学的な形状測定を行うことができる穴形状測定装置を提供する。
【解決手段】穴形状測定装置を、光軸方向に延びるように形成された穴Ｈを有する被検物体８０の当該穴Ｈから放射された光を集光する機能を有する対物レンズ２０と、この対物レンズ２０の射出瞳面若しくは当該射出瞳面と共役な面に配置され、被検物体８０のうち、穴Ｈから放射された光線を通過させる開口部３２、及び、穴Ｈ以外の部分から放射された光線を遮光する遮光部３１を有する遮光部材３０とから構成する。 （もっと読む）

【課題】発光素子電流の調整範囲を広くでき、また受光時間も短くなって応答性のよい光学的検出装置を得る。
【解決手段】マイコン４０は、受光処理回路３９から出力される各受光素子からの外乱光を除去した受光量電圧を入力として、表示器の表示面上に物体による遮光がない場合に、各受光素子毎に受光量のＡ／Ｄ変換をそれぞれ複数回行って、各受光素子毎のＡ／Ｄ変換値を加算することにより加算値をそれぞれ得、マイコン４０のメモリ４１に記憶する。メモリ４１の各加算値を用いて各受光素子毎の受光量が揃うように感度調整した後に、表示器の表示面上での物体による遮光位置を検出する操作を行う。 （もっと読む）

【課題】空間的なコヒーレンスに起因するゴースト像の発生を抑える技術を提供する。
【解決手段】インテグレータとして機能するフライアイレンズ１０４の分割数Ｎを、ある閾値より大きくすることで、観察される視野の領域内で発生するゴースト像のコントラストをあるレベルよりも小さくなるようにする。こうすることで、紫外レーザ光を用いたフォトマスクの欠陥の検査におけるゴースト像の影響を排除する。 （もっと読む）

本発明は、対象物の照射、及び対象物が位置する区域からの光の検出、並びに検出された光に基づく画像の形成を含む対象物を撮像する方法に関し、対象物の照射は、撮像平面又は空間内の画素を区別し、かつこれらの画素に対応する対象物の部分を別々に照射し、同時にこれらの対象物部分に印加される照射量を指示することによって実行され、画像は、それに続いて、これらの画素に関連する光出力及び照射量に従って照射対象物部分に対応する画素を集めることによって構成され、各個別の対象物部分の照射量は、少なくとも、他の対象物部分又はいくつかの他の対象物部分の光出力及び／又は照射量に依存する。 （もっと読む）