【課題】コヒーレント光源を用いて線状パターンの投影を行いつつ、投影面でのスペックルの発生を抑制する
【解決手段】レーザビームＬ５０を、光ビーム走査装置６０によって反射させ、ホログラム記録媒体４５に照射する。ホログラム記録媒体４５には、走査基点Ｂに収束する参照光を用いて線状散乱体の像３５がホログラムとして記録されている。光ビーム走査装置６０は、レーザビームＬ５０を走査基点Ｂで屈曲させてホログラム記録媒体４５に照射する。このとき、レーザビームの屈曲態様を時間的に変化させ、屈曲されたレーザビームＬ６０のホログラム記録媒体４５に対する照射位置を時間的に変化させる。ホログラム記録媒体４５からの回折光Ｌ４５は、ステージ２１０の受光面Ｒ上に線状散乱体の再生像３５を生成する。受光面Ｒに物体を載置すると、ホログラム再生光により線状パターンが投影されるので、その投影像を撮影して物体の三次元形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】投射系は、第１反射面７ｂ，７ｃを有する投射側プリズム部材７を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第２反射面８ｂ，８ｃを有する受光側プリズム部材８を備えている。第１反射面および第２反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】
安価なモノクロカメラを使用するとともに撮像画像の画像データ処理を少なくして画像処理を高速に行うことができ、撮像時にワークの影が発生してもワーク外形の検出に影の影響を排除することができ、低コストでワーク外形検出方法及び画像処理システムを提供する。
【解決手段】
第１ステップで取得した撮像画像を床面と支持部の中間値の輝度を閾値として二値化し、二値化した画像データをマスクデータにする。支持部の表面の明度と同レベルの明度を有するワークを、支持部に支持した状態でモノクロカメラによりワーク台とともに撮像し、ワーク撮像画像を取得する。ワーク撮像画像から、マスクデータにおける支持部に関する画像領域５２，５４を消去して支持部消去画像を取得する。支持部消去画像から、支持部消去部分を含んだワーク外形線５７を抽出し、支持部消去部分を補間処理してワーク外形線５８を取得する。 （もっと読む）

【課題】簡便な光源を利用した場合であっても光の反射による外乱の影響を抑えて光透過性薄膜の厚さを確実に算出できるようにする。
【解決手段】光透過性薄膜１０２の表面にレンズが合焦した状態では基板１０１の表面をフォーカスアウトさせて基板１０１から反射される光が合焦判定の外乱として作用することを防止する一方、基板１０１の表面にレンズが合焦した状態では光透過性薄膜１０２の表面をフォーカスアウトさせて光透過性薄膜１０２から反射される光が合焦判定の外乱として作用することを防止し、基板体１００の平面上の同一箇所（ｘｉ，ｙｉ）で光透過性薄膜１０２を含めた基板体１００の厚さと光透過性薄膜１０２を除いた基板１０１のみの厚さの差分に基いて光透過性薄膜１０２の厚さを適切に算出する。 （もっと読む）

【課題】第１表面に対向する第２表面による反射像の影響を受けずに被評価物体の表面形状を精度よく評価することができるようにする。
【解決手段】評価装置は、評価対象である板ガラスなどの被評価物体３の表面３ａに映し出されたストライプパターン１を、ＣＣＤカメラ２によって撮像するように構成されている。ストライプパターン１は、光源の発光面に設けられている。また、被評価物体３の裏面３ｂには、屈折率が被評価物体３の屈折率に近い反射抑制層２０が、裏面３ｂに接するように配置されている。ＣＣＤカメラ２によって撮像された画像は、演算装置としてのコンピュータ４に取り込まれ、コンピュータ４によって画像解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】作業員の技量にかかわらず短時間で精度高く車輪外周面形状を測定することが可能な車輪形状測定装置を提供する。
【解決手段】車輪１におけるフランジ及び踏面を含む外周面２の形状を測定する車輪形状測定装置１００であって、筐体（基部）１０と、該筐体１０内に取り付けられて車輪１の径方向外側から車輪１の外周面２に向かって光線を照射し、その反射光によって該外周面２までの距離を検出する距離測定部３０と、筐体１０を車輪１に対して位置決めして固定する位置決め手段２０と、距離測定部３０を筐体１０に対して車輪１の軸線Ｏ方向にスライド移動可能とさせるスライド手段４０と、外周面２における光線の反射にて生じる乱反射光を吸収する乱反射光吸収手段６０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】測定光のプリズムへの入光・出光損失を低減させ、角度センサの検出精度を向上させること。
【解決手段】角度センサ１は、断面二等辺三角形の三角柱形状のプリズム２を備える。入射面２Ａと出射面２Ｂによって規定されるプリズム２の頂角θｐは、プリズムの屈折率をｎ_ｐｒｉ、空気の屈折率をｎ_ａｉｒとすると、以下の関係式（３）を満たす角度である。
θｐ＝２×（９０−（ｓｉｎ^−１（ｎ_ａｉｒ／ｎ_ｐｒｉ）））・・・（３）
プリズム素材がＢＫ７（屈折率ｎ_ｐｒｉ＝１．５１６３）であるとき、θｐの適正値は９７．４５〜９８の範囲内である。プリズム２の入射面２Ａから測定光Ｌを入光し、境界面２Ｃで反射光Ｌｒと透過光Ｌｔに分離する。出射面２Ｂから出射する反射光Ｌｒと境界面２Ｃから出射する透過光Ｌｔを受光部３ｒ、３ｔにより検出し、受光部３ｒ、３ｔの差動出力に基づき、測定光Ｌの角度を検出する。 （もっと読む）

【課題】外乱光が存在する場合でも正確に被計測部材の表面形状を計測することのできる表面形状計測方法およびその装置を提供する。
【解決手段】スリット光画像の長さ方向に直交する画素列を列番号第１列として、第１列目の第１所定範囲内の画素の輝度値から初期中心位置Ｇ０を求め、初期中心位置Ｇ０を中心とし、第１所定範囲より狭い第２所定範囲（参照光幅）内の画素の輝度値から第１列目の中心位置Ｇ１を求める。第２列以降の第ｉ列〜第ｎ列までは、第（ｉ−１）列目の中心位置Ｇ（ｉ−１）を中心として第２所定範囲内の画素の輝度値を加重平均して第ｉ列目の中心位置Ｇｉを求めて、中心位置Ｇ１〜Ｇｎを求めＧ１〜Ｇｎを接続して表面形状を求める。 （もっと読む）

【課題】面ずれと面倒れを互いに分離して高精度に測定することができ、かつ種々の被検体を測定対象とすることが可能な面ずれ面倒れ測定装置を得る。
【解決手段】回折格子２２Ａを介して、光軸Ｃ_２２Ａに対する波面の進行角度が互いに異なる２つの円錐状光束を第１被検面９０Ａに照射するとともに、回折格子２２Ｂを介して、光軸Ｃ_２２Ｂに対する波面の進行角度が互いに異なる２つの円錐状光束を第２被検面９０Ｂに照射する。第１被検面９０Ａからの戻り光により形成される２つの干渉縞を解析することにより、光軸Ｃ_２２Ａに対する第１被検面９０Ａの面ずれおよび面倒れを求め、第２被検面９０Ｂからの戻り光により形成される２つの干渉縞を解析することにより、光軸Ｃ_２２Ｂに対する第２被検面９０Ａの面ずれおよび面倒れを求め、それらの結果から、被検レンズ９の面ずれおよび面倒れを求める。 （もっと読む）

【課題】トールボット干渉計のセンサ部の傾きを精度良く調整する。
【解決手段】トールボット干渉計は、光源１から発せられて被検光学系Ｌを通った光を、回折格子３および撮像素子４を含むセンサ部Ｍに導き、被検光学系の波面を計測する。該干渉計は、光軸ＯＡに沿った方向における被検光学系とセンサ部との位置関係を、波面の計測時とは異なる位置関係であって被検光学系の像点位置に撮像素子が配置されるように設定する機構７，８と、回折格子からの回折光の撮像素子上での光量分布を該撮像素子を用いて測定する測定部５と、光量分布の測定結果を用いてセンサ部の傾き補正量を算出する補正量算出部５と、傾き補正量に応じた光軸に対するセンサ部の傾き調整を行う機構９とを有する。 （もっと読む）

【課題】検出用光源から出射された検出光の一部が対象物体で反射せずに光検出器に入射
することに起因する検出誤差を解消することのできる光学式位置検出装置を提供すること
。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出光Ｌ２を出射する複数の検出用光源１２、
および対象物体Ｏｂで反射した検出光を受光する光検出器３０に加えて、検出空間１０Ｒ
を経由せずに光検出器３０に入射する参照光Ｌｒを出射する参照用光源１２Ｒを有する。
検出空間１０Ｒに対象物体Ｏｂが存在する状態で、複数の検出用光源１２の一部を点灯さ
せる第１検出用光源点灯動作、他の一部を点灯させる第２検出用光源点灯動作、および参
照用光源点灯動作を行うとともに、検出空間１０Ｒに対象物体Ｏｂが存在しない状態でも
第１検出用光源点灯動作、第２検出用光源点灯動作および参照用光源点灯動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を受光して対象物体の位置を検出する際、対象物体に反射率が異なる箇所が存在していても、対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光する。光検出器３０としては、互いに異なる波長帯域に感度ピークをもつ第１光検出器３１および第２光検出器３２が用いられており、第１光検出器３１での検出光の検出強度と第２光検出器３２での検出光の検出強度との差に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】三次元形状の測定精度の悪化を抑制する。
【解決手段】対象物への検出光の投光と撮像との第１の投光撮像条件において対象物の所定部分の撮像結果から特定される第１座標データと、第２の投光撮像条件において該所定部分の撮像結果から特定される第２座標データとを取得する取得手段と、第１座標データと、第２座標データとの空間配置関係の一致度に基づいて、第１座標データの各座標が、該所定部分の実際の三次元形状を表現した実座標であるか、該実座標以外の非実座標であるかを判別する判別手段とを備える。第１座標データと、第２座標データとは、第１の投光撮像条件と第２の投光撮像条件との既知の幾何学的な関係に基づいて所定の三次元座標系で表現されており、空間配置関係の一致度は、第１候補座標と、第２候補座標とについての空間配置関係によって算出される。 （もっと読む）

【課題】照明光の連続性を確保し、被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に特定色の光を投射する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光のうち特定色の反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する複数の照明装置１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃのうち特定色を含む照明光を照射する照明装置１２０ａを、制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に投光する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する照明装置１２０を制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】卵の気室位置が鈍端中央からどの程度ずれているかといった、ワクチン製造に係る卵へのウイルス接種や卵の漿尿液採取に必要な、精度の高い気室位置の情報を得る。
【解決手段】検査ユニット８ａの集光部２を卵５に密着させ、光源１１，１３から可視光を順次照射する。光源１１，１３から照射された光の一部は卵５の内部へ入射し、集光部２と卵５が接触する範囲の内側から放射されるので、集光部２と卵５が接触する範囲の内側から放射された光を光電変換部１で受光して受光電圧に変換する。判定演算部は、それぞれの受光電圧の値から気室６の位置の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】測定頻度を高めることに伴って対象物体の位置検出精度を高めることのできる光
学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源１２が検出光Ｌ２を出射した
際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出
する。検出空間１０Ｒからみたときに、光検出器３０の周りで周方向で並ぶ第１検出用光
源１２Ａ、第２検出用光源１２Ｂ、第３検出用光源１２Ｃおよび第４検出用光源１２Ｄは
、光検出器３０からの距離が相違している。また、第１検出用光源１２Ａと第２検出用光
源１２Ｂとを結ぶ線と、第３検出用光源１２Ｃと第４検出用光源１２Ｄとを結ぶ線とが非
平行で、第１検出用光源１２Ａと第４検出用光源１２Ｄとを結ぶ線と、第２検出用光源１
２Ｂと第３検出用光源１２Ｃとを結ぶ線とが非平行である。 （もっと読む）

【課題】溶接ワークの開先角が９０°以下で様々な角度をとる場合に、溶接対象部における反射スリット光を特定領域に集めるようにカメラ及び投光器を配置することで、本来のスリット光を容易に検出して、安定的に溶接ワークの開先形状を計測する。
【解決手段】溶接ワークＷの開先Ｋにある溶接線Ｌに対して直交するように投光器２からスリット光Ｓを照射し、スリット光Ｓが照射された溶接ワークＷの開先Ｋをカメラ３で撮像する場合に、投光器２とカメラ３とを、溶接ワークＷの開先Ｋがなす開先角θの２等分線Ｒと溶接線Ｌとを含む平面Ｈ上で、且つ撮像画像Ｇ中においてスリット光Ｓが反射スリット光Ｓ’よりも投光器２の照射方向の基側に存在するように配置して、撮像画像Ｇを投光器２の照射方向の基側から探索してスリット光Ｓを抽出することにより、溶接ワークＷの開先Ｋの形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】高精度な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明のエンコーダは、移動可能な格子スケールと、前記格子スケールに照射した光束の反射光または透過光を光電変換して、互いに位相差が異なるＮ相（Ｎは６以上の整数）の周期信号を生成する複数の受光素子と、前記受光素子で生成された各相の前記周期信号に対してＭ組（Ｍは２以上の整数）の係数群を乗算し、該係数群を乗算して得られた値の総和からＭ相の正弦波状周期信号を生成する増幅器とを有する。 （もっと読む）

【課題】光学的な測定を行うための照射部および受光部がそれぞれ最小個数でありながらも、被検査基板の測定対象物の光学的な測定を精度良く行うことが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】レーザー計測器３３はレーザー光を照射する照射部３３ａと測定対象物１１１で反射された反射光を受光する受光部３３ｂを有し、シャフト３３３の下端に取り付けられている。シャフト３３３にはベルト３３５を介してモータ３３１の回転駆動力が伝達されるように構成されており、レーザー計測器３３はモータ３３１の回転により向きを変更可能に構成されている。これによって、測定対象物１１１から見たレーザー光の入射経路Ｌ１と反射光の反射経路Ｌ２との入受光関係が調整可能になっている。 （もっと読む）