【課題】検出光が対象物体以外の物体で反射して受光部に入射することに起因する検出誤差の発生を防止することのできる位置検出装置、該位置検出装置を備えた入力機能付き表示システム、および位置検出方法を提供すること。
【解決手段】位置検出装置１０において、位置検出の際、受光部１３は、対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２を受光するとともに、検出光Ｌ２が対象物体以外の物体Ｓｂで反射した検出光（迷光Ｌ５）も受光する。ここで、迷光Ｌ５の強度は、検出光Ｌ２の強度に比例する。そこで、検出対象空間１０Ｒを介さずに受光部１３に入射する補償光Ｌ４を出射する補償用光源部１４を設け、検出光Ｌ２の強度を増大させたときには、補償光Ｌ４の強度を低減し、検出光Ｌ２の強度を低減させたときには、補償光Ｌ４の強度を増大させる。 （もっと読む）

【課題】より高い分解能を得ることが可能な変位センサを提供する。
【解決手段】センサヘッド１００は、レンズ１０（対物レンズ）と、レンズ１０を変位させるための振動子８と、フォトダイオード２（受光部）と、反射光の光路上に位置するピンホール７ａが形成された絞り板７と、レンズ９（コリメートレンズ）とを備える。光軸Ｘは、レンズ９，１０の光軸であるとともに、ピンホール７ａの中心軸に対応する。遮光部材１３は、ピンホール７ａの中心軸に対して反射光の光路が傾いた状態で、反射光にピンホール７ａを通過させる。遮光部材１３を省略し、レーザダイオード１の光軸をピンホール７ａの中心軸に対して傾けてもよい。これにより、フォトダイオード２からの受光信号に対する電気的ノイズあるいはスペックルの影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 屋外において昼夜に亘って連続的に変位計測が可能で計測誤差が少ない変位計測用の自己発光型ターゲット、及びそれを備えた変位計測システムを提供すること。
【解決手段】 撮像手段（カメラ３）で撮像した画像を解析手段（ＰＣ４）で解析することにより計測対象物（レール）の変位計測を行う変位計測システム１に用いられ、計測対象物（レール）に取り付けられて自ら発光する変位計測用の自己発光型ターゲット（計測用ターゲット２）を、ケース２０と、このケース２０の背面側内部に取り付けられて発光する発光手段２１と、ケース２０の前面側内部に取り付けられ、蓄光性蛍光体と光透過性物質とを含有して板状に成型された蓄光面材２２と、を備えた内照式の自己発光型ターゲットとする。 （もっと読む）

【課題】装置構造を大型化することなく、光切断法によって至近距離から大型な被測定物の形状を精度よく測定できること。
【解決手段】本発明の一態様である形状測定装置１は、被測定物１５にスリット光Ｌ１を照射し、フィルタ３およびレンズ４を介して被測定物１５からのスリット光Ｌ１を撮像して、被測定物１５の形状を測定する。フィルタ３は、レンズ４の物体側主点４ａを中心として被測定物１５側に凸な弧形状をなし、スリット光Ｌ１を透過するとともにスリット光Ｌ１以外を遮光する。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付け余白が生じて基板端から表示領域を画定する額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていない基板に対しても、外観上の広域欠陥の検査を正常に行える機構を有した塗布膜の検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の基板を披検査体テーブルの支持ピン上に保持した状態で、基板流動方向に走査可能に移動する検査位置に対して真下の位置に配置された透過光源部から検査光を当て、被検査体を透過した透過光を、透過光源部と同じ方向に一体的に移動する検査位置に対して真上の位置に配置された撮像カメラで受光してその輝度変化を検出する塗布膜の検査装置において、前記被検査体テーブルの基板流動方向の両端部に外乱光遮断用のシャッターが設けられ、該シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にむけてその遮光領域を可変に制御する機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に投影される縞の像の歪みを防止することができ、また、影の問題や、ハレーションの問題等を解消することができる３次元測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元測定装置１００は、投影部２０と、撮像部３０とを含む。投影部２０は、基板１０に向けて垂線を下ろしたときの基板の表面（投影面）との交点３の周囲の領域である投影可能領域２に縞を投影可能とされる。撮像部３０は、投影可能領域２内に複数の撮像領域１を有する。投影可能領域２は、広範な領域とされているので、投影可能領域２内には複数の撮像領域１を設けることができる。撮像可能領域２内における撮像領域１の位置等は、影あるいはハレーションの影響の排除等を目的として設定される。 （もっと読む）

【目的】コヒーレント光の干渉性をより排除することが可能な照明装置を提供する。
【構成】照明装置３００は、コヒーレント光を発生する光源１０３と、ランダムに配置された、波長以下の高さの複数の段差領域が形成され、光源からの光線を通過させて位相を変化させる回転位相板１４と、複数のレンズがアレイ状に配列され、回転位相板を通過した光線を通過させるインテグレータ２０と、を備え、複数の段差領域の最大サイズと回転位相板から蝿の目レンズの入射面までの光学倍率の積が、複数のレンズの配列ピッチ以下となる箇所と、複数のレンズの配列ピッチより大きくなる箇所とが混在するように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】炉壁表面の凹凸形状を測定するためのレーザ光と炉壁の自発光とを同時に取得しつつもレーザ光と自発光とが干渉せず、炉壁表面に対し垂直方向の計測可能範囲およびレーザ光の照射範囲を広くする。
【解決手段】スリット状の窓２を有する断熱性保護箱３の内部に配置された、スリット状のレーザ光を射出するスリットレーザ光源４と、レーザ光を反射して窓２を介して炉壁表面へレーザ光を照射するレーザ光用ミラー５と、窓２を介して断熱性保護箱３の内部に入射する、レーザ光の照射による炉壁表面の反射光および炉壁表面が発する自発光を反射する撮像用ミラー６と、撮像用ミラー６から反射された自発光と反射光とを光学フィルタ７を介して撮像する撮像装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】多乱光の影響による三次元形状の測定の誤差を抑制する。
【解決手段】三次元形状測定装置は、投影部と、調整部と、検出部と、制御部とを備える。投影部は、測定対象物に対してパターン光を照射する。調整部は、パターン光の照射強度を調整する。検出部は、パターン光の照射された前記測定対象物の表面の明るさを検出する。制御部は、パターン光を照射しない非照射状態で検出される測定対象物の表面の明るさに基づいて調整部による照射強度の調整を制御する。 （もっと読む）

【課題】パターン投影と簡便な画像処理で多重反射光領域の検出を行うことにより、多重反射によるノイズの影響を低減することを目的とする。
【解決手段】投影部によりエピポーララインと略平行な方向のラインパターンが投影された撮像対象物を撮像する撮像部と、撮像された画像からラインの方向を算出するライン方向算出部と、ラインの方向と、投影部と撮像部との相対的な位置関係を示す幾何配置に基づいて決定されるエピポーラライン方向との角度差に基づいて多重反射光領域を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】対象物体以外の物体で反射した検出光の影響を受けずに対象物体の位置を検出することができる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０においては、複数の検出用光源１２を順次点灯させると、第１受光部３１は、対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ３を受光する。その際、第１受光部３１には、対象物体Ｏｂ以外の物体Ｓｂで反射した検出光Ｌ４が入射する場合があるが、光学式位置検出装置１０には、検出対象空間１０Ｒに入射しない補償光Ｌ５を出射する補償用光源部８１と、検出光Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４を受光せずに補償光Ｌ５を受光する第２受光部３２とが設けられており、位置検出部５０は、第１受光部３１での受光強度と第２受光部３２での受光強度との差に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】第１表面に対向する第２表面による反射像の影響を受けずに被評価物体の表面形状を精度よく評価することができるようにする。
【解決手段】評価装置は、評価対象である板ガラスなどの被評価物体３の表面３ａに映し出されたストライプパターン１を、ＣＣＤカメラ２によって撮像するように構成されている。ストライプパターン１は、光源の発光面に設けられている。また、光源が発射する光の波長は、２００〜３８０ｎｍである。ＣＣＤカメラ２によって撮像された画像は、演算装置としてのコンピュータ４に取り込まれ、コンピュータ４によって画像解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】１つのカメラの視野に入らない計測対象物の裏側の形状まで精度良く計測する装置および方法を提供する。
【解決手段】計測対象物に格子模様を投影する格子模様投影部と、計測対象物の周囲に配置された少なくとも１つの鏡と、計測対象物および鏡に映る計測対象物の鏡像の画像を撮影する少なくとも１つの撮影部と、計測対象物の画像と鏡像の画像の各々に対して位相解析処理を施して計測対象物の形状を算出するとともに撮影された前記計測対象物の画像と前記鏡像の画像とを合成する解析処理部とを備え、撮影部の各々は、計測対象物の少なくとも一部の領域と該少なくとも一部の領域の鏡像とを同時に撮影可能に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検出体の位置を検出するとともに、被検出体の動作を的確に、かつ、高精度に判定する。
【解決手段】被検出体から発せられた赤外線を受光した赤外線検出部から出力される赤外線検出信号に基づいて、被検出体の位置および動作を判定する位置および動作判定方法であって、赤外線検出部は視野角制限体を有する少なくとも２個の赤外線センサ部を有し、２個の赤外線センサ部からそれぞれ得られる赤外線の強度の差または比をあらわす被検出体の位置信号と、赤外線の強度の各々の差または比を時間の関数とし、時間で微分することにより得た信号と、に基づいて被検出体の動作を判定する。 （もっと読む）

【課題】参照用光源から出射された参照光が検出光出射空間に漏れてしまうことを防止しつつ、光検出器での参照用光源の検出強度を適正なレベルに抑えることができる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、対象物体により反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光した結果、および検出対象空間１０Ｒを介さずに光検出器３０に入射した参照光Ｌｒの強度に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。光検出器３０と、参照光Ｌｒを出射する参照用光源１２Ｒとは、受光ユニット３５を構成しており、参照用光源１２Ｒから出射された参照光Ｌｒが検出対象空間１０Ｒに漏れることを回避する。受光ユニット３５では、参照用光源１２Ｒから出射された参照光Ｌｒを、強度を低下させた状態で光検出器３０に入射させるため、光検出器３０での参照光Ｌｒの検出強度のレベルを低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】監視対象領域の位置変動の測定精度を高める。
【解決手段】位置変動監視システム１は、予め決められた監視対象領域に設置された複数の監視指標２と、複数の監視指標２が撮像された撮像画像を用いて監視対象領域の位置変動を検出する位置変動監視装置３とを備える。位置変動監視装置３は、複数の監視指標２を予め設定された時間間隔で撮像する撮像部５１と、撮像部５１により時系列で得られる撮像画像を用いて複数の監視指標２の位置変位を求める画像解析部６１と、複数の監視指標２の位置変位があった場合に警告を報知するように報知装置４を制御する報知制御部６３とを備える。 （もっと読む）

【課題】均一で安定性の高い光スポットを発生させる回折光学素子を提供する。
【解決手段】複数の基本ユニットが２次元的に配列されている第１の回折素子と、複数の基本ユニットが２次元的に配列されている第２の回折素子と、を有し、入射する光に対して２次元的な回折光を発生させる回折光学素子であって、前記第１の回折素子において前記基本ユニットの配列方向を第１の方向とし、前記第２の回折素子において前記基本ユニットの配列方向を第２の方向とし、前記光が前記第1の回折素子、前記第２の回折素子の順に入射するとき、前記第１の回折素子で発生する回折光がさらに、前記第２の回折素子に入射して発生する０次光の最近接距離をΔｘとし、前記第２の回折素子により発生する回折光及び迷光における最近接距離をαとした場合、前記第１の方向と前記第２の方向のなす角φが、−｜φ_１｜＜φ＜｜φ_１｜、かつ、φ≠０、ｓｉｎφ_１＝−α／Δｘであることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段２２と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段２３と、画像計測演算手段２２が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段２５とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置を得る。
【解決手段】移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第１の発光部と前記マークを介した光を検出する第１の受光部とを備える第１の検出部と、前記第１の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第２の発光部と前記マークを介した光を検出する第２の受光部とを備える第２の検出部と、前記第１の発光部と、前記第２の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第１、第２の検出部で各々検出する第１のタイミングと前記第１のタイミングと異なる第２のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第１のタイミング及び前記第２のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有する。 （もっと読む）