本発明は、殊に可動基板上に積層プロセス中に真空内で積層される薄い層の層厚測定のための光学式モニタリングシステムに関する。ここでは基準光線路内に入力され、第１のピエゾ圧電式または電子ひずみ式または磁気ひずみ式光チョッパによって解放された光源の光の光強度が基準フェーズにおいて光検出器ユニットによって検出される。光源の光は測定フェーズにおいて第１の測定光線路内に入力され、第２のピエゾ圧電式または電子ひずみ式または磁気ひずみ式光チョッパによって解放された光は基板上に案内され、基板によって反射されたまたは透過された光の光強度は第２の測定光線路を介して光検出器ユニットによって検出され、少なくとも１つの暗フェーズにおいて残光強度が光検出器ユニットによって検出される。ここで基準フェーズ、測定フェーズおよび暗フェーズは光チョッパを介して時間的にずらされ、基板の位置に依存してデジタル調整される。
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【課題】構造化光によって生成されたイメージでラインパターンを処理してノイズを除去することを目的とする。
【解決手段】所定の位置に形成された単純ラインパターンを用いてイメージの縦区間別にカーネル状及び最適のスレショルド値を決定するカーネル学習部２６０と、決定されたカーネル状及び最適のスレショルド値を用いて、捕捉された実際テストイメージにコンボリューションを適用するコンボリューション適用部２７０と、コンボリューションが適用されたイメージに含まれたピクセルカラムを縦方向にスキャンしてピクセル値が０でない複数のピクセル群が存在する場合、これらのうち、選択された１つのピクセル群以外のピクセル群のピクセル値を０に設定する領域選択部２８０と、を含むラインパターン処理装置２００である。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】ワークピースの上面及び下面を同時に光学的に検査するための装置は、上部及び下部テストヘッドを備え、各ヘッドは、ワークピースの関連表面を走査するレーザビームを発生するための少なくとも１つのレーザと、反射されたレーザ光を検出するための少なくとも１つの検出器とを備えている。レーザビームの方向は、上部テストヘッドと下部テストヘッドとの間のクロストーク干渉を減少又は防止するように選択される。 （もっと読む）

【課題】
透明基板上に堆積させた透明膜や吸収膜の誘電率テンソルと膜厚を同時に決定できるように改良したラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散の同時決定方法を提供する。
【解決手段】
入射面および入射角と偏光状態を変えて基板の透過スペクトルを測定して測定データを得る第１のステップと、入射面および入射角と偏光状態を変えて上記基板の反射スペクトルを測定して測定データを得る第２のステップと、前記第１のステップと同じ条件で上記基板に薄膜を付着させた試料の透過スペクトルを測定して測定データを得る第３のステップと、前記第１のステップと同じ条件で上記試料の反射スペクトルを測定して測定データを得る第４のステップと、上記の各ステップで得られた測定データに最小二乗法による演算処理を実行して膜厚と光学的周波数領域における異方的な誘電率の値及びその分散誘電率を共に決定する第５のステップとからなる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の表面における蛍光灯等の可視光の反射光による影響を防止することができる形状認識装置を提供する。
【解決手段】 被加工物を支持する被加工物支持手段と、被加工物支持手段に支持された被加工物に光を照射する光照射手段と、被加工物支持手段に支持された被加工物を撮像する撮像手段と、撮像手段によって撮像された画像信号に基づいて被加工物の輪郭を認識する制御手段とを具備する形状認識装置であって、光照射手段は３８０〜７８０nm以外の波長の光を照射し、撮像手段は、３８０〜７８０nmの波長の光を遮断し該光照射手段によって照射される波長の光を通過する偏光フィルターが装着されている。 （もっと読む）

【課題】 透明基板の裏面から発生するノイズ光を確実に除去することができる焦点検出装置を提供する。
【解決手段】 透明基板１１の表面の像を形成する結像光学系の焦点検出装置において、透明基板の表面が結像光学系の焦点位置近傍にある状態で、透明基板の裏面を反射して、透明基板の表面の検出領域に入射するような開口数を有する光を遮蔽するよう、透明基板の表面での開口数が所定値ＮＡ₀（＞０）より大きい光Ｌ１のみを選択的に通過させる選択手段(１９,２０,４１)と、選択手段によって選択された光Ｌ５_Sに基づいて、透明基板の表面と結像光学系の焦点面との位置関係に応じたフォーカス信号を生成する生成手段(４２〜４８)とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面に段差や孔のある物体の３次元形状を外乱光による影響を抑制しつつ少ない撮像回数で計測する。
【解決手段】縞次数を確定するための補助パターンＰＲｉを、縞パターンＰＢｉを投影する光の波長と異なる波長の光で縞パターンＰＢｉと同時に投影し、縞パターンＰＢｉと補助パターンＰＲｉが同時に投影された撮像画像を、光の波長に基づいて縞パターンＰＢｉが投影された画像と補助パターンＰＲｉが投影された画像に分離し、補助パターンが投影された複数枚の画像から縞次数ｎを確定する。正弦波状の縞パターンＰＢｉと、縞パターンＰＢｉの縞次数を確定するための補助パターンＰＲｉとを計測対象物に同時に投影して撮像することが可能であり、しかも、縞パターンＰＢｉを投影する光を特定周波数の単色光とすることで白色光に比較して外乱光の影響を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 凹凸状態の表面上に電極が形成されたＬＥＤチップにおいて、外観検査の自動化を図ることが可能なＬＥＤチップの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 凹凸状態の表面上に電極が形成されたＬＥＤチップ１を所定位置に保持する工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その裏面側より第１の光４ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１の表面側への透過光より第１の画像データを取得する工程と、前記第１の画像データを演算処理し、良否判定をする工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その表面直上より第２の光５ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１表面からの正反射光より第２の画像データを取得する工程と、前記第２の画像データを演算処理し、良否判定をする工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その斜め上部からの光を含む第３の光７ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１表面からの乱反射光より第３の画像データを取得する工程と、前記第３の画像データを演算処理し、良否判定をする工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 外乱光の影響を受けにくく，精度の高い形状認識を行うことが可能な被加工物形状認識装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る被加工物形状認識装置は，被加工物１００を支持する支持部材１０２と，支持部材１０２と被加工物１００とを照明する照明手段２０と，被加工物１００の像を撮影してビデオ信号を出力する撮影手段３０と，このビデオ信号を処理して被加工物１００の形状を認識する形状認識手段とを備え，支持部材１０２は，被加工物１００とは異なる正反射率を有し，撮影手段３０は，被加工物１００と支持部材１０２との表面で正反射された照明光を直接受ける位置に配置され，被加工物１００を明部，支持部材１０２を暗部として映し出すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来の局所皮下脂肪厚などを測定する光式生体情報測定装置として、生体表面に光源と受光部を配置し拡散反射光から脂肪厚を測定しているものがあった。しかしながら、従来の構成では、受光素子は、送光素子からの光だけではなく、生体表面を照らして生体内を透過してきた太陽光や照明器具からの照明光である外乱光も受光してしまう。そして、外乱光が受光されてしまうために、局所皮下脂肪厚などの測定精度が悪化してしまうことがあった。
【解決手段】 測定面１４に設けられた、生体に対して光を発光する光源部１６と、測定面１４に設けられた、生体を通過した光を受光する受光部１５と、光源部１６および受光部１５を実質的に取り囲むように設けられた突起部１７と、受光された光の量に基づいて、生体に関する情報を演算する演算部１９とを備えた、光式脂肪厚計である。 （もっと読む）

【課題】 計測精度の向上を図ることが可能な位置計測方法を提供する。
【解決手段】 位置計測装置は、物体上に形成された周期パターンからなるマークを結像光学系を介して検出し、その検出結果に基づいてマークの位置情報を計測する。マークを含む被照射領域から得られるマーク光は、０次回折光以外の偶数次回折光が除去されており、マーク光の画像信号から、マーク光に含まれる奇数次回折光に対応する周波数成分を抽出し、その抽出された周波数成分を用いてマークの位置情報を計測する。 （もっと読む）

【課題】
レーザを光源とした光学系で物体表面を照射し、その反射光を用いて物体表面位置に対する対物レンズの焦点位置を求める際、スペックル等の散乱光を抑制しオートフォーカスの精度を高める。
【解決手段】
レーザ光源２からの光束をレンズ３、多孔フイルタ２１、ビームスプリッタ４、対物レンズ５などによる光学系を介してその焦点位置近傍に設置される物体６表面を照明する。前記多孔フイルタ２１には複数の孔２２を設け、光源２からの光束がこの孔２２を通過するとき回析現象を起こし、発生した回析パターンで前記物体表面を多点に分散して照明する。この回析パターンによって分散照明された物体表面からの反射光を、発生するであろう散乱光と共に対物レンズ５、ビームスプリッタ４、シリンドリカルレンズ９、結像レンズ７を経て受光部８に投影する。受光部８はこの測定光を受けて演算部に信号を送り、物体表面位置に対する対物レンズの焦点位置を求める。

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【課題】 小型化および薄型化が可能でかつ入射光の方向を正確に検出することができる方向検出素子を提供することである。
【解決手段】 基板上の４つのＰＩＮフォトダイオード上に４つの矩形のコンタクトパッド２０１〜２０４が配置されている。コンタクトパッド２０１〜２０４間には基準点Ｐを中心として互いに９０度の角度をなして放射状に延びる壁部３０１〜３０４が設けられ、壁部３０１〜３０４上には光吸収体８が設けられる。壁部３０１〜３０４の一方の側辺に沿って凹部１０が形成され、他方の側辺および端部の周囲の辺に沿って溝１１が形成される。壁部３０１〜３０４に隣接するようにＰＩＮフォトダイオードの矩形の受光領域１０１〜１０４が形成される。壁部３０１〜３０４が湾曲することにより壁部３０１〜３０４が垂直に起立する。壁部３０１〜３０４に照射された光が光吸収体８により吸収され反射しない。 （もっと読む）

【課題】環境光の変化や障害物などのノイズ要因に強いカメラ校正を実現する。
【解決手段】対象物４０を載置する基準パネル２０の表面に、点滅制御可能な発光マーカ２２を行列状に配設する。各発光マーカー２２は、カメラ１４の連続撮影のフレームに同期して、それぞれ異なる切換パターンに従って点滅する。三次元計測装置１０は、各フレームの画像から点滅する点の明暗の時間変化パターンを求め、そのパターンに基づき、それら各点がどの発光マーカー２２に当たるのかを識別する。そして、その識別結果を用いてカメラ校正を行い、座標変換パラメータを計算する。 （もっと読む）

【課題】 照明変化や背景変化等の影響が及びにくくして、メータの指針の検査が容易にできるようにした。
【解決手段】 電流計や電圧計等の計測器本体１１はＸ，Ｙ移動機構に載置されて横方向Ｘ、縦方向Ｙに移動されるように構成される。計測器本体１１の指針部分と目盛りなどの背景部分は、カラービデオカメラ１２で観測撮影され、撮影されたビデオ信号は画像処理装置１３に入力される。この画像処理装置１３では、入力されたビデオ信号から背景部分や指針部分の画像処理が行われる。画像処理装置１３で処理された画像処理信号は、色抽出部１４に入力される。この色抽出部１４では、指針部分と背景部分との識別化をＵＣＳ色度図と呼ばれる色表現方法を利用して行う。その後、指針部分だけを判定部１５で判定して抽出する。 （もっと読む）