【課題】 分解能の高いシリコンウエハの観察装置を提供する。
【解決手段】 ハロゲンランプからなる光源１からの光は、レンズ２によってコリメートされ、赤外線カット用フィルタ３、バンドパスフィルタ４を通って、レンズ５により平行光束となり、ハーフミラー６で反射される。反射された照明光は、対物レンズ７により、シリコンウエハ８上に集光され、シリコンウエハ８の被観察面を落射照明する。シリコンウエハ８の下面には回路パターンが形成されており、シリコンウエハ８を透過して照明された回路パターンからの反射光は、再びシリコンウエハ８を透過し、対物レンズ７を通ってハーフミラー６を透過し、結像レンズ９により、撮像装置であるＣＣＤカメラ１０の撮像面に結像する。このようにして、回路パターンの像が観察される。 （もっと読む）

対象者の位置を特定するための装置（１０）であって、放射源、この場合には、電磁スペクトルの赤外線部分の波長で光を放射することができる高出力レーザ（１４）を含む照明／検出モジュール（１２）を備える、対象者の位置を特定するための装置が開示される。レーザ（１４）の光出力は、ビームスプリッタ（ＢＳ）（１６）及びレンズ（２０）によって、救助現場、及び対象者（２２）上に配置される、上記放射源に応答する複数の吸収体に向けられる。その後、モジュール（１２）の検出部分は、対象者に関連付けられる複数の放射体によって放射される信号を収集する。上記放射体は、吸収体に関連付けられる。
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【課題】撮像装置により撮像された周期性パターンのムラの検査をする検査装置において外乱光および光源の散乱光の影響を除去した周期パターンムラ検査装置を提供する。
【解決手段】撮像側平行光学系３１を備え画像を撮像する手段を具備する撮像部３０と、検査対象基板５０を載置し、Ｘ軸及びＹ軸方向に駆動する手段を具備するＸＹステージ２０と、先端に固定した照明側平行光学系１１が設けられ照明側平行光学系を、ＸＹステージに載置した検査対象基板に対し上下方向角度及び平行方向に駆動が可能でありかつ載置した検査対象基板に対して照明の照射位置が一定である様に制御可能な照明光源を備えた照明駆動部１２を具備する斜め透過照明部２０と、照射側平行光学系とＸＹステージの間に配された偏光フィルター３５’及び反射防止膜３６’と、ＸＹステージと撮像側平行光学系の間に配された偏光フィルタ３５ー及び反射防止膜３６とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の検査をより正確に行うことのできる共焦点型検査装置を提供する。
【解決手段】 検査対象２に対向して配置された対物光学系５と；対物光学系５を介して検査対象２に輝点光１０ａを投光する投光部１０と；輝点光１０ａで検査対象２を二次元に走査する二次元走査系２０と；対物光学系５を介して検査対象２から戻ってくる投光された輝点光１０ａを結像する結像光学系６と；結像光学系６を介した光を受光する受光部４０と；検査対象２と受光部４０との間の光路中に配置された第１の臨界角プリズム１００とを備える共焦点型検査装置。 （もっと読む）

【課題】 測定物体方面から戻る反射光（反射パルス）から距離決定を行うさいに、照射パターンのパルスパターンを簡単に実現でき、パルス光量変動に対する安定性を向上させる形状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定物体２０に照射パターンを照射する照射手段２１と、前記測定物体２０表面で反射された撮像パターンを得る前記照射手段２１と光学的に同じ位置にある撮像手段２２とを備え、前記撮像パターンから前記測定物体２０の表面形状を得る形状測定装置において、前記測定物体２０は前記照射手段２１から距離Ｌ１からＬ２の範囲に存在し、前記照射パターンはＬ１とＬ２の時間遅延ｔｐをｂ＾ｍ分割し、かつ各分割時間の間にレベル０からｂ−１の一定で離散的な光強度を採るｔｐを周期とする多値光パルス列であり、前記撮像手段２２は距離Ｌ１にある前記測定物体２０からの反射光が前記撮像手段２２に戻る時間ｔ１のタイミングで撮像パターンの光強度を計測し、計測された光強度を２値化したｎ種類のコードから、前記測定物体２０の距離を求める。 （もっと読む）

【課題】静的部品のみの簡単な構造で、取り扱いが容易であり、しかも精度良く半導体ウェハの輪郭を検出できるコンパクトなウェハ輪郭検出装置を提供する。
【解決手段】非光学活性体である半導体ウェハ３００の一方の面側から、所定方向の偏光Ｒａを照射する光照射部１と、前記一方の面側からみてウェハ３００の外輪郭を含んでその外側まで拡がるように、当該ウェハ３００の他方の面側に配置されるとともに、前記光照射部１からの偏光Ｒａを回転又は軽減して反射する反射部材２と、前記ウェハ３００及び反射部材２からの反射光を受光可能な位置に配置され、その反射光のうちの、前記所定方向の偏光Ｒａのみ又はその偏光Ｒａを除いた光のみを検出する光検出部３と、を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 測定物体方面から戻る反射光から距離決定を行う際に、照射パターンを簡単に実現でき、背景光量変動に対する安定性を向上させる形状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定物体に照射パターンを照射する照射手段２１と、測定物体２０の表面で反射された撮像パターンを得る撮像手段２２とを備え、撮像パターンから測定物体２０の表面形状を得る形状測定装置において、測定物体２０は照射手段２１からの距離が第１の距離Ｌ１と第２の距離Ｌ２（Ｌ２＞Ｌ１とする）の範囲に存在し、照射パターンは第１の距離Ｌ１と第２の距離Ｌ２の遅延時間を周期とした正弦波の位相が異なる複数のアナログ変調光列であり、撮像手段２２は第２の距離Ｌ２にある測定物体２０からの反射光が撮像手段２２に戻る時間のタイミングで撮像パターンの光強度を計測し、かつ計測された光強度から計算する測定物体２０の測度により、測定物体２０の距離を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】
光検出手段の受光面積を小さくして、かつ被測定物が鏡面、粗面のいずれであっても三角測量によって、変位を測定できる技術を提供する。
【解決手段】
対物レンズ４を被測定物（基板１２）側の近くに配置して、ＬＤ１からの平行光をポリゴンミラー３で走査してその走査された平行光を対物レンズ４の中心を外れた位置に入射させ、対物レンズ４によって斜めに屈折させて被測定物に照射させ、その被測定物からの反射光を再び対物レンズ４で受けて、平行光にしてポリゴンミラー３へ返し、ポリゴンミラー３からの反射光をＰＳＤ７で受光する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 戻り光の一部が発光部に入射することを防止して正確な変位測定を可能としつつ、小型化が可能な変位測定装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板１に凹部２が設けられ、この凹部２内に発光部３と受光部４、受光部５とが設けられている。発光部３は面発光レーザからなり、受光部４、受光部５は２分割フォトダイオードからなる。半導体基板１の上方側には、光を透過するガラス部材６が配置され、このガラス部材６のうち、発光部３の発光面３ａから出射する光ビームの中心部分が照射される位置には、反射部７が形成されている。反射部７によって反射された光は、モニタ部８によって受光され、発光強度のモニタ用として利用される。発光部３の発光面３ａから出射した光は、その中心部分が反射部７によって反射されているため、円環状の光ビームとなってガラス部材６を透過しマイクロミラー１０で反射される。 （もっと読む）

【課題】 レーザ素子の自己結合効果を利用した距離計測を信頼性良く、しかも無駄なく実行することのできるレーザ測長器を提供する。
【解決手段】 計測対象物に向けて波長変調したレーザ光を照射すると共に、上記計測対象物にて反射した上記レーザ光が導入される自己結合型のレーザ素子を備え、このレーザ素子におけるレーザ光の自己結合効果により生じた変調レーザ光を周波数分析して前記計測対象物までの距離を測定するレーザ測長器であって、前記変調レーザ光を周波数分析して求める周波数成分の検出範囲を制限することで前記計測対象物の検出距離領域を規定する手段（ハイパスフィルタおよび／またはローパスフィルタからなるフィルタ回路）を備える。 （もっと読む）

【課題】裏面反射があるような対象物であっても、精度良く面位置を検出する。
【解決手段】光源１１からの光を被検物に照射する投光光学系１３、１４、３と、投光光学系に設けられ、光源からの光束の一部を遮蔽し、被検物からの光を反射する第１光路分割部材１２と、第１光路分割部材で反射された被検物からの光を２つの光路に分割する第２光路分割部材１５と、複数の受光部を有し、第２光路分割部材により分割された一方の光を受光する第１受光手段１６と、第１受光手段により検出された複数の受光部で受光された光量を基に、被検物の面位置を検出する第１位置検出部１７、７と、第２光路分割部材により分割された他方の光の光路中に設けられたピンホール１８を透過した光を受光する第２受光手段１９と、第２受光手段により受光された光量を基に被検物の面位置を検出する第２位置検出部２０、７と、投光光学系と被検物との相対位置を変更する移動手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 高速かつ低コストで全数インライン検査に適した接触式検査装置を提供する。
【解決手段】 光照射手段１００と、この光照射手段１００からの光Ｌが内部に入射される透明板１１０と、全反射現象乱れ検出手段１２０とを備え、透明板１１０を構成する面のうち少なくとも１つの面が、その内部に入射された光Ｌを全反射し、かつ、外表面側に被検査物が接触される第１反射面１１１であり、全反射現象乱れ検出手段１２０は、第１反射面１１１における光の全反射現象の乱れを検出する接触式検査装置。 （もっと読む）

【課題】 反射率を大幅に下げることが可能な低反射パターン膜を提供する。
【解決手段】 石英基板の上に、第１の酸化クロム層（厚さ４０ｎｍ）、第１のクロム層（厚さ２００ｎｍ）、第２の酸化クロム層（厚さ５７ｎｍ）、第２のクロム層（厚さ１０ｎｍ）、第３の酸化クロム層（厚さ６９ｎｍ）をこの順に積層し、エッチングによりピンホールパターンを形成した後、その上にフッ化マグネシウム層（厚さ１０１ｎｍ）を積層した。その結果、530ｎｍから590ｎｍの波長に対する表面反射率が0.5％以下で光学濃度が４以上であり、かつ、偏光特性のない低反射パターン膜が得られた。 （もっと読む）

【課題】複数台が対象空間を共通にしている場合でも、それぞれ対象空間の空間情報を独立して検出することができる空間情報検出装置を提供する。
【解決手段】空間情報検出装置は、対象空間に投光する発光源２と、発光源２から対象空間に投光する光の強度を変調するように発光源２に所定の変調周波数の変調信号を与える発光制御部３と、対象空間からの光を受光し受光光量に応じた電荷を生成する感光部１１を有した光検出素子１と、光検出素子１の出力から対象空間に存在する物体Ｏｂまでの距離を求める距離演算部４とを備える。距離演算部４は、光検出素子１が受光する環境光成分のうち変動成分を相殺するように変調信号に同期する特定の位相区間の差分の積算値を所定の積分時間において求め、当該積算値を用いて物体Ｏｂまでの距離を求める。 （もっと読む）

【課題】 ガラス等のように、異なる反射率を有する複数の面を備えた計測対象物体を対象とした場合においても、計測領域の設定を自動的に行い、安定した計測を行うことを可能とした変位センサを提供すること。
【解決手段】 計測対象物体に対して所定角度で光を照射するための投光素子と、光が照射された計測対象物体からの反射光を受光するための受光素子と、受光素子にて計測対象物体の反射面を２面以上取得するまで、投光素子における発光量を所定値から自動的に所定量ずつ増加させ、取得した２つの反射面のそれぞれに対する計測領域を自動的に設定する計測対象領域の自動設定手段と、受光素子の受光画像に基づいて、目的とする変位の計測を行う変位計測手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】
固体と液体との界面の位置あるいは表面形状を正確に測定することができる測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる測定装置は、光源１１からの光を分岐して第１の可干渉光６１と第２の可干渉光６２とを生成するＰＢＳ３２と、第１の可干渉光６１及び第２の可干渉光６２を容器の固体が取り付けられた面から容器の内側に入射させるレンズ４２であって、第１の可干渉光６１を参照面に集光して照射し、第２の可干渉光６２を界面に集光して照射するレンズ４２と、ＰＢＳ３２によって合成された光を共焦点光学系を介して検出し、干渉光の強度に応じた検出信号を出力する検出器７２と、検出信号に基づいて第１の可干渉光６１と第２の可干渉光６２との位相差を求め、位相差に基づいて界面の位置を測定する処理装置５９とを備えるものである。 （もっと読む）

【目的】 格子パターン投影法によって、計測対象物体の３次元形状を常に正確に効率よく計測できるようにする。
【構成】 複数の計測対象物体１４が設けられた平面１５に対して、投影部１０によって斜め方向から格子パターンＬＰを投影し、その格子パターンが投影された平面１５を格子パターンの投影方向とは異なる方向から撮像部１６によって撮像し、その撮像した明暗のパターンの２次元画像データを画像メモリ１９に記憶し、データ処理部１７によってそれを解析して計測対象物体１４の３次元形状を測定する。投影部１０は液晶格子１２によって格子パターンを生成する際に、平面１５上の特定の計測対象物体１４の計測領域以外の領域（マスクエリアＭＡ）に対しては、格子パターンＬＰを投影しないようにマスクする。 （もっと読む）

【課題】 複数のベルト端面に照射する光や反射する光が隣接するベルトに干渉されないようにすることで、それぞれのベルト端面を効率的かつ高精度に検査することのできるベルト端面の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、２つの並行な軸心まわりを回転可能な駆動ローラ２１および従動ローラ２２と、これらのローラに掛け渡されたフープｂの端面に光を照射する複数のＬＥＤランプ３ａ，３ｂ，３ｃと、フープｂの端面で反射する光を撮影するＣＣＤカメラ５とから少なくとも構成されている。ここで、駆動ローラ２１および従動ローラ２２の端面には径方向外側に湾曲するクラウニングが設けられており、フープｂの回転に伴ってローラ端面の中央付近に集められ易い構造となっている。従動ローラ２２と駆動ローラ２１の双方の回転軸心は、並行な状態から捻れの状態とすることもできる。 （もっと読む）

【課題】清浄で且つ高温環境下となる検出領域にて被検出体の有無を精度よく検出できるようにする。
【解決手段】石英ボックス１の側壁１ａに開口部２を設け、パイプ状の結合用部材６を貫通するよう取り付ける。結合用部材６内にて、細長い円柱形状として、先端部が石英ボックス１内の検出領域４の近傍まで達するよう配置した石英ガラス部材３ｃの基端部と、反射型光ファイバセンサ８の平行型光ファイバ１７の先端部を取り付ける。平行型光ファイバ１７の投光用光ファイバ素線１０を通して導かれる光１３を、石英ガラス部材３ｃを通して損失が少ない状態で検出領域４の近傍まで導いてから、検出領域４に向けて投光させる。検出領域４に被検出体５が存在する場合に生じる反射光１３ａは、検出領域近傍にて石英ガラス部材３ｃの先端面で受けた後、石英ガラス部材３ｃ内を損失が少ない状態で導いてから、受光用光ファイバ素線１２へ受光させる。 （もっと読む）

【課題】解決しようとする課題は、絵素ポイントの輝度変化のみで夜間走行車両の前端及び後端の位置を決定させることであり、その目的を達成するために、ヘッドライト光が路面反射する光やバンパー面から反射する光、更にはサイドランプの光に係る輝度変化に係る誤検知を除去を案出することにある。
【解決手段】輝度レベルを高レベルと低レベルの大きく二つの区分に分け、スキャンライン上の絵素ポイントの輝度変化を、輝度レベルが高レベルから低レベル又はその逆へ変化するポイントのピーク（立ち下がり微分のピーク又は立ち上がり微分のピーク）で検出して、これを候補ポイントとし一旦メモリしておき、予め設定した条件で前記候補ポイントを判別処理して確定ポイントを得て、この確定ポイントをヘッドライトやテールランプの位置と決定する。 （もっと読む）